JP2010210268A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 光源からの光を測定光と参照光とに分割し、前記測定光を被検査物に照射したときに前記被検査物から戻される戻り光と、前記参照光との干渉光の波長スペクトルに基づいて前記被検査物の断層像を取得する光干渉断層撮像方法であって、
   前記被検査物の、前記測定光の照射方向に隣接する複数の測定領域のそれぞれについて、前記干渉光の波長スペクトルに基づいて測定像を得るステップと、
   測定像から、その測定領域に隣接する隣接領域の断層像の鏡像を除去することにより、測定領域毎の断層像を得るステップと、
   を有することを特徴とする光干渉断層撮像方法。
2. 前記複数の測定領域のうち前記被検査物の端に配置された第１の測定領域を第２の測定領域に隣接する隣接領域とした場合、
   前記断層像を得るステップでは、
   前記第１の測定領域の測定像を前記第１の測定領域の断層像として採用し、
   前記第２の測定領域の測定像から、前記第１の測定領域の断層像の鏡像を除去することにより、該第２の測定領域の断層像を得る
   ことを特徴とする請求項１に記載の光干渉断層撮像方法。
3. 前記測定像を得るステップでは、第１の測定領域が前記被検査物の端に配置され、かつ、第１から第Ｘの測定領域（Ｘは１より大きい整数）が前記測定光の照射方向に順に並ぶように、前記複数の測定領域が設定され、
   前記測定領域毎の断層像を得るステップでは、
   第１の測定領域について、測定像を断層像として採用し、
   第２〜第Ｘの測定領域については順番に、第Ｙの測定領域の測定像から（２≦Ｙ≦Ｘ）、第Ｙ−１の測定領域の断層像の鏡像を除去することにより、第Ｙの測定領域の断層像を得る
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の光干渉断層撮像方法。
4. 前記測定領域の前記照射方向の幅は、当該測定領域の測定像を得る際の焦点深度の１／２よりも小さい
   ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の光干渉断層撮像方法。
5. 前記測定像を、測定領域内の前記照射方向の位置に対する強度の変化を表す減衰関数に基づいて決定された補正関数に従って補正するステップを更に有し、
   前記測定領域毎の断層像を得るステップでは、前記補正された測定像から、前記隣接領域の断層像の鏡像を除去することにより、測定領域毎の断層像を得る
   ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の光干渉断層撮像方法。
6. 前記補正関数は、測定領域ごとに異なる
   ことを特徴とする請求項５に記載の光干渉断層撮像方法。
7. 測定領域毎に、断層像の強度および／または測定領域の前記照射方向の位置を調整するステップ
   を更に有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の光干渉断層撮像方法。
8. 前記測定像は、その測定領域よりも広い範囲に対して得られ、
   測定領域毎に測定領域の前記照射方向の位置を調整する場合には、測定領域の断層像とその隣接領域の断層像との重複部分の強度の差が一定になるように調整する
   ことを特徴とする請求項７に記載の光干渉断層撮像方法。
9. 前記測定像は、その測定領域よりも広い範囲に対して得られ、
   測定領域毎に断層像の強度を調整する場合には、測定領域の断層像とその隣接領域の断層像との重複部分の強度の差が最小になるように調整する
   ことを特徴とする請求項７または８に記載の光干渉断層撮像方法。
10. 測定領域とその測定領域に隣接する隣接領域との境界と、コヒーレンスゲートの位置とが一致する場合に、前記鏡像は、当該境界を軸として、当該隣接領域の断層像を反転した像である
    ことを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の光干渉断層撮像方法。
11. 前記測定像を得る際に、コヒーレンスゲートの位置を、測定領域とその隣接領域との境界よりも隣接領域側に設定する
    ことを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の光干渉断層撮像方法。
12. 請求項１〜１１のいずれか１項に記載の光干渉断層撮像方法の各ステップをコンピュータに実行させるプログラム。
13. 光源からの光を測定光と参照光とに分割し、前記測定光を被検査物に照射したときに前記被検査物から戻される戻り光と、前記参照光との干渉光の波長スペクトルに基づいて前記被検査物の断層像を取得する光干渉断層撮像装置であって、
    前記被検査物の、前記測定光の照射方向に隣接する複数の測定領域のそれぞれについて、前記干渉光の波長スペクトルに基づいて測定像を得る測定像取得手段と、
    測定像から、その測定領域に隣接する隣接領域の断層像の鏡像を除去することにより、測定領域毎の断層像を得る断層像取得手段と、
    を有することを特徴とする光干渉断層撮像装置。