JPH0845648A - セラミックヒータ - Google Patents

セラミックヒータ

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JPH0845648A
JPH0845648A JP6200236A JP20023694A JPH0845648A JP H0845648 A JPH0845648 A JP H0845648A JP 6200236 A JP6200236 A JP 6200236A JP 20023694 A JP20023694 A JP 20023694A JP H0845648 A JPH0845648 A JP H0845648A
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敦 倉野
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 高温での抵抗値変化が小さく、クラックの生
じないセラミックヒータを得ることを目的とする。 【構成】 セラミックヒータ1は電気絶縁性の支持体3
と、その先端部に一体に形成される導電性の発熱体2を
有する。支持体3と発熱体2はいずれも導電性のMoS
2 と絶縁性のSi3 4 の混合焼結体よりなり、支持
体3はMoSi2粒子がこれを包むSi3 4 粒子で互
いに分断されて絶縁性を示し、上記発熱体2は、互いに
連続するMoSi2 粒子でSi3 4 を包むことにより
導電性を示す。支持体3および発熱体2には、焼結助剤
としてY2 3 またはYb2 3 等の希土類元素の酸化
物とAl2 3 を添加してあり、支持体3のY2 3
たはYb2 3 添加量を発熱体2より多くすることで、
通電の繰り返しによる抵抗値変化を抑制する。また発熱
体2のAl2 3 添加量を支持体3よりも多くすること
で、クラックの発生を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はセラミックヒータに関
し、特に、ディーゼルエンジンのセラミックグロープラ
グ等に好適に使用されるセラミックヒータに関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】ディーゼルエンジンの始動を補助するた
めに、燃焼室内にセラミックグロープラグを配置し、発
熱部に通電加熱して燃料の着火、燃焼を促すことが行な
われている。この発熱部を構成するセラミックヒータと
しては、従来より種々のものが提案されており、例え
ば、特開昭62−140386号公報には、サイアロン
焼結体中に導電性の窒化チタンを分散させた複合焼結体
を用いたヒータが開示されている。
【0003】また、絶縁性セラミックよりなる支持体の
先端に、導電性セラミックよりなる発熱体を設けたセラ
ミックヒータが知られ、例えば、窒化珪素、酸化アルミ
ニウム等よりなる棒状の絶縁性セラミックの先端に、窒
化珪素と珪化モリブデンの混合体等よりなるU字状の導
電性セラミックを設けた構成のものがある。
【0004】ところが、上記従来のセラミックヒータ
は、支持体と発熱体の熱膨張係数差から、急速な昇温、
または冷却により両者の間に熱応力が発生し、接合部を
破損するおそれがあった。そこで本出願人は、先に、支
持体と発熱体とをいずれも導電性の珪化モリブデン(M
oSi2 )と絶縁性の窒化珪素(Si3 4 )の混合体
で構成し、支持体においては導電性のMoSi2 粒子が
これを包む絶縁性のSi3 4 粒子により互いに分断さ
れることにより絶縁性を示し、発熱体においては、互い
に連続する導電性のMoSi2 粒子で絶縁性のSi3
4 粒子を包むことにより導電性を示すようになしたセラ
ミックヒータを提案した(特開昭63−96883号公
報)。具体的には、支持体と発熱体の基本成分をいずれ
も70Si3 4 −30MoSi2 (重量%)とし、こ
れらの総量に対し焼結助剤として、例えば酸化イットリ
ウム(Y2 3 )を7重量%、酸化アルミニウム(Al
2 3 )を3重量%添加しており、支持体と発熱体を同
一組成とすることで、熱応力が大幅に緩和される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、セラ
ミックヒータの速熱性をさらに向上し、エンジン始動ま
での待ち時間を短縮しようとする要求が高まっており、
これに伴いヒータの温度を従来の1000℃〜1100
℃から1200℃〜1300℃にする必要が生じてい
る。
【0006】しかしながら、最高温度を1300℃に設
定した上記構成のセラミックヒータをエンジンで使用し
たところ、次のような問題が生じた。その1つは、長時
間の使用で抵抗値が上昇することで、飽和温度が低くな
ってエンジンの始動性が悪くなる。もう1つは、セラミ
ックヒータの、燃料が直撃する部分にクラックが発生す
る場合があることで、このクラックが進展すると、ヒー
タの一部がエンジン内に脱落し、エンジンが損傷するお
それがある。
【0007】これらの原因につき調査した結果、以下の
ことが判明した。先ず、抵抗値上昇については、長時間
使用して抵抗値が上昇したヒータを軸方向に切断し、発
熱体およびその近傍を調査した結果、発熱体のU字状に
屈曲する先端部の、正または負電極よりの端部で発熱体
が最高温度になること、このうち負電極側の最高温度部
にイットリウム(Y)が集中し、逆に正電極側にはYが
ほとんど存在せず、モリブデン(Mo)の酸化物が多く
なっていることがわかった。また、発熱体の両最高温度
部間に位置する支持体においても、同様に、負電極側で
Yが多く、次第にYが減少して正電極側ではYがほとん
ど存在していなかった。
【0008】この現象は、通電により生じる電界の作用
により、高温部のY2 3 が分解されてYが負電極側に
移動し、正電極側では残った酸素がMoSi2 を酸化し
て、MoSi2 よりなる電流パスが細化または断線した
ことを意味する。特に、1300℃という高温状態で
は、上記のYの移動が起こりやすくなって、これが抵抗
値上昇の原因になったものと考えられる。
【0009】一方、クラックの発生については、未使用
のヒータを軸方向に切断し、詳細に観察すると、発熱体
にポアが認められた。上記構成のセラミックヒータは熱
応力が小さくなるように支持体と発熱体とを同一組成と
しているが、それぞれに絶縁性または導電性という相反
する特性を付与するため、セラミック粒子の粒径を変え
ており、発熱体では、平均粒径13μm のSi3 4
0.9μm のMoSi2 を、支持体では平均粒径0.6
μm のSi3 4 と平均粒径0.9μm のMoSi2
用いている。従って、セラミック粒子の粒径の差により
支持体と発熱体の最適焼結条件にずれを生じ、発熱体が
焼結不足になってポアが生じたものと考えられる。そし
て、1300℃という新たな温度条件において、このポ
アがクラックを誘発する要因となり、表面と内部および
軸方向での温度差や噴霧燃料による冷却等により熱応力
が作用し、耐熱衝撃性を低下させたものと思われる。
【0010】本発明は、上記実情に鑑みなされたもので
あり、1300℃以上の高温条件下でも抵抗値の変化が
小さく、かつクラックの生じない耐熱衝撃性に優れたセ
ラミックヒータを提供することを目的とするものであ
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の構成を図1で説
明すると、セラミックヒータ1は、電気絶縁性の支持体
3と、その先端部に一体に形成される導電性の発熱体2
を備え、上記支持体3および上記発熱体2はいずれも導
電性セラミックと絶縁性セラミックの混合焼結体よりな
る。上記支持体3は、導電性セラミック粒子がこれを包
む絶縁性セラミック粒子により互いに分断されることに
より絶縁性を示し、上記発熱体2は、互いに連続する導
電性セラミック粒子で絶縁性セラミック粒子を包むこと
により導電性を示している。そして、上記発熱体2は、
焼結助剤として少なくとも酸化アルミニウム(Al2
3 )を、上記支持体3は、焼結助剤として少なくとも希
土類元素の酸化物およびAl2 3 を含有し、かつ上記
発熱体2のAl2 3 添加量を上記支持体3のAl2
3 添加量よりも多くしてある(請求項1)。
【0012】また、上記発熱体2は、焼結助剤として、
Al2 3 に加え希土類元素の酸化物を含有していても
よく、この場合は、上記支持体3の希土類元素の酸化物
の添加量を上記発熱体2のそれより多く、上記発熱体2
のAl2 3 添加量を上記支持体3のそれよりも多くす
る(請求項3)。
【0013】上記発熱体2において、導電性セラミック
および絶縁性セラミックの総量に対するAl2 3 添加
量は0.1〜15重量%とすることが好ましい(請求項
2)。また、希土類元素の酸化物を含有する場合の、導
電性セラミックおよび絶縁性セラミックの総量に対する
添加量は0.1〜19.5重量%とし、かつこれら焼結
助剤の添加総量を25重量%以下とするのがよい(請求
項4)。
【0014】上記支持体3においては、導電性セラミッ
クおよび絶縁性セラミックの総量に対する希土類元素の
酸化物の添加量を0.1〜20重量%、Al2 3 の添
加量を0.1〜14.5重量%とし、これら焼結助剤の
添加総量を25重量%以下とすることが望ましい(請求
項5)。
【0015】上記支持体3の希土類元素の酸化物の添加
量は、上記発熱体2より0.5重量%以上多くし、上記
発熱体2のAl2 3 添加量は、上記支持体3より0.
5重量%以上多くするのがよい(請求項6)。
【0016】上記希土類の酸化物としては、酸化イット
リウム(Y2 3 )、または酸化イッテルビウム(Yb
2 3 )等が挙げられる(請求項7)。上記絶縁性セラ
ミックとしては、窒化珪素が好適に使用される。また、
上記導電性セラミックとしては、金属の炭化物、珪化
物、窒化物、またはホウ化物が使用でき、これらより選
ばれた少なくとも1種を使用すればよい(請求項8)。
【0017】
【作用】発熱体2は、U字状に屈曲する先端部の、正ま
たは負電極よりの端部(図1のaまたはbの部分)で最
高温度になる。本発明のセラミックヒータ1は、支持体
3の希土類元素の酸化物、例えばY2 3 添加量が、発
熱体2のY2 3 添加量より多いので、発熱体2の上記
aまたはbで示される部分の間にY2 3 の多い支持体
3が存在することになる(図1のcの部分)。通電時、
ヒーター材に電界が作用すると、発熱体2の負電極側の
最高温度部へ向けてYの移動が生じるが、まず、その近
傍のY2 3 の多い支持体3からYが移動し、Yが移動
した部位には、その周囲の支持体3からさらにYが移動
する。この時、発熱体2の正電極側の最高温度部の周囲
には、Y2 3 の多い支持体3が存在するため、発熱体
2中のYの移動は起こりにくい。そして、支持体3中の
Yがある程度移動し、発熱体2のY2 3 量とほぼ同量
となるまで、発熱体2の正電極側におけるYの移動は起
こらず、抵抗値の上昇が抑制される。
【0018】また、Al2 3 は低融点で焼結を促進す
る作用を有する。本発明のセラミックヒータ1は、この
Al2 3 の発熱体2への添加量が支持体3より多いの
で、発熱体2の焼結が促進され、焼結不足が解消され
る。従って、焼結体中のポアが大幅に減少し、クラック
の発生を防止する。
【0019】
【実施例】以下、本発明を実施例により説明する。図2
には本発明を適用したディーゼルエンジンのグロープラ
グを示す。6は両端開口の筒状金属ハウジングであり、
その下端開口内に筒状金属部材61が固着してある。上
記ハウジング6内には下方より本発明のセラミックヒー
タ1が挿通され、その中間部を、上記筒状金属部材61
に嵌合固定してある。ハウジング6の中央部外周には取
付けネジ62が形成してあり、グロープラグは該取付け
ネジ62にて図略のエンジンに取付けられる。
【0020】上記セラミックヒータ1の上端部には、電
源接続用の金属キャップ7が固定してあり、金属キャッ
プ7は、上記ハウジング6の上半部内に挿通された金属
製の中軸8と、金属線71により接続されている。上記
ハウジング6上端部の、中軸8周りにはガラスシール9
が配設され、さらに上方より絶縁ブッシュ10が嵌着さ
れて、上記中軸8を電気的に絶縁している。中軸8の基
端部には、図略の電源に接続される雄ネジ81が形成し
てあり、上記絶縁ブッシュ10は上記雄ネジ81に螺着
されたナット82にて固定される。
【0021】図1には上記セラミックヒータ1の詳細を
示す。図において、セラミックヒータ1は、断面円形の
棒状体である支持体3と、支持体3の先端部内に埋設さ
れる断面U字形の発熱体2からなる。発熱体2の一端に
は電極線4の先端41が埋設され、電極線4の他端は支
持体3の基端部へ延びて支持体3の外周表面に露出する
端子部42を形成している。また発熱体2の他端には電
極線5の先端51が埋設され、電極線5の他端は支持体
3の中間部で支持体3の外周表面に露出する端子部52
を形成している。なお、上記電極線4、5はタングステ
ン、モリブデン等の高融点金属またはその合金からな
る。
【0022】上記電極線4、5の端子部42、52が露
出する支持体3の外周表面にはニッケルメッキが施され
ている。しかして、セラミックヒータ1をハウジング6
内に挿通すると(図2)、上記支持体3は、このニッケ
ルメッキ層を介して上記筒状金属部材61内周面にロウ
付けされる。上記筒状金属部材61はセラミックヒータ
1を保持するとともに、上記電極線5の端子部52と電
気的に接続される。一方、支持体3の基端部に露出する
上記電極線4の端子部42は、上記金属キャップ7の内
周面にロウ付けされ、金属線71より中軸8を経て電源
に接続している。かくして図示しない電源より、中軸
8、金属線71、金属キャップ7、電極線4、発熱体
2、電極線5、筒状部材61、ハウジング6を経て、図
示しないエンジンブロックへ通電が可能となる。
【0023】セラミックヒータ1の上記支持体3は、導
電性セラミックであるMoSi2 と、絶縁性セラミック
であるSi3 4 を基本成分とし、焼結助剤としてY2
3およびAl2 3 を添加したセラミック焼結体より
なる。また、Y2 3 に代えて他の希土類元素の酸化
物、例えばYb2 3 等を用いてもよく、その一種また
はそれ以上を使用すればよい。そして、Si3 4 の粒
径を、MoSi2 と同じかやや小さくすることにより、
導電性のMoSi2 粒子が絶縁性のSi3 4 粒子で囲
まれて分断された組織となり、絶縁性を発現する。具体
的には、例えば、平均粒径0.9μm のMoSi2 と、
平均粒径0.6μm のSi3 4 を用いることができ
る。
【0024】上記発熱体2は、MoSi2 等の導電性セ
ラミックと、Si3 4 等の絶縁性セラミックを基本成
分とし、焼結助剤として少なくともAl2 3 を添加し
たセラミック焼結体よりなる。焼結助剤として、さらに
2 3 またはYb2 3 等の希土類元素の酸化物を添
加してもよい。そして、Si3 4 の粒径をMoSi2
より大きくすることにより、絶縁性のSi3 4 粒子
が、互いに連続する導電性のMoSi2 粒子で包まれた
組織となり、導電性を発現する。具体的には、例えば、
平均粒径0.9μm のMoSi2 と、平均粒径13μm
のSi3 4 を用いることができる。
【0025】上記発熱体2または支持体3における導電
性セラミックとしては、上記したMoSi2 以外の金属
の炭化物、珪化物、窒化物、またはホウ化物を用いても
よく、これらの少なくとも一種を使用する。導電性セラ
ミックと絶縁性セラミックの配合割合は、例えば10〜
40:90〜60(重量%)とすればよく、発熱体2、
支持体3で同一またはそれに近い配合割合とすれば熱膨
張係数等の差が小さくなるのでより好ましい。焼結助剤
としては、Y2 3 、Yb2 3 、またはAl2 3
外の他の焼結助剤を少量添加することも可能である。
【0026】本発明では、上記支持体3の希土類元素の
酸化物の添加量を、上記発熱体2よりも多くすること、
および上記発熱体2のAl2 3 の添加量を上記支持体
3のAl2 3 の添加量より多くすることを必須要件と
する。具体的には、例えば、Si3 4 とMoSi2
総量に対する希土類元素の酸化物の添加量を、支持体3
は7重量%、発熱体2は3重量%とすることで、長時間
使用による抵抗値の上昇を防止できる。また、Al2
3 の添加量を、支持体3は3重量%、発熱体2は7重量
%とすることで、クラックの発生が抑制できる。
【0027】次に、この希土類元素の酸化物とAl2
3 の添加量の違いによる効果を確認するための試験を行
なった。 (1)まず、以下のようにして試験用の試料を作成し
た。支持体と発熱体の基本成分をいずれも70Si3
4 −30MoSi2 (重量%)とし、支持体は平均粒径
が0.9μm のMoSi2 と平均粒径が0.6μm のS
3 4 を、発熱体には平均粒径が0.9μm のMoS
2 と平均粒径が13μm のSi3 4 を使用した。S
3 4 とMoSi2 の総量に対する焼結助剤の添加量
を、発熱体はY2 3 3重量%、Al2 3 7重量%と
し、支持体はY2 3 7重量%、Al2 3 3重量%と
して、上記図1の構成のセラミックヒータを作成した
(試料No1)。次いで、Y2 3 とAl2 3 の添加
量を、表1のように変更し、支持体のAl2 3 添加量
が発熱体より多いもの、発熱体のY2 3 添加量が支持
体より多いもの、これらを組合せたものについてそれぞ
れ試料を作成して試料No2〜4とした。さらに、発熱
体、支持体ともにY2 3 7重量%、Al2 3 3重量
%とした従来の組成によるヒータを作成し、比較用の試
料No5とした。
【0028】焼成は、アルゴンガス雰囲気下、1気圧
で、圧力は500Kgf/cm2 とし、焼結助剤量の変
更による焼成条件の変化に対しては、各々の最適な焼成
条件となるように、焼成温度を1560℃〜1850℃
の範囲内で変えて行なった(以下に説明する試料は全
て、各々の最適な焼成条件となるように、焼成温度を適
宜変更して作成した)。
【0029】上記試料No1〜5のセラミックヒータを
用いて上記図2に示したグロープラグを作成し、以下の
試験を行なった。まず、通電の繰り返しによる抵抗値変
化を調べるため、通電1分、非通電1分の繰り返しを1
サイクルとした冷熱試験を行なった。このときのヒータ
温度は初期に通電時の発熱による飽和温度を1300℃
にし、非通電時はファンでヒータを100℃以下に冷却
した。評価は各試料につき4本づつ同様の試験を実施し
て、そのうちの1本が抵抗値上昇により通電時のヒータ
飽和温度が100℃低下して1200℃になったサイク
ル数を寿命サイクルとした。表1に結果を示す。
【0030】次に、クラックの発生に関し、水中スポー
リング試験を行なった。これは、グロープラグに通電
し、所定の飽和温度に発熱させた後、20℃の水中に金
属パイプから突出しているヒータ先端部を浸漬させ、表
面に発生するクラックの有無を調査する試験で、具体的
には、飽和温度が500℃で水中スポーリング試験を行
ない、クラックが発生していなければ、飽和温度を10
0℃上げ、600℃として水中スポーリング試験を行な
った。このようにして1300℃まで、もしくはクラッ
クが発生するまで、100℃づつ温度を上げて評価し
た。評価は各試料について4本づつ同様の試験を実施
し、結果を表1に併記した。
【0031】表1より、冷熱試験については、発熱体の
2 3 添加量(3重量%)を支持体の添加量(7重量
%)より少なくした試料No1、2が、従来組成の試料
No5に比べ、寿命が向上している。また、水中スポー
リング試験については、発熱体のAl2 3 添加量(7
重量%)を支持体の添加量(3重量%)より多くした試
料No1、3が試料No5に比べ改良されていることが
わかる。この結果、通電の繰り返しによる抵抗値変化と
クラックの発生に対して共に効果があるのは、試料No
1の場合、つまり、発熱体のY2 3 添加量が支持体よ
り少なく、かつ発熱体のAl2 3 添加量が支持体より
多い場合であることがわかる。
【0032】(2)次に、この関係が添加量の多少にか
かわらず成り立つかどうかを調べた。表2に示すよう
に、試料No6〜9では、Al2 3 添加量を一定(発
熱体:7重量%、支持体:3重量%)とし、Y2 3
加量を、支持体が発熱体より常に多くなるように保った
まま増減した。試料No10〜13では、Y2 3 添加
量を一定(発熱体:3重量%、支持体:7重量%)と
し、Al2 3 添加量を発熱体が常に多くなるように保
ったまま増減した。上記(1)と同様にして試料を作成
し、評価を行なった。結果を表2に併記する。
【0033】表2の結果を従来組成の試料No5(表
1)と比較すると、全試料で冷熱試験結果が向上してお
り、クラックの発生も見られない。なお、寿命サイクル
は市場での信頼性を考慮すると10000サイクル以上
であることがより好ましく、特に、支持体のY2 3
加量、または発熱体のAl2 3 添加量が比較的少ない
試料No6〜8、試料No10〜12で12000〜1
5000サイクルと高く、良好な結果が得られた。支持
体のY2 3 添加量を25重量%とした試料No9と、
発熱体のAl2 3 添加量を20重量%とした試料No
13では冷熱試験の寿命サイクルがやや低い値となっ
た。
【0034】Y2 3 およびAl2 3 の増量は、マト
リックスを構成するMoSi2 とSi3 4 の粒界のガ
ラス層が増えることを意味する。試料No9は冷熱試験
の温度条件で粒界のガラスが支持体表面へ溶出したもの
であり、試料No13は粒界のガラス層が多いためMo
Si2 の導電パスが不安定になり、冷熱の繰り返しによ
り抵抗値が上昇したものと考えられる。
【0035】以上より、支持体については、Y2 3
加量を20重量%以内で発熱体より多くし、発熱体につ
いては、Al2 3 添加量を15重量%以内で支持体よ
り添加量を多くすることがより望ましいといえる。
【0036】(3)次にY2 3 とAl2 3 の添加量
がある範囲を越えると、冷熱試験での寿命が短くなると
いう(2)の結果に基づき、添加総量の最適範囲を確認
する試験を行なった。Y2 3 とAl2 3 の添加量を
表3のように変更した以外は上記(1)と同様にして試
料No14〜17を作成し、評価を行なった。結果をガ
ラス溶出の有無とともに表3に併記する。
【0037】表3に明らかなように、いずれの試料も上
記試料No5より冷熱試験における寿命サイクルが向上
している。特に、発熱体および支持体のいずれも添加総
量を25重量%とした試料No16、17はガラスの溶
出がなく、良好な結果が得られた。発熱体のY2 3
Al2 3 の添加総量を30重量%とした試料No1
4、15はガラスの溶出が見られ、試料No14は、寿
命サイクルがやや短い。以上より、好ましくは、Y2
3 とAl2 3 の添加総量を発熱体、支持体ともに25
重量%以下とするのがよい。
【0038】(4)さらに、発熱体、支持体におけるY
2 3 またはAl2 3 の添加量の差が寿命サイクル、
クラックの発生にどのように影響するかを確認するため
の試験を行なった。表4に示すように、Al2 3 添加
量を一定(発熱体:7重量%、支持体:3重量%)と
し、Y2 3 添加量を変更して試料No18〜20を作
成した。また、Y2 3 添加量を一定(発熱体:3重量
%、支持体:7重量%)とし、Al2 3 添加量を表の
ように変更して試料No21〜23を作成した。それぞ
れの試料につき、上記(1)と同様の試験を行ない、結
果を表4に併記した。
【0039】表4の結果を上記試料No5と比較する
と、冷熱試験における寿命サイクルはいずれも向上して
おり、発熱体より支持体のY2 3 添加量が多ければ抵
抗値変化に対し効果があることがわかる。特に、Y2
3 添加量の差が0.5重量%以上ある試料では寿命サイ
クルが10000サイクルを越えており、より高い効果
が得られる。また、クラックの発生に関しては、Al2
3 添加量の差を0.5重量%以上とした試料No2
1、22ではクラックが全く発生しなかった。このよう
に、Y2 3 、Al2 3 ともに発熱体、支持体におけ
る添加量の差を0.5重量%以上とすることが好まし
く、より高い効果が得られる。
【0040】(5)次に、発熱体のY2 3 添加量、支
持体のAl2 3 添加量の下限を確認するための試験を
行なった。表4に示すように、Al2 3 添加量を一定
(発熱体:7重量%、支持体:3重量%)とし、Y2
3 添加量を表のように変更して試料No24〜26を作
成した。また、Y2 3 の添加量を一定(発熱体:3重
量%、支持体:7重量%)とし、Al2 3 添加量を表
のように変更して試料No27〜29を作成した。それ
ぞれの試料につき、上記(1)と同様の試験を行ない、
結果を表5に併記した。
【0041】表5の結果を上記試料No5と比較する
と、冷熱試験における寿命サイクルは、発熱体のY2
3 添加量を0重量%とした試料No24においても他の
試料と同等の効果が見られた。また、水中スポーリング
試験に関しては、支持体のAl2 3 添加量が0重量%
の試料No27ではクラックの発生が見られるが、Al
2 3 を0.1重量%添加した試料No28ではクラッ
クが発生しなかった。従って、発熱体には必ずしもY2
3 を添加する必要はなく、支持体においてはAl2
3 を0.1重量%以上添加することが望ましいことがわ
かる。
【0042】(6)なお、上記実施例では導電性セラミ
ックとして、MoSi2 の場合について述べたが、導電
性セラミックを他の金属の炭化物、窒化物、ホウ化物と
してもよく、同様の効果が得られる。これを確認するた
め、表6に示すように、導電性セラミックをWC、Ta
C、TiN、ZrB2 に変更し、それぞれについて、Y
2 3 、Al2 3 の添加量を上記試料No1、試料N
o5と同じにした試料を作成して(試料No30〜3
6)、上記(1)と同様の試験を行なった。結果を表6
に併記する。表中、試料No30、32、34、36が
試料No1と、試料No31、33、35、37が試料
No5と助剤の添加量を同じにした例である。表に明ら
かなように、導電性セラミックの種類を変更した場合に
おいても、支持体のY2 3 添加量を発熱体より多く、
発熱体のAl2 3 添加量を支持体より多くすること
で、寿命サイクルが大きく改善され、クラックの発生が
抑制されていることがわかる。
【0043】さらに、焼結助剤として、Y2 3 と同様
の汎用性のあるYb2 3 を用いた場合の効果を調べ
た。上記(1)の試料No1〜5のY2 3 の代わりに
Yb23 を用いた以外は同様にして5種類の試料を作
成し(試料No38〜42)、試験を行なった。結果を
表7に示す。表に明らかなように、Yb2 3 を用いた
場合でも、寿命サイクル、クラックの発生に対し同様の
効果が得られることがわかる。
【0044】以上の結果に明らかなように、発熱体、支
持体ともに、焼結助剤として希土類元素の酸化物とAl
2 3 を添加し、かつ支持体の希土類元素の酸化物の添
加量を発熱体より多くし、発熱体のAl2 3 量を支持
体より多くすることにより、通電の繰り返しによる抵抗
値変化と、クラックの発生に対し効果があることがわか
る。さらに、発熱体において、導電性セラミックおよび
絶縁性セラミックの総量に対し、希土類元素の酸化物の
添加量を0〜19.5重量%、Al2 3 の添加量を
0.1〜15重量%とし、かつこれら焼結助剤の添加総
量が25重量%以下とすること、支持体においては、導
電性セラミックおよび絶縁性セラミックの総量に対し、
希土類元素の酸化物の添加量を0.1〜20重量%、A
2 3 の添加量を0.1〜14.5重量%とし、かつ
これら焼結助剤の添加総量を25重量%以下とすること
でより大きな効果が得られる。
【0045】
【表1】
【0046】
【表2】
【0047】
【表3】
【0048】
【表4】
【0049】
【表5】
【0050】
【表6】
【0051】
【表7】
【0052】
【発明の効果】このように、本発明によれば、高温で使
用しても抵抗値の変化が小さく、かつ、クラックの発生
しない耐熱衝撃性に優れたセラミックヒータが得られ
る。従って、グロープラグ等に適用されてその信頼性を
大きく向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すセラミックヒータの断
面図である。
【図2】本発明のセラミックヒータを適用したグロープ
ラグの全体断面図である。
【符号の説明】
1 セラミックヒ−タ 2 発熱体 3 支持体 4、5 電極線

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電気絶縁性の支持体と、その先端部に一
    体に形成される導電性の発熱体を備え、上記支持体およ
    び上記発熱体はいずれも導電性セラミックと絶縁性セラ
    ミックの混合焼結体よりなり、上記支持体は、導電性セ
    ラミック粒子がこれを包む絶縁性セラミック粒子により
    互いに分断されることにより絶縁性を示し、上記発熱体
    は、互いに連続する導電性セラミック粒子で絶縁性セラ
    ミック粒子を包むことにより導電性を示すセラミックヒ
    ータにおいて、上記発熱体に焼結助剤として少なくとも
    酸化アルミニウムを添加し、上記支持体に焼結助剤とし
    て少なくとも希土類元素の酸化物と、酸化アルミニウム
    とを添加するとともに、上記発熱体の酸化アルミニウム
    添加量を上記支持体の酸化アルミニウム添加量よりも多
    くしたことを特徴とするセラミックヒータ。
  2. 【請求項2】 上記発熱体において、導電性セラミック
    および絶縁性セラミックの総量に対する酸化アルミニウ
    ムの添加量が0.1〜15重量%であることを特徴とす
    る請求項1記載のセラミックヒータ。
  3. 【請求項3】 電気絶縁性の支持体と、その先端部に一
    体に形成される導電性の発熱体を備え、上記支持体およ
    び上記発熱体はいずれも導電性セラミックと絶縁性セラ
    ミックの混合焼結体よりなり、上記支持体は、導電性セ
    ラミック粒子がこれを包む絶縁性セラミック粒子により
    互いに分断されることにより絶縁性を示し、上記発熱体
    は、互いに連続する導電性セラミック粒子で絶縁性セラ
    ミック粒子を包むことにより導電性を示すセラミックヒ
    ータにおいて、上記支持体および上記発熱体に、焼結助
    剤として少なくとも希土類元素の酸化物と、酸化アルミ
    ニウムとを添加し、かつ上記支持体の希土類元素の酸化
    物の添加量を上記発熱体の希土類元素の酸化物の添加量
    より多くし、上記発熱体の酸化アルミニウムの添加量を
    上記支持体の酸化アルミニウムの添加量よりも多くした
    ことを特徴とするセラミックヒータ。
  4. 【請求項4】 上記発熱体において、導電性セラミック
    および絶縁性セラミックの総量に対する希土類元素の酸
    化物の添加量が0.1〜19.5重量%、酸化アルミニ
    ウムの添加量が0.1〜15重量%であり、希土類元素
    の酸化物と酸化アルミニウムの添加総量が25重量%以
    下であることを特徴とする請求項3記載のセラミックヒ
    ータ。
  5. 【請求項5】 上記支持体において、導電性セラミック
    および絶縁性セラミックの総量に対する希土類元素の酸
    化物の添加量が0.1〜20重量%、酸化アルミニウム
    の添加量が0.1〜14.5重量%であり、希土類元素
    の酸化物と酸化アルミニウムの添加総量が25重量%以
    下であることを特徴とする請求項1ないし4記載のセラ
    ミックヒータ。
  6. 【請求項6】 上記支持体の希土類元素の酸化物の添加
    量を、上記発熱体より0.5重量%以上多くし、上記発
    熱体の酸化アルミニウムの添加量を、上記支持体より
    0.5重量%以上多くしたことを特徴とする請求項1な
    いし5記載のセラミックヒータ。
  7. 【請求項7】 上記希土類元素の酸化物が酸化イットリ
    ウムまたは酸化イッテルビウムである請求項1ないし6
    記載のセラミックヒータ。
  8. 【請求項8】 上記絶縁性セラミックが窒化珪素であ
    り、上記導電性セラミックが金属の炭化物、珪化物、窒
    化物、またはホウ化物より選ばれる少なくとも1種であ
    る請求項1ないし7記載のセラミックヒータ。
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