JP2009025024A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 接触式プローブを被測定物に接触させつつ前記被測定物の表面を走査させるとともに接触式プローブの位置を計測することで前記被測定物の形状を測定する形状測定装置において、
   三次元方向に移動可能なプローブ支持手段と、
   前記プローブ支持手段に対して弾性支持された接触式プローブと、
   接触式プローブの位置および姿勢を計測する計測手段と、
   計測した接触式プローブの位置または姿勢から前記被測定物に対して接触式プローブが受ける接触力を演算する演算手段と
   を有し、
   前記被測定物の形状を測定する際に、演算された前記接触力の方向に沿って前記プローブ支持手段を移動させて前記接触式プローブの位置または姿勢を変化させることで、前記接触力の大きさを目標値に近づけることを特徴とする形状測定装置。
2. 前記プローブ支持手段は、三次元方向に移動可能なスライドと前記スライドに対して更に三次元方向に移動可能に前記スライドに保持されたテーブルとを有し、
   前記テーブルを移動させることで前記接触式プローブの位置を移動させて前接触力の大きさを目標値に近づけることを特徴とする請求項１記載の形状測定装置。
3. 前記被測定物の形状を測定する際に、前記接触式プローブを前記接触力と直交する方向に移動させることで前記被測定物の表面を走査させることを特徴とする請求項１または２に記載の形状測定装置。
4. 三次元方向に移動可能なプローブ支持手段に弾性支持された接触式プローブを被測定物に接触させつつ前記被測定物の表面を走査させるとともに前記接触式プローブの位置を計測することで前記被測定物の形状を測定する形状測定方法において、
   前記接触式プローブの位置および姿勢を測定して、計測した接触式プローブの位置または姿勢に基づいて接触力を演算する工程と、
   前記被測定物の表面形状を測定する際に、演算された前記接触力の方向に沿って前記プローブ支持手段を移動させて前記接触式プローブの位置または姿勢を変化させることで、前記接触力の大きさを目標値に近づける工程と、
   を有することを特徴とする形状測定方法。
5. 前記接触力は、計測された前記接触式プローブの位置および姿勢と、あらかじめ求めておいた前記接触式プローブの剛性とから演算されることを特徴とする請求項４記載の形状測定方法。
6. 前記被測定物の表面形状を測定する際に、
   前記接触式プローブを前記接触力と直交する方向に移動させることで前記被測定物の表面を走査させることを特徴とする請求項４または５記載の形状測定方法。