JP2015102365A - ワーク厚み測定器 - Google Patents
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Abstract
Description
11a、51a 第1の測定機構
11b、51b 第2の測定機構
12、57 高さ差測定部
13、65 原点出し部
15a、53a 第1の測定子
15b、53b 第2の測定子
16a、16b、52a、52b 昇降シリンダ(第1、第2の移動部)
17a、17b 板バネ(第1、第2の移動部)
31、63 センサ部
32、64 センサ面
33、61 測定板
41 チャックテーブル
42 チャックテーブルの上面
48 板状ワークの上面
W 板状ワーク
Claims (2)
- チャックテーブルで保持する板状ワークの厚みを測定するワーク厚み測定器であって、
該チャックテーブルの上面に接触する第1の測定子と、該第1の測定子を該チャックテーブルの上面に対して垂直方向に移動させる第1の移動部と、を備える第1の測定機構と、
該チャックテーブルの上面に保持される板状ワークの上面に接触させる第2の測定子と、該第2の測定子を該チャックテーブルの上面に対して垂直方向に移動させる第2の移動部と、を備える第2の測定機構と、
該第1の測定子の高さと該第2の測定子の高さとの差を測定する高さ差測定部と、で少なくとも構成され、
該高さ差測定部が測定した測定値を板状ワークの厚みとするワーク厚み測定器。 - 同一面上に該第1の測定子と該第2の測定子とを接触させた時の該高さ差測定部が測定した測定値をゼロにして高さ差測定部の原点出しを行なう原点出し部を備えた請求項1記載のワーク厚み測定器。
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