JP2014056352A5 - - Google Patents
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本発明は、可動部と該可動部を駆動する駆動部とを含む構造体と、前記駆動部を制御する制御器と、を備える位置決め装置であって、前記制御器は、前記可動部の位置及び姿勢の少なくともいずれかの複数の状態のデータを用いて、前記状態に応じて変化する前記構造体の固有振動数のデータを取得し、取得した固有振動数のデータを用いて、前記状態に応じて変化する前記構造体の固有振動数の固有振動を低減するように前記駆動部を制御する、ことを特徴とする。
Claims (14)
- 可動部と該可動部を駆動する駆動部とを含む構造体と、前記駆動部を制御する制御器と、を備える位置決め装置であって、
前記制御器は、
前記可動部の位置及び姿勢の少なくともいずれかの複数の状態のデータを用いて、前記状態に応じて変化する前記構造体の固有振動数のデータを取得し、
取得した固有振動数のデータを用いて、前記状態に応じて変化する前記構造体の固有振動数の固有振動を低減するように前記駆動部を制御する、ことを特徴とする位置決め装置。 - 前記制御器は、
前記可動部の位置及び姿勢の少なくともいずれかの状態と、前記状態に応じて変化する前記構造体の固有振動数との関係を規定するモデルを有し、
前記駆動部が駆動する期間の前記状態の変化のデータを取得し、該変化する状態のデータを前記モデルに入力することによって前記構造体の固有振動数の変化を求め、前記変化する前記構造体の固有振動数の固有振動を低減するように前記駆動部を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。 - 前記制御器は、複数の固有振動数のうち最小次数の固有振動数の固有振動を低減するように前記駆動部を制御する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の位置決め装置。
- 前記制御器は、前記変化する固有振動数に基づき前記可動部の加速度プロファイルを作成し、該加速度プロファイルに基づいて前記駆動部を制御し、前記加速度プロファイルは、前記可動部の加速度が一定である第１区間と、前記加速度が変化し、前記固有振動数から求められる固有周期の整数倍の時間を持つ第２区間とを有する、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の位置決め装置。
- 前記制御器は、前記第２区間の加速度を一定の加速度で変化させる、ことを特徴とする請求項４に記載の位置決め装置。
- 前記制御器は、前記第２区間の加速度を、前記第１区間における一定の加速度を一辺とする矩形形状の加速度プロファイルに対して前記固有周期の整数倍の時間を移動平均時間として移動平均を２回施して求める、ことを特徴とする請求項４に記載の位置決め装置。
- 前記制御器は、前記第２区間の加速度をαとし、前記固有周期をＴｉし、時刻をｔとし、（π／Ｔｉ）＝ω０とし、Ａを定数とするとき、前記第２区間の加速度αをα＝Ａ×（１−ｃｏｓ（ω０ｔ））／２又はα＝Ａ×（１−ｃｏｓ（ω０ｔ））２／２と決定する、ことを特徴とする請求項４に記載の位置決め装置。
- 前記モデルは、ばね・質量系モデルである、ことを特徴とする請求項２に記載の位置決め装置。
- 前記駆動部は、回転モータを含み、
前記制御器は、前記状態に応じて変化する前記構造体の固有振動数の固有振動を低減するように前記回転モータの回転数を制御する、ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の位置決め装置。 - プローブを被計測面に対して移動させることにより前記被計測面の形状を計測する計測装置であって、
前記プローブを位置決めする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の位置決め装置を備え、
前記プローブは、前記可動部によって保持されている、
ことを特徴とする計測装置。 - 前記制御器は、前記被計測面の設計情報、又は、前記計測装置を用いて前記被計測面を予め計測したときに得られた計測結果から前記状態の変化のデータの推移を取得する、ことを特徴とする請求項１０に記載の計測装置。
- 前記プローブは、前記計測面と接触しながら移動される接触プローブである、ことを特徴とする請求項１０又は１１に記載の計測装置。
- 前記プローブは、光源から射出された計測光を前記被計測面の上で走査する走査部と前記被計測面で反射された計測光を検出する検出部とを含む非接触プローブであり、
前記走査部は、前記光源から射出された計測光を前記被計測面に向けて反射するガルバノミラーと該ガルバノミラーを回転駆動する回転駆動部とを含み、
前記制御器は、前記状態に応じて変化する前記構造体の固有振動数の固有振動を低減するように前記回転駆動部を制御する、
ことを特徴とする請求項１０又は１１に記載の計測装置。 - 前記制御器は、前記検出部による検出のサンプリング周波数を前記回転駆動部の駆動周波数と比例するように決定する、ことを特徴とする請求項１３に記載の計測装置。
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