JP2010262252A - レーザ光源およびその調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光源1は、基台11と、基台11に実装された半導体レーザ12と、フランジ13aと、SHG素子ホルダ14と、SHG素子15と、を備える。SHG素子15は、円柱形をなすSHG素子ホルダ14に形成された溝140に固着される。フランジ13aは、ガイド孔133が形成された円筒形の胴部131と、窓部134が形成された円筒形のフランジ部132とからなる。フランジ13aは、フランジ部132の下面で基台11の平面部111に載置されX軸方向、Y軸方向に移動が可能である。SHG素子ホルダ14は、ガイド孔133と摺動可能に嵌合してフランジ13aで案内される。SHG素子ホルダ14と一体化しているSHG素子15は、Z軸方向に移動可能である。
【選択図】図2
Description
本発明のレーザ光源は、レーザ素子と非線形光学結晶素子とを有し、レーザ素子のレーザ光を非線形光学素子で波長変換して出射するレーザ光源において、レーザ素子が固定される基台と、非線形光学結晶素子を保持する第1の保持部材と、基台に載置され、第1の保持部材を保持する第2の保持部材と、を備え、基台は、第2の保持部材をレーザ光の出射方向に垂直な方向に案内するための第1の案内部を有し、第2の保持部材は、第1の保持部材をレーザ光の出射方向に平行な方向に案内するための第2の案内部を有することを特徴とする。
さらに、本発明のレーザ光源は、上述した構成に加えて、非線形光学素子は、光導波路が形成されたことを特徴とする。
さらに、本発明のレーザ光源は、上述した構成に加えて、レーザ素子の出射光は、光導波路に直接結合することを特徴とする。
さらに、本発明のレーザ光源は、上述した構成に加えて、レーザ光は、レーザ素子の発光部に設けられたレンズを介して光導波路に結合することを特徴とする。
さらに、本発明のレーザ光源は、上述した構成に加えて、第1の保持部材と第2の保持部材、および、支持部材と第2の保持部材がそれぞれレーザ溶接で固定されたことを特徴とする。
さらに、本発明のレーザ光源は、上述した構成に加えて、第2の保持部材は、第1から第3の円筒から構成され、第2の円筒部が、断熱性の材質で形成されたことを特徴とする。
本発明のレーザ光源の調整方法は、レーザ素子が固定された基台と、非線形光学結晶素子を保持する第1の保持部材と、基台に載置され、第1の保持部材を保持する第2の保持部材と、を備え、レーザ素子のレーザ光を非線形光学素子で波長変換して出射するレーザ光源の調整方法であって、レーザ光の出射方向をZ軸とし、Z軸に直交する平面で互いに直交する方向をそれぞれX軸、Y軸とし、第1の保持部材を第2の保持部材に対して移動させて、レーザ素子に対する非線形光学結晶素子のZ軸方向の位置を調整するZ軸調整工程と、第2の保持部材を基台に対して移動させて、レーザ素子に対する非線形光学結晶素子のX軸方向およびY軸方向の位置を調整するX軸−Y軸調整工程と、を備えることを特徴とする。
非線形光学結晶素子のZ軸方向の位置を粗調整するZ軸粗調整工程と、Z軸粗調整工程の後、非線形光学結晶素子のZ軸方向の位置を微調整するZ軸微調整工程と、を有することを特徴とする。
[実施例1の構成:図1−図4]
図1から図4は、本発明の実施例1のレーザ光源1の構成を説明する図面である。図1はレーザ光源1の外観を示す斜視図であり、図2(a)は、レーザ光源1の構成を示す分解斜視図であり、図2(b)は後述するSHG素子ホルダとSHG素子の分解斜視図である。図3は図1のA−A断面図であり、図4は、レーザ光源1から後述するキャップを取り外した状態を示す斜視図である。各図において同一の構成部材には同一の番号を付して、重複する説明は省略する。
図3および図4に示すように、半導体レーザがレーザ光を発光する方向をZ軸方向とし、Z軸に直交する平面で互いに直交する方向をX軸方向、Y軸方向とする。
フランジ部132は側面に、後述する調整工程においてカメラによる調整用の視野を提供する窓部134が形成される。フランジ13aは、SHG素子ホルダ14と同様に、材質が例えばSUS304からなる。
13aを前後左右に移動することで達成される。
以下、実施例1のレーザ光源1の調整方法について説明する。
図5は、実施例1のレーザ光源1の位置合わせ調整方法の工程の説明図である。
調整装置(図示せず)は、基台11、フランジ13aおよびSHG素子15が固定されたSHG素子ホルダ14を定位置に設置し、図4に示すM方向、N方向から配置したカメラ(図示せず)の検出画像をディスプレイにM視野、N視野として表示する。
また、調整装置は、フランジ13aをX軸、Y軸方向に移動させ、SHG素子ホルダ14をZ軸方向に移動させる。
そしてN方向のカメラのN視野は、図5に示すように、SHG素子15の光導波路150と半導体レーザ12のZ軸方向の間隙を表示する。従って、N視野による間隙調整は、フランジ13aに嵌合し摺動可能なSHG素子ホルダ14を移動することで実施される。
なお、M方向のカメラは、上述の半導体レーザ12の焦点121とSHG素子15の光導波路150の位置を表示すると同時に、フィルタを介して赤色又は赤外光を遮蔽し緑色光を透過して光強度検出手段(例えば光パワーメータ)で光強度を測定し調整に利用することも可能となっている。
まず、ST11において、基台11が調整装置(図示せず)に設置されて、基台11の平面部111(図4参照)にフランジ13aが載置され、更にSHG素子ホルダ14がフランジ13aに挿入された組み込み初期状態にある。
次に、本発明に係るレーザ光源の実施例2について説明する。
実施例2のレーザ光源2は、半導体レーザの発光部にレンズを備えず、半導体レーザ発光部とSHG素子の光導波路を、直接光学的に結合し波長変換して発光する直接結合型のレーザ光源である。それ以外の構成部材については、実施例1と、寸法上の違いは多少あ
るものの、構造、材質、機能は同じでよい。
図6から図9は、本発明の実施例2のレーザ光源2の構成を説明する図面である。図6はレーザ光源2の外観を示す斜視図であり、図7は、レーザ光源2の構成を示す分解斜視図である。図8は図6のB−B断面図であり、図9は、レーザ光源2からキャップを取り外した状態を示す斜視図である。各図において、実施例1と同一の構成部材には同一の番号を付して、重複する説明は省略する。
また、図7および図8に示すように、レーザ光源2は、基台11と、ブロック21と、半導体レーザ22と、フランジ13aと、SHG素子ホルダ14と、SHG素子15と、キャップ16と、フィルタ17と、複数本のリード線19と、を備えて構成されている。
フランジ13a、SHG素子ホルダ14、SHG素子15、キャップ16、フィルタ17は、構成、機能について実施例1と同様であるので、説明を省略する。
以下、実施例2のレーザ光源2の調整方法について説明する。
図10および図11は、実施例2のレーザ光源2の位置合わせ調整方法の工程の説明図である。
実施例2の調整方法においては、実施例1と同様に、調整装置(図示せず)は、基台11、フランジ13aおよびSHG素子15が固定されたSHG素子ホルダ14を定位置に設置し、図9に示すM方向、N方向から配置したカメラ(図示せず)の検出画像をディスプレイにM視野、N視野として表示する。
まず、図10に示すST21において、基台11が調整装置(図示せず)に設置されて、基台11の平面部111(図9参照)にフランジ13aが載置され、更にSHG素子ホルダ14がフランジ13aに挿入された組み込み初期状態にある。
2やSHG素子15を気密封止することで、図6に示すTOキャンパッケージの形状に形成されたレーザ光源2が完成する。
次に、本発明に係るレーザ光源の実施例3について説明する。
実施例3のレーザ光源3は、実施例2と同様に半導体レーザの発光部にレンズを備えず、半導体レーザ発光部とSHG素子の光導波路を、直接光学的に結合し波長変換して発光する直接結合型のレーザ光源である。なお、本例は実施例1と同様にレンズを用いた例にも適用可能である。
また後述するように、実施例3は、実施例1、2に一部構成要素が追加されるが、それ以外の構成部材については、構造、材質、機能は同じでよい。
図12から図15は、本発明の実施例3のレーザ光源3の構成を説明する図面である。外観は実施例2の図6と同様であるので外観図を省略する、図12は、実施例2の断面図の図8と同様にレーザ光源3の構成を示す断面図である。図13は、レーザ光源3の構成を示す分解斜視図である。図14は、レーザ光源3からキャップを取り外し、SHG素子が見える位置にフランジを持ち上げた状態を示す側面図である。図15は、レーザ光源3からキャップを取り外した状態を示す斜視図である。各図において、実施例1および実施例2と同一の構成部材には同一の番号を付して、重複する説明は省略する。
調整装置は、SHG素子ホルダ14に対してSHG素子15をスライドさせることができる。この点は、後述の実施例4も同様である。
えばSUS304からなる。
図16は、実施例3のレーザ光源3の位置合わせ調整方法の工程の説明図である。
実施例3の調整方法においては、実施例1および実施例2と同様に、調整装置(図示せず)は、基台11と支持台20を定位置に設置し、フランジ13bとSHG素子ホルダ14を定位置に保持し、図14及び図15に示す矢印M方向、矢印N方向から配置したカメラ(図示せず)の検出画像をディスプレイにM視野、N視野として表示する。
まず、図16に示す、ST31において、支持台20と一体の基台11が、調整装置(図示せず)に設置されて、フランジ13bとSHG素子ホルダ14とが調整装置(図示せず)に保持されて、初期状態にある。また図l4に示すように、N視野が確保されるように、SHG素子15の下端が見える位置までフランジ13bを調整装置により持ち上げられる。
がその視野の中に認められる。このM視野、N視野の図は光導波路150と半導体レーザ22の間隙を理解しやすくするため模式的に大きく示してある。
X軸方向、Y軸方向の粗調整は、M視野において、フランジ13bとSHG素子ホルダ14を、支持台20の平面部201に沿ってX軸方向、Y軸方向に移動させ、半導体レーザ22の発光点220と光導波路150の位置がほぼ重なるように調整する。
X軸方向、Y軸方向の微調整は、M視野において、フランジ13bとSHG素子ホルダ14を、支持台20の平面部201に沿ってX軸方向、Y軸方向に移動させ、M視野のカメラの光強度検出手段で緑色レーザ光の光強度が最大値になるように、SHG素子ホルダ14の位置を調整する。
以上の工程により、半導体レーザ22の発光点220と光導波路150の入射口151の間隙、位置の調整が全て完了する。
置に、円筒リング状に突出して設けられた隔壁202を備えている。これにより、調整工程のST34においてフランジ13bを溶接する際に飛び出すスパッタや酸化物などの異物が、この隔壁202に遮られて、スパッタや酸化物などの異物の付着による半導体レーザ22の不良を防ぐことが可能となる。
本例においては、フランジ13aに、実施例1、2で説明した窓134が形成されていても差し支えはない。
次に、本発明に係るレーザ光源の実施例4について説明する。
実施例4のレーザ光源4は、実施例2、3と同様に、半導体レーザ発光部とSHG素子の光導波路を、直接光学的に結合し波長変換して発光する直接結合型のレーザ光源である。なお、本例は実施例1と同様にレンズを用いた例にも適用可能である。
図17と図18は、本発明の実施例4のレーザ光源4の構成を説明する図面である。外観については実施例2の図6と同様なので外観図は省略する。図17は、実施例3の図12の断面図と同様にレーザ光源4の構成を示す断面図であり、図18(a)は、レーザ光源4の構成を示す分解斜視図であり、図18(b)はフランジの分解斜視図である。各図において、実施例3と同一の構成部材には同一の番号を付して、重複する説明は省略する。
基台11、SHG素子ホルダ14、SHG素子15、キャップ16、フィルタ17、リード線19、支持台20、ブロック21、半導体レーザ22は、構成、機能について実施例3と同様であるので、説明を省略する。
例えば、図17に示すように、基台11に、2点鎖線で示す領域に冷却機能を有するペルチェ素子112を取り付ける。また、第1の円筒136には2点鎖線で示す領域に発熱
機能を有するチップ抵抗139を取り付ける。
このような構成とすることにより、同様に、半導体レーザとSHG素子を熱的に遮断し、半導体レーザとSHG素子を最適な温度に保つように温度管理をすることが可能となる。
本例においても、第3の円筒138に、実施例1、2で説明した窓が形成されていても差支えがない。
11 基台
12 半導体レーザ
13a、13b、13c フランジ
14 SHG素子ホルダ
15 SHG素子
16 キャップ
17 フィルタ
18 ハーメチックシール
19 リード線
20 支持台
21 ブロック
22 半導体レーザ
111 平面部
112 ペルチェ素子
120 レーザ光
121 焦点
131 胴部
132 フランジ部
133 ガイド孔
134 窓部
135 フランジ孔
136 第1の円筒
137 第2の円筒
138 第3の円筒
139 チップ抵抗
140 溝
141 底面
142 側壁
150 光導波路
151 入射口
152 左側面
153 裏面
161 孔
162 フランジ部
201 平面部
202 隔壁
220 発光点
Claims (21)
- レーザ素子と非線形光学結晶素子とを有し、前記レーザ素子のレーザ光を前記非線形光学素子で波長変換して出射するレーザ光源において、
前記レーザ素子が固定される基台と、
前記非線形光学結晶素子を保持する第1の保持部材と、
前記基台に載置され、前記第1の保持部材を保持する第2の保持部材と、を備え、
前記基台は、前記第2の保持部材を前記レーザ光の出射方向に垂直な方向に案内するための第1の案内部を有し、
前記第2の保持部材は、前記第1の保持部材を前記レーザ光の出射方向に平行な方向に案内するための第2の案内部を有する
ことを特徴とするレーザ光源。 - 前記基台は、前記第1の案内部として、前記レーザ光の出射方向に垂直な平面部を有し、
前記第2の保持部材は、前記平面部に接触して固定された
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ光源。 - レーザ素子と非線形光学結晶素子とを有し、前記レーザ素子のレーザ光を前記非線形光学素子で波長変換して出射するレーザ光源において、
前記レーザ素子が固定される基台と、
前記非線形光学結晶素子を保持する第1の保持部材と、
前記第1の保持部材を保持する第2の保持部材と、
前記基台に載置され、前記第2の保持部材を支持する支持部材と、を備え、
前記第2の保持部材は、前記第1の保持部材を前記レーザ光の出射方向に平行な方向に案内するための第2の案内部を有し、
前記支持部材は、前記第2の保持部材を前記レーザ光の出射方向に垂直な方向に案内するための第3の案内部を有する
ことを特徴とするレーザ光源。 - 前記支持部材は、前記第3の案内部として、前記レーザ光の出射方向に垂直な平面部を有し、
前記第2の保持部材は、前記支持部材の前記平面部に接触して固定された
ことを特徴とする請求項3に記載のレーザ光源。 - 前記第2の保持部材は、前記第2の案内部として、前記第1の保持部材と嵌合する筒部を有し、
前記第1の保持部材は、前記筒部に接触して収納された
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のレーザ光源。 - 前記第2の保持部材は、前記レーザ素子の発光部に応じた位置に開口部を有する
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のレーザ光源。 - 前記非線形光学素子は、光導波路が形成された
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項記載のレーザ光源。 - 前記レーザ素子の出射光は、前記光導波路に直接結合する
ことを特徴とする請求項7に記載のレーザ光源。 - 前記レーザ光は、前記レーザ素子の発光部に設けられたレンズを介して前記光導波路に
結合する
ことを特徴とする請求項7に記載のレーザ光源。 - 前記第1の保持部材と前記第2の保持部材、および、前記基台と前記第2の保持部材がそれぞれレーザ溶接で固定された
ことを特徴とする請求項1または2に記載のレーザ光源。 - 前記第1の保持部材と前記第2の保持部材、および、前記支持部材と前記第2の保持部材がそれぞれレーザ溶接で固定された
ことを特徴とする請求項9または10に記載のレーザ光源。 - 前記支持部材は、前記レーザ素子と前記第2の保持部材との間に隔壁を有する
ことを特徴とする請求項9または10に記載のレーザ光源。 - 前記第2の保持部材は、第1から第3の円筒から構成され、
前記第2の円筒部が、断熱性の材質で形成された
ことを特徴とする請求項1から12のいずれか1項に記載のレーザ光源。 - レーザ素子が固定された基台と、非線形光学結晶素子を保持する第1の保持部材と、前記基台に載置され、前記第1の保持部材を保持する第2の保持部材と、を備え、前記レーザ素子のレーザ光を前記非線形光学素子で波長変換して出射するレーザ光源の調整方法であって、
前記レーザ光の出射方向をZ軸とし、Z軸に直交する平面で互いに直交する方向をそれぞれX軸、Y軸とし、
前記第1の保持部材を前記第2の保持部材に対して移動させて、前記レーザ素子に対する前記非線形光学結晶素子のZ軸方向の位置を調整するZ軸調整工程と、
前記第2の保持部材を前記基台に対して移動させて、前記レーザ素子に対する前記非線形光学結晶素子のX軸方向およびY軸方向の位置を調整するX軸−Y軸調整工程と、を備える
ことを特徴とするレーザ光源の調整方法。 - レーザ素子が固定された基台と、非線形光学結晶素子を保持する第1の保持部材と、前記第1の保持部材を保持する第2の保持部材と、前記基台に載置され、前記第2の保持部材を支持する支持部材と、を備え、前記レーザ素子のレーザ光を前記非線形光学素子で波長変換して出射するレーザ光源の調整方法であって、
前記レーザ光の出射方向をZ軸とし、Z軸に直交する平面で互いに直交する方向をそれぞれX軸、Y軸とし、
前記第1の保持部材を前記第2の保持部材に対して移動させて、前記レーザ素子に対する前記非線形光学結晶素子のZ軸方向の位置を調整するZ軸調整工程と、
前記第2の保持部材を前記支持部材に対して移動させて、前記レーザ素子に対する前記非線形光学結晶素子のX軸方向およびY軸方向の位置を調整するX軸−Y軸調整工程と、を備える
ことを特徴とするレーザ光源の調整方法。 - 前記第2の保持部材を前記第1の保持部材に対して持ち上げて、前記非線形光学結晶の下端が見える状態で前記Z軸調整工程を行う
ことを特徴とする請求項14または15に記載のレーザ光源の調整方法。 - 前記Z軸調整工程は、前記非線形光学結晶素子のZ軸方向の位置を粗調整するZ軸粗調整工程と、前記Z軸粗調整工程の後、前記非線形光学結晶素子のZ軸方向の位置を微調整
するZ軸微調整工程と、を有する
ことを特徴とする請求項14から16のいずれか1項に記載のレーザ光源の調整方法。 - 前記X軸−Y軸調整工程は、前記非線形光学結晶素子のX軸方向およびY軸方向の位置を粗調整するX軸―Y軸粗調整工程と、前記X軸−Y軸粗調整工程の後、前記非線形光学結晶素子のX軸方向およびY軸方向の位置を微調整するX軸−Y軸微調整工程と、を有する
ことを特徴とする請求項14から16のいずれか1項に記載のレーザ光源の調整方法。 - 前記Z軸粗調整工程および前記X軸−Y軸粗調整工程の後、前記Z軸微調整工程および前記X軸−Y軸微調整工程を行う
ことを特徴とする請求項18に記載のレーザ光源の調整方法。 - 前記Z軸調整工程の後、前記第1の保持部材と前記第2の保持部材をレーザ溶接で固定し、
前記X軸−Y軸調整工程の後、前記基台と前記第2の保持部材をレーザ溶接で固定する
ことを特徴とする請求項14に記載のレーザ光源の調整方法。 - 前記Z軸調整工程の後、前記第1の保持部材と前記第2の保持部材をレーザ溶接で固定し、
前記X軸−Y軸調整工程の後、前記支持部材と前記第2の保持部材をレーザ溶接で固定する
ことを特徴とする請求項14に記載のレーザ光源の調整方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012185435A (ja) * | 2011-03-08 | 2012-09-27 | Citizen Holdings Co Ltd | 光装置 |
EP2560253A2 (en) | 2011-08-19 | 2013-02-20 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Laser Light Source |
US9516773B2 (en) | 2013-11-11 | 2016-12-06 | Seiko Epson Corporation | Lid body, package, electronic apparatus, moving object, and method for manufacturing package |
JP2021120765A (ja) * | 2016-07-12 | 2021-08-19 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | リソグラフィ光学部品の調節及びモニタリング |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0484481A (ja) * | 1990-07-27 | 1992-03-17 | Ibiden Co Ltd | 半導体レーザ装置 |
WO2008126467A1 (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Konica Minolta Opto, Inc. | 第二次高調波光発生装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61236174A (ja) * | 1985-04-12 | 1986-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | 微小発光源モジユ−ル |
NL8600674A (nl) * | 1986-03-17 | 1987-10-16 | Philips Nv | Samenstel van een hermetisch gesloten huis met een opto-elektronische lichtbron en een lichtgeleidende vezel en werkwijze voor de vervaardiging daarvan. |
JPS63182616A (ja) * | 1987-01-23 | 1988-07-27 | Toshiba Corp | 光フアイバ−結合装置 |
JPH0375710A (ja) * | 1989-08-18 | 1991-03-29 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置とその製造方法 |
JPH05160510A (ja) * | 1991-12-06 | 1993-06-25 | Nec Corp | 半導体レーザ装置 |
JP2007263106A (ja) * | 2006-03-03 | 2007-10-11 | Daikin Ind Ltd | 圧縮機 |
-
2009
- 2009-07-02 JP JP2009157675A patent/JP5410863B2/ja active Active
-
2013
- 2013-11-07 JP JP2013231123A patent/JP5669919B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0484481A (ja) * | 1990-07-27 | 1992-03-17 | Ibiden Co Ltd | 半導体レーザ装置 |
WO2008126467A1 (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Konica Minolta Opto, Inc. | 第二次高調波光発生装置及びその製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012185435A (ja) * | 2011-03-08 | 2012-09-27 | Citizen Holdings Co Ltd | 光装置 |
EP2560253A2 (en) | 2011-08-19 | 2013-02-20 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Laser Light Source |
US9136669B2 (en) | 2011-08-19 | 2015-09-15 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Laser light source |
US9516773B2 (en) | 2013-11-11 | 2016-12-06 | Seiko Epson Corporation | Lid body, package, electronic apparatus, moving object, and method for manufacturing package |
JP2021120765A (ja) * | 2016-07-12 | 2021-08-19 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | リソグラフィ光学部品の調節及びモニタリング |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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