JP2010258311A - プリント配線基板の製造方法 - Google Patents
プリント配線基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010258311A JP2010258311A JP2009108501A JP2009108501A JP2010258311A JP 2010258311 A JP2010258311 A JP 2010258311A JP 2009108501 A JP2009108501 A JP 2009108501A JP 2009108501 A JP2009108501 A JP 2009108501A JP 2010258311 A JP2010258311 A JP 2010258311A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring board
- printed wiring
- manufacturing
- layer
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】シード層の形成や除去といったメタライズ処理を実行することなく、安価に精度よく回路パターンを形成するプリント配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】導電性を有し少なくとも互いに剥離可能に接着された金属箔2と金属極薄箔3とからなるピーラブル銅箔5の表面にドライフィルム12をラミネートし(ステップ3:S3)、所望の配線パターン8に対応するパターンのマスクをして、ドライフィルム12を露光、現像し、配線パターン8が形成される位置13のドライフィルム12を除去する(ステップ4:S4)。次に、電気めっきにより、銅からなる金属層14を形成する(ステップ5:S5)。そして、ピーラブル銅箔5の表面に残されたドライフィルム12を剥離し除去する(ステップ6:S6)ことより、所望の配線パターン8が形成される。
【選択図】図2
【解決手段】導電性を有し少なくとも互いに剥離可能に接着された金属箔2と金属極薄箔3とからなるピーラブル銅箔5の表面にドライフィルム12をラミネートし(ステップ3:S3)、所望の配線パターン8に対応するパターンのマスクをして、ドライフィルム12を露光、現像し、配線パターン8が形成される位置13のドライフィルム12を除去する(ステップ4:S4)。次に、電気めっきにより、銅からなる金属層14を形成する(ステップ5:S5)。そして、ピーラブル銅箔5の表面に残されたドライフィルム12を剥離し除去する(ステップ6:S6)ことより、所望の配線パターン8が形成される。
【選択図】図2
Description
本発明は、プリント配線基板の製造方法に関するものである。特に、可撓性のあるプリント配線基板の製造方法に関するものである。
近年、携帯電話、デジタルカメラ、液晶ディスプレイに代表される電子機器においては、小型化、薄肉化、高機能化の要請から、これら電子機器に搭載される半導体チップ等の電子デバイスを実装する基板として可撓性を有するフレキシブルプリント配線基板が用いられている。
従来、フレキシブルプリント配線基板としては、例えば、ポリイミド、液晶ポリマー、アラミド、ガラスエポキシ、ポリエステル等の絶縁フィルムの両面に銅箔層が積層されたものを基材として用いて製造されたプリント配線基板が知られている。このプリント配線基板は、絶縁フィルムの両面の銅箔層間を電気的に導通するために一方の銅箔層から他方の銅箔層に貫通する孔を形成するとともに、この孔の側面に銅めっきを施し、両銅箔層にエッチング処理を行うことにより所望の導体パターンを形成している(例えば、特許文献1を参照)。
また、微細な線幅や線間ピッチの配線から成る配線パターン、いわゆるファインパターンを実現するためには、シード層を設け、該シード層を給電層として電気めっきにて、該シード層上に導電金属を析出成長させる配線の形成方法も提案されている(例えば、特許文献2を参照)。
上記特許文献1に記載のプリント配線基板では、基材として絶縁フィルムの表面に銅箔層が積層されたものを用いているため、絶縁フィルムの両面の銅箔層間を電気的に導通するための孔を設けなければならず、この孔はレーザ加工により形成されている。しかしながら、このレーザ加工はコストが高く、また、レーザ加工後に孔およびその周辺に付着したスミヤ(削りかす)をアルカリ系デスミア処理により除去しなければならず、工数およびコストがかかるという問題があった。ここで、ドリルにより孔を形成することも行われているが、この場合の孔径は150μmが限界であり、ファインピッチが要求されるプリント配線基板には向かない。
また、このようなプリント配線基板の製造工程においては、ロール状に巻いた長尺の基材を送り出し搬送させる過程で、回路パターンを形成し、再びロール状に巻き取るロールツーロール方式が導入されているが、上記特許文献1に記載のプリント配線基板において、このロールツーロール方式を用いた場合、基材としてポリイミド等の絶縁フィルムの表面に銅箔層が積層されたものを用いているため、ロール間でのテンションのかかり具合によって伸縮して寸法変形が生じ、回路パターンの形成位置がずれるという問題があった。
さらに、上記特許文献1に記載のプリント配線基板では、薄型化した場合に、基板としての剛性が低下し、半導体チップ等の電子デバイスを接合する際等の取り扱いが困難になるという問題があった。
また、上記特許文献2に記載の配線の形成方法では、配線パターンを形成するためにシード層を形成する工程を実行しなければならず、工数およびコストがかかるという問題があった。
そこで、本発明は、以上のような問題点を解決するためになされたもので、シード層の形成や除去といったメタライズ処理を実行することなく、安価に精度よく回路パターンを形成するプリント配線基板の製造方法を提供することを目的とする。
上述した従来の問題点を解決すべく下記の発明を提供する。
本発明の第1の態様にかかるプリント配線基板の製造方法は、(a)導電性を有し少なくとも互いに剥離可能に接着された金属箔と金属極薄箔とからなるキャリア層の前記金属極薄箔の表面に、電気めっきにより金属層を形成し、配線パターンを形成する配線パターン形成工程と、(b)前記キャリア層の前記金属極薄箔及び前記配線パターンの表面に、外部電極と接続するための外部接続電極が形成される位置を除いて絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、(c)前記配線パターンの表面であって前記絶縁層が形成されていない位置に、電気めっきにより、前記外部接続電極を形成する外部接続電極形成工程と、(d)前記キャリア層を除去した後に、前記配線パターンの裏面の所定位置に、電子デバイスと電気的に接続する電子デバイス接続電極を形成する電子デバイス接続電極形成工程と、を備えていることを特徴とする。
本発明の第1の態様にかかるプリント配線基板の製造方法は、(a)導電性を有し少なくとも互いに剥離可能に接着された金属箔と金属極薄箔とからなるキャリア層の前記金属極薄箔の表面に、電気めっきにより金属層を形成し、配線パターンを形成する配線パターン形成工程と、(b)前記キャリア層の前記金属極薄箔及び前記配線パターンの表面に、外部電極と接続するための外部接続電極が形成される位置を除いて絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、(c)前記配線パターンの表面であって前記絶縁層が形成されていない位置に、電気めっきにより、前記外部接続電極を形成する外部接続電極形成工程と、(d)前記キャリア層を除去した後に、前記配線パターンの裏面の所定位置に、電子デバイスと電気的に接続する電子デバイス接続電極を形成する電子デバイス接続電極形成工程と、を備えていることを特徴とする。
本発明の第2の態様にかかるプリント配線基板の製造方法は、本発明の第1の態様にかかるプリント配線基板の製造方法の前記電子デバイス接続電極形成工程において、前記キャリア層を除去する前に、絶縁フィルムを前記絶縁層及び前記外部接続電極の表面に貼り付け、前記電子デバイス接続電極を形成した後に、前記絶縁フィルムを剥離することを特徴とする。
本発明の第3の態様にかかるプリント配線基板の製造方法は、本発明の第1または第2の態様にかかるプリント配線基板の製造方法において、前記金属層が、銅からなることを特徴とする。
本発明の第4の態様にかかるプリント配線基板の製造方法は、本発明の第1または第2の態様にかかるプリント配線基板の製造方法において、前記金属層が、前記金属極薄箔の表面に形成したニッケルまたはスズ−銀合金からなる第1金属層と、前記第1金属層の表面に形成した銅からなる第2金属層と、を有していることを特徴とする。
本発明の第5の態様にかかるプリント配線基板の製造方法は、本発明の第1から第4のいずれか1つの態様にかかるプリント配線基板の製造方法において、前記外部接続電極が、前記配線パターンの表面に形成したニッケルからなる第1電極層と、前記第1電極層の表面に形成した金からなる第2電極層と、を有していることを特徴とする。
本発明の第6の態様にかかるプリント配線基板の製造方法は、本発明の第1から第4のいずれか1つの態様にかかるプリント配線基板の製造方法において、前記外部接続電極が、前記配線パターンの表面に形成した銅からなる第1電極層と、前記第1電極層の表面に形成したニッケルからなる第2電極層と、前記第2電極層の表面に形成した金からなる第3電極層と、を有していることを特徴とする。
本発明の第7の態様にかかるプリント配線基板の製造方法は、本発明の第1から第4のいずれか1つの態様にかかるプリント配線基板の製造方法において、前記外部接続電極が、前記配線パターンの表面に形成した銅からなる第1電極層と、前記第1電極層の表面に形成したスズ−銀合金からなる第2電極層と、を有していることを特徴とする。
本発明の第8の態様にかかるプリント配線基板の製造方法は、本発明の第1から第7のいずれか1つの態様にかかるプリント配線基板の製造方法において、前記キャリア層が、前記プリント配線基板の製造においてかかる負荷により寸法変形が生じない厚みを有することを特徴とする。
本発明の第9の態様にかかるプリント配線基板の製造方法は、本発明の第1から第8のいずれか1つの態様にかかるプリント配線基板の製造方法において、前記金属箔と前記金属極薄箔とは、銅からなることを特徴とする。
本発明の第10の態様にかかるプリント配線基板の製造方法は、本発明の第1から第9のいずれか1つの態様にかかるプリント配線基板の製造方法において、前記キャリア層が、厚みが18μm以上70μm以下であることを特徴とする。
本発明の第11の態様にかかるプリント配線基板の製造方法は、本発明の第1から第10のいずれか1つの態様にかかるプリント配線基板の製造方法において、前記金属極薄箔が、厚みが1〜10μmであることを特徴とする。
本発明の第12の態様にかかるプリント配線基板の製造方法は、本発明の第1から第11のいずれか1つの態様にかかるプリント配線基板の製造方法において、前記電子デバイス接続電極が、金属バンプであることを特徴とする。
本発明によれば、プリント配線基板として使用される際には、キャリア層は除去されるものであるが、その製造工程においては基材としても機能するため、レーザ加工により電気的導通のための孔を形成する必要がなく、また、キャリア層の表面に電気めっきにより配線パターンを形成するためにシード層の形成や除去といったメタライズ処理の工程を実行する必要がなく、プリント配線基板を安価に製造することができる。また、キャリア層は弾性率の高い金属箔により形成されているため、プリント配線基板の製造工程において負荷がかかっても、伸縮して寸法変形が生じることがなく、回路パターンの形成精度の高いプリント配線基板を製造することができる。
以下に本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板の製造方法によって製造されたプリント配線基板の一例を模式的に示した断面図である。図2は、本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板の製造方法の配線パターン形成工程までを説明するための図である。図3は、本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板の製造方法の配線パターン形成工程後の外部接続電極形成工程までを説明するための図である。図4は、本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板の製造方法の外部接続電極形成工程後の工程を説明するための図である。尚、本実施形態に係るプリント配線基板の製造方法は、ロール状に巻いた長尺の基材を送り出し搬送させる過程で、回路パターンを形成し、再びロール状に巻き取るロールツーロール方式による製造方法である。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板の製造方法によって製造されたプリント配線基板の一例を模式的に示した断面図である。図2は、本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板の製造方法の配線パターン形成工程までを説明するための図である。図3は、本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板の製造方法の配線パターン形成工程後の外部接続電極形成工程までを説明するための図である。図4は、本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板の製造方法の外部接続電極形成工程後の工程を説明するための図である。尚、本実施形態に係るプリント配線基板の製造方法は、ロール状に巻いた長尺の基材を送り出し搬送させる過程で、回路パターンを形成し、再びロール状に巻き取るロールツーロール方式による製造方法である。
図1に示すように、本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板の製造方法によって製造されるプリント配線基板1は、絶縁層7と、銅からなる金属層14によって形成した所望の配線パターン8とを有している。また、配線パターン8の表面の所望の位置には、外部電極と接続するための外部接続電極6が形成されている。また、外部接続電極6が形成されていない配線パターン8の表面には、絶縁層7が形成されている。この外部接続電極6は、配線パターン8の表面よりニッケルと金がこの順に積層して形成されているがこれに限定されず、例えば、外部接続電極6は、配線パターン8の表面より銅とニッケルと金がこの順に積層して形成されていても良いし、配線パターン8の表面より銅とスズ−銀合金がこの順に積層して形成されていても良い。しかしながら、半田接合信頼性の観点からは、金およびニッケルにより形成されることが好ましい。
また、配線パターン8の裏面の所望の位置には、半導体チップ等の電子デバイスと電気的に接続する電子デバイス接続電極として、スズ−銀合金からなりフリップチップ接続するためのバンプ10が形成されており、外部接続電極6とバンプ10とが、配線パターン8により導通されるようになっている。なお、電子デバイス接続電極はバンプ10により構成されていなくてもよく、例えば、金めっきにより形成されたワイヤボンディング用端子であっても良い。
次に、図2から図4を参照して、本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板の製造方法について詳細を説明する。
図2に示すように、まず、金属箔である銅箔2に剥離層3を介して金属極薄箔である極薄銅箔4が接着されたプリント配線基板1のキャリア層であるピーラブル銅箔5を用意し(ステップ1:S1)、ピーラブル銅箔5の長手方向両端部に、ピーラブル銅箔5を送り出し搬送するローラに係止するための穴11をパンチングにより所定間隔で開ける(ステップ2:S2)。
本実施形態において、ピーラブル銅箔5は、厚みが35μmの銅箔2の片面に電気めっきにより、Cr、Ni、Co、Fe、Mo、Ti、W、Pまたは/及びこれらの合金層またはこれらの水和酸化物からなる層、または有機被膜からなる剥離層3を形成し、その表面に、硫酸銅めっき浴、シアン化銅めっき浴、ほうフッ化銅めっき浴、ピロリン酸銅めっき浴、スルファミン酸銅めっき浴等により、厚みが5μmの極薄銅箔4を形成したものである。このようなピーラブル銅箔5として、例えば、キャリア付極薄箔F−DP箔5/35(古河サーキットフォイル株式会社、商品名)を用いることができる。
次に、ピーラブル銅箔5の表面にドライフィルム12をラミネートし(ステップ3:S3)、所望の配線パターン8に対応するパターンのマスクをして、ドライフィルム12を露光、現像し、配線パターン8が形成される位置13のドライフィルム12を除去する(ステップ4:S4)。次に、電気めっきにより、銅からなる金属層14を形成する(ステップ5:S5)。そして、ピーラブル銅箔5の表面に残されたドライフィルム12を剥離し除去する(ステップ6:S6)ことより、所望の配線パターン8が形成される。
なお、上記ステップ3からステップ6までの工程は、特許請求の範囲に記載の配線パ
ターン形成工程を構成する。
ターン形成工程を構成する。
次に、図3に示すように、ピーラブル銅箔5及び配線パターン8の表面に厚さ10〜50μmの感光性カバーレイ15をラミネートする(ステップ7:S7)。そして、外部接続電極6(図1参照)に対応するパターンのマスクをして、感光性カバーレイ15を露光、現像し、外部接続電極6が形成される位置16の感光性カバーレイ15を除去し、さらにUVキュア、加熱キュアの処理を行うことにより感光性カバーレイ15を完全に硬化させる(ステップ8:S8)。これにより、ピーラブル銅箔5及び配線パターン8の表面には、絶縁層7が形成される。なお、上記ステップ7およびステップ8の工程は、特許請求の範囲に記載の絶縁層形成工程を構成する。
次に、電気めっきにより、配線パターン8の表面にニッケルの第1電極層6aを形成し、該第1電極層6aの表面に金の第2電極層6bを形成する(ステップ9:S9)ことにより、第1電極層6aと第2電極層6bとからなる外部接続電極6が形成される。なお、このステップ9の工程は、特許請求の範囲に記載の外部接続電極形成工程を構成する。
次に、図4に示すように、絶縁層7及び外部接続電極6の表面に、絶縁フィルム17を貼り付ける(ステップ10:S10)。そして、ピーラブル銅箔5の銅箔2を剥離層3とともに剥離し(ステップ11:S11)、ピーラブル銅箔5の極薄銅箔4をエッチングにて除去する(ステップ12:S12)。上記ステップ10における絶縁フィルム17の貼り付けは、ステップ11及びステップ12によってピーラブル銅箔5を除去した後の製造工程における寸法安定性を補強のための処理である。
次に、配線パターン8および絶縁層7の表面にドライフィルム18をラミネートし、バンプ10を形成する位置19に対応するパターンのマスクをして、このドライフィルム16を露光、現像し、バンプ10が形成される位置19のドライフィルム18を除去する(ステップ13:S13)。次に、バンプ10が形成される位置19に、電気めっきによりスズ−銀合金層を形成し、配線パターン8および絶縁層7の表面に残されたドライフィルム18を剥離し除去する(ステップ14:S14)ことにより、バンプ10が形成される。なお、ステップ10乃至ステップ14は、特許請求の範囲に記載の電子デバイス接続端子形成工程を構成する。また、バンプ10は、特許請求の範囲に記載の電子デバイス接続端子に相当する。
最後に、絶縁フィルム17を剥離し除去することにより、本実施形態によるプリント配線基板1が形成される(ステップ15:S15)。
なお、本実施形態では、金属箔として銅箔2を用いたが、これに限定されるものではなく、アルミニウム箔、アルミニウム合金箔、ステンレス鋼箔、チタン箔、チタン合金箔、銅合金箔等が使用可能である。しかしながら、コスト軽減の点から、電解銅箔、電解銅合金箔、圧延銅箔または圧延銅合金箔を用いることが好ましい。また、金属箔は、除去後は不要となるため、環境負荷軽減の観点から、リサイクルが容易な銅箔2やアルミニウム箔を用いることが好ましい。また、金属極薄箔として極薄銅箔4を用いたが、これに限定されるものではなく、例えばニッケルを使用することもできる。しかしながら、金属極薄箔の表面には電気めっきにより、外部接続電極6が形成されることから、金属極薄箔としてニッケルを用いた場合、表面の酸化物の除去が困難であり金属めっきが施しにくくなるため、銅を用いることが好ましい。
また、本実施形態では、厚みが35μmの銅箔2および厚みが5μmの極薄銅箔4を用いたが、これに限定されるものではなく、キャリア層全体として、製造工程においてかかる負荷により寸法変形が生じることがない最小の厚みとすることが好ましい。これにより、製造工程においてかかる負荷により寸法変形が生じることがなく、精度よく回路パターンを形成することができる。例えば、ロールツーロール方式の製造工程中にかかるテンションが約50N以内で、金属箔および金属極薄箔が銅からなる場合は、キャリア層全体の厚みが18μm以上であれば、銅の弾性限界を超えることはないが、70μmを超えるとロールへの巻取りが困難になるため、18μm以上70μm以下となるようにすると良く、30μm以上35μm以下とすることがより好ましい。
また、本実施形態においては、極薄銅箔4の厚みは5μmとしたが、1〜10μmとしても良い。金属極薄箔は、金属箔を除去した後に、エッチングにより全て除去されるため、1〜10μmとすることにより、除去処理時間が削減される。また、金属箔をリサイクルする場合、このリサイクル可能な金属箔の厚みを大きくし、金属極薄箔の厚みを極力小さくすることにより環境負荷が削減できる。
また、本実施形態のステップ9の工程において、外部接続電極6は、ニッケルの第1電極層6aと金の第2電極層6bとからなる2層構造を有しているが、配線パターン8の表面に銅からなる第1電極層を形成し、該第1電極層の表面にニッケルの第2電極層を形成し、該第2電極層の表面に金の第3電極層を形成した3層構造の外部接続電極6を形成しても良い。また、配線パターン8の表面に銅からなる第1電極層を形成し、該第1電極層の表面にスズ−銀合金の第2電極層を形成した2層構造の外部接続電極6を形成しても良い。
また、本実施形態による製造されるプリント配線基板1は、フレキシブルプリント基板、フラットパネルディスプレイ(FPD)のチップ・オン・フィルム(COF)、インターポーザ等として、使用される。なお、外部接続電極6に、マトリックス状に半田ボールを形成し、この半田ボールを介して外部電極と接続させるようにしても良い。
以上より、本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板1の製造方法において、プリント配線基板として使用される際には、キャリア層であるピーラブル銅箔5は除去されるものであるが、その製造工程においては基材としても機能するため、レーザ加工により電気的導通のための孔を形成する必要がなく、また、ピーラブル銅箔5の表面に電気めっきにより配線パターンを形成するためにシード層の形成や除去といったメタライズ処理の工程を実行する必要がなく、プリント配線基板1を安価に製造することができる。また、キャリア層として弾性率の高いピーラブル銅箔5を用いているため、製造工程において負荷がかかっても、伸縮して寸法変形が生じることがなく、回路パターンの形成精度が高いプリント配線基板1を製造することができる。
次に、本発明の第2の実施形態に係るプリント配線基板20の製造方法について、図5及び図6を参照して説明する。本発明の第2の実施形態に係るプリント配線基板20の製造方法は、配線パターン8がニッケルからなる第1金属層14aと銅からなる第2金属層14bとがこの順に積層された金属層14Aによって形成される点で、上記の本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板1の製造方法と異なる。従って、本発明の第2の実施形態に係るプリント配線基板20の製造方法は、上記の本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板1の製造方法の各工程において、配線パターン形成工程以外の工程は共通であるため、説明は省略する。なお、上記の本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板1の製造方法と同一構成のものには、同一符号を付して説明する。
図5は、本発明の第2の実施形態に係るプリント配線基板の製造方法によって製造されたプリント配線基板20の一例を模式的に示した断面図である。図6は、本発明の第2の実施形態に係るプリント配線基板20の製造方法における配線パターン形成工程を説明するための図である。
図5に示すように、本発明の第2の本実施形態に係るプリント配線基板の製造方法によって製造されるプリント配線基板20は、絶縁層7と、ニッケルからなる第1金属層14aと銅からなる第2金属層14bとがこの順に積層された金属層14Aによって形成した所望の配線パターン8とを有している。また、配線パターン8の表面の所望の位置には、外部電極と接続するための外部接続電極6が形成されている。また、外部接続電極6が形成されていない配線パターン8の表面には、絶縁層7が形成されている。また、配線パターン8の裏面の所望の位置には、半導体チップ等の電子デバイスと電気的に接続する電子デバイス接続電極として、スズ−銀合金からなりフリップチップ接続するためのバンプ10が形成されており、外部接続電極6とバンプ10とが、配線パターン8により導通されるようになっている。
次に、図6を参照して、本発明の第2の実施形態に係るプリント配線基板の製造方法における配線パターン形成工程について詳細を説明する。
図6に示すように、ステップ2(図2参照)によって所定間隔に穴11が開けられたピーラブル銅箔5の表面に、ドライフィルム12をラミネートし(ステップ3:S3)、所望の配線パターン8に対応するパターンのマスクをして、ドライフィルム12を露光、現像し、配線パターン8が形成される位置13のドライフィルム12を除去する(ステップ4:S4)。次に、電気めっきにより、ニッケルからなる第1金属層14aを形成する(ステップ5a:S5a)。次に、第1金属層14aの表面の酸化皮膜を除去するために酸洗した後、電気めっきにより、ニッケルからなる第1金属層14aの表面に、銅からなる第2金属14bを形成する(ステップ5b:S5b)。そして、ピーラブル銅箔5の表面に形成されたドライフィルム12を除去する(ステップ6:S6)ことにより、所望の配線パターン8が形成される。
配線パターン8をニッケルからなる第1金属層14aと銅からなる第2金属層14bとがこの順に積層された金属層14Aで形成することにより、図4に示すステップ12において、ピーラブル銅箔5の極薄銅箔4をエッチングして除去し、配線パターン8を露出させる作業が容易にできる。
以上より、本発明の第2の実施形態に係るプリント配線基板20の製造方法において、プリント配線基板として使用される際には、キャリア層であるピーラブル銅箔5は除去されるものであるが、その製造工程においては基材としても機能するため、レーザ加工により電気的導通のための孔を形成する必要がなく、また、ピーラブル銅箔5の表面に電気めっきにより配線パターンを形成するためにシード層の形成や除去といったメタライズ処理の工程を実行する必要がなく、プリント配線基板20を安価に製造することができる。また、キャリア層として弾性率の高いピーラブル銅箔5を用いているため、製造工程において負荷がかかっても、伸縮して寸法変形が生じることがなく、回路パターンの形成精度が高いプリント配線基板20を製造することができる。
次に、本発明の第3の実施形態に係るプリント配線基板30の製造方法について、図7及び図8を参照して説明する。本発明の第3の実施形態に係るプリント配線基板30の製造方法は、配線パターン8がスズ−銀合金からなる第1金属層14cと銅からなる第2金属層14bとがこの順に積層された金属層14Bによって形成される点で、上記の本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板1の製造方法及び上記の本発明の第2の実施形態に係るプリント配線基板20の製造方法と異なる。従って、本発明の第3の実施形態に係るプリント配線基板30の製造方法は、上記の本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板1の製造方法及び上記の本発明の第2の実施形態に係るプリント配線基板20の製造方法の各工程において、配線パターン形成工程以外の工程は共通であるため、説明は省略する。なお、上記の本発明の第1の実施形態に係るプリント配線基板1の製造方法及び上記の本発明の第2の実施形態に係るプリント配線基板20の製造方法と同一構成のものには、同一符号を付して説明する。
図7は、本発明の第3の実施形態に係るプリント配線基板の製造方法によって製造されたプリント配線基板30の一例を模式的に示した断面図である。図8は、本発明の第3の実施形態に係るプリント配線基板30の製造方法における配線パターン形成工程を説明するための図である。
図7に示すように、本発明の第3の本実施形態に係るプリント配線基板の製造方法によって製造されるプリント配線基板30は、絶縁層7と、スズ−銀合金からなる第1金属層14cと銅からなる第2金属層14bとがこの順に積層された金属層14Bによって形成した所望の配線パターン8とを有している。また、配線パターン8の表面の所望の位置には、外部電極と接続するための外部接続電極6が形成されている。また、外部接続電極6が形成されていない配線パターン8の表面には、絶縁層7が形成されている。また、配線パターン8の裏面の所望の位置には、半導体チップ等の電子デバイスと電気的に接続する電子デバイス接続電極として、スズ−銀合金からなりフリップチップ接続するためのバンプ10が形成されており、外部接続電極6とバンプ10とが、配線パターン8により導通されるようになっている。
次に、図8を参照して、本発明の第3の実施形態に係るプリント配線基板の製造方法における配線パターン形成工程について詳細を説明する。
図8に示すように、ステップ2(図2参照)によって所定間隔に穴11が開けられたピーラブル銅箔5の表面にドライフィルム12をラミネートし(ステップ3:S3)、所望の配線パターン8に対応するパターンのマスクをして、ドライフィルム12を露光、現像し、配線パターン8が形成される位置13のドライフィルム12を除去する(ステップ4:S4)。次に、電気めっきにより、スズ−銀合金からなる第1金属層14cを形成する(ステップ5c:S5c)。次に、電気めっきにより、スズ−銀合金からなる第1金属層14cの表面に、銅からなる第2金属14bを形成する(ステップ5d:S5d)。そして、ピーラブル銅箔5の表面に形成されたドライフィルム12を除去する(ステップ6:S6)ことにより、所望の配線パターン8が形成される。
配線パターン8をスズ−銀合金からなる第1金属層14cと銅からなる第2金属層14bとがこの順に積層された金属層14Bで形成することにより、図6のステップ5bにおいて、酸洗処理を行わずに銅からなる第2金属14bを形成することができる。また、図4のステップ12において、ピーラブル銅箔5の極薄銅箔4をエッチングして除去し、配線パターン8を露出させる作業が容易にできる。
以上より、本発明の第3の実施形態に係るプリント配線基板30の製造方法において、プリント配線基板として使用される際には、キャリア層であるピーラブル銅箔5は除去されるものであるが、その製造工程においては基材としても機能するため、レーザ加工により電気的導通のための孔を形成する必要がなく、また、ピーラブル銅箔5の表面に電気めっきにより配線パターンを形成するためにシード層の形成や除去といったメタライズ処理の工程を実行する必要がなく、プリント配線基板30を安価に製造することができる。また、キャリア層として弾性率の高いピーラブル銅箔5を用いているため、製造工程において負荷がかかっても、伸縮して寸法変形が生じることがなく、回路パターンの形成精度が高いプリント配線基板30を製造することができる。
1,20,30: プリント配線基板
2: 銅箔
3: 剥離層
4: 極薄銅箔
5: ピーラブル銅箔
6: 外部接続電極
7: 絶縁層
8: 配線パターン
10: バンプ
2: 銅箔
3: 剥離層
4: 極薄銅箔
5: ピーラブル銅箔
6: 外部接続電極
7: 絶縁層
8: 配線パターン
10: バンプ
Claims (12)
- (a)導電性を有し少なくとも互いに剥離可能に接着された金属箔と金属極薄箔とからなるキャリア層の前記金属極薄箔の表面に、電気めっきにより金属層を形成し、配線パターンを形成する配線パターン形成工程と、
(b)前記キャリア層の前記金属極薄箔及び前記配線パターンの表面に、外部電極と接続するための外部接続電極が形成される位置を除いて絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
(c)前記配線パターンの表面であって前記絶縁層が形成されていない位置に、電気めっきにより、前記外部接続電極を形成する外部接続電極形成工程と、
(d)前記キャリア層を除去した後に、前記配線パターンの裏面の所定位置に、電子デバイスと電気的に接続する電子デバイス接続電極を形成する電子デバイス接続電極形成工程と、
を備えていることを特徴とするプリント配線基板の製造方法。 - 前記電子デバイス接続電極形成工程において、前記キャリア層を除去する前に、絶縁フィルムを前記絶縁層及び前記外部接続電極の表面に貼り付け、前記電子デバイス接続電極を形成した後に、前記絶縁フィルムを剥離することを特徴とする請求項1に記載のプリント配線基板の製造方法。
- 前記金属層は、銅からなることを特徴とする請求項1または2に記載のプリント配線基板の製造方法。
- 前記金属層は、前記金属極薄箔の表面に形成したニッケルまたはスズ−銀合金からなる第1金属層と、前記第1金属層の表面に形成した銅からなる第2金属層と、を有していることを特徴とする請求項1または2に記載のプリント配線基板の製造方法。
- 前記外部接続電極は、前記配線パターンの表面に形成したニッケルからなる第1電極層と、前記第1電極層の表面に形成した金からなる第2電極層と、を有していることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のプリント配線基板の製造方法。
- 前記外部接続電極は、前記配線パターンの表面に形成した銅からなる第1電極層と、前記第1電極層の表面に形成したニッケルからなる第2電極層と、前記第2電極層の表面に形成した金からなる第3電極層と、を有していることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のプリント配線基板の製造方法。
- 前記外部接続電極は、前記配線パターンの表面に形成した銅からなる第1電極層と、前記第1電極層の表面に形成したスズ−銀合金からなる第2電極層と、を有していることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のプリント配線基板の製造方法。
- 前記キャリア層は、前記プリント配線基板の製造においてかかる負荷により寸法変形が生じない厚みを有することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のプリント配線基板の製造方法。
- 前記金属箔と前記金属極薄箔とは、銅からなることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載のプリント配線基板の製造方法。
- 前記キャリア層は、厚みが18μm以上70μm以下であることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のプリント配線基板の製造方法。
- 前記金属極薄箔は、厚みが1〜10μmであることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載のプリント配線基板の製造方法。
- 前記電子デバイス接続電極は、金属バンプであることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載のプリント配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009108501A JP2010258311A (ja) | 2009-04-27 | 2009-04-27 | プリント配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009108501A JP2010258311A (ja) | 2009-04-27 | 2009-04-27 | プリント配線基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010258311A true JP2010258311A (ja) | 2010-11-11 |
Family
ID=43318862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009108501A Pending JP2010258311A (ja) | 2009-04-27 | 2009-04-27 | プリント配線基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010258311A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190036965A (ko) * | 2017-09-28 | 2019-04-05 | 삼성전기주식회사 | 리지드 플렉서블 인쇄회로기판, 디스플레이 장치 및 리지드 플렉서블 인쇄회로기판의 제조방법 |
CN110177434A (zh) * | 2019-02-20 | 2019-08-27 | 淳华科技(昆山)有限公司 | 软性线路板揭盖设备 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09266267A (ja) * | 1996-03-28 | 1997-10-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 転写配線支持部材及びそれを使用した半導体パッケージの製造法 |
JPH10178271A (ja) * | 1996-12-19 | 1998-06-30 | Dainippon Printing Co Ltd | 多層配線基板の製造方法および多層配線基板 |
JPH11317423A (ja) * | 1998-05-01 | 1999-11-16 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体装置 |
JP2001156121A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-06-08 | Furukawa Electric Co Ltd:The | バンプ付き二層回路テープキャリアおよびその製造方法 |
JP2002158313A (ja) * | 2000-09-08 | 2002-05-31 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2006295114A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-10-26 | Hitachi Cable Ltd | 電子装置用基板およびその製造方法、ならびに電子装置およびその製造方法 |
JP2009033082A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-02-12 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体用接着フィルム、これを用いた半導体パッケージ用基板及び半導体装置並びに半導体装置の製造方法 |
-
2009
- 2009-04-27 JP JP2009108501A patent/JP2010258311A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09266267A (ja) * | 1996-03-28 | 1997-10-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 転写配線支持部材及びそれを使用した半導体パッケージの製造法 |
JPH10178271A (ja) * | 1996-12-19 | 1998-06-30 | Dainippon Printing Co Ltd | 多層配線基板の製造方法および多層配線基板 |
JPH11317423A (ja) * | 1998-05-01 | 1999-11-16 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体装置 |
JP2001156121A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-06-08 | Furukawa Electric Co Ltd:The | バンプ付き二層回路テープキャリアおよびその製造方法 |
JP2002158313A (ja) * | 2000-09-08 | 2002-05-31 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2006295114A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-10-26 | Hitachi Cable Ltd | 電子装置用基板およびその製造方法、ならびに電子装置およびその製造方法 |
JP2009033082A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-02-12 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体用接着フィルム、これを用いた半導体パッケージ用基板及び半導体装置並びに半導体装置の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190036965A (ko) * | 2017-09-28 | 2019-04-05 | 삼성전기주식회사 | 리지드 플렉서블 인쇄회로기판, 디스플레이 장치 및 리지드 플렉서블 인쇄회로기판의 제조방법 |
JP2019068034A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-25 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | リジッドフレキシブルプリント回路基板、ディスプレイ装置及びリジッドフレキシブルプリント回路基板の製造方法 |
KR102494328B1 (ko) * | 2017-09-28 | 2023-02-02 | 삼성전기주식회사 | 리지드 플렉서블 인쇄회로기판, 디스플레이 장치 및 리지드 플렉서블 인쇄회로기판의 제조방법 |
CN110177434A (zh) * | 2019-02-20 | 2019-08-27 | 淳华科技(昆山)有限公司 | 软性线路板揭盖设备 |
CN110177434B (zh) * | 2019-02-20 | 2021-11-23 | 淳华科技(昆山)有限公司 | 软性线路板揭盖设备 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7198989B2 (en) | Method of producing a COF flexible printed wiring board | |
US20030179552A1 (en) | Printed circuit board and method of producing the same | |
KR100689681B1 (ko) | 필름기판 및 그 제조방법과 화상표시용 기판 | |
US20060220242A1 (en) | Method for producing flexible printed wiring board, and flexible printed wiring board | |
US20060124345A1 (en) | Method for manufacturing board with built-in device and board with built-in device and method for manufacturing printed wiring board and printed wiring board | |
JP2009135184A (ja) | 配線基板及びその製造方法 | |
US20100147559A1 (en) | Carrier used in the manufacture of substrate and method of manufacturing substrate using the carrier | |
US20160255717A1 (en) | Multilayer wiring board | |
JP2007067031A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
KR20100006575A (ko) | 전자 부품 실장용 적층 필름, 전자 부품 실장용 필름 캐리어 테이프 및 반도체 장치 | |
KR100861246B1 (ko) | Cof필름 캐리어 테이프 및 그 제조 방법 | |
JP2010258311A (ja) | プリント配線基板の製造方法 | |
WO2010018790A1 (ja) | マルチ導通部を有する多層積層回路基板 | |
JP3555502B2 (ja) | Cof用tabテープキャリアの製造方法 | |
JP2010141126A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2009277987A (ja) | 電子部品実装用フィルムキャリアテープ、その製造方法、および、半導体装置 | |
JP4974181B2 (ja) | キャリア付きプリント配線基板およびその製造方法 | |
JP4219266B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2001267376A (ja) | Fpcの製造方法及び表示装置 | |
JP2012018952A (ja) | プリント配線基板、半導体装置、プリント配線基板の製造方法及び半導体装置の製造方法 | |
JP2010123703A (ja) | キャリア付きプリント配線基板およびその製造方法 | |
JP2009177071A (ja) | ポリイミドフィルム回路基板およびその製造方法 | |
JP3709452B2 (ja) | Cofフィルムキャリアテープの製造方法 | |
JP2010262960A (ja) | インターポーザ及び半田接合部の接合構造 | |
JP3829800B2 (ja) | 半導体チップ搭載用フィルムキャリア及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20120201 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20130109 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130215 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20130802 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |