JP2010223893A - 薄膜ガスセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】図は薄膜ガスセンサの平面図であり、感知膜電極7間にバリスタ(R)等の非直線性抵抗素子を形成した例である。つまり、感知膜電極7を形成する際に、ニードル状に突起のあるパターンを図示のように対向させる。そして、上層のSnO2層を形成する際に、図示のようにSnO2を形成する部分に窓開けし、ここにバリスタ(R)等の非直線性抵抗素子10を形成したものである。
【選択図】図1
Description
ところで、家庭用として普及しているガス漏れ警報器には、都市ガス用やプロパンガス用の可燃性ガス検知を目的とするものと、燃焼機器の不完全燃焼ガス検知を目的とするもの、または両方の機能を併せ持ったものなどがあるが、いずれもコストや設置性の問題から普及率はそれほど高くはない。
放電耐量特性の高い組成物を得る方法として、例えば特許文献1に示すものがある。しかしながら、これは一般的なもので、特に薄膜ガスセンサについて大電流耐量を考慮したものは見あたらない。
前記ヒータ間および感知膜電極間の少なくとも一方に、非直線性抵抗素子部を形成したことを特徴とする。
上述の薄膜ガスセンサは、形成した非直線抵抗素子部によってヒータ間および感知膜電極間に印加された静電気放電などのサージ電圧からガスセンサを保護する。
この請求項1の発明において前記非直線性抵抗素子部は、前記ガス感知膜と同時に形成することができる(請求項2の発明)。
上述の薄膜ガスセンサは、製造工数を増加させることなくサージ電圧からガスセンサを保護する非直線抵抗素子部が形成できる。
まず、両面に熱酸化膜が付いたSi基板1上に、ダイヤフラム構造の支持膜および熱絶縁膜として、Si3N4(3)とSiO2膜4を順次プラズマCVD法にて形成する。
図1はこの発明の実施例を示す平面図で、感知膜電極7間にバリスタ(R)等の非直線性抵抗素子を形成する例である。すなわち、感知膜電極7を形成する際に、ニードル状に突起のあるパターンを図示のように対向させる。そして、上層のSnO2層を形成する際に、図1のSnO2を形成する部分に窓開けし、ここにバリスタ(R)等の非直線性抵抗素子10を形成する。
Claims (2)
- 薄膜状の支持膜の外周または両端部をSi基板により支持し、外周部または両端部が厚く、中央部が薄く形成されたダイヤフラム様の支持基板上に薄膜のヒータを形成し、この薄膜のヒータを電気絶縁膜で覆い、その上にガス感知膜用の電極を形成し、さらに半導体薄膜によりガス感知膜を形成した後、その最表面に貴金属触媒を多孔質金属酸化物に担持した選択燃焼層を設けてなる薄膜ガスセンサにおいて、
前記ヒータ間および感知膜電極間の少なくとも一方に、非直線性抵抗素子部を形成したことを特徴とする薄膜ガスセンサ。 - 前記非直線性抵抗素子部は、前記ガス感知膜と同時に形成することを特徴とする請求項1に記載の薄膜ガスセンサ。
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