JP2010257956A - セラミックヒータ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発明のセラミックヒータの製造方法は、窒化アルミニウム粉末を主体とし希土類酸化物粉末を0.03〜1重量%含む低温焼結原料粉からなる内層成形体32の表裏両面を、金属メッシュからなる抵抗発熱体14,16を介して体積抵抗率が1015Ωcm以上の窒化アルミニウム焼結体からなる一対の外層30,30で挟み込んだ状態で、1600〜1750℃で焼成することによりセラミックヒータ10を得るものである。
【選択図】図6
Description
まず、直径が360mm、厚さが6mmの外層30を2つ製造した。すなわち、平均粒径1μm、純度99.9%の窒化アルミニウム粉末に対して、平均粒径1.5μm、純度99.9%のイットリア粉末5重量%を添加し、混合し、混合粉末を100kgf/cm2で一軸加圧成形し、外層成形体とした。この外層成形体をホットプレス法によって焼結させ、外層30を得た。このときの焼結は、窒素雰囲気下、プレス圧力200kgf/cm2で1820℃で2時間行った。得られた外層30の体積抵抗率は2×1015Ωcmであった。なお、体積抵抗率は、同条件で作成した窒化アルミ焼結体からサンプルを切り出して、JIS C2141(電気絶縁用セラミック材料の試験方法)に基づき測定した。
実施例2〜5では、実施例1に準じて表1に示す条件を採用してセラミックヒータ10を製造し、その抵抗上昇率及び温度分布を測定した。また、比較例1では、イットリアを0.1重量%含有する窒化アルミニウム粉末の成形体に第1及び第2抵抗発熱体14,16を埋め込み、それを1855℃の高温で焼結して、セラミックス全体がイットリアを0.1重量%含有する窒化アルミニウム焼結体からなるセラミックヒータを作製し、その抵抗上昇率及び温度分布を測定した。比較例2,3では、内層成形体32をイットリアを5重量%含有する窒化アルミニウム粉末の成形体とし、これをイットリアを5重量%含有する窒化アルミニウム焼結体からなる外層30,30で挟んでサンドイッチ構造の成形体34とし、これを1820℃の高温で焼結してセラミックヒータを作製し、その抵抗上昇率及び温度分布を測定した。これらの結果を表1に示す。
Claims (9)
- 窒化アルミニウム粉末を主体とし希土類酸化物粉末を0.03〜1重量%含む低温焼結原料粉からなる内層成形体の表裏両面を、金属メッシュからなる抵抗発熱体を介して体積抵抗率が1015Ωcm以上の窒化アルミニウム焼結体からなる一対の外層で挟み込んだ状態で、1600〜1750℃で焼成することによりセラミックヒータを得る、
セラミックヒータの製造方法。 - 前記一対の外層は、窒化アルミニウム粉末に希土類酸化物粉末を4〜7重量%含む高温焼結原料粉からなる成形体を1800〜1900℃で焼成したものである、
請求項1に記載のセラミックヒータの製造方法。 - 前記内層成形体を前記外層で挟み込む前に、該外層に前記抵抗発熱体の形状に合った溝を形成し該溝に前記抵抗発熱体を嵌めておく、
請求項1又は2に記載のセラミックヒータの製造方法。 - 前記抵抗発熱体は、φ0.1〜0.2mmのモリブデン細線を編み込んだ材料により形成されている、
請求項1〜3のいずれか1項に記載のセラミックヒータの製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のセラミックヒータの製造方法によって製造されたセラミックヒータ。
- 平均結晶粒径が1〜2μmで炭素量が300〜600ppm(重量ベース)の窒化アルミニウムを主体とする中間焼結体と、
該中間焼結体の表裏両面に配設された金属メッシュからなる第1及び第2抵抗発熱体と、
平均結晶粒径が5〜7μmで炭素量が前記中間焼結体より少なく200〜400ppm(重量ベース)であり、前記第1及び第2抵抗発熱体を介して前記中間焼結体を挟み込む一対の窒化アルミニウムを主体とする外側焼結体と、
を備えたセラミックヒータ。 - 前記外側焼結体は、希土類元素を含み、
前記中間焼結体は、希土類元素が前記外側焼結体に比べて少ない、
請求項6に記載のセラミックヒータ。 - 前記抵抗発熱体は、φ0.1〜0.2mmのモリブデン細線を編み込んだ材料により形成されている、
請求項6又は7に記載のセラミックヒータ。 - 前記第1及び第2抵抗発熱体を700℃に加熱したときの前記セラミックヒータの加熱面の最高温度と最低温度の差が5℃以下である、
請求項6〜8のいずれか1項に記載のセラミックヒータ。
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