KR101175337B1 - 다공성 시트의 제조방법 및 이에 의해 제조된 다공성 시트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 a) 수용성 입자를 포함하는 중합체 수지 시트를 제조하는 단계; 및 b) 초임계 유체를 상기 중합체 수지 시트 내로 주입하여 상기 중합체 수지 시트에 기공을 형성하는 단계를 포함하는 다공성 시트의 제조방법 및 이에 의해 제조된 다공성 시트를 제공한다.

CMP, 연마패드, 초임계 유체

Description

다공성 시트의 제조방법 및 이에 의해 제조된 다공성 시트{MANUFACTURING METHOD OF POROUS SHEET AND POROUS SHEET MANUFACTURED BY THE METHOD}

본 발명은, 초임계 유체(supercritical fluid)를 이용한 다공성 시트의 제조방법 및 이에 의해 제조된 다공성 시트에 관한 것이다.

화학적-기계적 연마 (chemical mechanical polishing, CMP) 공정은 마이크로 전자 장치의 제조에서 반도체 웨이퍼, 전계 방출 표시장치 및 그 밖의 수많은 마이크로 전자 기재 상에 편평한 표면을 형성하기 위해 이용된다. 예를 들어, 반도체 장치의 제조공정에는 일반적으로, 각종 가공 층의 형성, 이들 층 중 일부의 선택적 제거 또는 패턴화, 및 반도체 기재의 표면 상에서 추가 가공 층의 침착에 의한 반도체 웨이퍼 형성이 포함된다. 예를 들어, 가공 층에는 절연층, 게이트 산화물층, 전도층, 및 금속 또는 유리 층 등이 포함될 수 있다. 일반적으로, 웨이퍼 공정의 특정 단계에서 가공 층의 최상면이 후속 층의 침착을 위해 평탄한(planar) 상태, 즉 편평한(flat) 상태인 것이 바람직하다. CMP는, 웨이퍼에서 전도성 또는 절연성 물질과 같은 침착된 물질의 일부를 연마 및 제거하여 후속 공정 단계를 위한 웨이퍼를 제조하는 데 이용된다.

전형적인 CMP 공정에서, 웨이퍼는 CMP 도구에 포함된 캐리어 상에 아래로 향하도록 장착된다. 아래로 연마 패드를 향해 캐리어 및 웨이퍼에 힘이 가해진다. 캐리어 및 웨이퍼는 CMP 도구의 연마 테이블 상에 있는 회전 연마 패드 위에서 회전한다. 일반적으로, 연마 공정 동안 회전 웨이퍼와 회전 연마 패드의 사이에 연마 조성물(연마 슬러리 라고도 함)이 혼입된다. 전형적으로, 연마 조성물은 최상부 웨이퍼층의 일부와 상호작용하거나 그를 용해시키는 화학물질, 및 층의 일부를 물리적으로 제거하는 연마재를 함유한다. 웨이퍼와 연마패드는 동일한 방향 또는 반대 방향으로 회전할 수 있고, 어느 방향이든지 특정 연마 공정의 수행에 바람직하다. 또한, 캐리어는 연마 테이블 상의 연마 패드에서 왕복할 수 있다.

이러한 화학적-기계적 연마 공정에서 사용되는 연마 패드는 연질 및 경질 패드 재료(중합체-함침 직물, 미공질(microporous) 필름, 기포성(cellular) 중합체 발포체, 비-다공질 (non-porous) 중합체 시트 및 소결된 열가소성 입자 포함)를 사용하여 제조한다.

폴리에스테르 부직물에 함침된 폴리우레탄 수지를 함유하는 패드는 중합체-함침 직물 연마 패드의 예이다. 미공질 연마 패드는 기재 물질 상에 코팅된 미공질 우레탄 필름을 포함한다. 이들 연마 패드는 폐쇄 셀(closed cell) 다공질 필름이다. 기포성 중합체발포체 연마 패드는, 무작위 및 균일하게 3차원적으로 분포된 폐쇄 셀 구조를 함유한다.

최근 연마 패드의 대부분은 패드 내에 폐쇄 기공(closed pore)를 가지고 있는 다공성 시트를 사용하는데, 여기서, 기공(pore)은 연마 슬러리의 유동을 조절하 여 공정을 효율을 높이는데 이용된다. 이에 연마 패드에 기공을 형성할 때는 균일하고 고르게 분산되도록 하는 것이 중요하다.

이러한 연마 패드를 제조하는 한 예로, 한국등록특허 제10-0191227호에는 중합체성 매트릭스에 중공 중합체성 미소요소를 첨가하여 패드를 제조하는 방법에 대해 기재되어 있다.

그러나, 중공 중합체성 미소요소는 수 마이크론 두께의 껍질을 가지고 있으며, 이 껍질에 의해 CMP공정에서 연마대상물 예컨대 웨이퍼에 스크래치를 형성시킬 수 있다는 문제점이 있다.

또한 연마 패드를 제조하는 또 다른 한 예로, 한국공개특허 제2008-0037719호에는 중합체 수지 시트에 초임계 유체를 주입하고 고온 및 고압에서 발포시킴으로써, 기공이 형성된 연마패드를 제조하는 방법에 대해 기재되어 있다.

그러나, 상기 중합체 수지 시트에 상기 초임계 유체를 주입하였을 때, 상기 초임계 유체가 상기 중합체 수지 시트 내에서 균일하게 확산되지 않아, 제품의 균일도가 저하된다는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은, 기공의 균일성 및 분산성이 우수하고, 공정 상에 스크래치 형성을 감소시킬 수 있으며, 공정효율을 향상시킬 수 있는 다공성 시트의 제조방법 및 이에 의해 제조된 다공성 시트를 제공하는 것이다.

본 발명은, a) 수용성 입자를 포함하는 중합체 수지 시트를 제조하는 단계; 및 b) 초임계 유체를 상기 중합체 수지 시트 내로 주입하여 상기 중합체 수지 시트에 기공을 형성하는 단계를 포함하는 다공성 시트의 제조방법 및 이에 의해 제조된 다공성 시트를 제공한다.

또한, 본 발명은 상기 다공성 시트를 포함하는 연마 패드를 제공한다.

본 발명에 따른 다공성 시트를 연마공정에 사용할 경우, 연마공정 중 사용되는 수용액에 의해 다공성 시트에 포함된 수용성 입자가 씻겨 나가므로, 잔여물을 남기지 않게 된다. 이에 잔여물에 의해 연마공정 중 연마대상물인 웨이퍼에 스크래치가 발생하는 것을 감소시킬 수 있어, 공정효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 수용성 입자가 중합체 수지 시트 보다 연질로 형성되는 경우, 중합체 수지 시트 내부로 주입된 초임계 유체가 중합체 수지 시트 내부에서 수용성 입자에 의해 유도됨에 따라, 초임계 유체가 수용성 입자 주변으로 확산되고, 그 주변에서 발포되므로, 기공 분산이 균일한, 즉 제품 균일도가 우수한 다공성 시트를 제공할 수 있다.

본 발명에 따른 다공성 시트의 제조방법은, a) 수용성 입자를 포함하는 중합체 수지 시트를 제조하는 단계; 및 b) 초임계 유체를 상기 중합체 수지 시트 내로 주입하여 상기 중합체 수지 시트에 기공을 형성하는 단계를 포함한다.

상기 a) 단계의 중합체 수지는 상기 수용성 입자 보다 경질인 것이 바람직하다.

상기 a) 단계의 중합체 수지의 경도는 쇼어 D 경도(Shore Hardness)로 35 이상이고, 40 내지 90인 것이 바람직하다.

상기 a) 단계의 중합체 수지 시트는, 열가소성 폴리우레탄, 열가소성 엘라스토머, 폴리올레핀, 폴리카보네이트, 폴리비닐알콜, 나일론, 엘라스토머성 고무, 스티렌계 공중합체, 폴리방향족, 플루오르중합체, 폴리이미드, 가교결합된 폴리우레탄, 가교결합된 폴리올레핀, 폴리에테르, 폴리에스테르, 폴리아크릴레이트, 엘라스토머성 폴리에틸렌, 폴리테트라플루오르에틸렌, 폴리에틸렌테라프탈레이트, 폴리아릴렌, 폴리스티렌, 폴리메틸메타크릴레이트, 이들의 공중합체 및 블록 공중합체, 에폭시 또는 실리콘이 포함된 중합체 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 중합체 수지를 포함할 수 있다. 여기서, 폴리우레탄은 내마모성이 우수한 재료로, 연마 패드의 소재로서 가장 바람직할 수 있다. 또한, 원료 조성을 여러 가지로 바꿈으로써, 원하는 물성을 지닌 폴리머를 얻을 수 있는 것도, 폴리우레탄의 큰 특징으로, 연마 패드의 형성 재료로 적합하다.

상기 a) 단계의 수용성 입자는, 상기 중합체 수지 보다 연질로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 수용성 입자가 연질로 형성되는 경우, 초임계 유체가 상기 중합체 수지 시트 내로 주입되어, 확산될 때 원활하게 상기 수용성 입자 주변으로 유도될 수 있다.

상기 a) 단계의 수용성 입자의 경도는 쇼어 D 경도로 35 미만이고, 1 내지 35인 것이 바람직하다.

상기 a) 단계에서 수용성 입자는 상기 중합체 수지 시트 내에서 기공을 형성시키는 핵제 역할을 한다.

그리고, 제조 완료된 다공성 시트 내에 수용성 입자는 화학적-기계적 연마(CMP)공정 동안 연마 조성물의 액상 담체 중에 부분적으로 또는 완전히 용해되며, CMP 공정 중 상기 연마 조성물에 의해 수용성 입자가 용해된 경우, 연마 패드로 사용된 다공성 시트는 수용성 입자의 크기에 상응하는 개방공극을 갖을 수 있다.

상기 a) 단계의 수용성 입자는, 덱스트린, 시클로덱스트린, 만니톨, 락토스, 히드록시프로필셀룰로스, 메틸셀룰로스, 전분, 단백질, 비정질 비-가교 폴리비닐 알콜, 비정질 비-가교 폴리비닐피롤리돈, 폴리아크릴산, 폴리에틸렌 산화물, 수용성 광감성 수지, 술폰화 폴리이소프렌 및 술폰화 폴리이소프렌 공중합체로 이루어진 군으로부터 선택된 물질; 또는 칼륨 아세테이트, 칼륨 니트레이트, 칼륨 카르보네이트, 칼륨 비카르보네이트, 칼륨 클로라이드, 칼륨 브로마이드, 칼륨 포스페이트, 마그네슘 니트레이트, 칼슘 카르보네이트 및 나트륨 벤조에이트로 이루어진 군 으로부터 선택된 물질을 포함할 수 있다. 그러나, 상기 a) 단계의 수용성 입자의 재료는, 상기 연마 조성물에 의해 용해될 수 있는 물질이면, 그 종류가 한정되는 것은 아니다.

상기 a) 단계의 중합체 수지 시트에서, 상기 수용성 입자의 함량은 중합체 수지 시트 총체적에 대하여 10 내지 90 체적%인 것이 바람직하고, 20 내지 40 체적%인 것이 더욱 바람직하다.

상기 a) 단계의 중합체 수지 시트에서, 상기 수용성 입자의 밀도는 0.5 내지 5 g/㎤인 것이 바람직하다.

상기 a) 단계의 수용성 입자는 입경은 0.1 내지 500 ㎛인 것이 바람직하고, 0.1 내지 100 ㎛인 것이 더욱 바람직하다.

상기 수용성 입자의 형태는 구형 또는 타원형일 수 있으나, 이로 한정되는 것은 아니다.

상기 a) 단계는, a1) 상기 수용성 입자 및 중합체 수지를 혼합시키는 단계; 및 a2) 상기 a1) 단계에서 혼합된 혼합물을 경화시키는 단계를 포함할 수 있다.

상기 a1) 단계에서, 상기 혼합은 수용성 입자를 중합체 수지 시트 총체적에 대하여 10 내지 90 체적%을 차지하도록 반응기에 투입하고, 30 내지 60 ℃의 온도에서 교반하여 수행하는 것이 바람직하다. 상기 중합체 수지 및 중합체 입자는 동시에 반응기에 투입되는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 중합체 수지는 순수한 벌크 형태로 사용되는 것이 바람직하고, 당 기술 분야에 알려져 있는 일반적인 용매를 추가하여 사용할 수도 있다.

상기 a1) 단계에서는, 디아민계 경화제 및 디올계 경화제 중에서 선택된 1 종 이상의 경화제를 추가로 첨가할 수 있고, 바람직하게는 메틸렌비스(2-클로로아닐린)을 첨가할 수 있다.

상기 a1) 단계에서는, 산화방지제 등의 안정제, 계면활성제, 윤활제, 안료, 충전제, 대전 방지제, 그 밖의 첨가제를 더 첨가할 수 있다.

상기 a2) 단계에서, 상기 경화는 상기 a1) 단계에서 제조된 혼합물을 몰드에 주입한 후 열경화하는 것이 바람직하다. 이 때, 열경화는 50 내지 150 ℃에서, 4 내지 12 시간 동안 열경화하는 것이 바람직하다.

상기 b) 단계에서, 상기 a) 단계에서 제조된 중합체 수지 시트에 초임계 유체를 주입하는 방법으로는, 고온 및 고압을 이용하여 초임계 유체를 중합체 수지 시트에 내로 강제 주입시키는 가압 기체 주입 공정을 이용할 수 있다.

구체적으로 설명하면, 상기 a) 단계에서 제조된 중합체 수지 시트를 실온에서 압력 용기에 넣는다. 초임계 유체를 상기 용기에 첨가하고, 적절한 양의 기체를 중합체 시트의 자유 부피로 강제하기에 충분한 수준으로 용기를 가압한다. 중합체에 용해된 기체의 양은 헨리의 법칙에 따라 적용 압력에 정비례한다. 중합체 수지 시트의 온도를 증가시키면 중합체 내로의 기체의 확산 속도는 증가되지만, 중합체 수지 시트에 용해될 수 있는 기체의 양은 감소된다. 기체가 중합체를 완전히 포화시키면, 중합체 수지 시트를 가압 용기로부터 제거한다. 원하는 경우, (필요한 경우에) 셀 핵 형성 및 성장을 촉진하기 위해 중합체 수지 시트를 연화 또는 용융 상태로 고속 가열할 수 있다. 미국 특허 제5,182,307호 및 제5,684,055호에는 가압 기체 주입 공정의 상기 및 추가의 특징이 기재되어 있다.

상기 b) 단계에서 상기 중합체 수지 시트에 주입되는 초임계 유체에 대해 구체적으로 설명한다.

여기서, 초임계 유체란, 보통 온도?압력에서는 기체와 액체가 되는 물질도 임계점(supercritical point)이라고 불리는 일정한 고온?고압의 한계를 넘으면 증발 과정이 일어나지 않아서 기체와 액체의 구별을 할 수 없는 상태, 즉 임계상태가 되는데, 이 상태에 있는 물질을 의미한다.

초임계 유체는, 기체가 유체처럼 거동하는 초임계 상태를 생성하기에 충분한 승온 및/또는 승압을 기체에 가함으로써 생성된다.

상기 초임계 상태를 생성하기 위하여 일반적으로 기체에 압력 5 MPa(약 800 psi) 내지 40 MPa(약 6000 psi), 온도 100 내지 300 ℃를 적용하는 것이 바람직하다.

상기 b) 단계의 초임계 유체는 바람직하게는, 초임계이산화탄소, 초임계이소부탄, 초임계부탄, 초임계프로판 및 초임계펜탄 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.

상기 b) 단계에서 상기 중합체 수지 시트 내부로의 상기 초임계 유체 주입은 100 내지 200 bar의 압력조건 및 40 내지 60 ℃의 온도조건에서 수행될 수 있다.

상기 b) 단계에서 발포는 100 내지 250 bar의 압력조건 및 30 내지 100 ℃, 바람직하게는 40 내지 60 ℃에서 수행될 수 있다.

본 발명에서, 초임계 유체를 이용한 발포공정은, 당업계 공지된 초임계 장비 에서 수행될 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 따른 다공성 시트를 연마공정에 사용할 경우, 연마공정 중 사용되는 수용액에 의해 다공성 시트에 포함된 수용성 입자가 씻겨 나가므로(도 1 참조), 잔여물을 남기지 않게 된다.

또한, 수용성 입자가 중합체 수지 시트 보다 연질로 형성되는 경우, 중합체 수지 시트 내부로 주입된 초임계 유체가 중합체 수지 시트 내부에서 수용성 입자에 의해 유도됨에 따라, 초임계 유체가 수용성 입자 주변으로 확산되고, 그 주변에서 발포되므로(도 1참조), 기공 분산이 균일한, 즉 제품 균일도가 우수한 다공성 시트를 제공할 수 있다.

상기 b) 단계에서 상기 중합체 수지 시트에 형성된 기공의 크기는 직경 0.1 내지 500 ㎛인 것이 바람직하다.

상기 b) 단계에서 상기 중합체 수지 시트에 형성된 기공은, 구형 또는 타원형일 수 있으나, 이로 한정되는 것은 아니다.

상기 b) 단계에서 상기 기공이 형성된 상기 중합체 수지 시트는 공극율이 10% 초과 60% 이하인 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 다공성 시트는, 연마패드로 사용될 수 있다. 상기 다공성 시트 단독으로 연마패드로 사용될 수도 있고, 상기 다공성 시트를 여러 장 적층시켜 연마패드로 사용할 수도 있다. 또한, 상기 다공성 시트에 다른 필름을 부착하여 연마패드로 사용할 수도 있다.

이하, 본 발명을 하기 실시예에 의해 상세히 설명한다. 그러나, 하기 실시예 는 본 발명을 예시하는 것 일뿐, 본 발명의 내용이 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.

실시예

중합체 수지로 상품명 chemtura_L325(CHEMTURA 社) 100 g에 수용성 입자로 β-시클로덱스트린 40 g을 투입 후 50 ℃에서 분산 혼합하였다. 분산 혼합이 완료 되었을 때 경화제로 메틸렌비스(2-클로로아닐린) 26 g을 투입하고 400 RPM에서 혼합하였다. 상기 혼합된 혼합물을 몰드에 주입하고 100 ℃ 오븐에 12 시간 동안 열경화하였다. 경화시킨 케이크(cake)를 슬라이싱(slicing)한 후 초임계 장비에 넣고 100 bar, 40 ℃ 조건에서 CO₂ 초임계 유체를 2 시간 동안 주입하였다.

상기 초임계 유체의 발포 전 시트 상태의 SEM 사진을 도 2에 나타내었다.

초임계 유체 주입 후 1 시간 경과한 다음 순간적으로 0 psi로 감압을 통하여 지정된 중합체 입자에서의 발포를 유도하여 다공성 시트를 제조하였다.

상기 초임계 유체의 발포 후 시트 상태의 SEM 사진을 도 3에 나타내었다.

이와 같이, 본 발명에 따라, 수용성 입자가 함유된 중합체 수지 시트에 초임계 유체를 주입하여 다공성 시트를 제조하는 경우, 연마공정에서 수용성 입자가 씻겨 나가게 되므로, 시트 내부에 잔여물이 남지 않게 된다. 이에 연마공정 중 시트의 잔여물에 의해 연마대상물에 스크래치가 형성되는 것을 감소시킬 수 있다.

또한, 수용성 입자가 연질로 형성된 경우, 초임계 유체의 확산성을 높여, 기공이 균일하게 분포하도록 형성할 수 있음에 따라 제품의 균일도를 향상시킬 수 있 게 된다.

도 1은 본 발명에 따른 다공성 시트의 제조방법을 도시한 도면이다.

도 2는 본 발명에 따른 다공성 시트 제조 과정 중 초임계 유체의 발포 전 사진이다.

도 3은 본 발명에 따른 다공성 시트 제조 과정 중 초임계 유체의 발포 후 사진이다.

Claims (17)

1. a) 수용성 입자를 포함하는 중합체 수지 시트를 제조하는 단계; 및

   b) 초임계 유체를 상기 중합체 수지 시트 내로 주입하여 상기 중합체 수지 시트에 기공을 형성하는 단계

   를 포함하고, 상기 a) 단계는, a1) 상기 수용성 입자 및 중합체 수지를 혼합시키는 단계; 및 a2) 상기 a1) 단계에서 혼합된 혼합물을 경화시키는 단계를 포함하는 것이며, 상기 a1) 단계는 수용성 입자를 중합체 수지 시트 총체적에 대하여 10 내지 90 체적%을 차지하도록 반응기에 투입하고, 30 내지 60 ℃의 온도에서 교반하여 수행하는 것인 다공성 시트의 제조방법.
2. 청구항 1에 있어서, 상기 a) 단계의 중합체 수지 시트는, 열가소성 폴리우레탄, 열가소성 엘라스토머, 폴리올레핀, 폴리카보네이트, 폴리비닐알콜, 나일론, 엘라스토머성 고무, 스티렌계 공중합체, 폴리방향족, 플루오르중합체, 폴리이미드, 가교결합된 폴리우레탄, 가교결합된 폴리올레핀, 폴리에테르, 폴리에스테르, 폴리아크릴레이트, 엘라스토머성 폴리에틸렌, 폴리테트라플루오르에틸렌, 폴리에틸렌테라프탈레이트, 폴리아릴렌, 폴리스티렌, 폴리메틸메타크릴레이트, 이들의 공중합체 및 블록 공중합체, 에폭시 또는 실리콘이 포함된 중합체 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되는 중합체 수지를 포함하는 것인 다공성 시트의 제조방법.
3. 청구항 1에 있어서, 상기 a) 단계의 수용성 입자는, 덱스트린, 시클로덱스트린, 만니톨, 락토스, 히드록시프로필셀룰로스, 메틸셀룰로스, 전분, 단백질, 비정질 비-가교 폴리비닐 알콜, 비정질 비-가교 폴리비닐피롤리돈, 폴리아크릴산, 폴리에틸렌 산화물, 수용성 광감성 수지, 술폰화 폴리이소프렌 및 술폰화 폴리이소프렌 공중합체로 이루어진 군으로부터 선택된 물질; 또는 칼륨 아세테이트, 칼륨 니트레이트, 칼륨 카르보네이트, 칼륨 비카르보네이트, 칼륨 클로라이드, 칼륨 브로마이드, 칼륨 포스페이트, 마그네슘 니트레이트, 칼슘 카르보네이트 및 나트륨 벤조에이트로 이루어진 군으로부터 선택된 물질을 포함하는 것인 다공성 시트의 제조방법.
4. 청구항 1에 있어서, 상기 a) 단계의 중합체 수지 시트에서, 상기 수용성 입자의 함량은 중합체 시트 총체적에 대하여 10 내지 90 체적%인 것인 다공성 시트의 제조방법.
5. 청구항 1에 있어서, 상기 a) 단계의 중합체 수지 시트에서, 상기 수용성 입자의 밀도는 0.5 내지 5 g/㎤인 것인 다공성 시트의 제조방법.
6. 청구항 1에 있어서, 상기 a) 단계의 수용성 입자는 입경이 0.1 내지 500 ㎛인 것인 다공성 시트의 제조방법.
7. 삭제
8. 삭제
9. 청구항 1에 있어서, 상기 a1) 단계에서는, 디아민계 경화제 및 디올계 경화제 중에서 선택된 1종 이상의 경화제를 더 첨가하는 것인 다공성 시트의 제조방법.
10. 청구항 1에 있어서, 상기 a2) 단계에서 경화는 상기 a1) 단계에서 제조된 혼합물을 몰드에 주입한 후 50 내지 150 ℃에서, 4 내지 12 시간 동안 열경화하는 것인 다공성 시트의 제조방법.
11. 청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계의 초임계 유체는 초임계이산화탄소, 초임계이소부탄, 초임계부탄, 초임계프로판 및 초임계펜탄 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것인 다공성 시트의 제조방법.
12. 청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계에서 상기 중합체 수지 시트 내부로의 상기 초임계 유체 주입은 100 내지 200 bar의 압력조건 및 40 내지 60 ℃의 온도조건에서 수행되는 것인 다공성 시트의 제조방법.
13. 청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계에서 발포는 100 내지 250 bar의 압력조건 및 30 내지 100 ℃의 온도조건에서 수해되는 것인 다공성 시트의 제조방법.
14. 청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계에서 상기 중합체 수지 시트에 형성된 기공의 크기는 직경 0.1 내지 500 ㎛인 것인 다공성 시트의 제조방법.
15. 청구항 1에 있어서, 상기 b) 단계에서 상기 기공이 형성된 상기 중합체 수지 시트는 공극율이 10 %초과 60% 이하인 것인 다공성 시트의 제조방법.
16. 청구항 1 내지 6 또는 9 내지 15 중 어느 한 항에 따른 다공성 시트의 제조방법에 의해 제조된 다공성 시트.
17. 청구항 16에 따른 다공성 시트를 포함하는 연마 패드.

Images