JP2010067886A - 酸化亜鉛系半導体素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
素子分離する際に半導体素子に欠陥が導入されることを阻止し、素子特性及び量産性に優れた半導体素子及びその製造方法を提供する。特に、発光効率及び素子寿命に優れるとともに、量産性に優れた高性能な半導体発光素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】
酸化亜鉛(ZnO)からなる基板と素子動作層との間に基板とは異なる結晶組成の欠陥阻止層を形成するステップと、当該素子動作層が形成された基板の素子動作層側表面から欠陥阻止層を超える深さまで除去された素子区画溝を形成するステップと、を有している。
【選択図】図5
Description
11 ZnO層
12 欠陥阻止層
14 LED動作層
14A n型半導体層
14B 発光層
14C p型半導体層
15 LED動作層付き基板
17 半導体発光素子ウエハ
30 LED素子
Claims (22)
- 酸化亜鉛(ZnO)からなる基板上に素子動作層が形成された半導体素子の製造方法であって、
前記基板と前記素子動作層との間に前記基板とは異なる結晶組成の欠陥阻止層を形成するステップと、
前記素子動作層側表面から前記欠陥阻止層を超える深さまで除去された素子区画溝を形成するステップと、
を有することを特徴とする製造方法。 - 前記素子区画溝は、前記基板の一部を除去する深さまで形成されていることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記欠陥阻止層は、隣接する層が互いに異なる結晶組成であるように積層された複数のZnO系化合物半導体層を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の製造方法。
- 前記ZnO系化合物半導体層は、MgxZn(1−x)O層であることを特徴とする請求項3に記載の製造方法。
- 前記欠陥阻止層は、Mgx1Zn(1−x1)O層とMgx2Zn(1−x2)O層(x1≠x2)が交互に1対以上積層された層であって、x1及びx2は0≦(x1、x2)≦0.68、及び、0.05≦|x1−x2|≦0.68であることを特徴とする請求項3に記載の製造方法。
- 前記欠陥阻止層は、Mgx1Zn(1−x1)O層とMgx2Zn(1−x2)O層(x1≠x2)が交互に1対以上積層された層であって、前記Mgx1Zn(1−x1)O層及び前記Mgx2Zn(1−x2)O層の層厚は1nm以上50nm以下であることを特徴とする請求項3に記載の製造方法。
- 前記欠陥阻止層はZnSiO(ジンクシリケート)層を含むことを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1に記載の製造方法。
- 前記欠陥阻止層は前記基板とは異なる格子定数を有する層を含むことを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1に記載の製造方法。
- 前記素子区画溝が前記基板の一部を除去する深さは0.5μm以上であることを特徴とする請求項2に記載の製造方法。
- 前記半導体素子は半導体発光素子であり、前記素子動作層は発光動作層であることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1に記載の製造方法。
- 酸化亜鉛(ZnO)からなる基板と、
前記基板上に形成された、前記基板とは異なる結晶組成の欠陥阻止層と、
前記欠陥阻止層上に形成された素子動作層と、
前記素子動作層表面から前記欠陥阻止層を超える深さまで形成された素子区画溝と、
を有することを特徴とする素子動作層付き基板。 - 前記素子区画溝は、前記基板の一部を除去する深さまで形成されていることを特徴とする請求項11に記載の素子動作層付き基板。
- 前記欠陥阻止層は、隣接する層が互いに異なる結晶組成であるように積層された複数のZnO系化合物半導体層を含むことを特徴とする請求項11又は12に記載の素子動作層付き基板。
- 前記ZnO系化合物半導体層は、MgxZn(1−x)O層であることを特徴とする請求項13に記載の素子動作層付き基板。
- 前記欠陥阻止層は、Mgx1Zn(1−x1)O層とMgx2Zn(1−x2)O層(x1≠x2)が交互に1対以上積層された層であって、x1及びx2は0≦(x1、x2)≦0.68、及び、0.05≦|x1−x2|≦0.68であることを特徴とする請求項13に記載の素子動作層付き基板。
- 前記欠陥阻止層は、Mgx1Zn(1−x1)O層とMgx2Zn(1−x2)O層(x1≠x2)が交互に1対以上積層された層であって、前記Mgx1Zn(1−x1)O層及び前記Mgx2Zn(1−x2)O層の層厚は1nm以上50nm以下であることを特徴とする請求項3に記載の素子動作層付き基板。
- 前記欠陥阻止層はZnSiO(ジンクシリケート)層を含むことを特徴とする請求項11ないし16のいずれか1に記載の素子動作層付き基板。
- 前記欠陥阻止層は前記基板とは異なる格子定数を有する層を含むことを特徴とする請求項11ないし17のいずれか1に記載の素子動作層付き基板。
- 前記素子区画溝が前記基板の一部を除去する深さは0.5μm以上であることを特徴とする請求項12に記載の素子動作層付き基板。
- 前記素子動作層は発光動作層であることを特徴とする請求項11ないし19のいずれか1に記載の素子動作層付き基板。
- 請求項11ないし20のいずれか1に記載の素子動作層付き基板を、前記素子区画溝に沿って劈開して個片化して形成したことを特徴とする半導体素子。
- 前記素子動作層は発光動作層であることを特徴とする請求項21に記載の半導体素子。
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