RU2011105001A - Способ нанесения покрытия и антикоррозионное покрытие для компонентов турбин - Google Patents

Способ нанесения покрытия и антикоррозионное покрытие для компонентов турбин Download PDF

Info

Publication number
RU2011105001A
RU2011105001A RU2011105001/02A RU2011105001A RU2011105001A RU 2011105001 A RU2011105001 A RU 2011105001A RU 2011105001/02 A RU2011105001/02 A RU 2011105001/02A RU 2011105001 A RU2011105001 A RU 2011105001A RU 2011105001 A RU2011105001 A RU 2011105001A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coated
chemical vapor
vapor deposition
titanium nitride
framework
Prior art date
Application number
RU2011105001/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2473713C2 (ru
Inventor
Клаус КРУШ (DE)
Клаус КРУШ
Вернер ШТАММ (DE)
Вернер ШТАММ
Original Assignee
Сименс Акциенгезелльшафт (DE)
Сименс Акциенгезелльшафт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сименс Акциенгезелльшафт (DE), Сименс Акциенгезелльшафт filed Critical Сименс Акциенгезелльшафт (DE)
Publication of RU2011105001A publication Critical patent/RU2011105001A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2473713C2 publication Critical patent/RU2473713C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C23C16/403—Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/34—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23M—CASINGS, LININGS, WALLS OR DOORS SPECIALLY ADAPTED FOR COMBUSTION CHAMBERS, e.g. FIREBRIDGES; DEVICES FOR DEFLECTING AIR, FLAMES OR COMBUSTION PRODUCTS IN COMBUSTION CHAMBERS; SAFETY ARRANGEMENTS SPECIALLY ADAPTED FOR COMBUSTION APPARATUS; DETAILS OF COMBUSTION CHAMBERS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F23M5/00—Casings; Linings; Walls
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23R—GENERATING COMBUSTION PRODUCTS OF HIGH PRESSURE OR HIGH VELOCITY, e.g. GAS-TURBINE COMBUSTION CHAMBERS
    • F23R3/00—Continuous combustion chambers using liquid or gaseous fuel
    • F23R3/002—Wall structures
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23R—GENERATING COMBUSTION PRODUCTS OF HIGH PRESSURE OR HIGH VELOCITY, e.g. GAS-TURBINE COMBUSTION CHAMBERS
    • F23R3/00—Continuous combustion chambers using liquid or gaseous fuel
    • F23R3/007—Continuous combustion chambers using liquid or gaseous fuel constructed mainly of ceramic components
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23M—CASINGS, LININGS, WALLS OR DOORS SPECIALLY ADAPTED FOR COMBUSTION CHAMBERS, e.g. FIREBRIDGES; DEVICES FOR DEFLECTING AIR, FLAMES OR COMBUSTION PRODUCTS IN COMBUSTION CHAMBERS; SAFETY ARRANGEMENTS SPECIALLY ADAPTED FOR COMBUSTION APPARATUS; DETAILS OF COMBUSTION CHAMBERS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F23M2900/00—Special features of, or arrangements for combustion chambers
    • F23M2900/05004—Special materials for walls or lining
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23R—GENERATING COMBUSTION PRODUCTS OF HIGH PRESSURE OR HIGH VELOCITY, e.g. GAS-TURBINE COMBUSTION CHAMBERS
    • F23R2900/00—Special features of, or arrangements for continuous combustion chambers; Combustion processes therefor
    • F23R2900/00018—Manufacturing combustion chamber liners or subparts
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31678—Of metal

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

1. Способ покрытия поверхности (23) потенциально топливопроводящего компонента (3, 20) детали турбины, в котором поверхность (23) методом химического осаждения из газовой фазы сначала покрывают слоем нитрида титана (21), а затем слоем оксида α-алюминия (22). ! 2. Способ по п.1, в котором покрывается поверхность (23), которая содержит сталь марки 16Мо3. ! 3. Способ по п.1, в котором покрываемую поверхность (23) сначала нагревают, нагретую поверхность (23) покрывают нитридом титана и сразу после этого оксидом α-алюминия и затем покрытую поверхность снова охлаждают. ! 4. Способ по п.1, в котором покрытие нитридом титана и оксидом α-алюминия проводится в одной и той же печи (1). ! 5. Способ по п.1, в котором поверхность (23) покрывают нитридом титана путем газофазного аммонолиза или плазменным нанесением в атмосфере водорода. ! 6. Способ по п.1, в котором поверхность (23) в рамках химического осаждения из газовой фазы нагревают со скоростью повышения температуры от 700°С/ч до 900°С/ч. ! 7. Способ по п.1, в котором поверхность (23) в рамках химического осаждения из газовой фазы нагревают и/или охлаждают при давлении от 50 мбар до 150 мбар. ! 8. Способ по одному из пп.1-7, в котором поверхность (23) во время нагревания и/или охлаждения в рамках химического осаждения из газовой фазы продувают газом, содержащим аргон и водород. ! 9. Способ по п.1, в котором поверхность (23) в рамках химического осаждения из газовой фазы охлаждают со скоростью снижения температуры от 300°С/ч до 500°С/ч. ! 10. Способ по п.1, в котором поверхность (23) в рамках химического осаждения из газовой фазы покрывают при температуре от 900°С до 1100°С. ! 11. Способ по п.1, в котором поверхность (23) в рамках химического оса�

Claims (15)

1. Способ покрытия поверхности (23) потенциально топливопроводящего компонента (3, 20) детали турбины, в котором поверхность (23) методом химического осаждения из газовой фазы сначала покрывают слоем нитрида титана (21), а затем слоем оксида α-алюминия (22).
2. Способ по п.1, в котором покрывается поверхность (23), которая содержит сталь марки 16Мо3.
3. Способ по п.1, в котором покрываемую поверхность (23) сначала нагревают, нагретую поверхность (23) покрывают нитридом титана и сразу после этого оксидом α-алюминия и затем покрытую поверхность снова охлаждают.
4. Способ по п.1, в котором покрытие нитридом титана и оксидом α-алюминия проводится в одной и той же печи (1).
5. Способ по п.1, в котором поверхность (23) покрывают нитридом титана путем газофазного аммонолиза или плазменным нанесением в атмосфере водорода.
6. Способ по п.1, в котором поверхность (23) в рамках химического осаждения из газовой фазы нагревают со скоростью повышения температуры от 700°С/ч до 900°С/ч.
7. Способ по п.1, в котором поверхность (23) в рамках химического осаждения из газовой фазы нагревают и/или охлаждают при давлении от 50 мбар до 150 мбар.
8. Способ по одному из пп.1-7, в котором поверхность (23) во время нагревания и/или охлаждения в рамках химического осаждения из газовой фазы продувают газом, содержащим аргон и водород.
9. Способ по п.1, в котором поверхность (23) в рамках химического осаждения из газовой фазы охлаждают со скоростью снижения температуры от 300°С/ч до 500°С/ч.
10. Способ по п.1, в котором поверхность (23) в рамках химического осаждения из газовой фазы покрывают при температуре от 900°С до 1100°С.
11. Способ по п.1, в котором поверхность (23) в рамках химического осаждения из газовой фазы покрывают при потоке газа от 16 л/ч до 20 л/ч.
12. Способ по п.1, в котором поверхность (23) в рамках химического осаждения из газовой фазы покрывают нитридом титана при давлении от 20 мбар до 40 мбар и/или покрывают оксидом α-алюминия при давлении от 80 мбар до 120 мбар.
13. Способ по одному из пп.1-7 и 9-12, в котором поверхность (23) в рамках химического осаждения из газовой фазы покрывают нитридом титана в течение периода от 2 до 4 ч и/или в течение периода от 3 до 5 ч покрывают оксидом α-алюминия.
14. Деталь турбины (3, 20), которая содержит основной материал и потенциально топливопроводящую поверхность (23), отличающаяся тем, что поверхность (23) включает промежуточный слой (21), содержащий нитрид титана, и верхний слой (22), содержащий оксид α-алюминия (22).
15. Газовая турбина, которая содержит деталь (3, 20) турбины по п.14.
RU2011105001/02A 2008-07-11 2009-06-23 Способ нанесения покрытия и антикоррозионное покрытие для компонентов турбин RU2473713C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP20080012574 EP2143819A1 (de) 2008-07-11 2008-07-11 Beschichtungsverfahren und Korrosionsschutzbeschichtung für Turbinen-Komponenten
EP08012574.3 2008-07-11
PCT/EP2009/057803 WO2010003816A1 (de) 2008-07-11 2009-06-23 Beschichtungsverfahren und korrosionsschutzbeschichtung für turbinen-komponenten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011105001A true RU2011105001A (ru) 2012-08-20
RU2473713C2 RU2473713C2 (ru) 2013-01-27

Family

ID=39853038

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011105001/02A RU2473713C2 (ru) 2008-07-11 2009-06-23 Способ нанесения покрытия и антикоррозионное покрытие для компонентов турбин

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20110117377A1 (ru)
EP (2) EP2143819A1 (ru)
JP (1) JP5475769B2 (ru)
CN (1) CN102089456B (ru)
RU (1) RU2473713C2 (ru)
WO (1) WO2010003816A1 (ru)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2090825A1 (de) * 2008-02-14 2009-08-19 Siemens Aktiengesellschaft Brennerelement und Brenner mit korrosionsbeständigem Einsatz
EP2781520B1 (en) 2011-11-17 2016-05-04 Xuanzhu Pharma Co., Ltd. Three-ring pi3k and/or mtor inhibitor
EP2631321A1 (de) * 2012-02-22 2013-08-28 Siemens Aktiengesellschaft Keramisches Wärmedämmschichtsystem mit äußerer aluminiumreicher Schicht und Verfahren
JP6040308B2 (ja) 2012-05-16 2016-12-07 バブコック アンド ウイルコックス ボルンド エイ／エス 耐食性に優れた熱交換器
DE102016103664A1 (de) * 2016-03-01 2017-09-07 Lufthansa Technik Ag Strömungselement und Verfahren zum Beschichten eines Strömungselements
WO2018009638A1 (en) 2016-07-06 2018-01-11 The Regents Of The University Of Michigan MULTIFUNCTIONAL INHIBITORS OF MEK/PI3K AND mTOR/MEK/PI3K BIOLOGICAL PATHWAYS AND THERAPEUTIC METHODS USING THE SAME
US20180016678A1 (en) * 2016-07-15 2018-01-18 Applied Materials, Inc. Multi-layer coating with diffusion barrier layer and erosion resistant layer
AU2018316175B2 (en) 2017-08-11 2023-02-23 The Regents Of The University Of Michigan Inhibitors of MEK/PI3K, JAK/MEK, JAK/PI3K/mTOR and MEK/PI3K3k/mTOR biological pathways and methods for improving lymphatic uptake, bioavailability, and solubility of therapeutic compounds

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5843601Y2 (ja) * 1979-04-06 1983-10-03 三菱重工業株式会社 蒸気タ−ビンブレ−ド
JPS5616665A (en) * 1979-07-18 1981-02-17 Mitsubishi Metal Corp Surface coated sintered member for cutting tool
JPH0733578B2 (ja) * 1986-05-16 1995-04-12 住友電気工業株式会社 アルミナ被覆窒化ケイ素部材
JPH0297659A (ja) * 1988-09-30 1990-04-10 Sumitomo Electric Ind Ltd セラミック被覆耐エロージヨン部材
SE464818B (sv) * 1989-06-16 1991-06-17 Sandvik Ab Belagt skaer foer skaerande bearbetning
SE502174C2 (sv) * 1993-12-23 1995-09-04 Sandvik Ab Sätt och alster vid beläggning av ett skärande verktyg med ett aluminiumoxidskikt
US5420072A (en) * 1994-02-04 1995-05-30 Motorola, Inc. Method for forming a conductive interconnect in an integrated circuit
JP3252711B2 (ja) * 1996-07-02 2002-02-04 住友電気工業株式会社 被覆窒化珪素系工具
DE69901985T2 (de) * 1998-07-29 2002-12-05 Toshiba Tungaloy Co Ltd Aluminiumoxid-beschichteter Werkzeugteil
JP2000210801A (ja) * 1998-07-29 2000-08-02 Toshiba Tungaloy Co Ltd 酸化アルミニウム被覆工具部材
JP3678924B2 (ja) * 1998-11-05 2005-08-03 日立ツール株式会社 酸化アルミニウム被覆工具
DE10126896A1 (de) * 2000-12-23 2002-07-11 Alstom Switzerland Ltd Schutzbeschichtigung für ein thermisch belastetes Bauteil, insbesondere Turbinenbauteil
US6998014B2 (en) * 2002-01-26 2006-02-14 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for plasma assisted deposition
US6878215B1 (en) * 2004-05-27 2005-04-12 General Electric Company Chemical removal of a metal oxide coating from a superalloy article
US20050282032A1 (en) * 2004-06-18 2005-12-22 General Electric Company Smooth outer coating for combustor components and coating method therefor
DE102004040625B3 (de) * 2004-08-21 2006-04-20 Friatec Aktiengesellschaft Absperrvorrichtung für gasförmige Medien hoher Temperatur
US7579087B2 (en) * 2006-01-10 2009-08-25 United Technologies Corporation Thermal barrier coating compositions, processes for applying same and articles coated with same
EP1990580A1 (de) * 2007-05-10 2008-11-12 Siemens Aktiengesellschaft Brennerkomponente für einen Gasturbinenbrenner

Also Published As

Publication number Publication date
JP5475769B2 (ja) 2014-04-16
EP2297378A1 (de) 2011-03-23
EP2143819A1 (de) 2010-01-13
JP2011527382A (ja) 2011-10-27
US20110117377A1 (en) 2011-05-19
RU2473713C2 (ru) 2013-01-27
CN102089456A (zh) 2011-06-08
WO2010003816A1 (de) 2010-01-14
CN102089456B (zh) 2015-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2011105001A (ru) Способ нанесения покрытия и антикоррозионное покрытие для компонентов турбин
US7070833B2 (en) Method for chemical vapor deposition of silicon on to substrates for use in corrosive and vacuum environments
WO2012044622A3 (en) Low-temperature dielectric film formation by chemical vapor deposition
RU2008121855A (ru) Способ нанесения покрытия на лопатку и лопатка газовой турбины
WO2010054184A3 (en) Chemical vapor deposition with elevated temperature gas injection
TW200943419A (en) Low wet etch rate silicon nitride film
CN102277560A (zh) 化学气相沉积SiC/C梯度表面涂层提高石墨电极抗氧化性的方法
CN105506540B (zh) 一种预氧化、离子渗氮、离子氮氧共渗三步复合表面改性处理方法
EP3959356A1 (en) Methods of protecting aerospace components against corrosion and oxidation
ATE374168T1 (de) Verfahren zur abscheidung von galliumoxidbeschichtungen auf flachglas
WO2010071364A3 (ko) 금속 박막 또는 금속 산화물 박막 증착용 유기금속 전구체 화합물 및 이를 이용한 박막 증착 방법
Wu et al. Preparation and properties of erbium oxide films deposited by radio frequency magnetron sputtering
EA201490034A1 (ru) Способ получения оконного стекла, содержащего пористый слой
CN106756775B (zh) 一种合金表面形成尖晶石涂层的制备方法
MX2012006821A (es) Celula solar de pelicula fina de silicio que tiene turbidez mejorada y metodos de fabricacion de la misma.
JP5099693B2 (ja) 非晶質炭素膜及びその成膜方法
IN2012DN02490A (ru)
KR101999461B1 (ko) 강 제품의 하나의 표면에 금속성 보호 코팅을 형성하는 방법
KR20180116819A (ko) 태양광 플라스마 화학 증착 공정 중 그라파이트보트에 질화물을 증착하는 방법
RU2014146776A (ru) НАНЕСЕННОЕ ЭЛЕКТРОДУГОВЫМ НАПЫЛЕНИЕМ ПОКРЫТИЕ Al-Cr-O, СОДЕРЖАЩЕЕ Si, ИМЕЮЩЕЕ УЛУЧШЕННУЮ КРОЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ
CN105439645A (zh) 一种用于石墨热场表面的复合涂层及其制备方法
Park et al. Effects of the laser treatment and thermal oxidation behavior of CoNiCrAlY/ZrO2–8 wt% Y2O3 thermal barrier coating
US20080187685A1 (en) Method of preparing vertically-aligned carbon nanotube under atmospheric and cold-wall heating treatments and making the same
CA2698629A1 (en) Method for depositing a fluorinated layer from a precursor monomer
JP4706027B2 (ja) ダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180624