JP2010226608A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009073738A JP2010226608A (ja) | 2009-03-25 | 2009-03-25 | 屈曲振動片およびそれを用いた発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009073738A JP2010226608A (ja) | 2009-03-25 | 2009-03-25 | 屈曲振動片およびそれを用いた発振器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010226608A JP2010226608A (ja) | 2010-10-07 |
JP2010226608A5 true JP2010226608A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2012-03-29 |
Family
ID=43043280
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009073738A Withdrawn JP2010226608A (ja) | 2009-03-25 | 2009-03-25 | 屈曲振動片およびそれを用いた発振器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010226608A (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5482541B2 (ja) * | 2009-10-01 | 2014-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、及び電子機器 |
JP5499852B2 (ja) | 2010-04-08 | 2014-05-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子 |
JP5659585B2 (ja) | 2010-07-09 | 2015-01-28 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
JP5617392B2 (ja) | 2010-07-09 | 2014-11-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子及び発振器 |
JP5685962B2 (ja) | 2011-02-02 | 2015-03-18 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
US8581669B2 (en) | 2011-02-02 | 2013-11-12 | Seiko Epson Corporation | Vibrator element, vibrator, oscillator, and electronic apparatus |
JP6155897B2 (ja) | 2013-06-24 | 2017-07-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体 |
JP6482169B2 (ja) | 2013-07-19 | 2019-03-13 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 |
JP6073764B2 (ja) * | 2013-08-30 | 2017-02-01 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 恒温槽付圧電発振器 |
JP6375622B2 (ja) | 2013-12-27 | 2018-08-22 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器、センサーおよび移動体 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5967713A (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-17 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 音叉型水晶振動子 |
JPS6098710A (ja) * | 1983-11-04 | 1985-06-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電磁器濾波器 |
JPS61176821U (enrdf_load_stackoverflow) * | 1984-12-10 | 1986-11-05 | ||
JPH02264507A (ja) * | 1989-04-04 | 1990-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動子装置 |
JP4042766B2 (ja) * | 2001-08-08 | 2008-02-06 | セイコーエプソン株式会社 | 光学装置、およびプロジェクタ |
JP3915640B2 (ja) * | 2002-07-02 | 2007-05-16 | 株式会社大真空 | 水晶z板のエッチング方法及びその方法によって成形された水晶ウェハ |
JP2004253579A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
JP4329492B2 (ja) * | 2003-10-28 | 2009-09-09 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片と圧電デバイスおよびこれらの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2005151423A (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-09 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片と圧電デバイスおよびこれらの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2006054221A (ja) * | 2004-08-09 | 2006-02-23 | Nitto Denko Corp | 熱伝導シート |
JP4593203B2 (ja) * | 2004-08-24 | 2010-12-08 | リバーエレテック株式会社 | 音叉型水晶振動子及びその製造方法 |
JP2006086996A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片と圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 |
JP2007081749A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型水晶振動子 |
JP4862132B2 (ja) * | 2006-03-27 | 2012-01-25 | 株式会社Jvcケンウッド | 半導体レーザ素子の製造方法 |
JP4862457B2 (ja) * | 2006-04-03 | 2012-01-25 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及びプロジェクタ |
JP2008051999A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Seiko Epson Corp | 光学素子の製造方法及びプロジェクタ |
JP2008113098A (ja) * | 2006-10-28 | 2008-05-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型圧電振動片 |
JP4984986B2 (ja) * | 2007-03-12 | 2012-07-25 | 株式会社デンソー | レーザ装置及びその製造方法 |
JP2009036917A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Sharp Corp | 液晶表示装置 |
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2009
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