JP2010243280A5

JP2010243280A5 -

Info

Publication number: JP2010243280A5
Application number: JP2009090915A
Authority: JP
Filing date: 2009-04-03
Publication date: 2012-05-17
Anticipated expiration: 2029-04-03

Description

請求項７に記載の光画像計測装置は、レーザー光を発生する光源と、前記光源により発生されるレーザー光の光量を調整する光量調整手段と、前記レーザー光を信号光と参照光とに分割し、ガルバノミラーの向きを変更し被測定物体に対する前記信号光の照射位置を変更しながら前記被測定物体に対して前記信号光を走査し、前記被測定物体により反射された前記信号光と参照光路を経由した前記参照光とを重畳させて干渉光を生成し、前記干渉光を検出する干渉光検出手段と、前記干渉光検出手段によって得られた検出結果に基づいて前記被測定物体の断層画像を形成する断層画像形成手段と、前記被測定物体に照射される前記信号光の光路の外に配置され、光量を測定可能な光量測定手段と、前記被測定物体の画像を形成する画像形成モード、及び、前記信号光の光量を測定する光量測定モードの２つの動作モードを択一的に切り替えるモード切替手段と、を備え、前記モード切替手段により前記光量測定モードに切り替えられたときに、前記干渉光検出手段は、前記ガルバノミラーの向きを変更して前記信号光を前記光量測定手段に入力し、前記光量測定手段は、前記入力された信号光の光量を測定し、前記光量調整手段は、光量の所定範囲を予め記憶しており、前記光量測定手段により測定される光量が前記所定範囲に含まれるように、前記光源により発生されるレーザー光の光量を調整する、ことを特徴とするものである。

Claims

レーザー光を発生する光源と、
前記光源により発生されるレーザー光の光量を調整する光量調整手段と、
ガルバノミラーの向きを変更して被測定物体に対する前記レーザー光の照射位置を変更しながら前記被測定物体に対して前記レーザー光を走査する走査手段と、
前記被測定物体により反射された前記レーザー光を検出する検出手段と、
前記検出手段によって得られた検出結果に基づいて前記被測定物体の画像を形成する画像形成手段と、
前記被測定物体に照射される前記レーザー光の光路の外に配置され、光量を測定可能な光量測定手段と、
前記被測定物体の画像を形成する画像形成モード、及び、前記レーザー光の光量を測定する光量測定モードの２つの動作モードを択一的に切り替えるモード切替手段と、
を備え、
前記モード切替手段により前記光量測定モードに切り替えられたときに、
前記走査手段は、前記ガルバノミラーの向きを変更して前記レーザー光を前記光量測定手段に入力し、
前記光量測定手段は、前記入力されたレーザー光の光量を測定し、
前記光量調整手段は、光量の所定範囲を予め記憶しており、前記光量測定手段により測定される光量が前記所定範囲に含まれるように、前記光源により発生されるレーザー光の光量を調整する、
ことを特徴とする光画像計測装置。
前記光量調整手段は、前記所定範囲として光量の上限値及び下限値を予め記憶しており、前記光量測定手段により測定された光量と前記上限値及び前記下限値のそれぞれとを比較し、前記測定された光量が前記上限値を上回っているときに前記光源により発生されるレーザー光の光量を下げ、前記測定された光量が前記下限値を下回っているときに前記光源により発生されるレーザー光の光量を上げることを特徴とする請求項１に記載の光画像計測装置。
前記光量調整手段は、前記所定範囲として前記レーザー光の光量の上限値を予め記憶しており、前記光量測定手段により測定された光量と前記上限値とを比較し、
前記測定された光量が前記上限値を上回っているときに、警告を報知する警告手段をさらに備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の光画像計測装置。
前記光量調整手段は、前記所定範囲として前記レーザー光の光量の上限値を予め記憶しており、前記光量測定手段により測定された光量と前記上限値とを比較し、
前記測定された光量が前記上限値を上回っているときに、前記レーザー光の前記被測定物体への照射を禁止する照射禁止手段をさらに備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の光画像計測装置。
前記画像形成手段により形成された画像の最大輝度を取得する最大輝度取得手段をさらに備え、
前記光量調整手段は、前記所定範囲として画像の最大輝度の下限の最大輝度閾値をさらに予め記憶しており、前記最大輝度取得手段により取得された最大輝度と前記最大輝度閾値とを比較し、前記最大輝度が前記最大輝度閾値を下回っているときに、前記光源により発生されるレーザー光の光量を、前記所定範囲に含まれるように調整することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載の光画像計測装置。
前記被測定物体への前記レーザー光の照射を開始させるための操作手段をさらに備え、
前記モード切替手段は、前記操作手段が操作されたことに対応して前記光量測定モードに切り替えて前記光量測定手段に前記レーザー光の光量を測定させ、その後、前記光量測定手段により最初に測定された光量が前記所定範囲に含まれる場合、又は前記光量調整手段により前記レーザー光の光量が調整された場合に、前記画像形成モードに切り替えて前記被測定物体の画像の形成を開始させることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載の光画像計測装置。
レーザー光を発生する光源と、
前記光源により発生されるレーザー光の光量を調整する光量調整手段と、
前記レーザー光を信号光と参照光とに分割し、ガルバノミラーの向きを変更し被測定物体に対する前記信号光の照射位置を変更しながら前記被測定物体に対して前記信号光を走査し、前記被測定物体により反射された前記信号光と参照光路を経由した前記参照光とを重畳させて干渉光を生成し、前記干渉光を検出する干渉光検出手段と、
前記干渉光検出手段によって得られた検出結果に基づいて前記被測定物体の断層画像を形成する断層画像形成手段と、
前記被測定物体に照射される前記信号光の光路の外に配置され、光量を測定可能な光量測定手段と、
前記被測定物体の画像を形成する画像形成モード、及び、前記信号光の光量を測定する光量測定モードの２つの動作モードを択一的に切り替えるモード切替手段と、
を備え、
前記モード切替手段により前記光量測定モードに切り替えられたときに、
前記干渉光検出手段は、前記ガルバノミラーの向きを変更して前記信号光を前記光量測定手段に入力し、
前記光量測定手段は、前記入力された信号光の光量を測定し、
前記光量調整手段は、光量の所定範囲を予め記憶しており、前記光量測定手段により測定される光量が前記所定範囲に含まれるように、前記光源により発生されるレーザー光の光量を調整する、
ことを特徴とする光画像計測装置。