RU2014146776A - НАНЕСЕННОЕ ЭЛЕКТРОДУГОВЫМ НАПЫЛЕНИЕМ ПОКРЫТИЕ Al-Cr-O, СОДЕРЖАЩЕЕ Si, ИМЕЮЩЕЕ УЛУЧШЕННУЮ КРОЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ - Google Patents

НАНЕСЕННОЕ ЭЛЕКТРОДУГОВЫМ НАПЫЛЕНИЕМ ПОКРЫТИЕ Al-Cr-O, СОДЕРЖАЩЕЕ Si, ИМЕЮЩЕЕ УЛУЧШЕННУЮ КРОЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ Download PDF

Info

Publication number
RU2014146776A
RU2014146776A RU2014146776A RU2014146776A RU2014146776A RU 2014146776 A RU2014146776 A RU 2014146776A RU 2014146776 A RU2014146776 A RU 2014146776A RU 2014146776 A RU2014146776 A RU 2014146776A RU 2014146776 A RU2014146776 A RU 2014146776A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coating
pvd
oxygen
targets
layer
Prior art date
Application number
RU2014146776A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2632348C2 (ru
Inventor
Рихард РАХБАУЭР
Юрген РАММ
Йорг ПАУЛИЧ
Пауль Хайнц МАЙРХОФЕР
Original Assignee
Эрликон Трэйдинг Аг, Трюббах
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Эрликон Трэйдинг Аг, Трюббах filed Critical Эрликон Трэйдинг Аг, Трюббах
Publication of RU2014146776A publication Critical patent/RU2014146776A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2632348C2 publication Critical patent/RU2632348C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325—Electric arc evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D1/00—Coating compositions, e.g. paints, varnishes or lacquers, based on inorganic substances
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D5/00—Coating compositions, e.g. paints, varnishes or lacquers, characterised by their physical nature or the effects produced; Filling pastes
    • C09D5/08—Anti-corrosive paints
    • C09D5/082—Anti-corrosive paints characterised by the anti-corrosive pigment
    • C09D5/084—Inorganic compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08—Oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08—Oxides
    • C23C14/081—Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08—Oxides
    • C23C14/083—Oxides of refractory metals or yttrium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C10—PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
    • C10M—LUBRICATING COMPOSITIONS; USE OF CHEMICAL SUBSTANCES EITHER ALONE OR AS LUBRICATING INGREDIENTS IN A LUBRICATING COMPOSITION
    • C10M103/00—Lubricating compositions characterised by the base-material being an inorganic material
    • C10M103/06—Metal compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C10—PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
    • C10M—LUBRICATING COMPOSITIONS; USE OF CHEMICAL SUBSTANCES EITHER ALONE OR AS LUBRICATING INGREDIENTS IN A LUBRICATING COMPOSITION
    • C10M2201/00—Inorganic compounds or elements as ingredients in lubricant compositions
    • C10M2201/086—Chromium oxides, acids or salts
    • C10M2201/0863—Chromium oxides, acids or salts used as base material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C10—PETROLEUM, GAS OR COKE INDUSTRIES; TECHNICAL GASES CONTAINING CARBON MONOXIDE; FUELS; LUBRICANTS; PEAT
    • C10M—LUBRICATING COMPOSITIONS; USE OF CHEMICAL SUBSTANCES EITHER ALONE OR AS LUBRICATING INGREDIENTS IN A LUBRICATING COMPOSITION
    • C10M2201/00—Inorganic compounds or elements as ingredients in lubricant compositions
    • C10M2201/10—Compounds containing silicon
    • C10M2201/1006—Compounds containing silicon used as base material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process

Abstract

1. Способ получения оксидного покрытия методом физического осаждения из паровой фазы (PVD) с по меньшей мере одним слоем, состоящим по существу из Al, Cr, Si и O, причем способ включает по меньшей мере следующие этапы:a) подготовку камеры нанесения покрытий методом PVD,b) введение в такую камеру нанесения покрытий методом PVD основ, содержащих по меньшей мере одну поверхность, подлежащую покрытию,c) осуществление процесса нанесения реакционного PVD-покрытия, причем технологический газ содержит химически активный газ, реагирующий с ионами металлов, полученными из одной или более мишеней, для осаждения по меньшей мере одного слоя, состоящего по существу из Al, Cr, Si и O, на поверхность основы,отличающийся тем, что указанная одна или более мишеней, используемых для осуществления процесса реакционного PVD-покрытия на этапе c), имеет элементный состав (в атомных процентах), представленный формулой AlCrSi, где 0,05≤y≤0,10 и 0,20≤x≤0,25, и химически активный газ является кислородом, тем самым получая покрытие с по меньшей мере одним слоем, состоящим по существу из Al, Cr, Si и O, причем, если не учитывать кислород, в этом, по меньшей мере одном слое концентрация кремния меньше, чем концентрация кремния в указанной одной или более мишенях.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что процесс PVD-покрытия является процессом электродугового испарения.3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что технологический газ содержит по существу только кислород.4. Способ по меньшей мере по одному из пп. 1-3, отличающийся тем, что x=0,05 и y=0,25.5. Способ по меньшей мере по одному из пп. 1-3, отличающийся тем, что если не учитывать кислород, в указанном по меньшей мере одном слое концентрация кремния меньше или равна половине концентрации кремния в указанной одной или более мишеня

Claims (14)

1. Способ получения оксидного покрытия методом физического осаждения из паровой фазы (PVD) с по меньшей мере одним слоем, состоящим по существу из Al, Cr, Si и O, причем способ включает по меньшей мере следующие этапы:
a) подготовку камеры нанесения покрытий методом PVD,
b) введение в такую камеру нанесения покрытий методом PVD основ, содержащих по меньшей мере одну поверхность, подлежащую покрытию,
c) осуществление процесса нанесения реакционного PVD-покрытия, причем технологический газ содержит химически активный газ, реагирующий с ионами металлов, полученными из одной или более мишеней, для осаждения по меньшей мере одного слоя, состоящего по существу из Al, Cr, Si и O, на поверхность основы,
отличающийся тем, что указанная одна или более мишеней, используемых для осуществления процесса реакционного PVD-покрытия на этапе c), имеет элементный состав (в атомных процентах), представленный формулой Al1-x-yCrxSiy, где 0,05≤y≤0,10 и 0,20≤x≤0,25, и химически активный газ является кислородом, тем самым получая покрытие с по меньшей мере одним слоем, состоящим по существу из Al, Cr, Si и O, причем, если не учитывать кислород, в этом, по меньшей мере одном слое концентрация кремния меньше, чем концентрация кремния в указанной одной или более мишенях.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что процесс PVD-покрытия является процессом электродугового испарения.
3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что технологический газ содержит по существу только кислород.
4. Способ по меньшей мере по одному из пп. 1-3, отличающийся тем, что x=0,05 и y=0,25.
5. Способ по меньшей мере по одному из пп. 1-3, отличающийся тем, что если не учитывать кислород, в указанном по меньшей мере одном слое концентрация кремния меньше или равна половине концентрации кремния в указанной одной или более мишенях.
6. Кроющая система, полученная способом по меньшей мере по одному из пп. 1-5.
7. Основа, покрытая кроющей системой по п. 6.
8. Кроющая система по п. 6, применяемая для улучшения коррозионной стойкости.
9. Кроющая система по п. 6, применяемая в качестве барьера от окисления.
10. Кроющая система по п. 6, применяемая в качестве химического барьера.
11. Кроющая система по п. 6, применяемая в качестве приработочного слоя в трибологических приложениях, осуществляемых при высоких температурах.
12. Кроющая система по п. 6, применяемая для получения топливных элементов.
13. Кроющая система по п. 6, применяемая в качестве твердой смазки для трибологических приложений, осуществляемых при температурах выше 200°C.
14. Основа, покрытая кроющей системой по меньшей мере по одному из пп. 8-13.
RU2014146776A 2012-04-22 2013-04-22 НАНЕСЕННОЕ ЭЛЕКТРОДУГОВЫМ НАПЫЛЕНИЕМ ПОКРЫТИЕ Al-Cr-O, СОДЕРЖАЩЕЕ Si, ИМЕЮЩЕЕ УЛУЧШЕННУЮ КРОЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ RU2632348C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP12002815 2012-04-22
EP12002815.4 2012-04-22
PCT/EP2013/001188 WO2013159893A1 (en) 2012-04-22 2013-04-22 Arc-deposited al-cr-o coatings having enhanced coating properties

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2014146776A true RU2014146776A (ru) 2016-06-10
RU2632348C2 RU2632348C2 (ru) 2017-10-04

Family

ID=48236844

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014146776A RU2632348C2 (ru) 2012-04-22 2013-04-22 НАНЕСЕННОЕ ЭЛЕКТРОДУГОВЫМ НАПЫЛЕНИЕМ ПОКРЫТИЕ Al-Cr-O, СОДЕРЖАЩЕЕ Si, ИМЕЮЩЕЕ УЛУЧШЕННУЮ КРОЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ

Country Status (10)

Country Link
US (1) US9677169B2 (ru)
EP (1) EP2841618B1 (ru)
JP (1) JP6200488B2 (ru)
KR (1) KR102219393B1 (ru)
CN (1) CN104350172B (ru)
AR (1) AR090735A1 (ru)
BR (1) BR112014026231A2 (ru)
CA (1) CA2871067C (ru)
RU (1) RU2632348C2 (ru)
WO (2) WO2013159870A1 (ru)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8652589B2 (en) * 2008-01-25 2014-02-18 Oerlikon Trading Ag, Truebbach Permeation barrier layer
CA2929460C (en) 2013-11-03 2023-03-28 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfaffikon Oxidation barrier layer
DE102016125042A1 (de) * 2015-12-28 2017-06-29 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Infrarotspiegel mit einer thermisch stabilen Schicht
US20200263290A1 (en) * 2017-09-15 2020-08-20 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Al-Cr-O-BASED COATINGS WITH HIGHER THERMAL STABILITY AND PRODUCING METHOD THEREOF
WO2019136261A1 (en) * 2018-01-04 2019-07-11 Ih Ip Holdings Limited Gas phase co-deposition of hydrogen/deuterium loaded metallic structures

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH688863A5 (de) * 1994-06-24 1998-04-30 Balzers Hochvakuum Verfahren zum Beschichten mindestens eines Werkstueckes und Anlage hierfuer.
RU2264480C2 (ru) * 2000-04-10 2005-11-20 Падеров Анатолий Николаевич Способ нанесения защитных покрытий на детали из жаропрочных сплавов
JP4616213B2 (ja) * 2001-06-19 2011-01-19 株式会社神戸製鋼所 切削工具用硬質皮膜
RU2213807C2 (ru) * 2001-09-28 2003-10-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Московское машиностроительное производственное предприятие "Салют" Состав сплава для нанесения покрытий
PT1422311E (pt) * 2002-11-19 2007-03-30 Hitachi Tool Eng Película dura e ferramenta revestida por película dura
JP3640310B2 (ja) * 2002-11-25 2005-04-20 日立ツール株式会社 硬質皮膜
JP2008013852A (ja) * 2003-01-17 2008-01-24 Hitachi Tool Engineering Ltd 硬質皮膜及び硬質皮膜被覆工具
JP2004238736A (ja) * 2003-01-17 2004-08-26 Hitachi Tool Engineering Ltd 硬質皮膜及び硬質皮膜被覆工具
US9997338B2 (en) 2005-03-24 2018-06-12 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Method for operating a pulsed arc source
CN101426947A (zh) * 2006-04-21 2009-05-06 塞美康股份公司 涂覆体
US7939181B2 (en) * 2006-10-11 2011-05-10 Oerlikon Trading Ag, Trubbach Layer system with at least one mixed crystal layer of a multi-oxide
RU2348739C2 (ru) * 2007-04-16 2009-03-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт авиационных материалов" (ФГУП "ВИАМ") Способ получения алюминидного покрытия на поверхности изделия из жаропрочного сплава
SE531933C2 (sv) * 2007-12-14 2009-09-08 Seco Tools Ab Belagt hårdmetallskär för bearbetning av stål och rostfria stål
JP4850189B2 (ja) * 2008-01-08 2012-01-11 日立ツール株式会社 被覆工具
JP4850204B2 (ja) * 2008-04-14 2012-01-11 日立ツール株式会社 被覆工具
JP4975682B2 (ja) * 2008-05-21 2012-07-11 日立ツール株式会社 被覆切削工具の製造方法
JP5061394B2 (ja) * 2008-10-31 2012-10-31 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
JP5445847B2 (ja) * 2010-01-28 2014-03-19 三菱マテリアル株式会社 高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具

Also Published As

Publication number Publication date
WO2013159870A1 (en) 2013-10-31
BR112014026231A2 (pt) 2017-06-27
JP6200488B2 (ja) 2017-09-20
RU2632348C2 (ru) 2017-10-04
US20150111795A1 (en) 2015-04-23
AR090735A1 (es) 2014-12-03
US9677169B2 (en) 2017-06-13
WO2013159893A1 (en) 2013-10-31
KR20140147127A (ko) 2014-12-29
EP2841618A1 (en) 2015-03-04
KR102219393B1 (ko) 2021-02-24
CN104350172B (zh) 2016-10-12
EP2841618B1 (en) 2018-08-08
CN104350172A (zh) 2015-02-11
JP2015518522A (ja) 2015-07-02
CA2871067A1 (en) 2013-10-31
CA2871067C (en) 2020-07-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2014146776A (ru) НАНЕСЕННОЕ ЭЛЕКТРОДУГОВЫМ НАПЫЛЕНИЕМ ПОКРЫТИЕ Al-Cr-O, СОДЕРЖАЩЕЕ Si, ИМЕЮЩЕЕ УЛУЧШЕННУЮ КРОЮЩУЮ СПОСОБНОСТЬ
CN105914321B (zh) 涂覆用于燃料电池的隔板的方法和用于燃料电池的隔板
Cubillos et al. Corrosion resistance of zirconium oxynitride coatings deposited via DC unbalanced magnetron sputtering and spray pyrolysis-nitriding
Antunes et al. Effect of the deposition temperature on the corrosion stability of TiO2 films prepared by metal organic chemical vapor deposition
US9982342B2 (en) Zn—Mg alloy-coated steel sheet with excellent blackening resistance and excellent adhesion
WO2010071364A3 (ko) 금속 박막 또는 금속 산화물 박막 증착용 유기금속 전구체 화합물 및 이를 이용한 박막 증착 방법
EA201490034A1 (ru) Способ получения оконного стекла, содержащего пористый слой
Wu et al. Preparation of yttrium oxide coating by MOCVD as tritium permeation barrier
Härkönen et al. Hydrogen–argon plasma pre-treatment for improving the anti-corrosion properties of thin Al2O3 films deposited using atomic layer deposition on steel
Lin et al. Active screen plasma surface co-alloying treatments of 316 stainless steel with nitrogen and silver for fuel cell bipolar plates
EP4130332A3 (en) Spallation resistant thermal barrier coating
Kim et al. Growth characteristics and properties of indium oxide and indium-doped zinc oxide by atomic layer deposition
MX336541B (es) Celula solar de pelicula fina de silicio que tiene turbidez mejorada y metodos de fabricacion de la misma.
Wang et al. A study of atomic layer deposited LiAlxOy films on Mg–Li alloys
RU2011105001A (ru) Способ нанесения покрытия и антикоррозионное покрытие для компонентов турбин
Zhao et al. Thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition of yttrium oxide films and the properties of water wettability
Nyutu et al. Formation of MoSi2–SiO2 coatings on molybdenum substrates by CVD/MOCVD
KR20070113535A (ko) 화학적 기상 반응 방법을 이용한 흑연에 내산화성을 갖게하는 방법 및 그 제조물
CN106086812A (zh) 一种金属表面防腐蚀耐磨损的复合涂层及其制备方法
Baggetto et al. Amorphous alumina thin films deposited on titanium: Interfacial chemistry and thermal oxidation barrier properties
CN109312445A (zh) 保护不含铪的镍基单晶超合金部件免受腐蚀和氧化的方法
SG128580A1 (en) Reduced thermal conductivity thermal barrier coating by electron beam-physical vapor deposition process
CN100491590C (zh) 制备镁锂合金钛防腐涂层的方法
CN102477541A (zh) 紧固件表面三氧化二铝薄膜的制备方法及其产品
CN102168269A (zh) 一种催渗等离子氮碳共渗与氮碳化钛复合膜层的制备方法