JP3976265B2 - 薄膜ガスセンサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、電池駆動を念頭においた低消費電力型薄膜ガスセンサ、特にその改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般的に、ガスセンサはガス漏れ警報器などの用途に用いられ、或る特定のガス、例えばCO,CH4,C3H8,CH3OH等に選択的に感応するデバイスであり、その性格上、高感度,高選択性,高応答性,高信頼性,低消費電力が必要不可欠である。ところで、家庭用として普及しているガス漏れ警報器には、都市ガス用やプロパンガス用の可燃性ガス検知を目的とするものと、燃焼機器の不完全燃焼ガス検知を目的とするもの、または両方の機能を併せ持ったものなどがあるが、いずれもコストや設置性の問題から普及率はそれほど高くはない。
【0003】
このような事情から、普及率の向上を図るべく、設置性の改善、具体的には電池駆動としコードレス化することが望まれている。電池駆動を実現するためには低消費電力化が最も重要であるが、接触燃焼式や半導体式のガスセンサでは、200℃〜500℃の高温に加熱して検知する必要がある。このことから、SnO2などの粉体を燒結する従来の方法では、スクリーン印刷等の方法を用いたとしても厚みを薄くするには限界があり、電池駆動に用いるには熱容量が大きすぎる。そこで、ヒーター,感知膜を1μm以下の薄膜で形成し、さらに、深堀エッチング加工プロセスによりダイアフラム構造などの低熱容量,断熱構造とした薄膜ガスセンサの出現が待たれている。
【0004】
図1に、この発明が適用される薄膜ガスセンサの一般的な断面構造を示す。
図示のように、両面に熱酸化膜が付いたシリコンウエハー1上に、ダイアフラム構造の支持層及び熱絶縁層2としてSi3N4とSiO2膜を順次プラズマCVD法にて形成する。次にヒーター層3、SiO2絶縁層4の順にスパッタ法で形成する。その上に接合層5、感知層電極6、感知層7を形成する。成膜はRFマグネトロンスパッタリング装置を用い、通常のスパッタリング法によって行なう。成膜条件は接合層(TaまたはTi)5、感知層電極(PtまたはAu)6とも同じで、Arガス圧力1Pa、基板温度300℃、RFパワー2W/cm2、膜厚は接合層5/感知層電極6=500Å/2000Åである。
【0005】
次に、感知層7であるSnO2を成膜する。成膜にはRFマグネトロンスパッタリング装置を用い、反応性スパッタリング法によって行なう。ターゲットにはSbを0.5重量パーセント%(wt%)有するSnO2を用いる。成膜条件はArガス圧力2Pa、基板温度150〜300℃、RFパワー2W/cm2である。感知層7の大きさは50ないし200μm角程度、厚さは0.2ないし1.6μm程度が望ましい。感知層7の上にはAl2O3,Cr2O3などの多孔質金属酸化物からなる担体にPdまたはPtなどの貴金属酸化触媒を担持し、無機バインダーと溶剤でペースト状にした選択燃焼層材料をスクリーン印刷法により塗布し、500℃で1時間以上焼成することによって選択燃焼層8が形成される。選択燃焼層8の大きさは、感知層7を十分に覆いきる必要がある。最後に、シリコンウエハーの裏面よりエッチングによりシリコンを除去し、ダイアフラム構造とする。
【0006】
選択燃焼層8の役割は、被検出ガスであるCO,CH4以外のH2,アルコールなどの還元性(妨害)ガスを燃焼して感知層7に到達しないようにし、薄膜ガスセンサにガス選択性を持たせることにある。さらに、感知層7の表面に酸素を供給することにより、薄膜ガスセンサの感度を向上する役割をも果たしていると考えられる。
H2,アルコールなどの還元性(妨害)ガスを燃焼させるために、選択燃焼層8に含まれている貴金属酸化触媒の量を多くすると、被検出ガスであるCOやCH4も選択燃焼層8で燃焼してしまい感知層7に到達せず、薄膜ガスセンサの感度が低下する。逆に、選択燃焼層8に含まれている貴金属酸化触媒の量が少ないと、H2,アルコールなどの妨害ガスを燃焼しきることができず、妨害ガスが感知層7に到達して薄膜ガスセンサの選択性が悪化する。
【0007】
また、選択燃焼層8に含まれている貴金属酸化触媒の量が多いと、感知層7への酸素供給量が増加して薄膜ガスセンサの感度が向上するする反面、選択燃焼層で被検出ガスが燃焼し易くなり、被検出ガスの感度低下の要因となる。貴金属酸化触媒の絶対量は、選択燃焼層に含まれる触媒の重量%(wt%)により変化するとともに、選択燃焼層の厚さにも依存することは言うまでもない。
そこで、従来も、ダイアフラム構造ではないが、絶縁基板上に形成されたSbとPt,Pdとを添加したSnO2膜からなる内層に、SbとPt添加のSnO2膜からなる外層を積層し、Pt,PdのSnO2に対する重量%や内層,外層の厚さに着目したガスセンサ(例えば、特許文献1参照)、またはダイアフラム構造のもので、選択燃焼層に含まれるPt,Pd触媒の重量%(wt%)や、選択燃焼層の厚さに着目したガスセンサ(例えば、特許文献2参照)などが提案されている。
【0008】
【特許文献1】
特開2000−356616号公報(図1、第2−3頁)
【特許文献2】
特開2000−298108号公報(図3、第3−4頁)
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のような従来例のいずれに就いても、いまだ改良すべき余地が残されている。
したがって、この発明の課題は、薄膜ガスセンサの感度と選択性をともに向上させ、最適な薄膜ガスセンサを提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するため、請求項1の発明では、薄膜状の支持膜の外周または両端部をシリコンウエハーにより支持し、外周部または両端部が厚く中央部が薄く形成されたダイアフラム様の支持基板上に薄膜のヒーターを形成し、この薄膜のヒーターを電気絶縁膜で覆い、その上に所定間隔を置いて一対の感知層電極を形成し、この感知層電極に接して半導体プロセスによりガス感知層を形成し、さらにこのガス感知層を覆うように選択燃焼層を形成し、この選択燃焼層に含まれるPdまたはPtなどの貴金属からなる酸化触媒の重量が、これを担持するアルミナゾルなどからなる多孔質金属酸化物担体の重量に対して、6wt%以上15wt%以下である薄膜ガスセンサにおいて、
前記薄膜ガスセンサの温度がより高温である第1の温度でCOを燃焼させてCH4を検知可能であり、より低温である第2の温度でCOを検知可能であることを特徴とする。
【0011】
請求項1の発明においては、前記選択燃焼層の厚さが10μm以上50μm以下であることができる(請求項2の発明)。
すなわち、この発明は選択燃焼層に担持される酸化触媒の量や選択燃焼層の厚さの最適範囲、さらには最適温度を求めることで、薄膜ガスセンサの感度と選択性を向上させるものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
まず、図1で説明した薄膜ガスセンサの選択燃焼層8の厚さを30μmで一定とし、貴金属酸化触媒であるPd触媒の量を変化させて考察した。
[考察例1]
図2は例えばAl2O3担体に担持されるPd触媒の量が0.1wt%の例である。
この例では、4000ppmのCH4、100ppmのCO、1000ppmのH2、それぞれのガス中に薄膜ガスセンサを設置し、予め200msの間ヒーター3に電流を流して感知層7の温度を450℃まで上昇させ、感知層7の表面に付着した水分や雑ガス成分を除去した後、感知層7を設定温度(以下、Low側温度という)に保持し、約10s後のセンサ抵抗値を測定して、その結果を、Low側温度を横軸としてプロットしたものである。Low側温度を変えて実験する前には、必ず感知層7の温度をいったん450℃に上昇させている。
【0013】
図2では、薄膜ガスセンサを大気中に設置しLow側温度を変えた場合(Rair)、4000ppmのCH4中に設置しLow側温度を変えた場合(メタン4000ppm)、100ppmのCO中に設置しLow側温度を変えた場合(CO100ppm)、1000ppmのH2中に設置しLow側温度を変えた場合(水素1000ppm)の4つの場合についてプロットしている。
4000ppmのCH4中と1000ppmのH2中の曲線は大気中の曲線とほぼ平行になっており、選択燃焼層でCH4もH2も燃焼していないことを示している。COについては、Low側温度が300℃になると大気中の抵抗値に近づき、この温度で選択燃焼層でのCO燃焼が始まっていることが分かる。Low側温度が450℃になると大気中の抵抗値とほぼ一致し、COが選択燃焼層でほぼ完全に燃焼している。
【0014】
[考察例2]
図3は、Pd触媒の量をAl2O3の3.5wt%とした例で、条件は図2と同じである。この場合、Pd触媒の酸化活性作用が高まり、Low側温度が200℃付近から選択燃焼層でのCO燃焼が始まり、Low側温度が300℃付近ではCOはほぼ完全に燃焼している。また、Low側温度が250℃付近からH2も燃焼し始め、Low側温度が450℃付近では完全に燃焼しきっているわけではないが、H2の抵抗値は大気中の抵抗値に近づきCH4のそれよりも高くなる。すなわち、Low側温度が450℃付近ではCH4の抵抗値が最低になり、薄膜ガスセンサのCH4に対する感度と選択性が保証される。
【0015】
[考察例3]
図4はPd触媒の量をAl2O3の7wt%とした例で、条件は図2と同じである。図4では図3で説明した現象がさらに顕著に現われていることが分かる。
ところで、Pd触媒の量をAl2O3の15wt%以上にするとPd触媒の分散化が悪化し、触媒作用を有効に発揮できなくなることが確かめられており、Pd触媒の担持量のいたずらな増加は、コストアップの要因ともなって好ましくないと言える。
【0016】
[考察例4]
次に、Pd触媒の担持量をAl2O3の例えば7wt%とし、選択燃焼層の厚さを変えて考察した。図5は選択燃焼層の厚さがゼロ、すなわち、選択燃焼層がない場合の例である。条件は図2〜図4と同じである。
図5では図2と同じく、4000ppmのCH4中と1000ppmのH2中の曲線が大気中の曲線とほぼ平行になっているが、これは選択燃焼層がなく選択燃焼層中でのCH4とH2の燃焼がないことを考えると、当然の結果といえる。COについては、Low側温度が300℃になると大気中の抵抗値に近づいているが、これはSnO2感応層またはそれ以外の部分でCOの酸化が起こっているためと考えられる。また、図5では大気中での抵抗値が図2〜図4に比べて低いが、これも選択燃焼層がないため、選択燃焼層の酸化触媒からの酸素供給が行なわれないからである。
【0017】
[考察例5]
図6はPd触媒の量をAl2O3の例えば7wt%とし、選択燃焼層の厚さを10μmとした例である。
図6では図3で説明した現象が同様に現われていることが分かる。ただし、Low側温度が450℃付近では、H2の抵抗値は大気中の抵抗値に近づいているもののCH4のそれに近く、薄膜ガスセンサのCH4感度とH2に対する選択性が十分保証されているとはいえない。
【0018】
[考察例6]
図7はPd触媒の量をAl2O3の例えば7wt%とし、選択燃焼層の厚さを30μmとした例である。
図7は図4と同じ条件となり、図4の現象が再現している。すなわち、Low側温度が450℃のときにCH4に対する感度と選択性があり、Low側温度が100℃以下ではCOに対する感度と選択性がある。
【0019】
[考察例7]
図8はPd触媒の量をAl2O3の例えば7wt%とし、選択燃焼層の厚さを42μmとした例である。
図8では図7とほぼ同様の曲線となっており、選択燃焼層の厚さを30μm以上にしても、現象は飽和傾向になるといえる。
【0020】
[考察例8]
図9はPd触媒の量も条件も図3と同じであるが、水素2000ppmおよび水素4000ppmのデータを付加したもの、また、図10はPd触媒の量も条件も図4と同じであるが、水素2000ppmおよび水素4000ppmのデータを付加したものである。すなわち、ヒーター入力パワーが30mW(ヒーター温度=450℃)のときに着目すれば、メタン4000ppmに対して水素1000ppmの場合は選択性がある(水素1000ppmのときのセンサ抵抗値に対して、メタン4000ppmのときのセンサ抵抗値が十分低い)といえることは、図3で説明したとおりである。
【0021】
ところで、水素の爆発限界は4%(40000ppm)なので、例えば爆発限界の1/10の濃度の水素とメタン4000ppmとを区別しようとすると、この性能では不十分ということが図9から分かる。そこで、図10のようにPd触媒の量を7%にすると、ヒーター入力パワーが30mW(ヒーター温度=450℃)のとき、メタン4000ppmに対して水素4000ppmの方が、抵抗値が十分に高いので選択性があると言える。
【0022】
以上のような種々の場合の考察から、選択燃焼層に含まれるPd酸化触媒の重量は、これを担持するアルミナなどの多孔質金属酸化物担体の重量に対して、7wt%(マージンをとって6%)以上15wt%以下にすること、また、選択燃焼層の厚さを10μm以上50μm以下、望ましくは20μm以上50μm以下とすることにより、薄膜ガスセンサのCH4とCOに対する感度と選択性を両立できるといえる。
また、酸化触媒をPdの代わりにPtを用いて同様の考察を行ない、上記と同様の結果を得たことを付言する。
【0023】
【発明の効果】
この発明によれば、薄膜ガスセンサの選択燃焼層中のPtやPdなどの酸化触媒の最適量を制御することで、H2やアルコールなどの還元性(妨害)ガスを燃焼し感知層に到達しないようにして薄膜ガスセンサに選択性を持たせること、および感知層の表面に酸素を供給して薄膜ガスセンサの感度を向上させることという選択燃焼層の役割を有効に果たすことができ、その結果、薄膜ガスセンサの感度と選択性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明が適用される一般的な薄膜ガスセンサの断面構成図
【図2】Pd0.1%選択層(厚さ30μm)の各種ガス感度の温度依存性説明図
【図3】Pd3.5%選択層(厚さ30μm)の各種ガス感度の温度依存性説明図
【図4】Pd7.0%選択層(厚さ30μm)の各種ガス感度の温度依存性説明図
【図5】選択層なしの場合の各種ガス感度の温度依存性説明図
【図6】選択層厚さ10μmの場合の各種ガス感度の温度依存性説明図
【図7】選択層厚さ30μmの場合の各種ガス感度の温度依存性説明図
【図8】選択層厚さ42μmの場合の各種ガス感度の温度依存性説明図
【図9】図3に水素1000,4000ppmのデータを付加した場合の各種ガス感度の温度依存性説明図
【図10】図4に水素1000,4000ppmのデータを付加した場合の各種ガス感度の温度依存性説明図
【符号の説明】
1…シリコンウエハー(ダイアフラム)、2…支持層及び熱絶縁層、3…ヒーター層、4…絶縁層、5…接合層、6…感知層電極、7…感知層、8…選択燃焼層。
Claims (2)
- 薄膜状の支持膜の外周または両端部をシリコンウエハーにより支持し、外周部または両端部が厚く中央部が薄く形成されたダイアフラム様の支持基板上に薄膜のヒーターを形成し、この薄膜のヒーターを電気絶縁膜で覆い、その上に所定間隔を置いて一対の感知層電極を形成し、この感知層電極に接して半導体プロセスによりガス感知層を形成し、さらにこのガス感知層を覆うように選択燃焼層を形成し、この選択燃焼層に含まれるPdまたはPtなどの貴金属からなる酸化触媒の重量が、これを担持するアルミナゾルなどからなる多孔質金属酸化物担体の重量に対して、6wt%以上15wt%以下である薄膜ガスセンサにおいて、
前記薄膜ガスセンサの温度がより高温である第1の温度でCOを燃焼させてCH4を検知可能であり、より低温である第2の温度でCOを検知可能であることを特徴とする薄膜ガスセンサ。 - 前記選択燃焼層の厚さが10μm以上50μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の薄膜ガスセンサ。
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