JP2010073753A - 基板載置台およびそれを用いた基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板載置台は、載置台本体と、載置台本体に対して基板を昇降する基板昇降機構とを有する。基板昇降機構は、挿通孔に挿通された昇降ピン52と、昇降ピン52を支持する昇降アーム59と、昇降アーム59を介して昇降ピンを昇降させるアクチュエータと、昇降ピン52を昇降アーム59に取り付ける昇降ピン取り付け部60とを有し、昇降ピン取り付け部60は、昇降アーム59に設けられた凹所と、昇降ピン52がねじ止めされ、昇降アーム59の上面と面接触する底面と底面から下方へ突出して凹所に遊嵌される突出部とを有するベース部材63と、ベース部材63をクランプするクランプ部材64とを有する。
【選択図】図7
Description
図1は、本発明の基板処理装置の一実施形態に係るプラズマ処理装置を示す概略断面図である。このプラズマ処理装置100は、複数のスロットを有する平面アンテナであるRLSA(Radial Line Slot Antenna;ラジアルラインスロットアンテナ)にて処理室内にマイクロ波などのマイクロ波を導入してプラズマを発生させることにより、高密度かつ低電子温度のマイクロ波プラズマを発生させ得るプラズマ処理装置として構成されている。このプラズマ処理装置100では、1×1010〜5×1012/cm3のプラズマ密度で、かつ0.7〜2eVの低電子温度を有するプラズマによる処理が可能である。
図5はウエハ載置台(基板載置台)5を拡大して示す断面図、図6はウエハ載置台5のウエハ昇降機構(基板昇降機構)を示す斜視図、図7はウエハ昇降機構の昇降ピン取り付け部62を拡大して示す斜視図、図8は図5のA−A線に沿った断面図、図9は図8のB−B線に沿った断面図である。ウエハ載置台5は、上述したように、ハウジング部2内に排気室11の底部中央から上方に延びる円筒状の支持部材4により支持された状態で設けられている。ウエハ載置台(基板載置台)5の載置台本体51は、例えば熱伝導性が良好なセラミックス材料であるAlNからなり、その内部に昇降ピン52が挿通される3つ(図5では2つのみ図示)の挿通孔53が垂直に貫通して形成されている。挿通孔53の上部は、より大きい径の大径孔部53aとなっている。第1のカバー54は高純度石英製であり、載置台本体51の上面と側面を覆うように設けられている。第1のカバー54の貫通孔53に対応する位置には、貫通孔53よりも広い開口部54aが形成されている。また、第1のカバー54の開口部54aと挿通孔53上部の大径孔部53aの内面を覆うように高純度石英製の第2のカバー55が設けられている。したがって、第2のカバー55はその中央に昇降ピン52が挿通する孔が形成されている。すなわち、第2のカバー55は、挿通孔53上部の大径孔部53aに嵌め込まれた、内部が昇降ピン52の挿通孔となる筒状部55aと、筒状部55aの上端から外側に延び、開口部54aの挿通孔53よりも外側部分を覆うフランジ部55bとを有しており、挿通孔53の上部内面が第2のカバー55によって覆われている。このため、載置台本体51ではAlNの露出が実質的に存在せず、ウエハWに対するAlコンタミネーションの影響を小さくすることができる。
まず、ウエハWをウエハ搬送機構のウエハアーム(図示せず)に載置した状態でチャンバー1内に搬入する。そして、ウエハ昇降機構(基板昇降機構)58の昇降ピン52を上昇させた状態とし、ウエハアームから昇降ピン52の上にウエハWを受け渡し、昇降ピン52を下降させてウエハWをサセプタ5上に載置する。そして、ガス供給装置16から、例えばAr、Kr、Heなどの希ガス、例えばO2、N2O、NO、NO2、CO2などの酸化ガス、例えばN2、NH3などの窒化ガス、成膜ガスなどの処理ガスを所定の流量でガス導入口15aを介してチャンバー1内に導入する。
2;ハウジング部
3;筒壁部
4;支持部材
5;ウエハ載置台(基板載置台)
6;ヒーター電源
15;ガス導入路
15a;ガス導入口
16;ガス供給装置
24;排気装置
28;透過板
30;マイクロ波導入部
31;平面アンテナ
32;スロット孔
37;導波管
39;マイクロ波発生装置
44;高周波電源
51;載置台本体
52;昇降ピン
52a;雄ねじ部
53;挿通孔
53a;大径孔部
54;カバー
54a;開口部
55;副カバー
55a;筒状部
55b;フランジ部
56;ヒーター
57;電極部材
58;ウエハ昇降機構(基板昇降機構)
59;昇降アーム
59a;凹所
60;昇降ピン取り付け部
61;昇降アーム保持部材
62;昇降シャフト
63;ベース部材
63a;突出部
63b;雌ねじ部
64;クランプ部材
64a;押圧部
64b;取り付け部
64c;連結部
64d;切り欠き部
64e;押圧面
64f;エッジ
100;プラズマ処理装置(基板処理装置)
W…半導体ウエハ(被処理基板)
Claims (14)
- 処理容器内で被処理基板に対して処理を行うための基板処理装置において、前記処理容器内で被処理基板を載置する基板載置台であって、
載置台本体と、
前記載置台本体に対して基板を昇降する基板昇降機構と
を具備し、
前記基板昇降機構は、
前記載置台本体に設けられた複数の挿通孔にそれぞれ挿通され、その先端で基板を支持して基板を昇降させる複数の昇降ピンと、
前記昇降ピンを支持する昇降アームと、
昇降アームを介して昇降ピンを昇降させるアクチュエータと、
前記昇降ピンを前記昇降アームに取り付ける昇降ピン取り付け部とを有し、
前記昇降ピン取り付け部は、
前記昇降アームの上面の前記昇降ピンに対応する位置に設けられた凹所と、
前記昇降ピンがねじ止めされ、前記昇降アームの上面と面接触する底面を有し、かつその底面から下方へ突出して前記凹所に遊嵌される突出部を有するベース部材と、
前記ベース部材をクランプして前記昇降ピンを固定するクランプ部材とを有することを特徴とする基板載置台。 - 前記昇降ピンの底面と前記凹所の底面とが接触した状態となっていることを特徴とする請求項1に記載の基板載置台。
- 前記突出部は前記ベース部材の底面中央部に設けられ、その断面形状が円形をなし、前記凹所は前記突出部よりも大径の円形をなし、前記凹所の内周面と前記突出部との間に隙間が形成されており、その隙間の範囲で前記ベース部材を任意の方向に動かして前記昇降ピンが位置決めされることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の基板載置台。
- 前記クランプ部材は、前記ベース部材を上方から押圧する押圧部と、前記昇降アームにねじによって締結される取り付け部とを有し、前記取り付け部をねじによって前記昇降アームに締結した際に、前記押圧部から前記ベース部材に押しつけ力が作用して前記ベース部材が固定されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の基板載置台。
- 前記クランプ部材は、前記押圧部と前記取り付け部との間に連結部を有し、前記押圧部と前記取り付け部とが平行に、前記連結部がこれに対して垂直に設けられたクランク構造を有していることを特徴とする請求項4に記載の基板載置台。
- 前記クランプ部材は、前記押圧部の下面を前記ベース部材の上面に密着させた際に、前記取り付け部の下面と前記昇降アームの上面との間に隙間が形成されるように構成され、前記取り付け部を前記昇降アームをねじにより締結した際に、前記押圧部が傾いた状態で前記ベース部材を押圧することを特徴とする請求項5に記載の基板載置台。
- 前記押圧部が傾いた状態で、前記ベース部材の中央部を押圧するように、前記押圧部の押圧面が形成されていることを特徴とする請求項6に記載の基板載置台。
- 前記載置台本体の表面を覆うカバーをさらに具備することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の基板載置台。
- 前記カバーは石英からなることを特徴とする請求項8に記載の基板載置台。
- 前記載置台本体はAlNからなることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の基板載置台。
- 基板が収容される処理容器と、
前記処理容器内で被処理基板を載置する請求項1から請求項8のいずれかに記載された基板載置台と、
前記処理容器内に処理ガスを供給する処理ガス供給機構と、
被処理基板に所定の処理を施す処理機構と
を具備することを特徴とする基板処理装置。 - 前記処理機構は、前記載置台本体に設けられ、前記載置台に載置された被処理基板を加熱するヒーターを有することを特徴とする請求項11に記載の基板処理装置。
- 前記処理機構は、前記処理容器内に処理ガスのプラズマを生成するプラズマ生成機構を有することを特徴とする請求項11または請求項12に記載の基板処理装置。
- 前記プラズマ生成機構は、複数のスロットを有する平面アンテナと、該平面アンテナを介して前記処理容器内にマイクロ波を導くマイクロ波導入手段とを有し、導入されたマイクロ波により処理ガスをプラズマ化することを特徴とする請求項13に記載のプラズマ処理装置。
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