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本発明の回転往復駆動アクチュエーターの一つの態様は、
動マグネットが外周に固定された軸部を有し、軸周りに往復回転可能な可動体と、
軸受けを介して前記軸部を回転自在に支持する一対の壁部を有するベース部と、
前記可動マグネットを挟むように前記可動マグネットの外周に対向する偶数の磁極を有するコア体と、前記コア体に巻回され、前記可動マグネットと相互作用する磁束を通電により発生して前記可動体を往復回転させるコイル体、前記可動マグネットとの間に磁気吸引力を発生して前記往復回転の基準位置を規定するマグネット位置保持部と、を有し、前記一対の壁部のうちの一方の壁部に取り付けられた駆動ユニットと
記一対の壁部のうちの他方の壁部に取り付けられ、前記軸部の回転角度を検知する角度センサー部と、
を備える

Claims (13)

  1. 動マグネットが外周に固定された軸部を有し、軸周りに往復回転可能な可動体と、
    軸受けを介して前記軸部を回転自在に支持する一対の壁部を有するベース部と、
    前記可動マグネットを挟むように前記可動マグネットの外周に対向する偶数の磁極を有するコア体と、前記コア体に巻回され、前記可動マグネットと相互作用する磁束を通電により発生して前記可動体を往復回転させるコイル体、前記可動マグネットとの間に磁気吸引力を発生して前記往復回転の基準位置を規定するマグネット位置保持部と、を有し、前記一対の壁部のうちの一方の壁部に取り付けられた駆動ユニットと
    記一対の壁部のうちの他方の壁部に取り付けられ、前記軸部の回転角度を検知する角度センサー部と
    を備える回転往復駆動アクチュエーター。
  2. 前記コア体は、一対の前記磁極及び前記マグネット位置保持部の外側を囲むC字状の磁路と、前記可動マグネットに対して前記マグネット位置保持部の反対側から一対の前記磁極夫々に向かう一対のL字状の磁路と、を連続して形成するように、構成された、
    請求項1に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
  3. 前記角度センサー部は、前記他方の壁部の外面側に取り付けられている、
    請求項1又は2に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
  4. 前記角度センサー部は、光センサーと、前記可動マグネットと一体に回転するよう、取付材を介して前記軸部に取り付けられ、前記光センサーによって回転位置が検出されるエンコーダーディスクと、を有する、
    請求項1から3のいずれか1項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
  5. 前記一対の壁部は、それぞれ、前記軸部が挿通される挿通孔と、前記挿通孔と前記壁部の外縁とを連通する切欠穴と、を有する、
    請求項1から4のいずれか1項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
  6. 前記可動マグネットは、リング形状を成し、前記軸部の外周で、S極及びN極を成す偶数の磁極が交互に着磁されて構成され、
    前記コア体の磁極数と前記可動マグネットの磁極数は、等しく、
    前記コア体の前記偶数の磁極は、前記可動マグネットと、前記軸部の外周側でエアギャップを挟み各々対向して配置されている、
    請求項1から5のいずれか1項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
  7. 前記可動マグネットは、前記軸部の外周で、偶数の磁極が等間隔に着磁されている、
    請求項1からのいずれか1項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
  8. 前記マグネット位置保持部は、マグネットである、
    請求項1からのいずれか1項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
  9. 前記マグネット位置保持部は、前記コア体に設けられる凸状の磁極である、
    請求項1からのいずれか1項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
  10. 前記マグネット位置保持部は、前記コア体の前記偶数の磁極の間の位置であり、かつ、前記可動マグネットの径方向に対向した位置に、配置されている、
    請求項1からのいずれか1項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
  11. 前記コア体は、前記可動マグネットを挟む位置に配置された偶数の芯部を有し、前記コイル体は、前記芯部の各々にコイルが巻回されるように配置される、
    請求項1から10のいずれか1項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
  12. 可動対象物が軸部に接続され、前記可動対象物は、走査光を反射するミラーである、
    請求項1から11のいずれか1項に記載の回転往復駆動アクチュエーター。
  13. 請求項12に記載の回転往復駆動アクチュエーターと、
    前記ベース部に配置されたレーザー発光部又はレーザー受発光部と、
    を備えるスキャナーシステム。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020004514A1 (ja) * 2018-06-26 2020-01-02 ミツミ電機株式会社 回転往復駆動アクチュエータ
JP7140980B2 (ja) * 2019-12-13 2022-09-22 ミツミ電機株式会社 回転往復駆動アクチュエーター
JP2023006571A (ja) * 2021-06-30 2023-01-18 ミツミ電機株式会社 回転往復駆動アクチュエーター
US20240019684A1 (en) * 2022-07-15 2024-01-18 Mitsumi Electric Co., Ltd. Rotary reciprocating drive actuator
US20240019686A1 (en) * 2022-07-15 2024-01-18 Mitsumi Electric Co., Ltd. Rotary reciprocating drive actuator
US20240019685A1 (en) * 2022-07-15 2024-01-18 Mitsumi Electric Co., Ltd. Rotary reciprocating drive actuator
EP4307530A1 (en) * 2022-07-15 2024-01-17 Mitsumi Electric Co., Ltd. Rotary reciprocating drive actuator

Family Cites Families (88)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3952217A (en) * 1973-09-25 1976-04-20 The Perkin-Elmer Corporation Drive for scanning mirror
DE2723140C2 (de) * 1977-05-23 1986-06-12 Basf Ag, 6700 Ludwigshafen Vorrichtung zum Positionieren von Gegenständen
US4370019A (en) * 1978-12-23 1983-01-25 Canon Kabushiki Kaisha Optical scanning device with temperature control means
US4314295A (en) * 1979-10-18 1982-02-02 Burroughs Corporation Linear actuator with staggered flat coils
JPS5678342A (en) * 1979-11-26 1981-06-27 Kangiyou Denki Kiki Kk Printed circuit
US4490635A (en) * 1980-09-24 1984-12-25 Quantum Corporation Pure torque, limited displacement transducer
US4509109A (en) * 1982-09-13 1985-04-02 Hansen Thomas C Electronically controlled coil assembly
US4502752A (en) * 1982-11-08 1985-03-05 General Scanning, Inc. Resonant actuator for optical scanning
NL8400791A (nl) * 1984-03-13 1985-10-01 Philips Nv Trillingsmotor met een draaibaar gelagerd anker.
DE3526166C2 (de) * 1984-07-23 1996-05-02 Asahi Chemical Ind Bürstenloser Elektromotor und Verfahren zum Herstellen einer Spuleneinheit für diesen
JPH0681475B2 (ja) 1986-05-02 1994-10-12 国際技術開発株式会社 ロ−タリ−ソレノイド
FR2625335A1 (fr) * 1987-12-24 1989-06-30 Castelo Veronique Dispositif a miroir oscillant pour la deviation de rayons electromagnetiques
IL87252A (en) * 1988-07-28 1992-03-29 Israel State Scanning device
US4919500A (en) * 1988-09-09 1990-04-24 General Scanning, Inc. Torsion bar scanner with damping
US5206762A (en) * 1988-12-01 1993-04-27 Kabushiki Kaisha Toshiba Viscoelastic substance and objective lens driving apparatus with the same
US5187612A (en) * 1990-11-15 1993-02-16 Gap Technologies, Inc. Gyrating programmable scanner
US5130328A (en) 1991-09-06 1992-07-14 American Cyanamid Company N-alkanoylaminomethyl and N-aroylaminomethyl pyrrole insecticidal and acaricidal agents
US5610752A (en) * 1992-05-27 1997-03-11 Opticon Inc. Optical reader with vibrating mirror
US5283682A (en) * 1992-10-06 1994-02-01 Ball Corporation Reactionless scanning and positioning system
US5686832A (en) * 1993-05-17 1997-11-11 Nu-Tech & Engineering, Inc. Miniature crossed coil gauge having an active flux ring
JP2722314B2 (ja) * 1993-12-20 1998-03-04 日本信号株式会社 プレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法
DE69600298D1 (de) * 1995-03-31 1998-06-25 Daewoo Electronics Co Ltd Optisches Abtastgerät
US5703555A (en) * 1995-04-25 1997-12-30 Itt Automotive Electrical Systems Inc. Rotary actuator
US5982521A (en) * 1995-11-15 1999-11-09 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Optical scanner
US6144281A (en) * 1995-12-05 2000-11-07 Smiths Industries Aerospace & Defense Systems, Inc. Flexible lead electromagnetic coil assembly
DE19828679B4 (de) * 1997-06-27 2004-07-08 Pentax Corp. Galvanospiegel-System
US6424068B2 (en) * 1997-06-27 2002-07-23 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Galvano mirror unit
JP3456130B2 (ja) * 1997-11-26 2003-10-14 三菱電機株式会社 距離測定装置
US6188502B1 (en) * 1998-03-26 2001-02-13 Nec Corporation Laser pointing apparatus and on-fulcrum drive apparatus
JP2000134901A (ja) 1998-10-23 2000-05-12 Aichi Electric Co Ltd 永久磁石モータとそのセンサレス駆動回路装置
US6421208B1 (en) * 2000-05-30 2002-07-16 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive employing a voice coil motor comprising a yoke for generating a undirectional magnetic flux and a voice coil partially interacting with the undirectional magnetic flux
DE10038209A1 (de) * 2000-08-04 2002-02-14 Philips Corp Intellectual Pty Elektrisches Gerät mit einem Aktuator
JP4126883B2 (ja) 2001-03-29 2008-07-30 三菱電機株式会社 光学偏向装置およびこれを用いたレーザ加工装置
US7136547B2 (en) * 2001-03-30 2006-11-14 Gsi Group Corporation Method and apparatus for beam deflection
US9825499B2 (en) * 2001-05-24 2017-11-21 Arjuna Indraeswaran Rajasingham Axial gap electrical machine
JP2003043405A (ja) 2001-08-02 2003-02-13 Hitachi Via Mechanics Ltd スキャナ装置
CN1685760B (zh) * 2002-09-26 2011-04-13 精工爱普生株式会社 驱动机构
US6956684B2 (en) * 2002-11-08 2005-10-18 Texas Instruments Incorporated Multilayered oscillating device with spine support
EP1602165A1 (en) * 2003-03-13 2005-12-07 Elop Electro-Optics Industries Ltd. Torque producing device
JP4271514B2 (ja) 2003-06-30 2009-06-03 セイコープレシジョン株式会社 ステップモータ
US6967422B2 (en) * 2003-12-02 2005-11-22 Nelson Victor H Rotary actuator
US7420721B2 (en) * 2005-08-31 2008-09-02 Optoelectronics Co., Ltd. Oscillation scan mirror with magnetic retaining force acting between the holder and shaft to prevent relative tilt between shaft and bearings
EP1923985A4 (en) * 2005-09-07 2016-09-21 Alps Electric Co Ltd ACTUATOR AND HOLOGRAPHIC DEVICE USING THE SAME
JP5493240B2 (ja) * 2005-11-21 2014-05-14 株式会社リコー 光走査装置及び画像形成装置
JP4727509B2 (ja) 2006-06-13 2011-07-20 住友重機械工業株式会社 ビームスキャナ
US8752969B1 (en) * 2007-10-15 2014-06-17 Arete Associates Method of operating a fast scanning mirror
KR20090051859A (ko) * 2007-11-20 2009-05-25 삼성전기주식회사 스캐너 및 이를 구비하는 디스플레이 장치
US7586659B2 (en) * 2008-01-18 2009-09-08 Texas Instruments Incorporated Audio MEMS mirror feedback
JP5020880B2 (ja) * 2008-04-22 2012-09-05 キヤノン株式会社 ガルバノモータ及びガルバノモータシステム
WO2009147654A1 (en) * 2008-06-02 2009-12-10 Maradin Technologies Ltd. Gimbaled scanning micro-mirror apparatus
KR100956890B1 (ko) * 2008-06-17 2010-05-11 삼성전기주식회사 스캐너
JP2010014680A (ja) * 2008-07-07 2010-01-21 Sanyo Electric Co Ltd ビーム照射装置
JP5206610B2 (ja) * 2008-08-25 2013-06-12 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
JP2010265805A (ja) * 2009-05-14 2010-11-25 Kaneko Fumiko 磁力増強電磁式駆動装置
US8130436B2 (en) * 2009-02-17 2012-03-06 Prysm, Inc. Flexure actuator
US8193781B2 (en) * 2009-09-04 2012-06-05 Apple Inc. Harnessing power through electromagnetic induction utilizing printed coils
US8390909B2 (en) * 2009-09-23 2013-03-05 Metrologic Instruments, Inc. Molded elastomeric flexural elements for use in a laser scanning assemblies and scanners, and methods of manufacturing, tuning and adjusting the same
US8059324B2 (en) * 2009-09-23 2011-11-15 Metrologic Instruments, Inc. Scan element for use in scanning light and method of making the same
TWI416168B (zh) * 2010-02-05 2013-11-21 Ind Tech Res Inst 光學多環掃描元件
US8456724B2 (en) * 2010-06-17 2013-06-04 Touch Micro-System Technology Corp. Biaxial scanning mirror for image forming apparatus
JP2012068451A (ja) 2010-09-24 2012-04-05 Brother Ind Ltd 光スキャナ及び画像投影装置
JP5640687B2 (ja) * 2010-11-16 2014-12-17 セイコーエプソン株式会社 アクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置
US9122059B2 (en) * 2010-11-24 2015-09-01 Nec Corporation Optical scanning device
US8582191B2 (en) * 2011-01-28 2013-11-12 Prysm, Inc. Positioning sensing and position servo control
US9035502B2 (en) * 2011-02-07 2015-05-19 Lg Innotek Co., Ltd. Multifunctional voice coil motor
JPWO2013005527A1 (ja) * 2011-07-06 2015-02-23 日本電気株式会社 光走査装置、画像表示装置および光走査方法
US9077219B2 (en) * 2011-09-26 2015-07-07 Pangolin Laser Systems, Inc. Electromechanical limited rotation rotary actuator
US8915439B2 (en) * 2012-02-06 2014-12-23 Metrologic Instruments, Inc. Laser scanning modules embodying silicone scan element with torsional hinges
JP5875546B2 (ja) 2013-03-18 2016-03-02 三菱電機株式会社 ガルバノスキャナ
DE102013104410A1 (de) * 2013-04-30 2014-10-30 Scansonic Mi Gmbh Scannervorrichtung
DE202013103566U1 (de) * 2013-08-08 2013-08-21 Femotech Gmbh Optischer Resonanzscanner
US9285566B2 (en) * 2013-08-08 2016-03-15 Apple Inc. Mirror tilt actuation
US9997984B2 (en) * 2013-12-19 2018-06-12 Pinoeer Corporation Driving apparatus
WO2016123618A1 (en) * 2015-01-30 2016-08-04 Adcole Corporation Optical three dimensional scanners and methods of use thereof
JP5949972B1 (ja) * 2015-02-12 2016-07-13 日本電気株式会社 撮像装置
US10101457B1 (en) * 2015-07-15 2018-10-16 Apple Inc. Mirror tilt actuator
JP3204472U (ja) * 2016-03-16 2016-06-02 信統電産股▲ふん▼有限公司 回動式電磁ソレノイド
JP7032663B2 (ja) * 2016-12-20 2022-03-09 ミツミ電機株式会社 振動アクチュエータ、ウェアラブル端末及び着信通知機能デバイス
JP6587603B2 (ja) 2016-12-27 2019-10-09 三菱電機株式会社 ガルバノスキャナ及びレーザ加工装置
JP2018121167A (ja) * 2017-01-24 2018-08-02 株式会社東芝 電力監視制御システムおよび電力監視制御システム用プログラム
CN111656243A (zh) * 2017-12-28 2020-09-11 热电科学仪器有限公司 光学仪器中的镜对准
JP6452879B1 (ja) 2018-04-26 2019-01-16 株式会社日立製作所 光偏向機、および、光偏向機制御装置
WO2020004514A1 (ja) * 2018-06-26 2020-01-02 ミツミ電機株式会社 回転往復駆動アクチュエータ
US11803047B2 (en) * 2019-02-04 2023-10-31 Thorlabs Measurement Systems Inc. Actuator and beam steering mechanism using an actuator
FR3100400B1 (fr) * 2019-09-03 2022-03-11 Cedrat Tech Actionneur magnetique et systeme mecatronique
JP7140980B2 (ja) * 2019-12-13 2022-09-22 ミツミ電機株式会社 回転往復駆動アクチュエーター
WO2021232069A1 (en) * 2020-05-14 2021-11-18 Velodyne Lidar Usa, Inc. Scanning mirror mechanisms for lidar systems, and related methods and apparatus
JP2022030904A (ja) * 2020-08-07 2022-02-18 ミツミ電機株式会社 回転往復駆動アクチュエーター

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