JP2010073753A5 - - Google Patents
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Description
上記課題を解決するため、本発明の第１の観点では、処理容器内で被処理基板に対して処理を行うための基板処理装置において、前記処理容器内で被処理基板を載置する基板載置台であって、載置台本体と、前記載置台本体に対して基板を昇降する基板昇降機構とを具備し、前記基板昇降機構は、前記載置台本体に設けられた複数の挿通孔にそれぞれ挿通され、その先端で基板を支持して基板を昇降させる複数の昇降ピンと、前記昇降ピンを支持する昇降アームと、前記昇降アームを介して前記昇降ピンを昇降させる昇降機構と、前記昇降ピンを前記昇降アームに取り付ける昇降ピン取り付け部とを有し、前記昇降ピン取り付け部は、前記昇降アームの上面の前記昇降ピンに対応する位置に設けられた凹所と、前記昇降ピンがねじ止めされ、前記昇降アームの上面と面接触する底面を有し、かつその底面から下方へ突出して前記凹所に遊嵌される突出部を有するベース部材と、前記ベース部材をクランプして前記昇降ピンを固定するクランプ部材とを有することを特徴とする基板載置台を提供する。
Claims (3)
- 処理容器内で被処理基板に対して処理を行うための基板処理装置において、前記処理容器内で被処理基板を載置する基板載置台であって、
載置台本体と、
前記載置台本体に対して基板を昇降する基板昇降機構と
を具備し、
前記基板昇降機構は、
前記載置台本体に設けられた複数の挿通孔にそれぞれ挿通され、その先端で基板を支持して基板を昇降させる複数の昇降ピンと、
前記昇降ピンを支持する昇降アームと、
前記昇降アームを介して前記昇降ピンを昇降させるアクチュエータと、
前記昇降ピンを前記昇降アームに取り付ける昇降ピン取り付け部とを有し、
前記昇降ピン取り付け部は、
前記昇降アームの上面の前記昇降ピンに対応する位置に設けられた凹所と、
前記昇降ピンがねじ止めされ、前記昇降アームの上面と面接触する底面を有し、かつその底面から下方へ突出して前記凹所に遊嵌される突出部を有するベース部材と、
前記ベース部材をクランプして前記昇降ピンを固定するクランプ部材とを有することを特徴とする基板載置台。 - 基板が収容される処理容器と、
前記処理容器内で被処理基板を載置する請求項１から請求項１０のいずれかに記載された基板載置台と、
前記処理容器内に処理ガスを供給する処理ガス供給機構と、
被処理基板に所定の処理を施す処理機構と
を具備することを特徴とする基板処理装置。 - 前記プラズマ生成機構は、複数のスロットを有する平面アンテナと、該平面アンテナを介して前記処理容器内にマイクロ波を導くマイクロ波導入手段とを有し、導入されたマイクロ波により処理ガスをプラズマ化することを特徴とする請求項１３に記載の基板処理装置。
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