JP2010507559A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 組成物であって、
   少なくとも９３％（ｗ／ｗ）のネオペンタシランと、
   ５％（ｗ／ｗ）以下の他のシランと、
   ２％（ｗ／ｗ）以下の炭化水素と、
   を含む、組成物。
2. 少なくとも９７％（ｗ／ｗ）のネオペンタシランを含む、請求項１に記載の組成物。
3. ネオペンタシランを含む組成物を製造する方法であって、
   （ｉ）式Ｘ₃ＳｉＳｉＸ₃（式中、Ｘは−Ｃｌ又は−Ｂｒである）を有するヘキサハロジシランを第三級アミン触媒で処理して、テトラキス（トリハロシリル）シランと四ハロゲン化ケイ素とを含む第１の混合物を生成すること、
   （ｉｉ）該テトラキス（トリハロシリル）シランと該四ハロゲン化ケイ素とを分離すること、
   （ｉｉｉ）分離した該テトラキス（トリハロシリル）シランを水素化ジイソブチルアルミニウムで処理して、ネオペンタシランを含む第２の混合物を生成すること、及び
   （ｉｖ）該第２の混合物を蒸留して、該ネオペンタシランを取り出すこと、
   を含む、ネオペンタシランを含む組成物を製造する方法。
4. 前記第三級アミン触媒が１，４−ジアザビシクロ［２．２．２］オクタンである、請求項３に記載の方法。
5. 前記テトラキス（トリハロシリル）シランに対する前記水素化ジイソブチルアルミニウムのモル比が１２〜１４である、請求項３に記載の方法。