JP6283502B2

JP6283502B2 - ワーク厚み測定器

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Publication number: JP6283502B2
Application number: JP2013241674A
Authority: JP
Inventors: 聡山中
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2013-11-22
Filing date: 2013-11-22
Publication date: 2018-02-21
Anticipated expiration: 2033-11-22
Also published as: JP2015102365A

Description

本発明は、研削中の板状ワークの厚みをリアルタイムで測定するワーク厚み測定器に関する。

板状ワークの研削装置には、研削中の板状ワークの厚みを測定する測定器として、一対の接触式のハイトゲージが設けられている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のワーク厚み測定器では、第１のハイトゲージの測定子がチャックテーブルの上面に接触されて、チャックテーブルの上面高さが測定され、第２のハイトゲージの測定子が板状ワークの上面に接触されて、板状ワークの上面高さが測定される。そして、第１、第２のハイトゲージの測定値がそれぞれ算出部に入力され、算出部において第１、第２のハイトゲージの測定値の差分から板状ワークの厚みが算出される。

特開２００８−０７３７８５号公報

しかしながら、特許文献１の研削装置では、第１、第２のハイトゲージによってチャックテーブルの上面高さと板状ワークの上面高さが個別に測定されるため、板状ワークの厚みが個々のハイトゲージの測定精度の影響を受けてしまっていた。また、チャックテーブルの上面高さと板状ワークの上面高さの測定値を個別に取得して、これら測定値の差分を算出する必要があり、制御構成が煩雑になるという問題があった。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、簡易な制御構成で、板状ワークの厚みを高精度に測定することができるワーク厚み測定器を提供することを目的とする。

本発明のワーク厚み測定器は、チャックテーブルで保持する板状ワークの厚みを測定するワーク厚み測定器であって、チャックテーブルの上面に接触する第１の測定子と、第１の測定子をチャックテーブルの上面に対して垂直方向に移動させる第１の移動部と、を備える第１の測定機構と、チャックテーブルの上面に保持される板状ワークの上面に接触させる第２の測定子と、第２の測定子をチャックテーブルの上面に対して垂直方向に移動させる第２の移動部と、を備える第２の測定機構と、第１の測定子の高さと第２の測定子の高さとの差を測定する高さ差測定部と、同一面上に該第１の測定子と該第２の測定子とを接触させた時の該高さ差測定部が測定した測定値をゼロにして該高さ差測定部の原点出しを行なう原点出し部と、で少なくとも構成され、高さ差測定部が測定した測定値を板状ワークの厚みとする。

この構成によれば、第１の測定子と第２の測定子の高さ差から、チャックテーブルの上面から板状ワークの上面までの高さである板状ワークの厚みが直接的に測定される。このため、チャックテーブルの上面高さと板状ワークの上面高さの個別の測定値が不要となり、個別の測定値を用いた算出処理を省略して制御構成を簡略化することができる。また、個別の測定値が不要になるため、チャックテーブル及び板状ワークの上面高さの測定精度の影響を受けることがない。

本発明によれば、第１の測定子と第２の測定子の高さ差を直接的に測定することで、簡易な制御構成で、板状ワークの厚みを高精度に測定することができる。

第１の実施の形態に係るワーク厚み測定器の模式図である。第１の実施の形態に係る第２の測定機構の第２の測定子の動作説明図である。第１の実施の形態に係るワーク厚み測定器の測定動作の説明図である。第２の実施の形態に係るワーク厚み測定器の模式図である。第２の実施の形態に係るワーク厚み測定器の測定動作の説明図である。

以下、添付図面を参照して、ワーク厚み測定器について説明する。図１は、第１の実施の形態に係るワーク厚み測定器の模式図である。なお、図１Ａはワーク厚み測定器の正面模式図、図１Ｂはワーク厚み測定器の側面模式図を示している。図１Ｂについては、説明の便宜上、第１の測定機構のみを図示している。また、本実施の形態に係るワーク厚み測定器は、図１に示す構成に限定されない。本発明は、一対の測定子を用いて板状ワークの厚みを測定可能な構成であれば、どのように構成されてもよい。

図１に示すように、ワーク厚み測定器１は、研削対象の板状ワークＷの厚みとして、チャックテーブル４１上の第１の測定子１５ａと板状ワークＷ上の第２の測定子１５ｂの高さ位置との差を直接的に測定している。ワーク厚み測定器１は、第１の測定子１５ａをチャックテーブル４１の上面４２に接触させる第１の測定機構１１ａと第２の測定子１５ｂを板状ワークＷの上面４８に接触させる第２の測定機構１１ｂとを隣接して配置している。第１の測定機構１１ａは、アーム部１８ａの先端側の第１の測定子１５ａを、昇降シリンダ１６ａの駆動力と上下の板バネ１７ａの付勢力とによって昇降させるように構成されている。

第１の測定機構１１ａは、支持台３５の側面３６に片持ちで支持されており、基端側の固定板２１ａで支持台３５の側面３６に固定されている。固定板２１ａからはチャックテーブル４１に向かって上下の板バネ１７ａが伸びており、板バネ１７ａの先端には固定板２１ａに左右方向で対向する可動板２３ａが支持されている。可動板２３ａのチャックテーブル４１側の表面２４ａからはチャックテーブル４１に向かってアーム部１８ａが延びており、アーム部１８ａの先端側にはピン状の第１の測定子１５ａが固定されている。第１の測定子１５ａは、チャックテーブル４１の上面４２における保持面４３周囲の環状平面４４に接触される。

固定板２１ａの表面２２ａには、可動板２３ａ側に向かって延びる載置板２６ａが片持ちで支持されている。載置板２６ａの先端側には、シリンダロッド１９ａを上方に突出させたエアー駆動式の昇降シリンダ１６ａが載置されている。可動板２３ａの裏面２５ａには、載置板２６ａの先端側に上下方向で対向するように、固定板２１ａ側に向かって延びる操作板２７ａが片持ちで支持されている。操作板２７ａは昇降シリンダ１６ａのシリンダロッド１９ａの上方に位置しており、操作板２７ａの下面２８ａがシリンダロッド１９ａに離接することで操作板２７ａが上下方向に操作される。

第１の測定機構１１ａでは、シリンダロッド１９ａが上昇して操作板２７ａを押し上げることで、板バネ１７ａの付勢力に抗してアーム部１８ａの先端側の第１の測定子１５ａが上方に移動される。また、シリンダロッド１９ａが沈み込んで操作板２７ａに対するシリンダロッド１９ａの押圧力が解除されることで、板バネ１７ａの付勢力によってアーム部１８ａの先端側の第１の測定子１５ａが下方に移動される。このように、第１の測定機構１１ａは、第１の移動部としての昇降シリンダ１６ａと板バネ１７ａによってチャックテーブル４１の上面４２に対して垂直方向に移動される。

第２の測定機構１１ｂも第１の測定機構１１ａと同様に構成されており、第２の移動部としての昇降シリンダ１６ｂと上下の板バネ１７ｂによって第２の測定子１５ｂをチャックテーブル４１の上面４２に対して垂直方向に移動される（図２参照）。また、第１の測定機構１１ａと第２の測定機構１１ｂとの間には、第１の測定子１５ａの高さと第２の測定子１５ｂの高さとの差を測定する高さ差測定部１２が設けられている。高さ差測定部１２は、第２の測定機構１１ｂに支持されたセンサ部３１を用いて、センサ部３１のセンサ面３２から第１の測定機構１１ａに設けられた測定板３３までの距離を測定している。

高さ差測定部１２は、センサ部３１のセンサ面３２から測定板３３までの距離の変化量に応じて、第１、第２の測定子１５ａ、１５ｂの高さ差を測定している。この場合、高さ差測定部１２は、センサ部３１に接続された原点出し部１３によって原点出しされている。原点出し部１３は、板状ワークＷを載置する前に、チャックテーブル４１の上面４２に第１の測定子１５ａと第２の測定子１５ｂとを接触させたときの高さ差の測定値をゼロにして原点出しを行っている。高さ差測定部１２は、このときの高さ差を基準とした第１の測定子１５ａと第２の測定子１５ｂの高さ差の変化量を測定している。

このように、高さ差測定部１２は、第１、第２の測定子１５ａ、１５ｂの個々の高さ位置を測定するのではなく、第１、第２の測定子１５ａ、１５ｂの高さ差だけを測定している。すなわち、チャックテーブル４１の上面４２に対する第１の測定子１５ａの接触位置と板状ワークＷの上面４８に対する第２の測定子１５ｂの接触位置を個々に測定せず、チャックテーブル４１の上面４２に対する第１の測定子１５ａの接触位置から板状ワークＷの上面４８に対する第２の測定子１５ｂの接触位置までの距離だけを直接的に測定している。第１、第２の測定子１５ａ、１５ｂの高さ差は、板状ワークＷの厚みに対応している。

高さ差測定部１２の測定値は、板状ワークＷの厚みとして研削装置（不図示）の制御部に出力されて研削量の制御に使用される。本実施の形態に係る高さ差測定部１２では、チャックテーブル４１の上面高さと板状ワークＷの上面高さを個別に測定する構成ではないため、個々の上面高さ測定時の測定精度の影響を受けることがない。また、板状ワークＷの厚みを直接的に測定するための算出処理も不要になっている。

なお、高さ差測定部１２のセンサ部３１は、第１、第２の測定子１５ａ、１５ｂの高さ差を測定可能な構成であればよく、例えば、渦流センサ、静電容量センサ、超音波センサのいずれで構成されてもよい。センサ部３１は、非接触式のセンサに限らず、接触式のセンサで構成されてもよい。第１の測定機構１１ａに測定板３３、第２の測定機構１１ｂにセンサ部３１を設ける代わりに、第１の測定機構１１ａにセンサ部３１、第２の測定機構１１ｂに測定板３３を設けてもよい。また、センサ部３１及び測定板３３は、第１、第２の測定子１５ａ、１５ｂと一体に移動すればよく、第１、第２の測定機構１１ａ、１１ｂのどの位置に設けられてもよい。

続いて、図２及び図３を参照して、第１の実施の形態に係るワーク厚み測定器の測定動作について説明する。図２は、第１の実施の形態に係る第２の測定機構の第２の測定子の動作説明図である。図３は、第１の実施の形態に係るワーク厚み測定器の測定動作の説明図である。なお、第１の測定機構の第１の測定子の動作は第２の測定機構の第２の測定子の動作と略同様であるため、ここでは説明を省略する。

まず、第２の測定子の動作について説明する。図２Ａに示すように、第２の測定機構１１ｂは、第２の測定子１５ｂをチャックテーブル４１の保持面４３上に載置する。昇降シリンダ１６ｂのシリンダロッド１９ｂは沈み込んでおり、シリンダロッド１９ｂの上端が操作板２７ｂの下面２８ｂから離れている。このため、上下の板バネ１７ｂの付勢力によって、アーム部１８ｂの先端側の第２の測定子１５ｂが保持面４３に押し付けられている。この状態では、第１の測定機構１１ａの第１の測定子１５ａもチャックテーブル４１の環状平面４４に押し付けられており、第１、第２の測定子１５ａ、１５ｂの高さ差測定の原点出しが行われる（図３Ａ参照）。

次に、図２Ｂに示すように、昇降シリンダ１６ｂのシリンダロッド１９ｂが突出して、シリンダロッド１９ｂの上端が操作板２７ｂの下面２８ｂに当接される。これにより、上下の板バネ１７ｂの付勢力に抗してシリンダロッド１９ｂによって操作板２７ｂが押し上げられて、アーム部１８ｂの先端側の第２の測定子１５ｂがチャックテーブル４１の保持面４３から離間される。このとき、第２の測定子１５ｂの下端が板状ワークＷの厚みよりも僅かに高くなる位置で、操作板２７ｂがシリンダロッド１９ｂの押圧力によって支持されている。この状態で、チャックテーブル４１の保持面４３に板状ワークＷが保持される。

次に、図２Ｃに示すように、昇降シリンダ１６ｂのシリンダロッド１９ｂが沈み込み、シリンダロッド１９ｂの上端が操作板２７ｂの下面２８ｂから離間される。これにより、操作板２７ｂを支えていたシリンダロッド１９ｂの押圧力が解除され、上下の板バネ１７ｂの付勢力によって操作板２７ｂと共にアーム部１８ｂの先端側の第２の測定子１５ｂが下方に移動される。そして、第２の測定子１５ｂの下端が板状ワークＷの上面４８に当接され、第２の測定子１５ｂの下端が上下の板バネ１７ｂの付勢力によって板状ワークＷの上面４８に押し付けられる。このようにして、板状ワークＷの上面４８に第２の測定子１５ｂが接触される。

続いて、ワーク厚み測定器１の測定動作について説明する。図３Ａに示すように、チャックテーブル４１上に板状ワークＷが保持されていない初期状態では、第１の測定子１５ａがチャックテーブル４１の環状平面４４に接触され、第２の測定子１５ｂがチャックテーブル４１の環状平面４４と同一面上の保持面４３に接触されている。この初期状態で、高さ差測定部１２によりセンサ部３１のセンサ面３２と測定板３３との距離Ｌ_０が測定され、距離Ｌ_０がゼロにされて高さ差測定部１２の原点出しが行われる。これにより、第１、第２の測定子１５ａ、１５ｂが同一平面内で接触する際のセンサ面３２の高さが原点Ｏに設定される。

次に、図３Ｂに示すように、チャックテーブル４１上に板状ワークＷが保持された状態では、第１の測定子１５ａがチャックテーブル４１の環状平面４４に接触され、第２の測定子１５ｂが板状ワークＷの上面４８に接触されている。そして、高さ差測定部１２によりセンサ部３１のセンサ面３２の原点Ｏからの距離Ｌ_１が測定される。この距離Ｌ_１は、第１の測定子１５ａと第２の測定子１５ｂの高さ差、すなわち板状ワークＷの厚みｔに相当している。このように、本実施の形態に係るワーク厚み測定器１では、板状ワークＷの厚みｔが直接的に測定される。

次に、図３Ｃに示すように、チャックテーブル４１に保持された板状ワークＷの上方に研削ユニット４６が位置付けられる。そして、研削ユニット４６の研削ホイール４７が回転しながらチャックテーブル４１に近づけられ、研削ホイール４７と板状ワークＷの上面４８とが回転接触することで板状ワークＷが研削される。研削中は、ワーク厚み測定器１によって板状ワークＷの厚みｔがリアルタイムに測定される。そして、ワーク厚み測定器１の測定値が板状ワークＷの仕上げ厚みに近づくように研削ユニット４６の送り量が制御される。

研削ユニット４６の送り量の制御では、ワーク厚み測定器１からは板状ワークＷの厚みｔが直接的に測定されるため、板状ワークＷの厚みｔを求めるためにチャックテーブル４１の上面高さや板状ワークＷの上面高さに関する情報が不要である。よって、研削中に、板状ワークＷの厚みｔをチャックテーブル４１の上面高さと板状ワークＷの上面高さからリアルタイムで算出する必要がなく、研削装置の制御構成を簡略化することができる。なお、チャックテーブル４１の上面高さに関する情報は、研削ユニット４６の送り量の制御には使用されないが、セットアップ等で使用されるように予め装置内に記憶されている。

以上のように、第１の実施の形態に係るワーク厚み測定器１によれば、第１の測定子１５ａと第２の測定子１５ｂの高さ差から、チャックテーブル４１の上面４２から板状ワークＷの上面４８までの高さである板状ワークＷの厚みｔが直接的に測定される。このため、チャックテーブル４１の上面高さと板状ワークＷの上面高さの個別の測定値が不要となり、個別の測定値を用いた算出処理を省略して制御構成を簡略化することができる。また、個別の測定値が不要になるため、チャックテーブル４１及び板状ワークＷの上面高さの測定精度の影響を受けることがない。

次に、図４及び図５を参照して、第２の実施の形態に係るワーク厚み測定器について説明する。図４は、第２の実施の形態に係るワーク厚み測定器の模式図である。図５は、第２の実施の形態に係るワーク厚み測定器の測定動作の説明図である。なお、第２の実施の形態は、片側の昇降シリンダで第１、第２の測定子をチャックテーブルの上面に対して垂直方向に移動させる点でのみ第１の実施の形態と相違している。したがって、主に相違点について詳細に説明する。

図４に示すように、第２の実施の形態に係るワーク厚み測定器５０は、第１の測定機構５１ａの昇降シリンダ５２ａの昇降動作に第２の測定機構５１ｂの昇降シリンダ５２ｂの昇降動作が連動するように構成されている。第１、第２の測定機構５１ａ、５１ｂは、それぞれ支持台７１の側面７２から突出したアーム部７３ａ、７３ｂの先端に支持されている。第１の測定機構５１ａの昇降シリンダ５２ａからはシリンダロッドとなる第１の測定子５３ａが突出している。第１の測定子５３ａの上端部には、昇降シリンダ５２ａの内部を上下に仕切るようにピストン５４が設けられている。

昇降シリンダ５２ａの上側には、ピストン５４の上方空間にエアを取り込む連通管５５が設けられ、昇降シリンダ５２ａの下側には、ピストン５４の下方空間にエアを取り込む連通管５６が設けられている。連通管５５、５６に対する吸排気により、ピストン５４を介して第１の測定子５３ａが昇降される。一方、第２の測定機構５１ｂの昇降シリンダ５２ｂは、第１の測定機構５１ａの昇降シリンダ５２ａよりも小径に形成されており、昇降シリンダ５２ｂからはシリンダロッドとなる第２の測定子５３ｂが突出している。第２の測定機構５１ｂの昇降シリンダ５２ｂ自体には、第２の測定子５３ｂを昇降させる構成が設けられていない。

第１の測定機構５１ａと第２の測定機構５１ｂとの間には、第１の測定子５３ａの高さと第２の測定子５３ｂの高さとの差を測定する高さ差測定部５７が設けられている。高さ差測定部５７では、第１の測定子５３ａに測定板６１が設けられ、第２の測定子５３ｂに支持板６２を介してセンサ部６３が設けられている。高さ差測定部５７は、第２の測定子５３ｂに支持されたセンサ部６３のセンサ面６４（図５参照）から第１の測定子５３ａに支持された測定板６１までの距離に基づいて、第１、第２の測定子５３ａ、５３ｂの高さ差を測定している。センサ部６３には、高さ差測定部５７の原点出しを行う原点出し部６５が接続されている。

また、第１の測定子５３ａに設けられた測定板６１は、第２の測定子５３ｂに設けられた支持板６２の下側に位置している。このため、第１の測定機構５１ａの昇降シリンダ５２ａによって第１の測定子５３ａが上昇されると、測定板６１によって支持板６２が持ち上げられて第２の測定子５３ｂも上昇される。また、第１の測定機構５１ａの昇降シリンダ５２ａによって第１の測定子５３ａが下降されると、第２の測定子５３ｂは自重により下降する。このように、第２の実施の形態に係るワーク厚み測定器５０では、第１の測定子５３ａの昇降動作に第２の測定子５３ｂの昇降動作が連動される。

続いて、ワーク厚み測定器５０の測定動作について説明する。図５Ａに示すように、チャックテーブル４１上に板状ワークＷが保持されていない初期状態では、第１の測定子５３ａがチャックテーブル４１の環状平面４４に接触され、第２の測定子５３ｂがチャックテーブル４１の環状平面４４と同一平面上の保持面４３に接触されている。このとき、昇降シリンダ５２ａ内に上側の連通管５５からエアが供給され、下側の連通管５６から昇降シリンダ５２ａ内のエアが排出される。よって、第１の測定子５３ａはチャックテーブル４１の環状平面４４に押し付けられている。また、第２の測定子５３ｂは自重によってチャックテーブル４１の保持面４３に押し付けられている。

この初期状態で、高さ差測定部５７によりセンサ部６３のセンサ面６４と測定板６１との距離が測定され、距離がゼロにされて高さ差測定部５７の原点出しが行われる。これにより、第１、第２の測定子５３ａ、５３ｂが同一平面内で接触する際のセンサ面６４の高さが原点Ｏに設定される。なお、第２の実施の形態では、第１、第２の測定子５３ａ、５３ｂが同一平面に接触した状態で、測定板６１にセンサ面６４が接触しているが、この初期状態で測定板６１からセンサ面６４が離れていてもよい。

次に、図５Ｂに示すように、昇降シリンダ５２ａ内に下側の連通管５６からエアが供給され、上側の連通管５５から昇降シリンダ５２ａ内のエアが排出される。そして、昇降シリンダ５２ａ内のピストン５４と共に第１の測定子５３ａが上昇され、第１の測定子５３ａに設けられた測定板６１が第２の測定子５３ｂに設けられた支持板６２に下方から当接される。これにより、測定板６１によって支持板６２が押し上げられて、第１の測定子５３ａがチャックテーブル４１の環状平面４４から離間されると共に、第２の測定子５３ｂがチャックテーブル４１の保持面４３から離間される。このとき、第２の測定子５３ｂの下端が板状ワークＷの上方に位置付けられ、チャックテーブル４１の保持面４３に板状ワークＷが保持される。

次に、図５Ｃに示すように、昇降シリンダ５２ａ内に上側の連通管５５からエアが供給され、下側の連通管５６から昇降シリンダ５２ａ内のエアが排出される。そして、昇降シリンダ５２ａ内のピストン５４と共に第１の測定子５３ａが下降され、第１の測定子５３ａがチャックテーブル４１の環状平面４４に接触される。また、支持板６２を支えていた測定板６１が下降することで、支持板６２に設けられた第２の測定子５３ｂが自重によって下降され、第２の測定子５３ｂが板状ワークＷの上面４８に接触される。そして、センサ部６３のセンサ面６４の原点Ｏからの距離Ｌ_１が測定され、板状ワークＷの厚みｔが直接的に測定される。

以上のように、第２の実施の形態に係るワーク厚み測定器５０においても、板状ワークＷの厚みｔが直接的に測定される。このため、チャックテーブル４１の上面高さと板状ワークＷの上面高さの個別の測定値が不要となり、個別の測定値を用いた算出処理を省略して制御構成を簡略化することができる。また、個別の測定値が不要になるため、チャックテーブル４１及び板状ワークＷの上面高さの測定精度の影響を受けることがない。また、第１の測定機構５１ａにのみ駆動式の昇降シリンダ５２ａを設ければよいので、部品点数を削減することができ、装置構成を簡略化することができる。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

例えば、第１の実施の形態において、第１、第２の測定機構１１ａ、１１ｂがそれぞれ昇降シリンダ１６ａ、１６ｂを備える構成としたが、この構成に限定されない。第１、第２の測定機構１１ａ、１１ｂのいずれか一方に昇降シリンダ１６を設けて、第１、第２の測定子１５ａ、１５ｂを同時に持ち上げるように構成されてもよい。すなわち、第１、第２の測定機構１１ａ、１１ｂの操作板２７ａ、２７ｂを連結させて、一方の昇降シリンダ１６によって昇降した一方の操作板２７に他方の操作板２７を連動させるようにする。

また、第１の実施の形態では、第１の測定子１５ａを移動させる第１の移動部が昇降シリンダ１６ａ及び板バネ１７ａで構成されたが、この構成に限定されない。第１の移動部は、第１の測定子１５ａをチャックテーブル４１の上面４２に対して垂直方向に移動可能な構成であれば、どのように構成されてもよい。同様に、第２の移動部は、第２の測定子１５ｂをチャックテーブル４１の上面４２に対して垂直方向に移動可能な構成であれば、どのように構成されてもよい。

また、第２の実施の形態では、第１の測定子５３ａを移動させる第１の移動部が昇降シリンダ５２ａで構成されたが、この構成に限定されない。第１の移動部は、第１の測定子５３ａをチャックテーブル４１の上面４２に対して垂直方向に移動可能な構成であれば、どのように構成されてもよい。また、第２の測定子５３ｂを移動させる第２の移動部が昇降シリンダ５２ｂと昇降シリンダ５２ａで構成されたが、この構成に限定されない。第２の移動部は、第１の移動部の駆動に連動して、第２の測定子５３ｂをチャックテーブル４１の上面４２に対して垂直方向に移動可能な構成であれば、どのように構成されてもよい。昇降シリンダ５２ａは、第１、第２の測定子５３ａ、５３ｂを上昇させるときだけ連通管５６にエアを供給し、連通管５５、５６を大気に開放させて第１、第２の測定子５３ａ、５３ｂを自重で下降させてもよい。

また、各実施の形態では、第１の測定子１５ａ、５３ａがピン状に形成されたが、この構成に限定されない。第１の測定子１５ａ、５３ａはチャックテーブル４１の上面４２に対して接触可能な構成であれば、どのように構成されてもよい。同様に、第２の測定子１５ｂ、５３ｂは板状ワークＷの上面４８に対して接触可能な構成であれば、どのように構成されてもよい。

また、各実施の形態では、ワーク厚み測定器１、５０が原点出し部１３、６５を備える構成としたが、この構成に限定されない。ワーク厚み測定器１、５０は、原点出しせずに板状ワークＷの厚みを測定可能であれば、原点出し部１３、６５を備えない構成にしてもよい。

また、各実施の形態では、ワーク厚み測定器１、５０が研削装置に設けられる構成について説明したが、この構成に限定されない。ワーク厚み測定器１、５０は、板状ワークＷの厚み測定に用いられる他の加工装置に適用可能である。

また、各実施の形態では、高さ差測定部１２、５７が第１の測定機構１１ａ、５１ａ及び第２の測定機構１１ｂ、５１ｂのいずれか一方にスケールを取り付け、いずれか他方にスケールの値を読み取る読み取り器を設けて測定する構成にしてもよい。

以上説明したように、本発明は、簡易な制御構成で、板状ワークの厚みを高精度に測定することができるという効果を有し、特に、研削中の板状ワークの厚みをリアルタイムで測定するワーク厚み測定器に有用である。

１、５０ワーク厚み測定器
１１ａ、５１ａ第１の測定機構
１１ｂ、５１ｂ第２の測定機構
１２、５７高さ差測定部
１３、６５原点出し部
１５ａ、５３ａ第１の測定子
１５ｂ、５３ｂ第２の測定子
１６ａ、１６ｂ、５２ａ、５２ｂ昇降シリンダ（第１、第２の移動部）
１７ａ、１７ｂ板バネ（第１、第２の移動部）
３１、６３センサ部
３２、６４センサ面
３３、６１測定板
４１チャックテーブル
４２チャックテーブルの上面
４８板状ワークの上面
Ｗ板状ワーク

Claims

チャックテーブルで保持する板状ワークの厚みを測定するワーク厚み測定器であって、
該チャックテーブルの上面に接触する第１の測定子と、該第１の測定子を該チャックテーブルの上面に対して垂直方向に移動させる第１の移動部と、を備える第１の測定機構と、
該チャックテーブルの上面に保持される板状ワークの上面に接触させる第２の測定子と、該第２の測定子を該チャックテーブルの上面に対して垂直方向に移動させる第２の移動部と、を備える第２の測定機構と、
該第１の測定子の高さと該第２の測定子の高さとの差を測定する高さ差測定部と、
同一面上に該第１の測定子と該第２の測定子とを接触させた時の該高さ差測定部が測定した測定値をゼロにして該高さ差測定部の原点出しを行なう原点出し部と、で少なくとも構成され、
該高さ差測定部が測定した測定値を板状ワークの厚みとするワーク厚み測定器。