JP2007015106A - 多層皮膜被覆工具及びその被覆方法 - Google Patents
多層皮膜被覆工具及びその被覆方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007015106A JP2007015106A JP2006277326A JP2006277326A JP2007015106A JP 2007015106 A JP2007015106 A JP 2007015106A JP 2006277326 A JP2006277326 A JP 2006277326A JP 2006277326 A JP2006277326 A JP 2006277326A JP 2007015106 A JP2007015106 A JP 2007015106A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- film
- cutting
- coating
- coated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 57
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 72
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 36
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 16
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 42
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 16
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 claims description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 13
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 12
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 11
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 9
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 6
- 229910021385 hard carbon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 6
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 5
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010730 cutting oil Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 3
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N molybdenum disulfide Chemical compound S=[Mo]=S CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052982 molybdenum disulfide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 2
- 238000000682 scanning probe acoustic microscopy Methods 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 229910017121 AlSiO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017150 AlTi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000851 Alloy steel Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000883 Ti6Al4V Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010038 TiAl Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 1
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000000752 ionisation method Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 230000001568 sexual effect Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 150000004763 sulfides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Drilling Tools (AREA)
Abstract
【解決手段】物理蒸着法によって該基材にA層とB層とからなり耐摩耗皮膜が被覆され、該A層は、金属元素としてTi、Cr、Al、Si、Nbのうちの少なくとも1種又は2種以上より選択された元素と、非金属元素としてNを含みC、O、Bのうち1種又は2種以上より選択された元素から構成され、N、C、O、Bを原子%で100とした時、Nを60原子%以上含有するとともに結晶構造がfcc構造を有し、該B層は、該A層の直上に接する潤滑性皮膜であり、該A層と該B層との界面から該A層の膜厚方向に500nm未満の領域における結晶粒径の平均値が、19nm以上、62nm以下であることを特徴とする多層皮膜被覆切削工具である。
【選択図】図1
Description
特許文献1は、硬質炭素系潤滑膜と耐摩耗皮膜の密着強度を改善するためにSi中間層を形成することが開示されている。しかし、Siを含む中間層は強度が低く、2層間の密着強度が不十分である。
特許文献2も同様、中間層として、周期律表第4a、5a、6a、3b族元素及びC以外の4b続元素の元素群から選ばれた元素の炭化物を用いているが、2層間の密着強度が不十分であり、切削工具の耐摩耗性を大幅に改善するには至ってはいない。
特許文献3は、高硬度皮膜の下地層と、2硫化モリブデン等の固体潤滑性を有する皮膜が提案されている。しかし、2硫化モリブデンに添加元素を加えた程度では、過酷な切削環境においては2層間の密着強度、表面平滑性が十分ではなく、摩擦抵抗が高く耐摩耗性の改善はなされてはいない。
特許文献4は、耐摩耗性被膜と硬質炭素膜とが交互に積層された切削工具が開示されているが、2層間の密着強度改善に対して、大幅な耐摩耗性の改善がなされてはいない。
特許文献5にも、基体と非晶質カーボン層の間に、密着性の改善を目的として界面層と称するTiN、Ti(CN)、(TiAl)Nが用いられているが、大幅な耐摩耗性の改善が成されてはいない。
本発明の被覆方法は、スパッタリング法、アークイオンプレーティング法(以下、AIP法と言う。)の何れかの方法を用いて被覆するか、両者の方法を同時に用いて被覆するかにより、該A層と該B層とを同一真空容器内で被覆することである。上記の様な構成を採用することで、切削加工の高能率化に有効である切削工具を提供することを可能にし、技術課題を解決するに至った。
A層は、Ti、Cr、Al、Si、Nbのうちの少なくとも1種又は2種以上より選択された元素と、非金属元素として、NとC、O、Bのうち1種又は2種以上より選択された元素から構成され、N、C、O、Bを原子%で100としたときに、Nを60原子%以上含有する必要がある。これらにより構成されるA層は、高硬度で耐摩耗性に優れ、本発明のB層との密着性にも優れるからである。A層のN含有量が60原子%未満の場合、皮膜硬度が十分に得られず、耐摩耗性が得られないばかりでなく、B層との密着強度も低下する。A層は、結晶構造がfcc構造を主体とすることが極めて重要である。これはB層との密着強度を高めるためである。更にB層との密着強度を高めるための手段として、該A層の表面から深さ方向に500nm未満の領域における結晶粒径の平均値が、2nm以上、40nm未満であることが本発明において最も重要な手段となる。上記結晶粒径の制御が、B層との界面において、明瞭な界面を形成し難い構造を形成し、密着強度を著しく改善することを可能にした。また、B層の膜厚は、20nm以上、500nm未満の値が好ましい。この理由は、膜厚が20nm未満では、B層の持つ低摩擦効果が十分ではなく、500nmを越えると、界面破壊もしくは剥離に起因した剥離異常摩耗が発生しやすくなるためである。上記構成を採用することで、A層とB層との界面に中間層を用いなくても、極めて優れた密着強度を得ることができ、極めて長い切削寿命を得ることができる。
B層は、硬質炭素膜からなる場合又は非晶質の硬質炭素膜からなる場合に耐溶着性に優れる。更に、Ti、Cr、Al、Si、Mo、Wより選択される1種以上の元素を含有した酸化物、硼化物、硫化物及び窒化硼素から選択される少なくとも1種以上から構成される皮膜である場合にも潤滑性を有し、耐溶着性に優れる。
B層の表面から20nm以内の範囲に、2原子%以上の酸素を含有する場合、そうでないものに比べて、溶着量が少なく、耐溶着性に優れる。20nm以内の範囲が好ましいとした理由は、20nmを超えて大きい場合、耐溶着性が劣化する傾向にあったためである。また、2原子%未満の酸素含有量は、酸素を含有しないものと大きく性能は変わらなかった。上記の理由から、B層の酸素含有の範囲と含有量を上記数値に設定した。
A層は、Alを含有し、Al含有量が金属成分のみの原子%で50%以上、90%未満とする。Al含有量が50%未満の場合、並びに90%以上の場合は、皮膜硬度が低下する傾向にあり適切ではない。また、B層との密着強度も低下する傾向にあり、上記の範囲とする。
基材温度が525℃となるよう加熱及び排気を行い、Arを真空容器内に導入しこれをイオン化して、Arイオンによる被覆基材のクリーニングを行った。反応ガスを真空容器内に導入し、各種合金ターゲット表面にアーク放電を発生させ、負のバイアス電圧を印加して基材に被覆処理を行った。この時のバイアス電圧は−40Vに設定し、所定の膜厚に達した後、A層の最表層の結晶粒径を2nm以上、40nmに制御するるための処理を実施した。処理方法としては複数の方法から選択することができる。第1の方法は、A層の被覆終了5分前に、バイアス電圧をパルス状に変化させて、−500V、+20Vのバイアス電圧を印加することにより、結晶粒径を上記範囲に制御することである。第2の方法は、Bを8原子%添加したターゲットを用いることである。第3の方法は、上記のパルス状バイアス電圧に加えて、N2ガスとO2ガスとを、80対20の割合で同時に真空容器内に導入することにより、O2を硬質皮膜内へ添加しながら結晶粒径を制御することである。第4の方法は、O2ガスの代わりに、COガス、CO2ガスを導入することによって、硬質皮膜内への酸素の添加が可能であり、結晶粒径の制御することである。本実施例では、第1の方法を採用した。C2H2ガス、CH4ガス、CO2ガス、CO、O2ガスを真空容器内に導入する場合は、被覆蒸発源とは独立した別の蒸発源でアーク放電を行いながら、被覆することによりガスのイオン化及び反応性が向上し、C、O等の通常の物理的蒸着法による被覆装置ではイオン化が困難であるガス成分を、安定して硬質皮膜内へ添加できることが可能となり、組織構造の制御を容易に行うことができた。前記ガス添加方法としては、硬質皮膜内におけるC、O濃度を調整するために、C、O含有ガスを真空容器内へ導入しながら、被覆用のアーク放電蒸発源とは独立した別のアーク放電蒸発源でCr系、Ti系金属を蒸発させ、その蒸発量を調整させながら、ガス添加量を調整した。この時、被覆用アーク放電蒸発源とは独立した別のアーク放電蒸発源の前面に遮蔽板を設け、ガスイオン化用の蒸発源から被覆されないように配慮した。前記ガスのイオン化の方法は極めてイオン化率が高いため、上記ガスに限定せずとも、Ar、N2などのイオン化にも有効である。
表1〜表3に示す組成の定量分析は、エネルギー分散型X線分光法、オージェ電子分光法及び電子線エネルギーロス分光法を用い、総合的に決定した。表1〜表3に示す組成の表示は金属成分、非金属成分を夫々合わせて100となる様に原子%で表記したが、ここでは金属成分と比金属成分の原子比が1:1であることを意味するものではない。A層及びB層の結晶構造の解析は、X線回折法を用いて行った。結晶粒子径の測定は、例えば硬質皮膜断面を透過型電子顕微鏡によりランダムに選択した視野の断面写真より実測した。図2に結晶粒子径を測定するための1つの方法を模式図により示す。
図1はB層(1)とA層(2)の境界面(4)を示し、本発明の結晶粒子径は、境界面(4)に接するA層(2)の結晶粒子の幅(3)を示し、境界面方向に1μmの領域で測定した場合の平均値である。B層をA層の直上面に被覆した場合、表面から膜厚方向に20nm以内の領域における酸素含有量の決定にはオージェ電子分光法を用いて深さ方向に定量分析を行った。表1中の被覆方法とは、各層の被覆方法を夫々記載したものであり、アークイオンプレーティング法をAIP法として示した。連続処理とは、A層から連続してB層を被覆する処理のことである。
(ドリル切削条件1)
工具:2枚刃ドリル、外径6mm
被覆基材:超硬合金製
切削方法:止まり穴加工
被削材:SCM440(HRC30)
穴深さ:32mm
切削速度:70m/min
送り:0.5mm/rev
切削油:なし、乾式エアーブロー
(ドリル切削条件2)
工具:2枚刃ドリル、外径6mm
被覆基材:超硬合金製
切削方法:止まり穴加工
被削材:SCM440(HRC30)
穴深さ:32mm
切削速度:150m/min
送り:0.3mm/rev
切削油:水溶性エマルションタイプ使用、外部給油による
(エンドミル切削条件)
工具:4枚刃エンドミル、外径8mm
被覆基材:超硬合金製
切削方法:側面ダウンカット
被削材:Ti−6Al−4V(HRC30)
突き出し長さ:25mm
切削速度:400m/min
送り:0.07mm/刃
切込み:軸方向12mm、径方向0.2mm
切削油:水溶性エマルションタイプ使用、外部給油による。
本発明例1から本発明例6は、Alを主成分とし、Ti、Cr、Nb、Siのうちから1種以上で構成されるA層を被覆し、A層とB層との界面から500nm以内の領域における結晶粒径の平均値を2nm以上、40nm未満の範囲に制御し、スパッタリング法により連続的にB層である非晶質の硬質炭素膜を0.3μm被覆した場合の事例を示す。過酷な切削環境下でもA層とB層との密着性に優れ、従来例に比べて格段に切削寿命が長い。比較例51、比較例52は、A層が、VTiN、ZrTiNの場合の事例を示すが、皮膜硬度が低い上に、B層との密着強度が悪く、異常摩耗が発生し、切削寿命が短い。
本発明例7から本発明例10は、基材と接する耐摩耗皮膜がAlTiN皮膜で、その上にA層とB層である硬質炭素膜を被覆した場合を示すが、従来例に比べて切削寿命が長い。本発明例11から本発明例14は、A層が窒酸化膜又は硼窒化膜の場合の事例を示すが、従来例に比べて切削寿命が長い。
本発明例15から本発明例25は、基材と接する耐摩耗皮膜が窒酸化膜又は硼窒化膜の場合の事例を示すが、特に切削寿命が長い。本発明例26は、本発明例1のB層の上にA層を0.1μm被覆した場合の事例を示すが、耐摩耗皮膜の最表面にA層が被覆され、膜厚が0.1μm程度であればB層の効果が十分に作用することを示す。一方、比較例50は、耐摩耗皮膜の最表面にA層を0.8μ被覆した場合であるが、B層の効果が確認されなかった。
本発明例42は、A層とB層とをスパッタリング法により被覆した場合の事例であるが、比較例、従来例に比べ耐摩耗性に優れている。本発明例43は、B層をAIP法により被覆した場合の事例を示すが、比較例、従来例に比べ耐摩耗性に優れている。本発明例44、本発明例45は、AIP法とスパッタリング法により、被覆した場合の事例を示す。本発明例44は、B層にAIP法とスパッタリング法を用い、グラファイトターゲットを同時に放電させながら被覆を行った本発明例を示す。本発明例45は、A層の被覆時に、AIP法によりAlTiを放電させると同時にArとN2の混合雰囲気内で、スパッタリング法によりグラファイトターゲットを放電させながら被覆を行った事例を示すが、比較例、従来例に比べ耐摩耗性に優れている。本発明例46は、A層を被覆後、一度真空装置から取り出した後に、別のスパッタリング装置に入れ替えて、本発明皮膜であるB層を被覆した場合の事例を示す。切削寿命は、比較例、従来例に比べ耐摩耗性に優れているものの、耐摩耗皮膜は連続的に被覆した方がより切削寿命が長く好ましい。本発明例47は、AIP法とスパッタリング法の連続したプロセスではあるが、スパッタリングターゲットの前面に遮蔽板がない場合であり、比較例、従来例に比べ耐摩耗性に優れているものスパッタリングターゲット表面の汚染物質もA層上に被覆されていると考えられる。従って、遮蔽板を用いた場合に比べ切削寿命が劣る結果となった。比較例53は、A層のN含有量が52原子%の場合の事例を示すが、低硬度であり、本発明例に比べて耐摩耗性が劣る結果となった。比較例61から比較例64は、B層が結晶質からなる場合であるが、A層との密着強度が不十分であり異常摩耗を誘発し、本発明例に比べて著しく耐摩耗性に劣る結果となった。以上の実施例により、本発明皮膜は、A層とB層の密着強度が極めて優れ、剥離等による異常摩耗の発生を著しく抑制し、従来例に比べ著しく切削寿命を改善することが可能であることが確認できた。
2:A層
3:B層と接するA層の結晶粒径
4:B層とA層の境界面
Claims (2)
- 物理蒸着法によって該基材にA層とB層とからなり耐摩耗皮膜が被覆され、該A層は、金属元素としてTi、Cr、Al、Si、Nbのうちの少なくとも1種又は2種以上より選択された元素と、非金属元素としてNを含みC、O、Bのうち1種又は2種以上より選択された元素から構成され、N、C、O、Bを原子%で100とした時、Nを60原子%以上含有するとともに結晶構造がfcc構造を有し、該B層は、該A層の直上に接する潤滑性皮膜であり、該A層と該B層との界面から該A層の膜厚方向に500nm未満の領域における結晶粒径の平均値が、19nm以上、62nm以下であることを特徴とする多層皮膜被覆切削工具。
- 請求項1記載の多層皮膜被覆切削工具において、該物理蒸着法は、スパッタリング法、アークイオンプレーティング法の何れかの方法を用いて被覆するか、両者の方法を同時に用いて被覆することにより、該A層と該B層とを同一真空容器内で被覆することを特徴とする多層皮膜被覆切削工具の被覆方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006277326A JP4540120B2 (ja) | 2006-10-11 | 2006-10-11 | 多層皮膜被覆工具及びその被覆方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006277326A JP4540120B2 (ja) | 2006-10-11 | 2006-10-11 | 多層皮膜被覆工具及びその被覆方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003345278A Division JP4083102B2 (ja) | 2003-10-03 | 2003-10-03 | 多層皮膜被覆工具及びその被覆方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007015106A true JP2007015106A (ja) | 2007-01-25 |
JP4540120B2 JP4540120B2 (ja) | 2010-09-08 |
Family
ID=37752685
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006277326A Expired - Fee Related JP4540120B2 (ja) | 2006-10-11 | 2006-10-11 | 多層皮膜被覆工具及びその被覆方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4540120B2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009068110A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Sandvik Intellectual Property Ab | 基材上に被膜を堆積させる方法および装置 |
DE112008003935T5 (de) | 2008-07-14 | 2011-05-26 | Osg Corp. | Hartstoffbeschichtung und mit Hartstoffbeschichtung beschichtetes Arbeitswerkzeug |
CN102328473A (zh) * | 2011-08-03 | 2012-01-25 | 四川欧曼机械有限公司 | 一种立方氮化硼刀具及其制造方法 |
KR20120085311A (ko) | 2009-11-12 | 2012-07-31 | 오에스지 가부시키가이샤 | 경질 피막 피복 공구 |
JP2014214336A (ja) * | 2013-04-24 | 2014-11-17 | 国立大学法人電気通信大学 | クロム含有金属材料及びクロム含有金属材料の製造方法 |
KR20160130752A (ko) * | 2014-03-11 | 2016-11-14 | 발터 악티엔게젤샤프트 | 라멜라 구조를 가지는 TiAlCN 층들 |
WO2017179233A1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-10-19 | 住友電気工業株式会社 | 硬質被膜および切削工具 |
CN107405695A (zh) * | 2015-03-13 | 2017-11-28 | 三菱综合材料株式会社 | 硬质包覆层发挥优异的耐崩刀性的表面包覆切削工具 |
JP2020006487A (ja) * | 2018-07-10 | 2020-01-16 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層が優れた耐チッピング性を発揮する表面切削工具 |
US11389879B2 (en) * | 2018-04-12 | 2022-07-19 | Mcmaster University | Ultra soft cutting tool coatings and coating method |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102328118A (zh) * | 2011-08-03 | 2012-01-25 | 四川欧曼机械有限公司 | 一种硬质合金钻头 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02194159A (ja) * | 1988-03-24 | 1990-07-31 | Kobe Steel Ltd | 耐摩耗性皮膜形成方法 |
JPH05285740A (ja) * | 1992-04-08 | 1993-11-02 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質層被覆切削工具およびその製造法 |
JPH0691407A (ja) * | 1992-05-11 | 1994-04-05 | Mitsubishi Materials Corp | 耐欠損性にすぐれた表面被覆セラミック切削工具 |
JP2000144376A (ja) * | 1998-11-18 | 2000-05-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 摺動特性の良好な皮膜 |
JP2002113604A (ja) * | 2000-08-03 | 2002-04-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 切削工具 |
JP2002239810A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-08-28 | Mmc Kobelco Tool Kk | 切粉に対する表面潤滑性にすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具 |
JP2002301610A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-10-15 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 深穴用ドリル |
JP2005111574A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 多層皮膜被覆工具及びその被覆方法 |
-
2006
- 2006-10-11 JP JP2006277326A patent/JP4540120B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02194159A (ja) * | 1988-03-24 | 1990-07-31 | Kobe Steel Ltd | 耐摩耗性皮膜形成方法 |
JPH05285740A (ja) * | 1992-04-08 | 1993-11-02 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質層被覆切削工具およびその製造法 |
JPH0691407A (ja) * | 1992-05-11 | 1994-04-05 | Mitsubishi Materials Corp | 耐欠損性にすぐれた表面被覆セラミック切削工具 |
JP2000144376A (ja) * | 1998-11-18 | 2000-05-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 摺動特性の良好な皮膜 |
JP2002113604A (ja) * | 2000-08-03 | 2002-04-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 切削工具 |
JP2002239810A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-08-28 | Mmc Kobelco Tool Kk | 切粉に対する表面潤滑性にすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具 |
JP2002301610A (ja) * | 2001-04-06 | 2002-10-15 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 深穴用ドリル |
JP2005111574A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 多層皮膜被覆工具及びその被覆方法 |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009068110A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Sandvik Intellectual Property Ab | 基材上に被膜を堆積させる方法および装置 |
DE112008003935T5 (de) | 2008-07-14 | 2011-05-26 | Osg Corp. | Hartstoffbeschichtung und mit Hartstoffbeschichtung beschichtetes Arbeitswerkzeug |
DE112008003935B4 (de) * | 2008-07-14 | 2015-04-02 | Osg Corp. | Hartstoffbeschichtung und mit Hartstoffbeschichtung beschichtetes Arbeitswerkzeug |
US8697229B2 (en) | 2008-07-14 | 2014-04-15 | Osg Corporation | Hard coating film and hard coating film coated working tool |
DE112009005368T5 (de) | 2009-11-12 | 2012-11-22 | Osg Corp. | Hartschicht und mit hartschicht beschichtetes werkzeug |
KR20120085311A (ko) | 2009-11-12 | 2012-07-31 | 오에스지 가부시키가이샤 | 경질 피막 피복 공구 |
US8932707B2 (en) | 2009-11-12 | 2015-01-13 | Osg Corporation | Hard film and hard film coated tool |
CN102328473A (zh) * | 2011-08-03 | 2012-01-25 | 四川欧曼机械有限公司 | 一种立方氮化硼刀具及其制造方法 |
JP2014214336A (ja) * | 2013-04-24 | 2014-11-17 | 国立大学法人電気通信大学 | クロム含有金属材料及びクロム含有金属材料の製造方法 |
KR20160130752A (ko) * | 2014-03-11 | 2016-11-14 | 발터 악티엔게젤샤프트 | 라멜라 구조를 가지는 TiAlCN 층들 |
KR102384099B1 (ko) * | 2014-03-11 | 2022-04-06 | 발터 악티엔게젤샤프트 | 라멜라 구조를 가지는 TiAlCN 층들 |
CN107405695A (zh) * | 2015-03-13 | 2017-11-28 | 三菱综合材料株式会社 | 硬质包覆层发挥优异的耐崩刀性的表面包覆切削工具 |
CN107405695B (zh) * | 2015-03-13 | 2020-01-14 | 三菱综合材料株式会社 | 硬质包覆层发挥优异的耐崩刀性的表面包覆切削工具 |
JPWO2017179233A1 (ja) * | 2016-04-14 | 2019-02-21 | 住友電気工業株式会社 | 硬質被膜および切削工具 |
WO2017179233A1 (ja) * | 2016-04-14 | 2017-10-19 | 住友電気工業株式会社 | 硬質被膜および切削工具 |
US11389879B2 (en) * | 2018-04-12 | 2022-07-19 | Mcmaster University | Ultra soft cutting tool coatings and coating method |
JP2020006487A (ja) * | 2018-07-10 | 2020-01-16 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層が優れた耐チッピング性を発揮する表面切削工具 |
JP7121234B2 (ja) | 2018-07-10 | 2022-08-18 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層が優れた耐チッピング性を発揮する表面切削工具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4540120B2 (ja) | 2010-09-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4540120B2 (ja) | 多層皮膜被覆工具及びその被覆方法 | |
JP4874911B2 (ja) | 長い有効寿命を有するコーティング工具 | |
JP5257750B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP5382581B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
WO2005089990A1 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP5382580B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP2006137982A (ja) | 硬質皮膜被覆部材及びその被覆方法 | |
JP2006225708A (ja) | 耐摩耗皮膜及び耐摩耗皮膜被覆切削工具及び耐摩耗皮膜の製造方法 | |
JP4441494B2 (ja) | 硬質皮膜被覆部材 | |
JP2006299399A (ja) | 硬質皮膜被覆部材 | |
JP4083102B2 (ja) | 多層皮膜被覆工具及びその被覆方法 | |
JP2007002332A (ja) | 硬質皮膜被覆部材 | |
JP2007084899A (ja) | 被覆部材、被覆部材の被覆方法 | |
JP2002018606A (ja) | 被覆切削工具 | |
JPWO2013150603A1 (ja) | 切削工具用硬質被膜及び硬質被膜被覆切削工具 | |
JP4975682B2 (ja) | 被覆切削工具の製造方法 | |
JP2005199420A (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
JP2004042149A (ja) | 被覆切削工具及 | |
JP2007046103A (ja) | 硬質皮膜 | |
JP2007119810A (ja) | 被覆部材 | |
JP5070622B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP2005271106A (ja) | 被覆切削工具 | |
JP2005256095A (ja) | 硬質皮膜及び被覆方法 | |
JP4456905B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JPWO2020026389A1 (ja) | 硬質被膜および硬質被膜被覆部材 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061020 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100301 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100621 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100621 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4540120 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130702 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |