JP6374938B2 - ガルバノスキャナ - Google Patents
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
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Description
200 :動作部
210 :スキャンミラー
220 :回転軸
230 :磁石
240 :ミラーマウント
250 :マウント押さえ具
260 :留め具
300 :反力吸収部
310 :内側筐体
311 :内部スペース
320 :コイル
330 :鉄芯
350 :内側摺動部材
360 :内側摺動部材
400 :固定部
410 :外側筐体
411 :内部スペース
450 :外側摺動部材
460 :外側摺動部材
500 :角度検出器
510 :円盤
520 :検出器
Claims (1)
- 回転軸を備えた動作部と、
前記回転軸を回転可能に支持する内側摺動部材と、
前記内側摺動部材を介して前記回転軸の外側に設けられ前記動作部との間に働く力を角加速度に置き換える反力吸収部と、
前記反力吸収部を回転可能に支持する外側摺動部材と、
前記外側摺動部材を介して前記反力吸収部の外側に設けられる固定部と、
を備える、ガルバノスキャナ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016223619A JP6374938B2 (ja) | 2016-11-16 | 2016-11-16 | ガルバノスキャナ |
US15/814,550 US10330925B2 (en) | 2016-11-16 | 2017-11-16 | Galvanometer scanner |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016223619A JP6374938B2 (ja) | 2016-11-16 | 2016-11-16 | ガルバノスキャナ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018081211A JP2018081211A (ja) | 2018-05-24 |
JP6374938B2 true JP6374938B2 (ja) | 2018-08-15 |
Family
ID=62107764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016223619A Active JP6374938B2 (ja) | 2016-11-16 | 2016-11-16 | ガルバノスキャナ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10330925B2 (ja) |
JP (1) | JP6374938B2 (ja) |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0561547A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-12 | Tokyo Inst Of Technol | 位置決め装置 |
KR101126884B1 (ko) * | 2004-04-05 | 2012-03-19 | 액셀리스 테크놀로지스, 인크. | 공작물을 주사하는 왕복 구동 장치 |
JP4720844B2 (ja) | 2008-03-31 | 2011-07-13 | ブラザー工業株式会社 | 画像表示装置 |
WO2009150210A2 (en) * | 2008-06-11 | 2009-12-17 | Pantec Biosolutions Ag | Apparatus and method for the deflection of electromagnetic radiation, in particular of a laser beam |
JP5275880B2 (ja) | 2009-04-03 | 2013-08-28 | 株式会社トプコン | 光画像計測装置 |
US9099908B2 (en) * | 2010-01-15 | 2015-08-04 | Eyekon Systems Llc | Fast acceleration reaction force cancelling motor |
JP5511644B2 (ja) | 2010-12-07 | 2014-06-04 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
JP5729622B2 (ja) | 2013-10-22 | 2015-06-03 | 国立大学法人 東京大学 | ブラーレス画像撮像システム |
KR20170016990A (ko) * | 2014-07-31 | 2017-02-14 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 갈바노 스캐너 및 레이저 가공 장치 |
JP6063081B2 (ja) | 2016-04-01 | 2017-01-18 | 株式会社ソディック | 積層造形装置 |
-
2016
- 2016-11-16 JP JP2016223619A patent/JP6374938B2/ja active Active
-
2017
- 2017-11-16 US US15/814,550 patent/US10330925B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180136459A1 (en) | 2018-05-17 |
JP2018081211A (ja) | 2018-05-24 |
US10330925B2 (en) | 2019-06-25 |
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A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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