JP2010118536A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エピ基板の活性領域にSJ用トレンチを形成する前に、スクライブ領域に、活性領域へのSJ用トレンチ形成のための第一マスク酸化膜の厚さよりも厚い第二マスク酸化膜を形成してアライメントマーカーを形成する。
【選択図】 図3b
Description
スクライブ領域で浅い溝に厚い酸化膜を形成する第二の方法および第一と第二の方法の組み合わせにおいて、スクライブ領域の酸化膜表面をエピ基板表面のシリコン面よりも低くすることにより、前記マスク酸化膜を化学機械研磨(CMP)法のストッパー層として用いれば、オーバーエピ層を正確に研磨することが可能となる。
図1は一般的なSJ−MOSFETのエピ基板の要部断面図である。図2は一般的なSJ−MOSFETのSJ構造とpベース領域との位置関係を示すエピ基板の概略断面図である。図3a〜図5は本発明にかかるSJ−MOSFETのSJ構造部分のそれぞれ異なる製造工程1〜3を示すエピ基板の要部断面図である。図6は本発明と従来のSJ−MOSFETの漏れ電流分布と耐圧分布の比較図である。
弗酸によるウェットエッチングでマスク酸化膜の厚さ分(0.45μm)を減厚する。スクライブ領域の第二マスク酸化膜8aは厚いので、0.3μmの厚さの酸化膜が残るが、デバイス領域7の第一マスク酸化膜8は消失してシリコンエピタキシャル層2の表面が露出する。また裏面酸化膜は同時にすべて除去される。エピタキシャル成長法により、第一トレンチ、第二トレンチをp型シリコン15で埋め込む。全てのトレンチ13、14が完全に埋め込まれることを確実にするために、エピ基板1面内平均で4μm程度オーバーエピ層15aを形成させる(図3b(f))。活性領域10には第一マスク酸化膜8が存在しないので、酸化膜上への横方向エピ成長が起こらない。活性領域10内ではエピタキシャル成長は常にシリコン上に起こり、結晶欠陥の発生が抑えられる。
本発明により、トレンチ埋め込み型SJ−MOSFETにおいて、結晶欠陥による漏れ電流を低減することができる。また製造工程において、トレンチpnカラムとMOSセル構造を正確に位置合わせするためのマーカーを形成することができ、デバイス製造が可能になる。さらにオーバーエピ層だけを正確に研磨により除去することができるので、p型埋め込み層の深さがばらつかず、デバイスの耐圧およびオン抵抗バラツキを抑えることができる。
2 シリコンエピタキシャル層
3 酸化膜
4 酸化膜、
5 フォトレジスト
6 スクライブ領域
7 デバイス領域
8 第一マスク酸化膜
8a 第二マスク酸化膜
9 第二アライメントマーカー
10 活性領域
11 耐圧構造部
12 ストライプパターン
13 第一トレンチ
14 第二トレンチ
15 p型シリコン
15a オーバーエピ層。
Claims (3)
- 高不純物濃度で第一導電型半導体基板と低不純物濃度で第一導電型のエピタキシャル半導体層との積層からなるエピタキシャル半導体基板の、前記エピタキシャル半導体層の主電流の流れる活性領域に、主電流方向に平行で、交互に隣接する層状またはカラム状の第一導電型領域と第二導電型領域を有し、オン状態で電流を流し、オフ状態で空乏化する超接合構造を形成するために、前記活性領域を取り巻く最外周に位置するスクライブ領域の表面以外の酸化膜を除去後、再度前記エピタキシャル半導体層全面に酸化膜を積層し、前記活性領域の表面に第一マスク酸化膜パターンを形成し、前記スクライブ領域の表面の積層酸化膜に第二マスク酸化膜パターンを形成する第一工程と、前記第一マスク酸化膜パターンと前記第二マスク酸化膜パターンを用いて、この順に対応する高アスペクト比の第一、第二トレンチを形成する第二工程と、前記第一トレンチ形成後の第一マスク酸化膜パターンと前記第二トレンチ形成後の第二マスク酸化膜パターンとの両酸化膜から第一マスク酸化膜の厚さをエッチングで減厚した後、前記第一、第二トレンチに第二導電型エピタキシャルシリコン層を埋め込む第三工程を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記第一工程が、前記超接合構造を形成するために、前記エピタキシャル半導体層の全面に形成した酸化膜上に窒化シリコン膜を積層後、該窒化シリコン膜をマスクに前記スクライブ領域の前記エピタキシャル半導体層の表面に前記第一マスク酸化膜の厚さより深さの浅い溝を形成し、該溝に窒化シリコン膜をマスクとして前記溝の深さ以上の厚さの選択酸化膜を形成した後、前記窒化シリコン膜を除去して全面に酸化膜を形成し、前記活性領域の酸化膜に第一マスク酸化膜パターンを形成し、前記スクライブ領域の前記溝の前記選択酸化膜上に形成された酸化膜からなる積層酸化膜に第二マスク酸化膜パターンを形成するプロセスとすることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第一工程が、前記超接合構造を形成するために、前記エピタキシャル半導体層の全面に形成された酸化膜の前記スクライブ領域に溝パターンを形成後、前記酸化膜をマスクにして前記第一マスク酸化膜の厚さより深さの浅い溝を形成し、前記エピタキシャル半導体層の全面に前記溝の深さ以上の厚さの酸化膜を形成し、前記溝の幅より小さい幅の酸化膜パターンを該溝の中央に残し、再度前記エピタキシャル半導体層の全面に第一マスク酸化膜形成用の酸化膜を積層後、前記活性領域の酸化膜に第一マスク酸化膜パターンを形成し、前記スクライブ領域の前記溝の積層酸化膜に第二マスク酸化膜パターンを形成するプロセスとすることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
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