JP2006343249A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 架台に移動可能に取り付けられた移動体に保持されたプローブによって被測定面を走査するとともに前記プローブの位置を測定することで、前記被測定面の形状を測定する形状測定装置であって、
   前記プローブの架台に対する位置を測定する形状検出系と、
   前記移動体に固定された基準ミラーと前記プローブとのＺ方向の離間距離を、レーザ測長器によって検出するプローブ位置検出系と、
   検出された前記移動体と前記プローブとの離間距離があらかじめ設定された値となるように移動体の位置を制御するコントローラーと、を有することを特徴とする形状測定装置。
2. 前記形状検出系は架台に固定された基準ミラーを含み該基準ミラーとプローブとのＺ方向の相対位置を測定するレーザ測長器であり、
   前記形状検出系と前記プローブ位置検出系が、前記プローブに設けられた共通のターゲットミラーを用いていることを特徴とする請求項１記載の形状測定装置。
3. 前記プローブ位置検出系における基準ミラーは前記形状検出系におけるレーザ光が通過する１箇所以上の貫通穴が形成されていることを特徴とする請求項２記載の形状測定装置。
4. 前記形状検出系と前記プローブ位置検出系が、共通の干渉手段を用いていることを特徴とする請求項２または請求項３記載の形状測定装置。
5. 架台に移動可能に取り付けられた移動体に保持されたプローブによって被測定面を走査するとともに前記プローブの位置を測定することで前記被測定面の形状を測定する形状測定方法において、
   前記移動体に固定された基準ミラーと前記プローブとのＺ方向の離間距離を、レーザ測長器によって検出し、
   前記離間距離があらかじめ定められた値になるように前記移動体の位置を制御しながら、前記プローブの前記架台との位置を測定することを特徴とする形状測定方法。