JP6284300B2 - 薄膜式ガスセンサ - Google Patents
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Description
本発明の実施例について説明する。本実施例においては、本発明の実施形態に係る薄膜式ガスセンサの詳細の一例で述べた薄膜式ガスセンサを用いており、薄膜式ガスセンサは、本実施形態に係る薄膜式ガスセンサの製造方法の一例で述べたように作製されている。このような薄膜式ガスセンサについて、シリコン基板2の支持層当接部分における貫通孔2aの直径D1をそれぞれ500μmとし、かつ直径D2をそれぞれ200μm、220μm、240μm、及び260μmとする4種類の薄膜式ガスセンサを作製した。これらの薄膜式ガスセンサを用いて、選択燃焼層8の絶縁層当接部分の直径D2を180μm〜260μmの範囲とし、かつ直径D1と直径D2との直径比率D1/D2を1.92〜2.78の範囲とした場合について、薄膜式ガスセンサの特性を確認する。
2 シリコン基板
2a 貫通孔
3 支持層
4 ヒータ層
5 電気絶縁層
6 電極
7 ガス感知層
8 選択燃焼層
D1,D2 直径
H ヒータ電力
H1 下限値
H2 上限値
RM メタン抵抗
RM1 下限値
RM2 上限値
P 水素/メタン抵抗比
P1 下限値
P2 上限値
S 50℃/20℃メタン抵抗比
S1 下限値
S2 上限値
Claims (2)
- 円柱状の貫通孔を有する板状のシリコン基板と、
前記貫通孔の開口を覆うように前記シリコン基板上に重ねて形成される薄膜状の支持層と、
前記貫通孔の位置に対応して前記支持層上に形成されるヒータ層と、
該ヒータ層を覆うように前記支持層上に形成される電気絶縁層と、
前記貫通孔の位置に対応して前記電気絶縁層上に互いに間隔を空けて形成される2つの電極と、
該2つの電極間を結ぶように前記電気絶縁層上に形成されるガス感知層と、
触媒を添加した多孔質体から構成され、かつ前記貫通孔の位置に対応して前記電気絶縁層上にて前記2つの電極及び前記ガス感知層を覆うように形成される選択燃焼層と
を備えている薄膜式ガスセンサにおいて、
前記選択燃焼層が半球形状に形成されて、前記選択燃焼層の円形状の底面部分が前記電気絶縁層に当接しており、
前記シリコン基板の前記支持層に当接する部分における貫通孔の直径D1と、前記選択燃焼層における前記電気絶縁層に当接する部分の直径D2との比率D1/D2が1.92以上かつ2.78以下の範囲になっている、薄膜式ガスセンサ。 - 前記直径D1を450μm以上かつ540μm以下の範囲とする条件、及び前記直径D2を180μm以上かつ260μm以下の範囲とする条件のうち少なくとも1つの条件を満たすようになっている、請求項1に記載の薄膜式ガスセンサ。
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