JP2010274361A - 研磨パッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】低粘度でポットライフの長いウレタン樹脂組成物に、未発泡の加熱膨張性微小球状体を混合攪拌して硬化させるとともに、反応熱によって加熱膨張性微小球状体を発泡させて得られる発泡ポリウレタンからなる研磨層を有し、該研磨層の最大ポア径が、300μm以下であって、平均ポア径が、130μm〜170μmである。
【選択図】図3
Description
安定した研磨が可能になるととともに、被研磨物の端面だれを改善することができる。
研磨条件
・ドレス
圧力 100g/cm2、 回転数100rpm、 時間 600sec
・レート
圧力 300g/cm2、回転数100rpm、 スラリー流量 100ml/min、 時間 30min
スラリー ニッタ・ハース社製Nanopure NP6220 20倍希釈
その計測結果を図10に示す。
3 スラリー
5 半導体ウェハ
Claims (5)
- 被研磨物に圧接される発泡ポリウレタンからなる研磨層を有する研磨パッドであって、
前記研磨層の最大ポア径が、300μm以下であって、平均ポア径が、130μm〜170μmであることを特徴とする研磨パッド。 - 前記研磨層の密度が0.50g/cm3未満であって、ショアA硬度が85度以上である請求項1に記載の研磨パッド。
- 前記研磨層のカットレートが、15μm/min以上である請求項1または2に記載の研磨パッド。
- 前記研磨層の20℃〜80℃における損失弾性率E’’が、略一定である請求項1ないし3のいずれか一項に記載の研磨パッド。
- 前記発泡ポリウレタンが、40℃での粘度が3000mPa・s以下のイソシアネート基含有化合物と、未発泡の加熱膨張性微小球状体と、活性水素含有化合物とを、混合攪拌して硬化させるとともに、反応熱によって前記加熱膨張性微小球状体を発泡させてなるものであって、前記イソシアネート基含有化合物と前記活性水素含有化合物とを、混合したウレタン樹脂組成物のポットライフが200秒以上である請求項1ないし4のいずれか一項に記載の研磨パッド。
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