JP2001289622A - 部材の平面度測定装置及び封着装置 - Google Patents
部材の平面度測定装置及び封着装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 部材の平面度を簡易かつ高精度に測定する。
【解決手段】 被測定対象の測定範囲内にわたり面内を
並進移動することが可能な面内移動部(104,113)と、そ
の面内移動部上に形成され、被測定対象との距離を面内
において測定する測定ユニット(116、118)と、面内移動
部の誤差を補正するための補正ユニット(105,107)と、
測定ユニットにより測定された測定の結果と、補正ユニ
ットに補正された結果とに基づいて、面内の測定位置に
おける被測定対象との間の真の距離を求め、複数の面内
の測定位置における真の距離から部材の平面度を演算す
る。
並進移動することが可能な面内移動部(104,113)と、そ
の面内移動部上に形成され、被測定対象との距離を面内
において測定する測定ユニット(116、118)と、面内移動
部の誤差を補正するための補正ユニット(105,107)と、
測定ユニットにより測定された測定の結果と、補正ユニ
ットに補正された結果とに基づいて、面内の測定位置に
おける被測定対象との間の真の距離を求め、複数の面内
の測定位置における真の距離から部材の平面度を演算す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、大きな面積を有す
る部材の平面度を測定する装置及びその装置を用いて複
数の部材を接合する封着装置に関するものである。
る部材の平面度を測定する装置及びその装置を用いて複
数の部材を接合する封着装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、平面度測定には市販の３次元測定
器が使用されている。
器が使用されている。
【０００３】また、特開平０５−２０３４３３に開示さ
れている内容によると３つのセンサにより被測定物の変
位値を測定し、その値と前回の値とを比較して、ガイド
の誤差を修正する修正係数により誤差を除去して、高精
度な値を得る方法がある。
れている内容によると３つのセンサにより被測定物の変
位値を測定し、その値と前回の値とを比較して、ガイド
の誤差を修正する修正係数により誤差を除去して、高精
度な値を得る方法がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、市販の
３次元測定器において、被測定物の位置座標等の情報を
測定するための測定子は、高剛性かつ高精度のガイドに
保持されるために必然的に大型化し、そのガイド部の重
量は重いものとなる。
３次元測定器において、被測定物の位置座標等の情報を
測定するための測定子は、高剛性かつ高精度のガイドに
保持されるために必然的に大型化し、そのガイド部の重
量は重いものとなる。
【０００５】従って、それと同様の構成を他の平面度を
測定する必要のある装置の一部として組み込むことは装
置寸法と、重量の面からの制約、また費用もかかるので
適当ではないものとなる。
測定する必要のある装置の一部として組み込むことは装
置寸法と、重量の面からの制約、また費用もかかるので
適当ではないものとなる。
【０００６】特開平０５−２０３４３３の件では、装置
および演算部が大がかりであり、コストおよび他の装置
への組み込みには適当でなく、また被測定物を移動させ
る方式であるため、他の装置へ組み込んでの測定はでき
ない。
および演算部が大がかりであり、コストおよび他の装置
への組み込みには適当でなく、また被測定物を移動させ
る方式であるため、他の装置へ組み込んでの測定はでき
ない。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明はガイドにそって
距離を測定する場合、そのガイドの誤差を修正するに際
し、レーザ光を基準として、そのレーザ光からの距離を
測定するので、ガイドに誤差があっても高精度な距離測
定が行えることを特徴とする。
距離を測定する場合、そのガイドの誤差を修正するに際
し、レーザ光を基準として、そのレーザ光からの距離を
測定するので、ガイドに誤差があっても高精度な距離測
定が行えることを特徴とする。
【０００８】また、測定器部分が大がかりでなく、必要
最小限の大きさであるので、他の装置へ組み込んで使用
する場合、組み込みが容易である。
最小限の大きさであるので、他の装置へ組み込んで使用
する場合、組み込みが容易である。
【０００９】また、誤差修正のための演算も加減算でよ
く、簡単に行える。
く、簡単に行える。
【００１０】本発明にかかる部材の平面度測定装置及び
封着装置は主として以下の構成からなることを特徴とす
る。
封着装置は主として以下の構成からなることを特徴とす
る。
【００１１】すなわち、部材の平面度測定装置は、被測
定対象の測定範囲内にわたり面内を並進移動することが
可能な面内移動手段と、前記面内移動手段上に形成さ
れ、前記被測定対象との距離を面内において測定する測
定手段と、前記面内移動手段の誤差を補正するための補
正手段と、前記測定手段により測定された測定の結果
と、前記補正手段に補正された結果とに基づいて、面内
の測定位置における前記被測定対象との間の真の距離を
求め、複数の面内の測定位置における真の距離から部材
の平面度を演算する手段とを備えることを特徴とする。
定対象の測定範囲内にわたり面内を並進移動することが
可能な面内移動手段と、前記面内移動手段上に形成さ
れ、前記被測定対象との距離を面内において測定する測
定手段と、前記面内移動手段の誤差を補正するための補
正手段と、前記測定手段により測定された測定の結果
と、前記補正手段に補正された結果とに基づいて、面内
の測定位置における前記被測定対象との間の真の距離を
求め、複数の面内の測定位置における真の距離から部材
の平面度を演算する手段とを備えることを特徴とする。
【００１２】好ましくは、部材の平面度測定装置におい
て、上記前記補正手段は、レーザー光を投光する手段
と、投光された前記レーザー光を受光するＣＣＤカメラ
と、を備え、前記受光したレーザー光と、前記ＣＣＤカ
メラの中心との位置ずれを誤差として算出することを特
徴とする。
て、上記前記補正手段は、レーザー光を投光する手段
と、投光された前記レーザー光を受光するＣＣＤカメラ
と、を備え、前記受光したレーザー光と、前記ＣＣＤカ
メラの中心との位置ずれを誤差として算出することを特
徴とする。
【００１３】好ましくは、部材の平面度測定装置におい
て、前記補正手段は、前記面内移動手段の移動軸方向ご
とに複数備えることを特徴とする。
て、前記補正手段は、前記面内移動手段の移動軸方向ご
とに複数備えることを特徴とする。
【００１４】好ましくは、部材の平面度測定装置におい
て、前記測定手段は、対向して保持された第一及び第二
の被測定対象に対して、前記第一の被測定対象との距離
を測定する第一の測定手段と、前記第二の被測定対象と
の距離を測定する第二の測定手段と、を備え、同一の位
置において、前記第一及び第二の被測定対象前記並進手
段との距離を同時に測定することが可能であることを特
徴とする。
て、前記測定手段は、対向して保持された第一及び第二
の被測定対象に対して、前記第一の被測定対象との距離
を測定する第一の測定手段と、前記第二の被測定対象と
の距離を測定する第二の測定手段と、を備え、同一の位
置において、前記第一及び第二の被測定対象前記並進手
段との距離を同時に測定することが可能であることを特
徴とする。
【００１５】好ましくは、部材の平面度測定装置におい
て、前記補正手段は、真直に形成された基準と、前記面
内移動手段との相対的な位置ずれを誤差として算出する
ことを特徴とする。
て、前記補正手段は、真直に形成された基準と、前記面
内移動手段との相対的な位置ずれを誤差として算出する
ことを特徴とする。
【００１６】好ましくは、部材の平面度測定装置におい
て、前記真直に形成された基準は、薄鋼プレートを真直
に保持して形成されたものであることを特徴とする。
て、前記真直に形成された基準は、薄鋼プレートを真直
に保持して形成されたものであることを特徴とする。
【００１７】また、封着装置は、上記部材の平面度測定
装置により、接合する複数の部材の平面度を測定する手
段と、前記測定された平面度に従い前記部材の保持状態
を修正する修正手段と、前記保持状態を修正した複数の
部材を接合して組立てる手段と、を備えることを特徴と
する。
装置により、接合する複数の部材の平面度を測定する手
段と、前記測定された平面度に従い前記部材の保持状態
を修正する修正手段と、前記保持状態を修正した複数の
部材を接合して組立てる手段と、を備えることを特徴と
する。
【００１８】
【発明の実施の形態】図１に本発明にかかる実施の形態
における平面度測定装置を含む封着装置の斜視図を示
す。平面度測定装置１００は、上・下加熱板２０，２６
の平面度を測定するものであり、１の封着装置の一部と
して構成されるものである。
における平面度測定装置を含む封着装置の斜視図を示
す。平面度測定装置１００は、上・下加熱板２０，２６
の平面度を測定するものであり、１の封着装置の一部と
して構成されるものである。
【００１９】まず、全体的な装置の構成として、１の封
着装置について説明する。図４は封着装置１ににより組
立し、それぞれを封着するワークを示す。２７１はガラ
スフェースプレートで、ガラス板（９００ｍｍ×６００
ｍｍ、ｔ＝３ｍｍ）で、２７１ｃの発光体である蛍光物
がその面内に形成されている。
着装置について説明する。図４は封着装置１ににより組
立し、それぞれを封着するワークを示す。２７１はガラ
スフェースプレートで、ガラス板（９００ｍｍ×６００
ｍｍ、ｔ＝３ｍｍ）で、２７１ｃの発光体である蛍光物
がその面内に形成されている。
【００２０】２７３はガラスリアプレートで、ガラス板
で２７３ｃの電子放出源がその面内に形成されている。
両プレートを組立し、封着することにより、２７３ｃか
ら放出された電子により２７１ｃの発光体を光らせる平
面型画像表示装置となる。
で２７３ｃの電子放出源がその面内に形成されている。
両プレートを組立し、封着することにより、２７３ｃか
ら放出された電子により２７１ｃの発光体を光らせる平
面型画像表示装置となる。
【００２１】２７２はガラスフェースプレート２７１と
ガラスリアプレート２７３の中間に融着する外枠材であ
る。
ガラスリアプレート２７３の中間に融着する外枠材であ
る。
【００２２】図５に、図４で示した各プレート材の組立
後の構成を示す。（ａ）は斜視図で、２７３のガラスリ
アプレートと２７１のガラスフェースプレートの間に２
７２の外枠を挟み込んでフリット接合されている。
（ｂ）は（ａ）の断面図を示す。２７２ａ，ｂの融着面
にはあらかじめフリットガラスが塗布されている。
後の構成を示す。（ａ）は斜視図で、２７３のガラスリ
アプレートと２７１のガラスフェースプレートの間に２
７２の外枠を挟み込んでフリット接合されている。
（ｂ）は（ａ）の断面図を示す。２７２ａ，ｂの融着面
にはあらかじめフリットガラスが塗布されている。
【００２３】２７４はスペーサであり、ガラスフェース
プレート２７１、リアプレート２７３、外枠２７２とに
より囲まれた内部領域を真空状態にした時にでも大気圧
で２７１，２７３のガラスプレートが湾曲して割れない
様に湾曲を防ぐための支柱の役割をしている。
プレート２７１、リアプレート２７３、外枠２７２とに
より囲まれた内部領域を真空状態にした時にでも大気圧
で２７１，２７３のガラスプレートが湾曲して割れない
様に湾曲を防ぐための支柱の役割をしている。
【００２４】図２に封着装置１にワークがセットされた
略側面図を示す。２０は上部加熱板であり、昇降テーブ
ル１８に２２ａ〜ｅの吊り金具により取り付けられてい
る。１８の昇降テーブルは、Ｚ軸ボールネジ４２により
昇降動作を行い、この昇降動作はLMガイドナット４０ｇ
により摺動指示される。上部加熱板２０には、ガラスフ
ェースプレート２７１がバキューム吸着されている。
略側面図を示す。２０は上部加熱板であり、昇降テーブ
ル１８に２２ａ〜ｅの吊り金具により取り付けられてい
る。１８の昇降テーブルは、Ｚ軸ボールネジ４２により
昇降動作を行い、この昇降動作はLMガイドナット４０ｇ
により摺動指示される。上部加熱板２０には、ガラスフ
ェースプレート２７１がバキューム吸着されている。
【００２５】２６は下部加熱板でｘｙθテーブル２８上
に４８ａ，ｂの支柱上に設置され、ガラスリアプレート
２７３が下部加熱板２６の上にのせられている。ガラス
プレート２７３上には、外枠２７２がのせられている。
に４８ａ，ｂの支柱上に設置され、ガラスリアプレート
２７３が下部加熱板２６の上にのせられている。ガラス
プレート２７３上には、外枠２７２がのせられている。
【００２６】ガラスプレートの接合動作時には、図３に
示す平面度測定装置１００の測定部は、ｘ方向の左・右
どちらかにあり、上・下加熱板２０，２６に対して、両
ガラスプレート２７１、２７３の組立てに支障がない位
置に待避した位置にある。
示す平面度測定装置１００の測定部は、ｘ方向の左・右
どちらかにあり、上・下加熱板２０，２６に対して、両
ガラスプレート２７１、２７３の組立てに支障がない位
置に待避した位置にある。
【００２７】両ガラスプレート２７１、２７３の組立て
は上・下加熱板２０，２６により、外枠２７２に塗布さ
れたフリットガラスが溶ける温度４２０℃まで加熱して
接合することによりなされる。
は上・下加熱板２０，２６により、外枠２７２に塗布さ
れたフリットガラスが溶ける温度４２０℃まで加熱して
接合することによりなされる。
【００２８】その後、ＣＣＤカメラ３６Ｂでガラスリア
プレート２７３に付された２７３ａ，ｂのアライメント
マークとガラスフェースプレート２７１に付された２７
１ｂ，ｄのアライメントマークを画像処理し、このアラ
イメントマーク相互の位置関係から両ガラスプレート２
７１、２７３の相対的な位置を合わせるべく、ｘｙθテ
ーブル２８により位置ずれ量を補正して、リアプレート
２７３の位置を決める。そして、昇降テーブル１８を下
降させ、ガラスフェースプレート２７１をガラスリアプ
レート２７３上の外枠２７２に押し付け融着し、更に降
温させて、フリットガラスを固めて接合する。この一連
の処理により図５（ｂ）に示す平面型画像表示装置の接
合が完了する。
プレート２７３に付された２７３ａ，ｂのアライメント
マークとガラスフェースプレート２７１に付された２７
１ｂ，ｄのアライメントマークを画像処理し、このアラ
イメントマーク相互の位置関係から両ガラスプレート２
７１、２７３の相対的な位置を合わせるべく、ｘｙθテ
ーブル２８により位置ずれ量を補正して、リアプレート
２７３の位置を決める。そして、昇降テーブル１８を下
降させ、ガラスフェースプレート２７１をガラスリアプ
レート２７３上の外枠２７２に押し付け融着し、更に降
温させて、フリットガラスを固めて接合する。この一連
の処理により図５（ｂ）に示す平面型画像表示装置の接
合が完了する。
【００２９】この接合時に上・下加熱板２０，２６の平
面度が悪いと、図５（ｂ）に示す製品の平面度も悪くな
り、そったり、またはスペーサ２７４が浮いてしまった
りする場合があるので、これを防止するために上・下加
熱板２０，２６の平面度を測定し、平面度が悪いガラス
プレート２７１、２７３の場合は支柱受け５０Ｂ、２２
の吊り金具をシム等を挿入して隙間を微調整したり、ま
たは、加熱板を交換して平面度を補正する。
面度が悪いと、図５（ｂ）に示す製品の平面度も悪くな
り、そったり、またはスペーサ２７４が浮いてしまった
りする場合があるので、これを防止するために上・下加
熱板２０，２６の平面度を測定し、平面度が悪いガラス
プレート２７１、２７３の場合は支柱受け５０Ｂ、２２
の吊り金具をシム等を挿入して隙間を微調整したり、ま
たは、加熱板を交換して平面度を補正する。
【００３０】そのために、封着装置１において、上，下
加熱板２０，２６の平面度、平行度を高精度に測定する
必要がある。
加熱板２０，２６の平面度、平行度を高精度に測定する
必要がある。
【００３１】図３は本発明にかかる平面度測定ユニット
を封着装置１に組込んだ状態を説明する図である。１０
は封着装置１の架台で、２０，２６は上・下加熱板であ
る。大きさはｘ方向１０００ｍｍ、ｙ方向７００ｍｍ程
度であるが、この寸法は平面度測定ユニットの性能を限
定するものでないことをいうまでものない。
を封着装置１に組込んだ状態を説明する図である。１０
は封着装置１の架台で、２０，２６は上・下加熱板であ
る。大きさはｘ方向１０００ｍｍ、ｙ方向７００ｍｍ程
度であるが、この寸法は平面度測定ユニットの性能を限
定するものでないことをいうまでものない。
【００３２】架台１０から支柱１０１，１０２が立ち上
がり、この支柱にｘガイド１０３が取り付けられてい
る。ｘブロック１０４はｘガイド１０３をガイドとして
並進移動が出来る。支柱１０６にはｘ基準レーザ１０７
が取り付けられ、ｘブロック１０４に取り付けられたｘ
ＣＣＤ１０５のカメラに入射している。
がり、この支柱にｘガイド１０３が取り付けられてい
る。ｘブロック１０４はｘガイド１０３をガイドとして
並進移動が出来る。支柱１０６にはｘ基準レーザ１０７
が取り付けられ、ｘブロック１０４に取り付けられたｘ
ＣＣＤ１０５のカメラに入射している。
【００３３】更に、ｘブロック１０４上に設けられた支
柱１１０と、ブロック１１２によってｙガイド１１１が
構成されている。ｙブロック１１３は、ｙガイド１１１
によりガイドされてｙ方向に並進移動する。支柱１０８
にはｙ基準レーザ１０９が取付けられており、ｙブロッ
ク１１３に取付けられたｙＣＣＤカメラ１１４に入射し
ている。
柱１１０と、ブロック１１２によってｙガイド１１１が
構成されている。ｙブロック１１３は、ｙガイド１１１
によりガイドされてｙ方向に並進移動する。支柱１０８
にはｙ基準レーザ１０９が取付けられており、ｙブロッ
ク１１３に取付けられたｙＣＣＤカメラ１１４に入射し
ている。
【００３４】ｙブロック１１３には支柱１１７に取付け
られた上レーザ距離センサ１１８が、また支柱１１５に
下レーザ距離センサ１１６が設置されている。
られた上レーザ距離センサ１１８が、また支柱１１５に
下レーザ距離センサ１１６が設置されている。
【００３５】以下、平面度測定処理を図７により説明す
る。
る。
【００３６】図７において、ｘガイド１０３は厳密には
真直な直線ではない。従って、センサ１１８によって測
定される上加熱板２０との距離の値ＵＳ１，ＵＳ２，Ｕ
Ｓ３にはｘガイド１０３の誤差が加算され、真の値を示
さない。
真直な直線ではない。従って、センサ１１８によって測
定される上加熱板２０との距離の値ＵＳ１，ＵＳ２，Ｕ
Ｓ３にはｘガイド１０３の誤差が加算され、真の値を示
さない。
【００３７】ｘガイド１０３の誤差は、レーザ光の投光
側と受光側のずれを利用して求めることが可能である。
これは、レーザ光の性質から光の広がりが少なく、また
直線であることを測定原理として利用するものである。
この場合、ＣＣＤカメラ１０５でそのレーザ光をとら
え、画像処理にてその中心値（重心）を求めることは公
知の画像処理装置（画像処理方法）で実施可能である。
レーザ光の中心位置が正確に求められれば（最大でも
０．０１ｍｍ程度の誤差のオーダー）、その測定位置
（ＸＹ平面内）における、レーザ光の基準直線を求める
ことができる。この基準直線と、実際の測定値の差がｘ
ガイド１０３の誤差となる。ここで、基準直線を求める
処理を図６の測定のブロック図により説明する。
側と受光側のずれを利用して求めることが可能である。
これは、レーザ光の性質から光の広がりが少なく、また
直線であることを測定原理として利用するものである。
この場合、ＣＣＤカメラ１０５でそのレーザ光をとら
え、画像処理にてその中心値（重心）を求めることは公
知の画像処理装置（画像処理方法）で実施可能である。
レーザ光の中心位置が正確に求められれば（最大でも
０．０１ｍｍ程度の誤差のオーダー）、その測定位置
（ＸＹ平面内）における、レーザ光の基準直線を求める
ことができる。この基準直線と、実際の測定値の差がｘ
ガイド１０３の誤差となる。ここで、基準直線を求める
処理を図６の測定のブロック図により説明する。
【００３８】平面度測定開始点における上センサ１１８
の値をＵＳ１、下センサ１１６の値をＤＳ１、その時の
ｘＣＣＤカメラ１０５の値をΔｘＲ1とする。
の値をＵＳ１、下センサ１１６の値をＤＳ１、その時の
ｘＣＣＤカメラ１０５の値をΔｘＲ1とする。
【００３９】次に、他のポジションでの値をそれぞれ、
ＵＳ２，ＤＳ２，ΔｘＲ2とすると、上加熱板２０、下
加熱板２６の真の値は、測定値に基づいて、以下の
（１）（２）式により求めることができる。
ＵＳ２，ＤＳ２，ΔｘＲ2とすると、上加熱板２０、下
加熱板２６の真の値は、測定値に基づいて、以下の
（１）（２）式により求めることができる。
【００４０】 Ｕ＝ＵＳ２−（ΔｘＲ2−ΔｘＲ1） （１） Ｄ＝ＤＳ２＋（ΔｘＲ2−ΔｘＲ1） （２） これは、ｘ方向（ｘガイド１０３）の誤差修正について
であるが、ｙ方向（ｙガイド１１１）についても同様
で、ｘ方向の相対的な誤差にｙ方向の相対誤差が重畳し
た値となる。測定開始点のｙＣＣＤカメラ１１４の値を
ΔｙＲ1とする。他のポジションでの値をΔｙＲ2とすれ
ば、２点の相対誤差は（ΔｙＲ2−ΔｙＲ1）であり、こ
の値を（１）（２）式に重ね合せればよい。
であるが、ｙ方向（ｙガイド１１１）についても同様
で、ｘ方向の相対的な誤差にｙ方向の相対誤差が重畳し
た値となる。測定開始点のｙＣＣＤカメラ１１４の値を
ΔｙＲ1とする。他のポジションでの値をΔｙＲ2とすれ
ば、２点の相対誤差は（ΔｙＲ2−ΔｙＲ1）であり、こ
の値を（１）（２）式に重ね合せればよい。
【００４１】 Ｕ＝ＵＳ２−（ΔｘＲ2−ΔｘＲ1）−（ΔｙＲ2−ΔｙＲ1） （３） Ｄ＝ＤＳ２＋（ΔｘＲ2−ΔｘＲ1）＋（ΔｙＲ2−ΔｙＲ1） （４） （３）（４）式を用いれば面内の位置において、ｘガイ
ド、ｙガイドの誤差が補正された上レーザー距離センサ
ー１１８の値Ｕ，下レーザー距離センサー１１６のＤを
得る。これらの値の算出は図６における演算部６０１が
センサー（１１６，１１８）の値と、レーザーの測定値
（１０４，１０５、６０２，６０３）とにより演算して
求められる。他のポジションにおいても同様の演算によ
り真値を求めることができる。
ド、ｙガイドの誤差が補正された上レーザー距離センサ
ー１１８の値Ｕ，下レーザー距離センサー１１６のＤを
得る。これらの値の算出は図６における演算部６０１が
センサー（１１６，１１８）の値と、レーザーの測定値
（１０４，１０５、６０２，６０３）とにより演算して
求められる。他のポジションにおいても同様の演算によ
り真値を求めることができる。
【００４２】（３）（４）の結果から求められる値は、
被測定対象とセンサーとの距離とを補正した最終的な値
（真の値）であり、これらの値に基づいて被測定対象の
表面のうねりの傾向が面内方向の分布として求めること
が可能となり、この結果が平面度（平面形態の幾何学的
に正しい平面からの狂いの多きさ）となる。
被測定対象とセンサーとの距離とを補正した最終的な値
（真の値）であり、これらの値に基づいて被測定対象の
表面のうねりの傾向が面内方向の分布として求めること
が可能となり、この結果が平面度（平面形態の幾何学的
に正しい平面からの狂いの多きさ）となる。
【００４３】また、ｘガイド、ｙガイドの誤差について
述べたが、製作誤差の他にｘブロック１０４の重量によ
るｘガイドの変形、またｙブロック１１３の重量による
ｙガイド１１１およびブロック１１２の変形について
も、先の演算により同時に修正が行われるので、ｘｙガ
イドを高剛性とした設計にする必要もない。
述べたが、製作誤差の他にｘブロック１０４の重量によ
るｘガイドの変形、またｙブロック１１３の重量による
ｙガイド１１１およびブロック１１２の変形について
も、先の演算により同時に修正が行われるので、ｘｙガ
イドを高剛性とした設計にする必要もない。
【００４４】本実施形態においては、ガイドの真直性を
補正するために、レーザー光を使用して基準をつくり相
対変位を求めたが、この基準を求める測定原理として、
レーザー光ではなく、図８に示すように支柱１２０に薄
い鋼１２１を張力をかけて張り、うねりのない状態とし
て保持する。これを基準として、その鋼１２１とｘブロ
ック１０４とのの距離をレーザ距離センサ１２２にて測
定し、先に説明したΔｘＲの値としても同様の効果を得
ることができる。ｙ方向についても同様に薄い鋼（不図
示）を張力をかけてはり、同様にΔｙＲの値とすればよ
い。
補正するために、レーザー光を使用して基準をつくり相
対変位を求めたが、この基準を求める測定原理として、
レーザー光ではなく、図８に示すように支柱１２０に薄
い鋼１２１を張力をかけて張り、うねりのない状態とし
て保持する。これを基準として、その鋼１２１とｘブロ
ック１０４とのの距離をレーザ距離センサ１２２にて測
定し、先に説明したΔｘＲの値としても同様の効果を得
ることができる。ｙ方向についても同様に薄い鋼（不図
示）を張力をかけてはり、同様にΔｙＲの値とすればよ
い。
【００４５】
【他の実施形態】なお、本発明は、複数の機器（例えば
ホストコンピュータ、インタフェイス機器、リーダ、プ
リンタなど）から構成されるシステムに適用しても、一
つの機器からなる装置（例えば、複写機、ファクシミリ
装置など）に適用してもよい。
ホストコンピュータ、インタフェイス機器、リーダ、プ
リンタなど）から構成されるシステムに適用しても、一
つの機器からなる装置（例えば、複写機、ファクシミリ
装置など）に適用してもよい。
【００４６】また、本発明の目的は、前述した実施形態
の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記
録した記憶媒体（または記録媒体）を、システムあるい
は装置に供給し、そのシステムあるいは装置のコンピュ
ータ（またはCPUやMPU）が記憶媒体に格納されたプログ
ラムコードを読み出し実行することによっても、達成さ
れることは言うまでもない。この場合、記憶媒体から読
み出されたプログラムコード自体が前述した実施形態の
機能を実現することになり、そのプログラムコードを記
憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。また、
コンピュータが読み出したプログラムコードを実行する
ことにより、前述した実施形態の機能が実現されるだけ
でなく、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピ
ュータ上で稼働しているオペレーティングシステム(OS)
などが実際の処理の一部または全部を行い、その処理に
よって前述した実施形態の機能が実現される場合も含ま
れることは言うまでもない。
の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記
録した記憶媒体（または記録媒体）を、システムあるい
は装置に供給し、そのシステムあるいは装置のコンピュ
ータ（またはCPUやMPU）が記憶媒体に格納されたプログ
ラムコードを読み出し実行することによっても、達成さ
れることは言うまでもない。この場合、記憶媒体から読
み出されたプログラムコード自体が前述した実施形態の
機能を実現することになり、そのプログラムコードを記
憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。また、
コンピュータが読み出したプログラムコードを実行する
ことにより、前述した実施形態の機能が実現されるだけ
でなく、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピ
ュータ上で稼働しているオペレーティングシステム(OS)
などが実際の処理の一部または全部を行い、その処理に
よって前述した実施形態の機能が実現される場合も含ま
れることは言うまでもない。
【００４７】さらに、記憶媒体から読み出されたプログ
ラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張カー
ドやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わ
るメモリに書込まれた後、そのプログラムコードの指示
に基づき、その機能拡張カードや機能拡張ユニットに備
わるCPUなどが実際の処理の一部または全部を行い、そ
の処理によって前述した実施形態の機能が実現される場
合も含まれることは言うまでもない。
ラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張カー
ドやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わ
るメモリに書込まれた後、そのプログラムコードの指示
に基づき、その機能拡張カードや機能拡張ユニットに備
わるCPUなどが実際の処理の一部または全部を行い、そ
の処理によって前述した実施形態の機能が実現される場
合も含まれることは言うまでもない。
【００４８】本発明を上記記憶媒体に適用する場合、そ
の記憶媒体には、先に説明した装置の処理に対応するプ
ログラムコードが格納されることになる。
の記憶媒体には、先に説明した装置の処理に対応するプ
ログラムコードが格納されることになる。
【００４９】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明にかかる
平面度測定装置によれば、測定部の変形を排除するため
に、測定部を高剛性とする必要がなく、たとえ、測定部
の自重によって変形があっても、その変形を測定処理に
取込んで補正することが可能である。
平面度測定装置によれば、測定部の変形を排除するため
に、測定部を高剛性とする必要がなく、たとえ、測定部
の自重によって変形があっても、その変形を測定処理に
取込んで補正することが可能である。
【００５０】また、測定対象物の組立て装置に組込んだ
場合、測定結果を組み立て処理に反映した組立てが可能
となる。
場合、測定結果を組み立て処理に反映した組立てが可能
となる。
【図１】平面度測定装置を含む封着装置の斜視図であ
る。
る。
【図２】平面度測定装置を含む封着装置の側面図であ
る。
る。
【図３】平面度測定装置の斜視図である。
【図４】組立て部材を説明する図である。
【図５】部材の組立後の構成を説明する図である。
【図６】センサ処理を説明するブロックの図である。
【図７】平面度の測定原理を説明する図である。
【図８】実施形態の変形例を示す図である。
１ 封着装置 １８ 昇降テーブル ２０ 上加熱板 ２６ 下加熱板 ２８ ｘｙθテーブル １００ 平面度測定装置 １０３ ｘガイド １０４ ｘブロック １０５ ｘＣＣＤカメラ １０７ ｘレーザ １０９ ｙレーザ １１１ ｙガイド １１３ ｙブロック １１４ ｙＣＣＤカメラ １１６ 下レーザセンサ １１８ 上レーザセンサ １２１ 薄鋼 １２２ レーザセンサ
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA06 AA17 AA19 AA20 AA22 AA33 AA47 BB01 BB29 CC00 EE00 FF04 FF23 FF61 GG04 GG13 HH04 HH13 JJ01 JJ03 JJ05 JJ09 JJ26 MM07 NN20 PP02 PP03 PP05 PP12 PP22 QQ25 QQ27 QQ28
Claims (7)
- 【請求項１】 被測定対象の測定範囲内にわたり面内を
並進移動することが可能な面内移動手段と、 前記面内移動手段上に形成され、前記被測定対象との距
離を面内において測定する測定手段と、 前記面内移動手段の誤差を補正するための補正手段と、 前記測定手段により測定された測定の結果と、前記補正
手段に補正された結果とに基づいて、面内の測定位置に
おける前記被測定対象との間の真の距離を求め、複数の
面内の測定位置における真の距離から部材の平面度を演
算する手段と、 を備えることを特徴とする部材の平面度測定装置。 - 【請求項２】 前記補正手段は、レーザー光を投光する
手段と、 投光された前記レーザー光を受光するＣＣＤカメラと、 を備え、前記受光したレーザー光と、前記ＣＣＤカメラ
の中心との位置ずれを誤差として算出することを特徴と
する請求項１に記載の部材の平面度測定装置。 - 【請求項３】 前記補正手段は、前記面内移動手段の移
動軸方向ごとに複数備えることを特徴とする請求項１に
記載の部材の平面度測定装置。 - 【請求項４】 前記測定手段は、対向して保持された第
一及び第二の被測定対象に対して、 前記第一の被測定対象との距離を測定する第一の測定手
段と、 前記第二の被測定対象との距離を測定する第二の測定手
段と、 を備え、同一の位置において、前記第一及び第二の被測
定対象前記並進手段との距離を同時に測定することが可
能であることを特徴とする請求項１に記載の部材の平面
度測定装置。 - 【請求項５】 前記補正手段は、真直に形成された基準
と、前記面内移動手段との相対的な位置ずれを誤差とし
て算出することを特徴とする請求項１に記載の部材の平
面度測定装置。 - 【請求項６】 前記真直に形成された基準は、薄鋼プレ
ートを真直に保持して形成されたものであることを特徴
とする請求項１に記載の部材の平面度測定装置。 - 【請求項７】 請求項１に記載の部材の平面度測定装置
により、接合する複数の部材の平面度を測定する手段
と、 前記測定された平面度に従い前記部材の保持状態を修正
する修正手段と、 前記保持状態を修正した複数の部材を接合して組立てる
手段と、 を備えることを特徴とする封着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000102505A JP2001289622A (ja) | 2000-04-04 | 2000-04-04 | 部材の平面度測定装置及び封着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000102505A JP2001289622A (ja) | 2000-04-04 | 2000-04-04 | 部材の平面度測定装置及び封着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001289622A true JP2001289622A (ja) | 2001-10-19 |
Family
ID=18616375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000102505A Withdrawn JP2001289622A (ja) | 2000-04-04 | 2000-04-04 | 部材の平面度測定装置及び封着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001289622A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007271350A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Fujifilm Corp | 平面表示型ディスプレイの基準平面設定方法及び視野角測定方法 |
| JP2008539437A (ja) * | 2005-04-28 | 2008-11-13 | コーニング インコーポレイテッド | 透明基板の寸法変化を測定するための方法及び装置 |
| CN102853757A (zh) * | 2012-09-24 | 2013-01-02 | 大连海事大学 | 一种平面形状误差在线测量系统和方法 |
| KR101683711B1 (ko) * | 2015-10-28 | 2016-12-08 | 주식회사 넥스플러스 | 금속 박판의 평탄도 검사장치 |
-
2000
- 2000-04-04 JP JP2000102505A patent/JP2001289622A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008539437A (ja) * | 2005-04-28 | 2008-11-13 | コーニング インコーポレイテッド | 透明基板の寸法変化を測定するための方法及び装置 |
| JP2007271350A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Fujifilm Corp | 平面表示型ディスプレイの基準平面設定方法及び視野角測定方法 |
| CN102853757A (zh) * | 2012-09-24 | 2013-01-02 | 大连海事大学 | 一种平面形状误差在线测量系统和方法 |
| KR101683711B1 (ko) * | 2015-10-28 | 2016-12-08 | 주식회사 넥스플러스 | 금속 박판의 평탄도 검사장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070605 |