JP6210415B2 - 紫外線発光素子の製造方法 - Google Patents
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Description
サファイアウェハ10は、円板状のサファイア基板である。サファイアウェハ10は、オリエンテーションフラット(OF)が形成されているのが好ましい。サファイアウェハ10の厚みは、例えば、数100μm〜数mmのものが好ましく、200μm〜1mmのものがより好ましい。サファイアウェハ10の直径は、例えば、50.8mm〜150mmのものが好ましい。
窒化物半導体層20は、第1バッファ層2、第2バッファ層3、n形窒化物半導体層4、発光層5、電子ブロック層6、p形窒化物半導体層7及びp形コンタクト層8の積層膜である。要するに、窒化物半導体層20は、多層構造のエピタキシャル層である。窒化物半導体層20は、積層膜の積層構造を特に限定するものではない。窒化物半導体層20は、第1バッファ層2、n形窒化物半導体層4、発光層5及びp形窒化物半導体層7を備えているのが好ましい。第2バッファ層3、電子ブロック層6及びp形コンタクト層8については、適宜設ければよい。
この工程は、アニール装置のアニール炉内において所定のアニール温度で所定のアニール時間だけ保持することにより、電子ブロック層6、p形窒化物半導体層7及びp形コンタクト層8のp形不純物を活性化する工程である。アニール条件は、アニール温度を750℃、アニール時間を10分に設定してあるが、これらの値は一例であり、特に限定するものではない。アニール装置としては、例えば、ランプアニール装置、電気炉アニール装置等を採用することができる。
この工程では、窒化物半導体層20においてメサ構造の上面に対応する領域上に、フォトリソグラフィ技術を利用して、第1のレジスト層を形成する。そして、この工程では、第1のレジスト層をマスクとして、窒化物半導体層20を表面側からn形窒化物半導体層4の途中までエッチングすることによって、メサ構造を形成する。更に、この工程では、第1のレジスト層を除去する。窒化物半導体層20のエッチングは、例えば、反応性イオンエッチングにより行うことができる。
この工程では、サファイアウェハ10の第1面10a側の全面に絶縁膜9の基礎となるSiO2膜を例えばPECVD(plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition)法により形成する。そして、この工程では、SiO2膜のうち窒化物半導体層20における第1電極14及び第2電極17それぞれの形成予定領域に重なっている部位が開口されるように、SiO2膜をパターニングすることで、パターニングされた絶縁膜9を形成する。SiO2膜のパターニングは、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を利用して行う。なお、SiO2膜の形成方法は、PECVD法に限らず、例えば、他のCVD法等でもよい。
この工程では、まず、サファイアウェハ10の第1面10a側に、第1電極14の形成予定領域のみ(つまり、n形窒化物半導体層4のうち厚みが薄くなった部位の表面4aの一部)が露出するようにパターニングされた第2のレジスト層を形成する。そして、この工程では、例えば、膜厚が20nmのTi膜と膜厚が100nmのAl膜と膜厚が20nmのTi膜と膜厚が200nmのAu膜との積層膜を電子ビーム蒸着法により成膜する。そして、この工程では、リフトオフを行うことにより、第2のレジスト層及び第2のレジスト層上の不要膜を除去する。更に、この工程では、第1電極14とn形窒化物半導体層4との接触がオーミック接触となるように、N2ガス雰囲気中でRTA(Rapid Thermal Annealing)処理を行う。積層膜の構造及び各膜厚は、一例であり、特に限定するものではない。また、RTA処理の条件は、例えば、アニール温度を800℃、アニール時間を1分とすればよいが、これらの値は一例であり、特に限定するものではない。
サファイアウェハ10の第1面10a側における第2電極17の形成予定領域のみ(ここでは、p形コンタクト層8の表面の一部)が露出するようにパターニングされた第3のレジスト層を形成する。そして、この工程では、例えば膜厚が15nmのNi膜と膜厚が100nmのAu膜を電子ビーム蒸着法により成膜し、リフトオフを行うことにより、第3のレジスト層及び第3のレジスト層上の不要膜を除去する。更に、この工程では、第2電極17とp形コンタクト層8との接触がオーミック接触となるように、N2ガス雰囲気中でRTA処理を行う。積層膜の構造及び各膜厚は、一例であり、特に限定するものではない。また、RTA処理の条件は、例えば、アニール温度を400℃、アニール時間を15分とすればよいが、これらの値は一例であり、特に限定するものではない。
この工程では、フォトリソグラフィ技術及び薄膜形成技術を利用して第1パッド15及び第2パッド18を形成する。薄膜形成技術としては、例えば、電子ビーム蒸着法等を採用することができる。
第1工程は、ウェハ30の窒化物半導体層20側からサファイアウェハ10の厚み方向の途中まで到達する割溝31を形成する工程である。紫外線発光素子B1の製造方法では、第1工程を行うことにより、図1(b)及び図3に示すような構造が得られる。なお、図1(b)では、図5中の第1電極14、第2電極17、第1パッド15、第2パッド18及び絶縁膜9等の図示を省略してある。
第2工程は、第1工程の後にウェハ30の厚みを薄くするようにウェハ30をサファイアウェハ10の第2面10b側から研磨する工程である。紫外線発光素子B1の製造方法では、第2工程を行うことにより、図1(c)に示すような構造が得られる。なお、図1(c)では、図5中の第1電極14、第2電極17、第1パッド15、第2パッド18及び絶縁膜9等の図示を省略してある。
第3工程は、第2工程の後に割溝31に沿ってウェハ30を分割する工程である。つまり、第3工程は、ウェハ30を個々の紫外線発光素子B1(チップ)に分割する工程である。紫外線発光素子B1の製造方法では、第3工程を行うことにより、1枚のウェハ30から複数の紫外線発光素子B1(図1(d)及び図5参照)を得ることができる。
W=Z1−(Z2+Z3+Z4+Z5)/4
の数式により求めた。
10a 第1面
10b 第2面
20 窒化物半導体層
30 ウェハ
31 割溝
B1 紫外線発光素子
Claims (1)
- サファイアウェハの第1面上に窒化物半導体層を積層したウェハから個々の紫外線発光素子に分割する紫外線発光素子の製造方法であって、
前記紫外線発光素子はUV−Cの波長域に発光波長を有する紫外線を放射するように構成されており、
前記ウェハの前記窒化物半導体層側から前記サファイアウェハの厚み方向の途中まで到達する割溝を形成する第1工程と、
前記第1工程の後に前記ウェハの厚みを薄くするように前記ウェハを前記サファイアウェハの第2面側から研磨する第2工程と、
前記第2工程の後に前記割溝に沿って前記ウェハを分割する第3工程と、
を備え、
前記第1工程は、前記ウェハにレーザ光を照射することにより前記割溝を形成し、
前記第2工程では、前記ウェハを予め設定された規定厚さとするように前記サファイアウェハを研磨し、
前記第1工程では、前記ウェハの反りを低減するように前記割溝を形成し、
前記第1工程で形成する前記割溝の深さが、前記規定厚さの40%以上80%未満の範囲内の規定値に予め設定されている
ことを特徴とする紫外線発光素子の製造方法。
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