JP2010228965A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5039120B2 (ja) * 2009-12-07 2012-10-03 東京エレクトロン株式会社 プラズマ処理装置用のアルミナ部材及びプラズマ処理装置用のアルミナ部材の製造方法
JP2012096931A (ja) * 2010-10-29 2012-05-24 Shin-Etsu Chemical Co Ltd 窒化アルミニウムを被覆した耐蝕性部材およびその製造方法
JP5527821B2 (ja) * 2010-12-03 2014-06-25 信越化学工業株式会社 耐蝕性部材
JP5876259B2 (ja) * 2011-04-14 2016-03-02 信越化学工業株式会社 窒化アルミニウム膜によって被覆された部材の製造方法
KR102519544B1 (ko) 2017-12-07 2023-04-07 삼성전자주식회사 웨이퍼 로딩 장치 및 막 형성 장치
CN114197038B (zh) * 2021-12-10 2024-06-07 中国电子科技集团公司第四十六研究所 一种提高氮化铝外延层紫外透过率的保护装置及使用方法
JP7721224B2 (ja) * 2022-05-18 2025-08-12 株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズ ウエハ支持体
JP2024110836A (ja) * 2023-02-03 2024-08-16 株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズ ウエハ支持体
TWI863741B (zh) * 2023-12-08 2024-11-21 翔名科技股份有限公司 靜電吸盤表面結構與其形成方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61163277A (ja) * 1985-01-11 1986-07-23 Nec Corp ＡｌＮ薄膜の合成法
JPS63297990A (ja) * 1987-05-29 1988-12-05 東芝セラミックス株式会社 低融点金属溶解保持炉用部材
JPS6452069A (en) * 1987-08-21 1989-02-28 Asahi Chemical Ind Method for synthesizing aluminum nitride film at high speed
JP2679798B2 (ja) * 1987-11-13 1997-11-19 東芝セラミックス株式会社 窒化アルミニウムの製造方法
JPH0674502B2 (ja) * 1990-03-29 1994-09-21 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置
JPH0786379A (ja) * 1993-09-13 1995-03-31 Kyocera Corp 半導体製造用サセプタ
JP3767719B2 (ja) * 1997-10-30 2006-04-19 信越化学工業株式会社 静電吸着装置
JP2002231645A (ja) * 2001-02-02 2002-08-16 Ngk Insulators Ltd 窒化物半導体膜の製造方法
JP4563230B2 (ja) * 2005-03-28 2010-10-13 昭和電工株式会社 ＡｌＧａＮ基板の製造方法
JP2007016272A (ja) * 2005-07-06 2007-01-25 Ge Speciality Materials Japan Kk 基板上に被覆形成される保護膜及びその製造方法
JP4823856B2 (ja) * 2006-11-01 2011-11-24 国立大学法人三重大学 ＡｌＮ系ＩＩＩ族窒化物単結晶厚膜の作製方法

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