JP2010511859A - 画像による歪み測定のための方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
測定点、第1の測定:M1i
測定点、第2の測定:M2i
第2の測定点が第1の測定の回転及び平行移動と等しいことがわかっている場合には、次式が得られる。
式中、ROTは2×2回転行列であり、Iは単位行列であり、Trは平行移動ベクトルであり、Defiはノードiにおける両方の測定間に生じた変形ベクトル(即ち、測定ノード)である。
第2の測定における相対位置:RP2i=M2i−Ri …(3)
式(1)に式(2)及び式(3)を組み入れると、次式が得られる。
第2の測定の相対ベクトル及び第1の測定の相対ベクトルを減算すると、測定点の絶対座標の回転及び平行移動に等しいベクトル場+プレートの変形に対応する残差ベクトル場が得られる。
a.各ノードiについて、基準の十字の中心と測定の十字の中心とを結ぶベクトル(即ち、測定ノード)を測定する。この測定は、CCD基準フレーム内のみにおいて行われる。
b.各ノードiについて、測定点のワールド座標を測定する。
式中、Motiはノードiの画像の取得時の平行移動台の位置であり、CCDiは測定点のCCD上の位置である。
各ノードiについて、基準の十字の中心と測定の十字の中心とを結ぶベクトルを測定する。この測定は、CCD基準フレーム内のみにおいて行われる。
結果の後処理:
以下の式に従って、全てのノードに対する二乗平均平方根(RMS)の総和を最小化する最良の回転行列ROT及び平行移動ベクトルTrを計算する。
次に、以下の式によって変形ベクトル場を定義する。
図4は、本発明の一実施形態を示す。図示されるように、第1の基板100及び第2の基板110は、第1の圧電トランスデューサ120及び第2の圧電トランスデューサ130を用いて結合される。第1の基板100上にはコーナーキューブ260が配置され、第2の基板110上にはコーナーキューブ270が配置される。コーナーキューブ260及び270は、接着剤を用いて各基板(100、110)に取り付けられた器具である。一実施形態では、コーナーキューブ260又は270は、基板(100、110)に接着する任意の装置であり、基板と共に移動して、干渉計に読み取り値を供給する。例えば、コーナーキューブ(260、270)は、干渉計からの光を反射する反射体を基板(100、110)に貼り付けることによって実施され得る。
110 第2の基板
120 第1の圧電トランスデューサ
125 容量センサ
130 第2の圧電トランスデューサ
135 容量センサ
150 スペーサ
160 L字形ブラケット
180 真空台
195 視覚システム
Claims (8)
- 第1の基板と、第2の基板と、該第1の基板を該第2の基板に結合する少なくとも1つのトランスデューサとを含むアセンブリを組み立てる工程と、
前記トランスデューサを動作させる工程と、
前記トランスデューサを動作させることに応答して、前記第1の基板と前記第2の基板との間の歪みを測定する工程と
を備えることを特徴とする歪み測定方法。 - 前記第1の基板に印をつけ、前記トランスデューサを動作させ、該トランスデューサを動作させることに応答して前記印を比較し、該印の比較に応答して、前記歪みを測定する前記工程を実行する工程
を更に備えることを特徴とする請求項1記載の歪み測定方法。 - 前記歪みを測定する前記工程に応答して、測定検査装置を較正する工程を更に備えることを特徴とする請求項1記載の歪み測定方法。
- 前記第1の基板が、前記トランスデューサを動作させることに応答して第1の信号を生成する第1のコーナーキューブを更に備え、前記第2の基板が、前記トランスデューサを動作させることに応答して第2の信号を生成する第2のコーナーキューブを更に備え、
前記歪みを測定する前記工程が、前記トランスデューサを動作させることに応答して、及び前記第1の信号を前記第2の信号と比較することに応答して行われる
ことを特徴とする請求項1記載の歪み測定方法。 - 前記歪みを測定する前記工程が、剛体補償を行う工程を含むことを特徴とする請求項1記載の歪み測定方法。
- 前記トランスデューサがセンサを更に備え、前記歪みを測定する前記工程が、前記センサから値を読み取る工程を含むことを特徴とする請求項1記載の歪み測定方法。
- 前記歪みを測定する前記工程が、前記第1の基板を撮像することによって行われることを特徴とする請求項1記載の歪み測定方法。
- 前記歪みを測定する前記工程が、センサによる測定と撮像による測定とを比較する工程を含むことを特徴とする請求項1記載の歪み測定方法。
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