JP2010147140A - プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 - Google Patents
プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】放電用ガスに励起電圧を印加してプラズマを発生させ、前記プラズマを照射してワークを加工するプラズマ処理装置であって、前記プラズマを前記ワークに向けて噴射する噴射口及び前記噴射口の周囲の空間を吸引する吸引口を有するプラズマ発生機構と、前記プラズマ発生機構と前記ワークとを相対移動させる移動機構と、少なくとも前記ワークの目標形状データと、前記ワークの加工前形状データと、前記プラズマ発生機構の加工量データと、前記プラズマ発生機構を用いた加工後の前記ワークの形状に基づく加工分布データとに基づいて前記ワークの加工計画データを生成し、前記加工計画データに基づいて前記ワークの加工を行わせる制御装置とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明によれば、プラズマ発生機構がワークに向けて噴射する噴射口及び噴射口の周囲の空間を吸引する吸引口を有し、当該プラズマ発生機構とワークとを相対移動させる移動機構を更に備えることとしたので、プラズマ発生機構とワークとを相対移動させながらワークを微細加工することが可能となる。これにより、一層の加工精度の向上を図ることができる。
本発明によれば、加工分布データが織り込まれた加工計画データに基づいてプラズマ放出装置とワークとの相対移動の速度が調整されるので、加工後のワークの形状を目標形状により近づけることができる。
本発明によれば、ワークの所定領域毎に相対移動の速度が調整されることとなるため、効率的に加工処理を行うことができる。
本発明によれば、データ取得用ワークを用いて取得した加工分布データを用いることにより、実際に加工を行うワークの無駄を無くすことができる。
本発明によれば、加工分布データを記憶させておくことにより、制御装置による制御を効率的に行うことができる。
本発明によれば、プラズマ発生機構とワークとを相対移動させながらワークを微細加工することが可能となる。これにより、一層の加工精度の向上を図ることができる。
図1は、本発明のプラズマ処理装置の実施形態を示す模式的に示す図である。図2は、図1に示すプラズマ処理装置のプラズマ処理装置本体を示す縦断面図である。図3は、図2におけるA−A断面に沿った構成を示す図である。
図4に示すように、プラズマ処理装置1の動作として、加工痕データ取得ステップ(ステップ01)、加工量データ取得ステップ(ステップ02)、加工分布データ取得ステップ(ステップ03)、加工前形状データ取得ステップ(ステップ04)、目標形状データ入力ステップ(ステップ05)、加工計画データ生成ステップ(ステップ06)、加工ステップ(ステップ07)、加工後形状測定ステップ(ステップ08)が行われる。ステップ01〜ステップ03は、例えばデータ取得用ワークを用いて行われる。ステップ04〜ステップ08は、例えばワーク10を用いて行われる。以下、各ステップを順に説明する。
上記実施形態では、プラズマ処理を開始する前に、ワーク10の被処理面101の形状データを得、加工計画データを作成するようになっているが、これに限られることは無く例えばプラズマ処理の最中に、ワーク10の被処理面101の形状データを得るようにし、加工計画データを随時更新するようになっていてもよい。
Claims (8)
- プラズマを用いてワークを加工するプラズマ処理装置であって、
放電用ガスに励起電圧を印加してプラズマを発生させるプラズマ発生機構と、
少なくとも前記ワークの目標形状データと、前記ワークの加工前形状データと、前記プラズマによる加工量データと、前記プラズマを用いた加工後の前記ワークの形状に基づく加工分布データとに基づいて前記ワークの加工計画データを生成し、前記加工計画データに基づいて前記ワークの加工を行わせる制御装置と
を備えることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記プラズマ発生機構は、前記ワークに向けて噴射する噴射口及び前記噴射口の周囲の空間を吸引する吸引口を有し、
前記プラズマ発生機構と前記ワークとを相対移動させる移動機構を更に備える
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記制御装置は、
前記加工計画データに基づいて、前記移動機構に前記相対移動の速度を調整させる
ことを特徴とする請求項2に記載のプラズマ処理装置。 - 前記制御装置は、
前記ワークの所定領域毎に前記相対移動の速度を調整させる
ことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載のプラズマ処理装置。 - 前記加工分布データは、
前記プラズマを用いて加工された前記データ取得用ワークの加工後の形状に基づくデータである
ことを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記制御装置は、少なくとも前記加工分布データを記憶させる記憶部を有する
ことを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 放電用ガスに励起電圧を印加して前記プラズマを発生させ、発生した前記プラズマを用いて前記ワークを加工するプラズマ処理方法であって、
少なくとも前記ワークの目標形状データと、前記ワークの加工前形状データと、前記プラズマによる加工量データと、前記プラズマを用いた加工後の前記ワークの形状に基づく加工分布データとに基づいて前記ワークの加工計画データを生成し、前記加工計画データに基づいて前記ワークの加工を行う
ことを特徴とするプラズマ処理方法。 - 前記プラズマを前記ワークに向けて噴射すると共に前記プラズマが噴射される噴射部の周囲を吸引し、前記プラズマの噴射部及び吸引部と前記ワークとを相対移動させながら前記ワークを加工する
ことを特徴とする請求項7に記載のプラズマ処理方法。
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