JP2010211894A - 差動センスアンプ - Google Patents

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Abstract

【課題】一対の相補信号のそれぞれについて、消去状態を示すものであるか否かをチェックすることできる差動センスアンプを提供する。
【解決手段】本発明の一態様に係る差動センスアンプは、第1ビット線と第2ビット線とから入力された一対の相補信号の差を検出する第1差動増幅部と、前記第1ビット線から入力された一方の相補信号と第1基準信号との差を検出する第2差動増幅部と、前記第2ビット線から入力された他方の相補信号と第2基準信号との差を検出する第3差動増幅部とを備える。
【選択図】図6

Description

本発明は、差動センスアンプに関し、特に、相補ビット線対の差を検出する差動センスアンプに関する。
メモリに記憶されたデータを高速かつ安定に読み出すため、相補信号を書き込んだ相補セルを差動センスアンプで読み出す方式の半導体メモリがある(例えば、特許文献1参照)。図11に示す半導体メモリは、差動センスアンプ10、メモリセル11、デコーダ12を備えている。1つの相補ビット線対(Barビット線BLB、Trueビット線BLT)には、2対の相補セル(BarセルM1BとTrueセルM1T、BarセルM2BとTrueセルM2T)が接続されている。
デコーダ12は、アドレスを受けて任意のワード線(WL1、WL2)を選択する。差動センスアンプ10には、Barビット線BLB及びTrueビット線BLTが入力されている。差動センスアンプ10は、例えばBarビット線BLB及びTrueビット線BLTからなる相補ビット線対の電位差を増幅する。
ここで、図11に示す半導体メモリの読み出し動作の説明を行う。例えば、M1BとM2Tが書き込みセル(選択時オフ状態のセル)、M1TとM2Bが非書き込みセル(選択時オン状態のセル)であるとする。
ワード線WL1が選択されるとBarセルM1Bがオフ状態となり、Barビット線BLBに流れる電流IBLB=0となる。また、TrueセルM1Tがオン状態となり、Trueビット線BLTに流れる電流IBLT=セルのオン電流となる。この場合、差動センスアンプ10はセルのオン/オフ状態の差を検出し、出力(OUT)からHighを出力する。
一方、ワード線WL2が選択されると、BarセルM2Bがオン、TrueセルM2Tがオフ状態となる。この場合、差動センスアンプ10はセルのオン/オフ状態の差を検出し、出力(OUT)からLowを出力する。このように、セルに書き込まれた相補信号を差動で読み出すことで、高速かつ安定に読み出し動作を実行できる。
特開平1−263997号公報
差動センスアンプ読み出し方式の半導体メモリでは、出荷後にデータを書き込む場合がある。このような場合、出荷する前に、True/Barのいずれのセルも書き込まれていない(消去状態にある)ことを確認するためのブランクチェックを行う必要がある。
相補セルのTrue/Bar両セルともに消去状態である場合、差動センスアンプ10に入力される電流は同じ値(IBLB=IBLT=セルのオン電流)となる。この場合、図11に示す差動センスアンプ10からの出力は不定となる。このため、True/Barのいずれのセルとも書き込まれていない(消去状態にある)ことを確認するブランクチェックができず、出荷品質が大きく低下するという問題がある。
本発明の一態様に係る差動センスアンプは、第1ビット線と第2ビット線とから入力された一対の相補信号の差を検出する第1差動増幅部と、前記第1ビット線から入力された一方の相補信号と第1基準信号との差を検出する第2差動増幅部と、前記第2ビット線から入力された他方の相補信号と第2基準信号との差を検出する第3差動増幅部とを備えるものである。
本発明の他の態様に係る差動センスアンプは、相補信号の一方を伝送する第1ビット線に接続された第1カレントミラー回路と、前記相補信号の他方を伝送する第2ビット線に接続され、前記第1カレントミラー回路と対称に接続された第2カレントミラー回路と、前記第1カレントミラー回路を構成するトランジスタのドレインにソースが接続された第1トランジスタと、前記第2カレントミラー回路を構成するトランジスタのドレインにソースが接続された第2トランジスタと、第1基準信号がソース及びゲートに入力された第3トランジスタと、第2基準信号がソース及びゲートに入力された第4トランジスタと、前記第1トランジスタと前記第2トランジスタとがカレントミラーを構成する状態と、前記第1トランジスタと前記第3トランジスタとがカレントミラーを構成するとともに、前記第2トランジスタと前記第4トランジスタとがカレントミラーを構成する状態とを切り替えるスイッチ回路とを備えるものである。
このような構成により、一対の相補信号のそれぞれについて、消去状態を示すものであるか否かをチェックすることが可能となる。
本発明によれば、一対の相補信号のそれぞれについて、消去状態を示すものであるか否かをチェックすることできる差動センスアンプ及びこれを用いた半導体メモリを提供することができる。
実施の形態1に係る半導体メモリの構成を示す図である。 実施の形態において用いられる差動アンプの構成例を示す図である。 実施の形態において用いられる差動アンプの構成例を示す図である。 実施の形態1に係る半導体メモリの動作を説明するタイミングチャートである。 実施の形態1に係る半導体メモリの動作を説明するタイミングチャートである。 実施の形態2に係る半導体メモリの構成を示す図である。 実施の形態2に係る半導体メモリの動作を説明するタイミングチャートである。 実施の形態2に係る半導体メモリにおける基準電流の設定方法を説明する図である。 実施の形態3に係る差動センスアンプの構成を示す図である。 実施の形態3に係る差動センスアンプの構成を示す図である。 実施の形態4に係る半導体メモリの構成を示す図である。 実施の形態4に係る半導体メモリの構成を示す図である。 従来の半導体メモリの構成を示す図である。
実施の形態1.
本発明の実施の形態1に係る差動センスアンプを用いた半導体メモリの構成について、図1を参照して説明する。図1は、本実施の形態に係る半導体メモリの構成を示す図である。図1に示すように、半導体メモリは、差動センスアンプ1、メモリセル2、デコーダ3を備えている。
メモリセル2は、ワード線(WL1、WL2)、ビット線(Barビット線:BLB、Trueビット線:BLT)、Barセル(M1B、M2B)、Trueセル(M1T、M2T)を有している。ここでは、説明の簡略化のため、1つのビット線対(BLB、BLT)に、相補セルが2対(M1BとM1T、M2BとM2T)接続されている例を示す。本実施の形態に係るメモリセル2は、相補セルに記憶された相補信号に基づき記憶状態が決定される。
ワード線(WL1、WL2)は、図1中の左右方向に延設されており、互いに平行に配置されている。また、ビット線(BLB、BLT)は、図1中の上下方向に延設されており、互いに平行に配置されている。ワード線(WL1、WL2)とビット線(BLB、BLT)とは交差するように配置されている。
ワード線WL1とBarビット線BLBとの交差部には、BarセルM1Bが設けられている。ワード線WL1とTrueビット線BLTとの交差部には、TrueセルM1Tが設けられている。ワード線WL2とBarビット線BLBとの交差部には、BarセルM2Bが設けられている。ワード線WL2とTrueビット線BLTとの交差部には、TrueセルM2Tが設けられている。
デコーダ3は、外部からのアドレスを受けて、任意のワード線(WL1、WL2)を選択する。BarセルM1B、TrueセルM1Tのゲートには、ワード線WL1が接続されている。BarセルM1B、TrueセルM1Tは、ワード線WL1が選択されることによりオン状態又はオフ状態となる。BarセルM2B、TrueセルM2Tのゲートには、ワード線WL2が接続されている。BarセルM2B、TrueセルM2Tはワード線WL2が選択されることによりオン状態又はオフ状態となる。
差動センスアンプ1は、読み出し用差動アンプDA、ブランクチェック用差動アンプTEST_DAB、TEST_DATを備えている。本実施の形態においては、読み出し用差動アンプDAの−入力端子にはBarビット線BLBが接続され、+入力端子にはTrueビット線BLTが接続されている。読み出し用差動アンプDAは、各メモリセルのオン/オフ状態による差を検出して、出力端子OUTから読み出し結果を出力する。
図2、図3に、実施の形態において用いられる差動アンプの一例を示す。図2に示す例は、NMOS(N04、N05)及びPMOS(P03、P04、P05、P06)を備える電流比較型の差動アンプである。PMOS(P03、P04)、PMOS(P05、P06)及びNMOS(N04、N05)はそれぞれカレントミラーを構成する。一対の相補信号が伝送されるビット線BLB、BLTのそれぞれには対称に2組のカレントミラー(P03、P04)及び(P05、P06)が接続されている。
詳細には、PMOS(P03)のソース及びゲートには、Trueビット線BLTが接続されている。PMOS(P03)のゲートには、PMOS(P04)のゲートが接続されている。PMOS(P04)のドレインには、NMOS(N04)のソースが接続されている。PMOS(P04)とNMOS(N04)との間の接続点が、出力端子OUTに接続されている。
また、PMOS(P06)のソース及びゲートには、Barビット線BLBが接続されている。PMOS(P06)のゲートには、PMOS(P05)のゲートが接続されている。PMOS(P05)のドレインには、NMOS(N05)のソース及びゲートが接続されている。NMOS(N04)のゲートはNMOS(N05)のゲートと接続されている。
図3に示す例は、NMOS(N01、N02、N03)及びPMOS(P01、P02)で構成された電圧比較型の差動センスアンプである。このような電圧比較型の差動センスアンプは、Barビット線BLBとTrueビット線BLTにそれぞれ負荷素子を接続し、セル電流を電圧に変換し使用する。
詳細には、PMOS(P01、P02)はカレントミラーを構成しており、NMOS(N01、N02)は差動対を構成している。NMOS(N01)のゲートには、Barビット線BLBが接続されており、NMOS(N02)のゲートにはTrueビット線BLTが接続されている。NMOS(N01、N02)のそれぞれのドレインにはNMOS(N03)のソースが接続されている。
NMOS(N01)のソースには、PMOS(P01)のドレイン及びゲートが接続されている。NMOS(N02)のソースには、PMOS(P02)のドレインが接続されている。PMOS(P01)のゲートはPMOS(P02)のゲートと接続されている。PMOS(P02)とNMOS(N02)との間の接続点には出力端子OUTが接続されている。
ここで、図4を参照して、読み出し動作の説明を行う。例えば、BarセルM1B、TrueセルM2Tとが書き込みセル(選択時オフ状態のセル)、BarセルM2B、TrueセルM1Tとが非書き込みセル(選択時オン状態のセル)であるとする。BarセルM1Bがオフ状態の時には、ビット線BLBに流れる電流IBLB=0である。TrueセルM1Tがオン状態の時には、ビット線BLTに流れる電流IBLT=セルのオン電流である。
ワード線WL1が選択されると、BarセルM1Bがオフ、TrueセルM1Tがオンとなる。読み出し用差動アンプDAは入力されるIBLBとIBLTとを比較して、出力端子OUTからHighを出力する。一方、ワード線WL2が選択されると、BarセルM2Bがオン、TrueセルM2Tがオフとなる。読み出し用差動アンプDAは入力されるIBLBとIBLTとを比較して、出力端子OUTからLowを出力する。
このような差動センスアンプ読み出し方式のプログラマブルな半導体メモリ(例えば、Flash等)で出荷後にデータを書き込む必要がある場合、True/Barいずれの相補セルも書き込まれていない(消去状態にある)ことを確認するブランクチェックを行う必要がある。このため、本実施の形態では、ブランクチェック用差動アンプTEST_DAB、TEST_DATを設けている。
ブランクチェック用差動アンプTEST_DAB、TEST_DATは、相補セルが書き込み状態であるか、非書き込み状態であるかを判定するものである。ここでは、ブランクチェック用差動アンプTEST_DABの+入力端子にはBarビット線BLBが接続され、−入力端子には基準電流IrefBが接続されている。ブランクチェック用差動アンプTEST_DABは、IBLBとIrefBとの比較結果をTEST_OUTBに出力する。
ブランクチェック用差動アンプTEST_DATの+入力端子にはTrueビット線BLTが接続され、−入力端子には基準電流IrefTが接続されている。ブランクチェック用差動アンプTEST_DATは、IBLTとIrefTとの比較結果をTEST_OUTTに出力する。
ここで、図5を参照して、ブランクチェック動作の説明を行う。True/Barの両セルが非書き込み状態(IBLB=IBLT=セルのオン電流)である場合、当該メモリセルはブランクであると判定される。
ここで、IrefB及びIrefTをセルのオン電流以下で、かつ、書き込みセルのセル電流(≒0)よりも大きな値に設定した例について説明する。Barビット線BLB、Trueビット線BLTに接続されているTrue/Barの両セルが非書き込み状態である場合、Barビット線BLB、Trueビット線BLTに流れる電流は、IBLB=IBLT=セルのオン電流となる。この場合、IBLBはIrefBよりも大きくなる。また、IBLTはIrefTよりも大きくなる。従って、TEST_OUTB及びTEST_OUTTからそれぞれHighが出力される。
このように、TEST_OUTB及びTEST_OUTTがいずれもHighであることをチェックすることで、True/Barの両セルともに非書き込み状態(ブランク状態)であることが判定できる。
一方、True/Barのセルのいずれか一方が書き込み状態である場合、書き込み状態であるセルに接続されたビット線に流れる電流は0となる。また、True/Barの両セルが書き込み状態であれば、IBLB、IBLTのいずれも0となる。従って、TEST_OUTB又はTEST_OUTTのいずれかからLowが出力されれば、True/Barの両セルともに非書き込み状態(ブランク状態)ではないことが判定できる。
以上説明したように、本実施の形態によれば、ブラックチェックを行うことが可能な差動センスアンプを実現することができ、半導体メモリの品質を向上させることができる。なお、基準電流IrefBとIrefTとは異なる記号で説明したが、IrefBとIrefTとを同じ1つの基準電流に設定してもよい。このように1つの基準電流のみで構成することも可能である。
また、上述した実施の形態では、Flashのような電気的に書き込み可能な不揮発性メモリセルで説明をしたが、これに限定されるものではない。電気的に書き込み可能なFuse素子でも同様の構成で同様の効果が得られる。また、UV−EPROM、ワンタイムPROMであってもよい。
実施の形態2.
本発明の実施の形態2に係る半導体メモリについて、図6を参照して説明する。図6は、本実施の形態に係る半導体メモリの構成を示す図である。図6において、図1と同様の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。図6に示すように、本実施の形態では、実施の形態1において説明したブランクチェック用差動アンプTEST_DAB、TEST_DATからの出力信号に基づいて、True/Bar両セルの消去状態を確認する判定回路4が設けられている。
判定回路4としては、例えば、ブランクチェック用差動アンプTEST_DAB、TEST_DATからの出力信号のANDをとる手段やORをとる手段を用いることができる。以下の説明では、判定回路4として、AND回路を用いた例について説明する。
ここで、図7を参照して、ブランクチェックの動作の説明を行う。True/Bar両セルが消去状態である場合、TEST_OUTBとTEST_OUTTからそれぞれHighが出力される。なお、この動作については、実施の形態1において説明した動作と同一であるため省略する。
TEST_OUTBとTEST_OUTTからそれぞれHighが入力されると、判定回路4は、True/Bar両セルともに消去状態であるか否かを判定する。本例では、判定回路4は、入力されたTEST_OUTBとTEST_OUTTからの出力信号がいずれもHighであるため、Highを出力する。これにより、True/Bar両セルともに消去状態(ブランク状態)であることが判定できる。
True又はBarのいずれかのセルが書き込み状態である場合、書き込み状態であるセルのTEST_OUTB又はTEST_OUTTの一方からLowが出力される。また、True/Barの両セルのいずれもが書き込み状態である場合、TEST_OUTB及びTEST_OUTTからLowが出力される。この場合、判定回路4のTEST_OUTからはLowが出力される。これにより、True/Barセルともに消去状態(ブランク状態)ではないことが検出できる。このように、本実施の形態によれば、ブランクチェックが一つの端子(TEST_OUT)で実行可能となり、テスト用端子数の削減が可能となる。
なお、上述の説明では正論理の場合について説明したが、負論理の場合には、ブランクチェック用差動アンプTEST_DAB、TEST_DATからの出力信号のORをとる回路を用いることにより、同様に相補セルの消去状態を判定することができる。
また、本実施の形態では、基準電流IrefB、IrefTを制御する基準電流生成回路5が設けられている。読み出し用差動アンプDAにより確実に読み出せる電流差である動作マージンを確保するため、基準電流生成回路5により基準電流IrefB、IrefTを所定の値に設定する。
以下、図8を参照して基準電流IrefB、IrefTの設定方法について説明する。例えば、TrueセルM1Tが非書き込みセル、BarセルM1Bが書き込みセルの場合について説明する。図8に示すように、基準電流IrefTは、正常な非書き込みセル電流よりも小さな値に設定する。また、基準電流IrefBは、正常な非書き込みセル電流よりも大きな値に設定する。さらに、IrefTとIrefBとの差が差動アンプの最小検出電流差よりも大きくなるように、設定する。
これにより、IrefT以下のセル電流を持つ異常セル(非書き込みセル)、及びIrefB以上のセル電流を持つ異常セル(書き込みセル)検出し、異常セルが検出された半導体メモリをリジェクトすることができる。これにより、差動アンプの動作マージンを確保しつつ、より安定な動作を保障することができる。
なお、上記の説明では、セル電流を比較する差動アンプの場合について説明したが、図3に示すようにセル電流を負荷素子に流して電圧とする差動アンプ場合でも同様に基準電圧を決定することができる。
実施の形態3.
本発明の実施の形態3に係る差動センスアンプについて図9A、9Bを参照して説明する。図9A、9Bは、本実施の形態に係る差動センスアンプ1の構成の一例を示す図である。図9A、9Bに示すように、本実施の形態に係る差動センスアンプ1は、図2に示す電流比較型の差動アンプの構成に加え3つのスイッチ(SW1、SW2、SW3)及び2つのNMOS(N06、N07)を備えている。
スイッチ(SW1、SW2、SW3)を制御することにより、NMOS(N06)はNMOS(N04)とカレントミラーをなし、NMOS(N07)はNMOS(M05)とカレントミラーをなす。
相補信号の一方を伝送するBarビット線BLBにはPMOS(P03、P04)からなる第1カレントミラーが接続されている。相補信号の他方を伝送するTrueビット線BLTにはPMOS(P05、P06)からなる第2カレントミラーが接続されている。第1カレントミラーと第2カレントミラーとは、対称に形成されている。
第1カレントミラーを構成するPMOS(P04)のドレインには、NMOS(N04)のソースが接続されている。第2カレントミラーを構成するPMOS(P05)のドレインには、NMOS(N05)のソースが接続されている。
NMOS(N06)のソース及びゲートには、基準電流IrefTが接続されている。NMOS(N04)のゲートとNMOS(N06)のゲート及びソースとの間には、スイッチSW1が設けられている。NMOS(N07)のソース及びゲートには、基準電流IrefBが入力されている。NMOS(N05)のゲートとNMOS(N07)のゲート及びソースとの間には、スイッチSW2が設けられている。PMOS(P05)とNMOS(N05)との間の接続点と、出力TEST_OUTBとの間にはスイッチSW3が設けられている。
スイッチSW1、SW2、SW3は、図9Aに示すようにNMOS(N04、N06)がカレントミラーを構成するとともに、NMOS(N05、N07)がカレントミラーを構成する状態と、図9Bに示すようにNMOS(N04、N05)がカレントミラーを構成する状態とを切り替えるスイッチ回路である。
図9Aに示す状態にスイッチ(SW1、SW2、SW3)を設定することで、差動センスアンプ1をブランクチェック用差動アンプとして用いることができる。一方、図9Bに示す状態にスイッチ(SW1、SW2、SW3)を設定することで、差動センスアンプ1は、読み出し用差動アンプとして用いることができる。
このように、本実施の形態では、図2に示す差動アンプに、3つのスイッチ(SW1、SW2、SW3)と2つのNMOS(N06、N07)を追加することにより、ブランクチェック可能な差動センスアンプを構成することが可能となり、ブランクチェック機能の追加による面積の増加を抑制することが可能となる。
実施の形態4.
本発明の実施の形態4に係る半導体メモリの構成について、図10A、10Bを参照して説明する。図10A、10Bは、本実施の形態に係る半導体メモリの構成を示す図である。図10A、10Bに示すように、本実施の形態では、2つの差動アンプからなる差動センスアンプ1'、スイッチSW1、SW2が設けられている。
差動センスアンプ1'を構成する一方の差動アンプは、ブランクチェック用差動アンプTEST_DABである。ブランクチェック用差動アンプTEST_DABの+入力端子には、Barビット線BLBが接続されており、−入力端子には基準電流IrefBが入力されている。
他方の差動アンプは、スイッチSW1、SW2の切り替えにより、読み出し用差動アンプDA又はブランクチェック用差動アンプTEST_DATに切り替えられる。スイッチSW1は、Barビット線BLB、Trueビット線BLTのいずれかを−入力端子に接続する。スイッチSW2は、Trueビット線BLT、基準電流Irefのいずれかを+入力端子に接続する。
図10Aに示すようにスイッチSW1をBarビット線BLBと−入力端子とを接続し、SW2をTrueビット線BLTと+入力端子とを接続するように設定することで、読み出し用差動アンプDAとして用いられる。図10Bに示すようにスイッチSW1をTureビット線BLTと−入力端子とを接続し、SW2を基準電流IrefTと+入力端子とを接続するように設定することで、ブランクチェック用差動アンプTEST_DATとして用いられる。これにより、面積の増加を抑制することができる。
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、実施の形態1に示した半導体メモリに、基準電流IrefB、IrefTを制御する基準電流生成回路5を設けてもよい。また、差動アンプの入力を切り替えることにより、読み出し用差動アンプ、Barセルのブランクチェック用差動アンプ、Trueセルのブランクチェック用差動アンプを1つの差動アンプで実現することも可能である。
1 差動センスアンプ
2 メモリセル
3 デコーダ
4 判定回路
5 基準電流生成回路
M1B Barセル
M2B Barセル
M1T Trueセル
M2T Trueセル
WL1 ワード線
WL2 ワード線
BLB Barビット線
BLT Trueビット線
DA 読み出し用差動アンプ
TEST_DAB ブランクチェック用差動アンプ
TEST_DAT ブランクチェック用差動アンプ
SW1、SW2、SW3 スイッチ

Claims (9)

  1. 第1ビット線と第2ビット線とから入力された一対の相補信号の差を検出する第1差動増幅部と、
    前記第1ビット線から入力された一方の相補信号と第1基準信号との差を検出する第2差動増幅部と、
    前記第2ビット線から入力された他方の相補信号と第2基準信号との差を検出する第3差動増幅部と、
    を備える差動センスアンプ。
  2. 前記第1差動増幅部と前記第2差動増幅部とは1つの差動増幅器で構成されており、
    前記差動増幅器の入力に、前記第1ビット線と前記第2ビット線とを接続する状態と、前記第1ビット線と前記第1基準信号を伝送する第1基準信号線とを接続する状態とを切り替えるスイッチ回路を備える請求項1に記載の差動センスアンプ。
  3. 前記第1差動増幅部と前記第2差動増幅部、前記第1差動増幅部と前記第3差動増幅部は、少なくとも1つのトランジスタを共有することを特徴とする請求項1又は2に記載の差動センスアンプ。
  4. 相補信号の一方を伝送する第1ビット線に接続された第1カレントミラー回路と、
    前記相補信号の他方を伝送する第2ビット線に接続され、前記第1カレントミラー回路と対称に接続された第2カレントミラー回路と、
    前記第1カレントミラー回路を構成するトランジスタのドレインにソースが接続された第1トランジスタと、
    前記第2カレントミラー回路を構成するトランジスタのドレインにソースが接続された第2トランジスタと、
    第1基準信号がソース及びゲートに入力された第3トランジスタと、
    第2基準信号がソース及びゲートに入力された第4トランジスタと、
    前記第1トランジスタと前記第2トランジスタとがカレントミラーを構成する状態と、前記第1トランジスタと前記第3トランジスタとがカレントミラーを構成するとともに、前記第2トランジスタと前記第4トランジスタとがカレントミラーを構成する状態とを切り替えるスイッチ回路とを備える差動センスアンプ。
  5. 前記第1基準信号及び前記第2基準信号は、略等しい電圧であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の差動センスアンプ。
  6. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の差動センスアンプと、
    前記第1ビット線に接続され、前記一方の相補信号を記憶する第1メモリセルと、
    前記第2ビット線に接続され、前記他方の相補信号を記憶する第2メモリセルと、
    を備える半導体メモリ。
  7. 前記第1メモリセル及び前記第2メモリセルは、不揮発性メモリセル、ヒューズ素子又はワンタイムPROMのいずれかから構成される請求項6に記載の半導体メモリ。
  8. 前記第2差動増幅部の出力信号と前記第3差動増幅部の出力信号に基づいて、前記第1メモリセル及び前記第2メモリセルが非書き込み状態であるか否かを判定する判定回路をさらに備える請求項6又は7に記載の半導体メモリ。
  9. 前記第1基準信号及び前記第2基準信号を制御する基準信号生成回路をさらに備える請求項6〜8のいずれか1項に記載の半導体メモリ。
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