JP2010056469A - 熱処理装置及び熱処理方法並びに記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前記基板保持具(ウエハボート3)が熱の影響を受けていない状態のときに、前記搬送基体5を前記ウエハボート3に対して相対的に昇降させることにより取得した正常時のリング部材38の高さ位置と、前記熱処理前のウエハWを前記ウエハボート3に移載する前に、前記搬送基体5を前記ウエハボート3に対して相対的に昇降させることにより取得した対応する前記リング部材38の高さ位置との差分を求め、この差分と閾値との比較に基づいてウエハ搬送機構4により前記ウエハボート3に対してウエハWの受け渡しを否かを判断する。
【選択図】図4
Description
一方ウエハボート12の材質としては石英が用いられる場合が多いが、プロセス温度が例えば1000℃を超える場合には、この熱影響を受け、ウエハボート12の形状が変化し、前記クリアランスがティーチング時と異なってしまう場合がある。このような形状変化の要因は、熱膨張したウエハボート12を十分に冷却する前に次の処理を開始することにより、熱変形が元の状態に戻り切れずに再び熱影響を受けること、またリング部材17はウエハよりも大きいため熱影響を受けやすく、自重により設定位置よりも下がってしまうことなどが挙げられ、プロセス回数が増えるに連れて、そうした要因が積み重なって、形状変化の程度が大きくなっていくものと考えられる。
前記基板保持具に対する前記基板搬送手段の相対的な高さ位置を検出する高さ位置検出部と、
この高さ位置検出部で検出された高さ位置に基づいて制御され、前記基板搬送手段を前記基板保持具に対して相対的に昇降させる駆動部と、
前記基板搬送手段に設けられ、前記基板搬送手段を前記基板保持具に対して相対的に昇降させたときに、当該基板保持具の各段に搭載される基板、又は各基板に対いて夫々特定の関係がある特定部位を各々検出するための特定部位検出部と、
この特定部位検出部が前記特定部位を検出したときに、前記高さ位置検出部で検出された高さ位置を読み取る手段と、
前記基板保持具が熱の影響を受けていない状態で、前記基板搬送手段を前記基板保持具に対して相対的に昇降させることにより取得した各基板又は各特定部位の高さ位置と、縦型熱処理装置の運転時に、前記基板搬送手段を前記基板保持具に対して相対的に昇降させることにより取得した対応する各基板又は各特定部位の高さ位置との差分を求める差分検出手段と、
この差分と閾値とを比較してその比較結果に基づいて前記基板保持具に対して基板の受け渡しを行うか否かを判断する判断手段と、
この判断手段により基板の受け渡しを行わないと判断したときに、前記基板搬送手段による前記受け渡しを禁止する手段とを備えたことを特徴とする。
前記基板保持具が熱の影響を受けていない状態で、前記基板保持具の各段に搭載される基板又は各基板に対して夫々特定の関係がある特定部位の各々の高さ位置を正常時の高さ位置として取得する工程と、
前記縦型熱処理装置の運転時に、対応する各基板又は各特定部位の高さ位置を取得する工程と、
前記正常時の各基板又は各特定部位の高さ位置と、取得した各基板又は各特定部位の高さ位置との差分を求める工程と、
この差分と閾値とを比較してその比較結果に基づいて、前記基板保持具に対して基板の受け渡しを行うか否かを判断する工程と、
前記工程により基板の受け渡しを行わないと判断したときに、前記基板搬送手段による前記受け渡しを禁止する工程と、を含むことを特徴とする。
ここで前記基板搬送手段は、一枚の保持アームによる一枚の基板の移載と、複数枚の保持アームによって同時に行われる複数枚の基板の移載とを切り替えて行ない、前記基板の受け渡しを行うか否かを判断する工程は、前記差分を第1の閾値と、この第1の閾値よりも大きい第2の閾値と比較し、前記差分が前記第1の閾値未満であるときには前記複数枚の保持アームによる基板の受け渡しを行い、前記差分が前記第1の閾値以上第2の閾値未満であるときには前記一枚の保持アームによる基板の受け渡しを行い、前記差分が前記第2の閾値以上であるときには基板保持具に対して基板の受け渡しを行わないと判断するようにしてもよい。
また本発明の記憶媒体は、複数の基板が棚状に保持される基板保持具を熱処理炉内に搬入して前記基板に対して熱処理を行う縦型熱処理装置に用いられ、コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、前記熱処理方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする。
さらに上述の例では、正常時におけるウエハボート3のn段目の特定部材(この例ではリング部材)の高さをAn、熱処理後のウエハボート3のn段目の特定部材の高さをBnとすると、|An−Bn|よりなる差分を求め、これを閾値と比較しているが、|(An−A(n−1))−(Bn−B(n−1))|よりなる差分を求め、これを閾値と比較して熱変形量を評価するようにしてもよい。
C キャリア
3 ウエボート
4 ウエハ搬送機構
41 フォーク
5 搬送基体
51 回転機構
52 昇降機構
55 エンコーダ
6 光センサ
61 発光部
62 受光部
7 制御部
72 検査プログラム
73 基準データ記憶部
74 取得データ記憶部
81 表示手段
82 アラーム発生手段
Claims (11)
- 搬送基体に略水平な保持アームを進退自在に設けて構成した基板搬送手段を用いて、複数の基板を基板保持具に棚状に保持させ、当該基板保持具を熱処理炉内に搬入して前記基板に対して熱処理を行う縦型熱処理装置において、
前記基板保持具に対する前記基板搬送手段の相対的な高さ位置を検出する高さ位置検出部と、
この高さ位置検出部で検出された高さ位置に基づいて制御され、前記基板搬送手段を前記基板保持具に対して相対的に昇降させる駆動部と、
前記基板搬送手段に設けられ、前記基板搬送手段を前記基板保持具に対して相対的に昇降させたときに、当該基板保持具の各段に搭載される基板、又は各基板に対して夫々特定の関係がある特定部位を各々検出するための特定部位検出部と、
この特定部位検出部が前記特定部位を検出したときに、前記高さ位置検出部で検出された高さ位置を読み取る手段と、
前記基板保持具が熱の影響を受けていない状態で、前記基板搬送手段を前記基板保持具に対して相対的に昇降させることにより取得した正常時における各基板又は各特定部位の高さ位置と、縦型熱処理装置の運転時に、前記基板搬送手段を前記基板保持具に対して相対的に昇降させることにより取得した対応する各基板又は各特定部位の高さ位置との差分を求める差分検出手段と、
この差分と閾値とを比較してその比較結果に基づいて前記基板保持具に対して基板の受け渡しを行うか否かを判断する判断手段と、
この判断手段により基板の受け渡しを行わないと判断したときに、前記基板搬送手段による前記受け渡しを禁止する手段とを備えたことを特徴とする縦型熱処理装置。 - 前記基板搬送手段は、一枚の保持アームによる一枚の基板の移載と、複数枚の保持アームによって同時に行われる複数枚の基板の移載とを切り替えて行なうように構成され、
前記判断手段は 前記差分を第1の閾値と、この第1の閾値よりも大きい第2の閾値と比較し、前記差分が前記第1の閾値未満であるときには前記複数枚の保持アームによる基板の受け渡しを行い、前記差分が前記第1の閾値以上第2の閾値未満であるときには前記一枚の保持アームによる基板の受け渡しを行い、前記差分が前記第2の閾値以上であるときには基板保持具に対して基板の受け渡しを行わないと判断することを特徴とする請求項1記載の縦型熱処理装置。 - 前記特定部位検出部は発光部及び受光部からなり、基板保持具の各段に搭載される複数の基板の有無を検出するためのマッピングセンサを利用していることを特徴とする請求項1又は2記載の縦型熱処理装置。
- 前記基板保持具は、当該基板保持具に搭載された上下に隣接する基板同士の間にリング部材を備えており、前記特定部位は前記リング部材であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の縦型熱処理装置。
- 前記縦型熱処理装置の運転時は、熱処理された基板を基板保持具から取り出す前のタイミングであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の縦型熱処理装置。
- 前記縦型熱処理装置の運転時は、熱処理された基板が基板保持具から取り出され、次に熱処理する基板を当該基板保持具に移載する前のタイミングであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の縦型熱処理装置。
- 前記差分検出手段は、前記正常時における各基板又は各特定部位の高さ位置と、縦型熱処理装置の運転時に取得した対応する各基板又は各特定部位の高さ位置との差分を求める代わりに、前記正常時における各基板と当該基板に隣接する基板との間の距離又は各特定部位と当該特定部位に隣接する特定部位との距離と、縦型熱処理装置の運転時に取得した対応する各基板と当該基板に隣接する基板との間の距離又は各特定部位と当該特定部位に隣接する特定部位との距離との差分を求め、
前記判断手段はこの差分と閾値とを比較してその比較結果に基づいて前記基板保持具に対して基板の受け渡しを行うか否かを判断することを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一つに記載の熱処理装置。 - 搬送基体に略水平な保持アームを進退自在に設けて構成した基板搬送手段を用いて、複数の基板を基板保持具に棚状に保持させ、当該基板保持具を熱処理炉内に搬入して前記基板に対して熱処理を行う縦型熱処理装置において行われる熱処理方法において、
前記基板保持具が熱の影響を受けていない状態で、前記基板保持具の各段に搭載される基板、又は各基板に対して夫々特定の関係がある特定部位の各々の高さ位置を正常時の高さ位置として取得する工程と、
前記縦型熱処理装置の運転時に、対応する各基板又は各特定部位の高さ位置を取得する工程と、
前記正常時の各基板又は各特定部位の高さ位置と、取得した各基板又は各特定部位の高さ位置との差分を求める工程と、
この差分と閾値とを比較してその比較結果に基づいて、前記基板保持具に対して基板の受け渡しを行うか否かを判断する工程と、
前記工程により基板の受け渡しを行わないと判断したときに、前記基板搬送手段による前記受け渡しを禁止する工程と、を含むことを特徴とする熱処理方法。 - 前記基板搬送手段は、一枚の保持アームによる一枚の基板の移載と、複数枚の保持アームによって同時に行われる複数枚の基板の移載とを切り替えて行ない、
前記判断する工程は、前記差分を第1の閾値と、この第1の閾値よりも大きい第2の閾値と比較し、前記差分が前記第1の閾値未満であるときには前記複数枚の保持アームによる基板の受け渡しを行い、前記差分が前記第1の閾値以上第2の閾値未満であるときには前記一枚の保持アームによる基板の受け渡しを行い、前記差分が前記第2の閾値以上であるときには基板保持具に対して基板の受け渡しを行わないと判断することを特徴とする請求項8記載の熱処理方法。 - 前記差分を求める工程は、前記正常時における各基板又は各特定部位の高さ位置と取得した対応する各基板又は各特定部位の高さ位置との差分を求める代わりに、前記正常時における各基板と当該基板に隣接する基板との間の距離又は各特定部位と当該特定部位に隣接する特定部位との距離と、取得した対応する各基板と当該基板に隣接する基板との間の距離又は各特定部位と当該特定部位に隣接する特定部位との距離との差分を求め、
前記判断する工程は、この差分と閾値とを比較してその比較結果に基づいて前記基板保持具に対して基板の受け渡しを行うか否かを判断することを特徴とする請求項8又は9記載の熱処理方法。 - 複数の基板が棚状に保持される基板保持具を熱処理炉内に搬入して前記基板に対して熱処理を行う縦型熱処理装置に用いられ、コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項8ないし10のいずれか一つ記載の熱処理方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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