JP2010189605A - 粘着剤組成物及び表面保護用粘着シート - Google Patents
粘着剤組成物及び表面保護用粘着シート Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010189605A JP2010189605A JP2009038067A JP2009038067A JP2010189605A JP 2010189605 A JP2010189605 A JP 2010189605A JP 2009038067 A JP2009038067 A JP 2009038067A JP 2009038067 A JP2009038067 A JP 2009038067A JP 2010189605 A JP2010189605 A JP 2010189605A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensitive adhesive
- pressure
- weight
- photomask
- adhesive composition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
【解決手段】アクリル酸−2−エチルヘキシル又はアクリル酸オクチル50〜95重量%と、炭素数2〜5のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸エステル0.1〜40重量%と、(メタ)アクリル酸0.1〜5重量%とを含有するモノマー混合物を共重合して得られるアクリル酸エステル系樹脂を含有する粘着剤組成物。
【選択図】なし
Description
表面保護用粘着シートは、基材上に粘着剤層と離型フィルムとがこの順で積層一体化されており、使用時には、離型フィルムを剥離して粘着剤層側をフォトマスクに貼り付けた後、基材側をレジスト表面に密着させて露光を行う。
以下、本発明を詳述する。
上記モノマー混合物がアクリル酸−2−エチルヘキシル又はアクリル酸オクチルを含有することにより、得られる粘着剤組成物に軟らかさを付与することができ、フォトマスクの表面を保護する表面保護用粘着シートに用いられる場合にフォトマスクに貼り付ける際の気泡の巻き込みが少ない粘着剤層を形成することができる。なかでも、安価で入手が容易であることから、アクリル酸−2−エチルヘキシルが好ましい。
アクリル酸−2−エチルヘキシル又はアクリル酸オクチルの含有量の好ましい下限は70重量%、好ましい上限は94重量%、より好ましい下限は80重量%、より好ましい上限は90重量%である。
上記モノマー混合物が上記炭素数2〜5のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸エステルを含有することにより、得られる粘着剤組成物に硬さを付与することができ、離型フィルムの剥離によるストップマークの発生を抑制する粘着剤層を形成したり、フォトマスクの表面を保護する表面保護用粘着シートに用いられる場合、露光工程によりレジストを基板に焼き付けた後、表面保護用粘着シートをフォトマスクから剥離する際の糊残りが少ない粘着剤層を形成したりすることができる。
なお、本明細書中、「(メタ)アクリル酸」は、アクリル酸、メタクリル酸、又は、アクリル酸及びメタクリル酸を意味する。
上記炭素数2〜5のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸エステルの含有量の好ましい下限は3重量%、好ましい上限は20重量%、より好ましい上限は10重量%である。
上記モノマー混合物が(メタ)アクリル酸を含有することにより、得られる粘着剤組成物は凝集力が高くなり、フォトマスクの表面を保護する表面保護用粘着シートに用いられる場合にフォトマスクから剥離する際の糊残りが少ない粘着剤層を形成することができる。なかでも、アクリル酸が好ましい。
(メタ)アクリル酸の含有量の好ましい下限は0.5重量%、好ましい上限は3重量%、より好ましい下限は0.8重量%、より好ましい上限は2.5重量%である。
上記他のビニルモノマーは特に限定されず、例えば、(メタ)アクリル酸−2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸グリシジル、アリルグリシジルエーテル等のアクリル酸エステル系樹脂の主鎖間の架橋形成に寄与するビニルモノマーや、クロトン酸、マレイン酸、イタコン酸等のカルボキシル基を含有するモノマーや、n−メチロールアクリルアミド等の水酸基を含有するモノマーや、無水マレイン酸や、酢酸ビニルや、スチレン等が挙げられる。
上記アクリル酸エステル系樹脂の重量平均分子量のより好ましい下限は60万、より好ましい上限は100万である。
まず、アクリル酸エステル系樹脂をテトラヒドロフラン(THF)によって50倍希釈し、得られた希釈液をフィルターで濾過する。得られた濾液をゲルパーミエーションクロマトグラフによって測定し、ポリスチレン換算分子量として、アクリル酸エステル系樹脂の重量平均分子量を得ることができる。上記ゲルパーミエーションクロマトグラフとして、例えば、Water社製「2690 Separations Model」が挙げられる。
上記重合方法は特に限定されず、従来公知の方法が用いられ、例えば、溶液重合、乳化重合、懸濁重合、塊状重合が挙げられる。
上記架橋剤は特に限定されず、例えば、イソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、金属キレート型架橋剤が挙げられる。なかでも、得られる粘着剤組成物が、被着体の変形に伴って発生する剥離応力によっても被着体から剥離しにくい粘着剤層を形成できることから、イソシアネート系架橋剤が好ましい。
上記粘着付与樹脂は特に限定されず、例えば、キシレン樹脂、フェノール樹脂、ロジン系樹脂、テルペン系樹脂等が挙げられる。これらの粘着付与樹脂は、単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。なかでも、キシレン樹脂が好ましく、キシレン樹脂のアルキルフェノール反応物がより好ましい。
上記粘着剤層は、ゲル分率のより好ましい下限が45重量%、より好ましい上限が75重量%である。
まず、粘着剤組成物に溶剤を加えて粘着剤溶液を調製し、この粘着剤溶液を離型フィルムに塗布し、100℃で3分間乾燥して4μmの厚みとした後、更に離型フィルムを被せて23℃、50%RHで一週間養生する。得られたサンプルから試験片を作製し、離型フィルムを剥がした後、酢酸エチル中に23℃で24時間浸漬し、試験片を酢酸エチルから取り出して、110℃で1時間乾燥させる。そして、乾燥後の試験片の重量を測定し、下記式(1)を用いてゲル分率を算出する。なお、試験片には離型フィルムは積層されていない。
ゲル分率(重量%)=100×W2/W1 (1)
ただし、W1は試験片の重量、W2は酢酸エチル中に浸漬して乾燥した後の試験片の重量である。
上記離型フィルムは特に限定されず、例えば、上記基材と同様のフィルムであって、かつ、上記粘着剤層と接する面に離型処理が施されたフィルムが挙げられる。
上記粘着剤溶液を調製するための溶剤は特に限定されず、例えば、酢酸エチル、テトラヒドロフラン、アセトン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン等が挙げられる。
(1)粘着剤溶液の調製
温度計、攪拌機、冷却管を備えた反応器内に、表1に示す組成のモノマーと酢酸エチル70重量部とを加え、1時間、N2を反応器の底から投入した。その後、反応液の液温を70℃とし、重合開始剤としてt−ヘキシルパーオキシピバレート(日油社製「パーヘキシルPV」)0.18重量部を1時間ごとに4回に分けて添加し、N2雰囲気下で重合を行った。重合開始から8時間後、酢酸エチルで希釈し反応器を冷却して重合反応を終了させ、固形分30重量%のアクリル酸エステル系樹脂溶液を得た。
なお、得られたアクリル酸エステル系樹脂の重量平均分子量及びゲル分率を表1に示す。
離型フィルムとなる厚み25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの離型処理面に得られた粘着剤溶液を塗布し、100℃で3分間乾燥させて粘着剤溶液中の酢酸エチルを除去して、厚み4μmの粘着剤層を形成した。その後、基材となる厚み6μmのポリエチレンテレフタレートフィルムを粘着剤層に重ね合わせ、23℃、50%RHの環境で一週間養生し、表面保護用粘着シートを得た。
実施例及び比較例で得られた表面保護用粘着シートについて、下記の評価を行った。結果を表1に示す。なお、評価は23℃、50%RHの環境で行った。
得られた表面保護用粘着シートを25mm幅の短冊状に裁断して試験片を得た。この試験片から離型フィルムを2cm剥離し、2分間放置後、更に離型フィルムを1m/分の速度で剥離した。離型フィルムの剥離によるストップマーク発生の状態を目視にて確認し、下記のように評価した。
× ストップマークがはっきりと残った
△ ストップマークがわずかに残った
○ ストップマークはごくわずかに残った
◎ ストップマークはみられなかった
得られた表面保護用粘着シートを50mm幅の短冊状に裁断して試験片を得た。この試験片を、50μm間隔のハシゴ模様のパターンを有する試験用のフォトマスク(コダック社製)に貼り合わせ、2kgのゴムローラを一往復させることにより、試験片とフォトマスクとをしっかりと貼り合わせた。貼り合わせ直後の気泡の状態を、光学顕微鏡(1.2mm×1.2mm視野)を用いて観察し、下記のように評価した。
× 全体的に気泡がみられた、又は、糸状の気泡がみられた
△ 連結したひょうたん型の気泡がみられた、又は、大きなひょうたん型の気泡が少量みられた
○ 小さなひょうたん型の気泡が少量みられた、又は、楕円型若しくは円型の気泡が少量みられた
◎ 楕円型若しくは円型の気泡が極めて少量みられた、又は、気泡はみられなかった
得られた表面保護用粘着シートをフォトマスク20cm×20cm(コダック社製)に貼り合わせ、翌日、フォトマスクをアルミ板(厚さ2mm)に両面テープで固定した。次いで、表面保護用粘着シートがフォトマスクに対して90度に近い角度になるように、表面保護用粘着シートを垂直にできるだけ素早く手で引き剥がした後、糊残りの状態を目視にて確認し、下記のように評価した。
× 糊残りがはっきりと残った
△ 糊残りがごくわずかに残った
○ 糊残りはみられなかった
得られた表面保護用粘着シートを25mm幅に裁断して試験片を得た。この試験片をSUS板に2Nの荷重で添付させ、剥離試験機(東洋精機社製「スタログラフE−L」)を用いて500mm/minの速度で剥離させ、表面保護用粘着シートの粘着力を測定した。
Claims (6)
- アクリル酸−2−エチルヘキシル又はアクリル酸オクチル50〜95重量%と、炭素数2〜5のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸エステル0.1〜40重量%と、(メタ)アクリル酸0.1〜5重量%とを含有するモノマー混合物を共重合して得られるアクリル酸エステル系樹脂を含有することを特徴とする粘着剤組成物。
- 炭素数2〜5のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸エステルは、アクリル酸ブチルであることを特徴とする請求項1記載の粘着剤組成物。
- アクリル酸エステル系樹脂は、重量平均分子量が50万〜100万であることを特徴とする請求項1又は2記載の粘着剤組成物。
- 請求項1、2又は3記載の粘着剤組成物を含有する粘着剤層が、基材上に積層一体化されていることを特徴とする表面保護用粘着シート。
- 粘着剤層は、ゲル分率が30〜85重量%であることを特徴とする請求項4記載の表面保護用粘着シート。
- プリント配線板の製造に用いられるフォトマスクの表面を保護するために用いられることを特徴とする請求項4又は5記載の表面保護用粘着シート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009038067A JP5570738B2 (ja) | 2009-02-20 | 2009-02-20 | 表面保護用粘着シート |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009038067A JP5570738B2 (ja) | 2009-02-20 | 2009-02-20 | 表面保護用粘着シート |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010189605A true JP2010189605A (ja) | 2010-09-02 |
JP2010189605A5 JP2010189605A5 (ja) | 2012-02-09 |
JP5570738B2 JP5570738B2 (ja) | 2014-08-13 |
Family
ID=42815972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009038067A Active JP5570738B2 (ja) | 2009-02-20 | 2009-02-20 | 表面保護用粘着シート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5570738B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2011105217A1 (ja) * | 2010-02-23 | 2013-06-20 | 株式会社きもと | 粘着シート |
JP2013136653A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-11 | Sekisui Chem Co Ltd | 表面保護粘着シート |
JP2015166430A (ja) * | 2014-03-04 | 2015-09-24 | 日栄化工株式会社 | 保護粘着フィルム |
JP2015186871A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-10-29 | フジコピアン株式会社 | 吸着フィルム |
JP2017090719A (ja) * | 2015-11-11 | 2017-05-25 | 旭化成株式会社 | ペリクル |
JP2020160466A (ja) * | 2020-06-12 | 2020-10-01 | 旭化成株式会社 | ペリクル |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59152977A (ja) * | 1983-02-17 | 1984-08-31 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 表面保護粘着体 |
JPH04304281A (ja) * | 1991-03-30 | 1992-10-27 | Sekisui Chem Co Ltd | 水性感圧性接着剤組成物 |
JPH0711204A (ja) * | 1993-06-23 | 1995-01-13 | Sekisui Chem Co Ltd | 装飾用粘着シート |
JPH10195401A (ja) * | 1996-11-12 | 1998-07-28 | Sekisui Chem Co Ltd | 粘着テープ、フォトマスク保護用粘着テープの製造方法 |
JPH10293538A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Oji Paper Co Ltd | 記録用タックシート |
JP2006501328A (ja) * | 2002-09-26 | 2006-01-12 | サーフェース スペシャリティーズ、エス.エイ. | 剥離可能型耐水白化性感圧接着剤 |
-
2009
- 2009-02-20 JP JP2009038067A patent/JP5570738B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59152977A (ja) * | 1983-02-17 | 1984-08-31 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 表面保護粘着体 |
JPH04304281A (ja) * | 1991-03-30 | 1992-10-27 | Sekisui Chem Co Ltd | 水性感圧性接着剤組成物 |
JPH0711204A (ja) * | 1993-06-23 | 1995-01-13 | Sekisui Chem Co Ltd | 装飾用粘着シート |
JPH10195401A (ja) * | 1996-11-12 | 1998-07-28 | Sekisui Chem Co Ltd | 粘着テープ、フォトマスク保護用粘着テープの製造方法 |
JPH10293538A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Oji Paper Co Ltd | 記録用タックシート |
JP2006501328A (ja) * | 2002-09-26 | 2006-01-12 | サーフェース スペシャリティーズ、エス.エイ. | 剥離可能型耐水白化性感圧接着剤 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2011105217A1 (ja) * | 2010-02-23 | 2013-06-20 | 株式会社きもと | 粘着シート |
JP5748735B2 (ja) * | 2010-02-23 | 2015-07-15 | 株式会社きもと | 粘着シート |
JP2013136653A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-11 | Sekisui Chem Co Ltd | 表面保護粘着シート |
JP2015166430A (ja) * | 2014-03-04 | 2015-09-24 | 日栄化工株式会社 | 保護粘着フィルム |
JP2015186871A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-10-29 | フジコピアン株式会社 | 吸着フィルム |
JP2017090719A (ja) * | 2015-11-11 | 2017-05-25 | 旭化成株式会社 | ペリクル |
JP2020160466A (ja) * | 2020-06-12 | 2020-10-01 | 旭化成株式会社 | ペリクル |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5570738B2 (ja) | 2014-08-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5841536B2 (ja) | 透明粘着テープ、金属薄膜付フィルム積層体、カバーパネル−タッチパネルモジュール積層体、カバーパネル−ディスプレイパネルモジュール積層体、タッチパネルモジュール−ディスプレイパネルモジュール積層体、及び、画像表示装置 | |
TWI478997B (zh) | Adhesive tape, laminated body and image display device | |
JP5727371B2 (ja) | 光学部材用粘着剤組成物及び光学部材用粘着テープ | |
JP5407204B2 (ja) | 粘着剤、両面粘着シート、光学フィルター、及びディスプレイ | |
JP5570738B2 (ja) | 表面保護用粘着シート | |
JP6566324B2 (ja) | 粘着シート | |
JP5639446B2 (ja) | 易剥離性粘着シートおよび易剥離性粘着テープ | |
JP6289960B2 (ja) | 感温性粘着剤 | |
JP6546910B2 (ja) | 感温性粘着剤 | |
TW201934347A (zh) | 積層體之製造方法 | |
JP2015089924A (ja) | 透明粘着テープ | |
JP4555921B2 (ja) | アクリル系の耐ブリスター性粘着剤樹脂組成物、それを用いるトランスファー性フィルム状粘着剤、耐ブリスター性粘着剤シート及びそれらの用途 | |
TW201700665A (zh) | 表面保護薄膜 | |
JP2007009109A (ja) | 表面保護用粘着フィルム | |
TW201906961A (zh) | 雙面黏著帶及薄膜構材與支撐構材之層積體 | |
JP5820234B2 (ja) | 粘着テープ | |
TW200914563A (en) | Pressure sensitive adhesive and pressure sensitive adhesive sheet for surface protection using the same | |
JP6357012B2 (ja) | パターン電極シート | |
JP2008024865A (ja) | 粘着フィルム、粘着シール及びシール絵本 | |
JP2009079074A (ja) | 粘着剤及びこれを用いた表面保護粘着シート | |
JP5343502B2 (ja) | 自己粘着性フィルム及びその製造方法 | |
JP5837966B2 (ja) | 粘着テープ | |
JP3549173B2 (ja) | ウエハ加工用粘着剤とその粘着シ―ト類 | |
JP2009242702A (ja) | 粘着剤及びこれを用いた表面保護粘着シート | |
JPH08143843A (ja) | 再剥離用粘着剤とその粘着シ―ト類 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111215 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121107 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130627 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130924 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140603 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140625 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5570738 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |