JP4975682B2 - 被覆切削工具の製造方法 - Google Patents
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Description
上記の構成を採用することによって、AIP法による皮膜の表面のドロップレット量を低減し、平滑性に優れた被覆切削工具の製造方法を提供することができる。
また、該皮膜のAl、Crの1部をNb、Si、W、Y、硼素から選択される1種以上の元素によって4原子%を上限値にして置換することが好ましい。
一方、従来のAIP法による皮膜は成膜時にArガス等の非反応性ガスを用い、比較的ガス圧の低い2Pa以下の条件で被覆しており、結晶粒子の粗大化、ドロップレット粒子が皮膜表面に多量に付着し、実用環境下で突発的なチッピングや異常摩耗が発生し易く、耐摩耗性も十分ではない。
本願発明の被覆方法により得られる皮膜の窒素含有量は原子%で0.5〜7%である。これより、耐摩耗性に優れた皮膜が安定して得られ、平滑性にも優れる。皮膜の窒素含有量が0.5%未満では、表面粗度が劣化し、硬度も低下する傾向にある。一方、窒素含有量が7%を超えて多く含有すると酸化物の特性である化学的安定性が乏しくなる。例えば切削工具に適用したとき、被削材の凝着が増す傾向にある。また硬度も低下するため耐摩耗性の改善効果がない。本願発明の皮膜の酸素含有量は原子%で57〜67%である。酸素含有量が57%未満では、皮膜の耐熱特性が十分ではなく、化学的安定性が乏しくなる。一方、67%を超える皮膜は化学量論的に成膜が困難である。
本願発明の皮膜の金属成分である(a+b)値と、非金属成分である(c+d)値の関係を、(a+b)<(c+d)とするには、上記の特定した窒素と酸素の雰囲気で皮膜を成膜して、ガス流量を制御することによって実現できる。条件は、0.02≦FRO/FRN≦0.2、ガス圧は3〜15Paの比較的高いガス圧とする。バイアス電圧を−150Vとすることが好適である。
本願発明による被覆切削工具は、高硬度鋼、ステンレス鋼、耐熱鋼、鋳鋼または炭素鋼の切削加工用に適用することが好ましい。例えばエンドミル、インサート、ドリル、カッター、ブローチ、リーマ、ホブまたはルーター等が挙げられる。工具基材は、Co含有量が3〜12重量%の超硬合金、サーメット、高速度鋼、立方晶窒化硼素焼結体またはダイス鋼等が好ましい。
次に、本発明例1の作成方法を述べる。まず、皮膜の評価用基材として鏡面加工を施したSNMN120408形状の試験基材を準備した。試験基材はCo含有量10重量%の超微粒子超硬合金製である。基材表面の初期状態を、Ra<0.01μm、Ry<0.1μmに調整した。この試験基材は、硬度、表面粗さ、結晶構造、積層構造の評価に使用した。また、皮膜を工具に適用した状態でも評価するため、Co含有量10重量%の超微粒子超硬合金製の2枚刃ドリルを準備した。硬度はHRAで92.3、直径6mm、オイルホール有りのものを用いた。各基材は夫々脱脂洗浄を十分に実施して真空容器に設置した。基材は治具に固定し、プラネタリーを回転させながら、真空排気と同時にヒーターで基材を加熱した。真空容器の圧力が5×10−3Paに達した後、Arガスを導入し、フィラメント電極の放電を開始し、基材に負バイアス電圧を200V印加してArイオンによる基材のクリーニングを30分間実施した。次に、容器内に窒素を1000sccmで導入し、ガス圧を5〜7Paに制御し、負バイアス電圧を100V、アーク蒸発源に150Aの電力を供給し、窒化物皮膜を被覆した。このとき、試験基材を被覆する処理バッチでは、窒化物皮膜の膜厚は略0.5μmとし、ドリルを被覆する処理バッチでは略3μmとした。次に、負バイアス電圧を150Vで本願発明による皮膜を略2.0μm被覆し、その後、最表層として窒化物皮膜を略0.1μm被覆した。容器内の温度を200℃以下まで自然冷却し、試料を取り出した。今回、皮膜の被覆前後に窒化物皮膜を被覆した理由は、皮膜の硬度評価における剥離や、切削工具に被覆した場合の剥離発生を回避するためと、容器内壁の電気抵抗を下げて、後続のバッチ処理のバイアス電圧異常を回避するためである。成膜パラメータであるターゲット組成、成膜温度、各種ガス流量、圧力を表1に示す。
(試験条件)
切削方法:止まり穴加工
被削材:FCD700
主軸回転数:12000回転/分
送り:0.2mm/回転
クーラント:MQL内部給油
本発明例5〜9、比較例30は、被覆時の基材温度の影響を比較した。本発明例5〜9は成膜温度が500℃以上であり、皮膜表面のドロップレットが低減し、Ra値、Rz値が小さくなった。これにより工具も優れた耐久性を示した。成膜温度が500〜900℃の範囲では何れもγ型の酸化物であった。比較例30は400℃であったため、皮膜硬度が低く、工具耐久性は劣った。
本発明例10〜12、比較例31、32は、AlとCrの含有量の影響を比較した。本発明例10〜12はAl含有量が29%以下であることから皮膜表面のドロップレットが低減されRa値、Rz値が小さく、この影響で平滑性に優れていた。本発明例12はCr含有量が17.2%と多いため酸化物の結晶性が向上してコランダム構造を有したが、硬度は低下した。比較例31、32は、Al含有量が29%を超え、Cr含有量が3%未満であるため皮膜のドロプレットが増加し、平滑性が低下した。更に酸化物が非晶質になり、硬度も低下した。
本発明例13〜21、比較例33、34は、皮膜への添加元素の影響を比較した。Al、Crの1部置換によってSiを含有することにより皮膜の結晶が微細化され、Ra値、Rz値が小さく、平滑性に優れていた。また、高硬度化による耐摩耗性が改善され、工具耐久性が向上した。比較例33はSiを6.1%含有したため、酸化物は非晶質となり硬度が低く、工具の耐久性向上に効果がなかった。また、Al、Crの1部をNb、Si、W、Y、B、から選択される1種以上で置換することにより、4600穴以上の加工穴数を示し、工具の耐久性が向上した。特に、本発明例18は、Wの添加によりドロプレットの低減によって皮膜の平滑性が改善した。しかし、比較例34はTiを添加しため低硬度を示した。これは結晶粒子径が大きくなったためと考えられる。
Claims (2)
- アークイオンプレーティング法により皮膜が被覆された被覆切削工具において、該皮膜はAlaCrbOcNd、但し、a、b、c、dは原子比率を表し、a+b+c+d=100、a>b、(a+b)<(c+d)、57≦c≦67、16≦a≦29、3≦b≦17.5、0.5≦d≦7、であり、該皮膜を被覆する工程では、酸素ガスと窒素ガスとの混合ガスを用い、該酸素ガスの流量(sccm)をFRO、該窒素ガスの流量(sccm)をFRNとしたとき、0.02≦FRO/FRN≦0.2、であり、該混合ガス圧力P(Pa)が、3≦P≦15、であることを特徴とする被覆切削工具の製造方法。
- 請求項1に記載の被覆切削工具の製造方法において、該皮膜のAl、Crの1部をNb、Si、W、Y、硼素から選択される1種以上の元素によって4原子%を上限値にして置換することを特徴とする被覆切削工具の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008132799A JP4975682B2 (ja) | 2008-05-21 | 2008-05-21 | 被覆切削工具の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008132799A JP4975682B2 (ja) | 2008-05-21 | 2008-05-21 | 被覆切削工具の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009279690A JP2009279690A (ja) | 2009-12-03 |
JP4975682B2 true JP4975682B2 (ja) | 2012-07-11 |
Family
ID=41450698
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008132799A Active JP4975682B2 (ja) | 2008-05-21 | 2008-05-21 | 被覆切削工具の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4975682B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010042828A1 (de) * | 2010-10-22 | 2012-04-26 | Walter Ag | Target für Lichtbogenverfahren |
WO2013159870A1 (en) * | 2012-04-22 | 2013-10-31 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Arc-deposited al-cr-o coatings having enhanced coating properties |
CN110945156A (zh) * | 2017-07-31 | 2020-03-31 | 瓦尔特公开股份有限公司 | 涂层切削工具及其制造方法 |
CN115125493B (zh) * | 2021-03-24 | 2023-10-13 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种碳钢表面金属耐蚀涂层及其制备方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006188736A (ja) * | 2005-01-07 | 2006-07-20 | Nissin Electric Co Ltd | 耐摩耗性膜被覆物品 |
CN101426947A (zh) * | 2006-04-21 | 2009-05-06 | 塞美康股份公司 | 涂覆体 |
JP4713413B2 (ja) * | 2006-06-30 | 2011-06-29 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜およびその製造方法 |
-
2008
- 2008-05-21 JP JP2008132799A patent/JP4975682B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009279690A (ja) | 2009-12-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111219 |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150420 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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