JP7080145B2 - 熱処理方法および熱処理装置 - Google Patents
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Description
まず、本発明に係る熱処理装置について説明する。図1は、本発明に係る熱処理装置100を示す平面図であり、図2はその正面図である。熱処理装置100は基板として円板形状の半導体ウェハーWにフラッシュ光を照射してその半導体ウェハーWを加熱するフラッシュランプアニール装置である。処理対象となる半導体ウェハーWのサイズは特に限定されるものではないが、例えばφ300mmやφ450mmである。熱処理装置100に搬入される前の半導体ウェハーWには不純物が注入されており、熱処理装置100による加熱処理によって注入された不純物の活性化処理が実行される。なお、図1および以降の各図においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている。また、図1~図3の各図においては、それらの方向関係を明確にするためZ軸方向を鉛直方向とし、XY平面を水平面とするXYZ直交座標系を付している。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。第2実施形態の熱処理装置100の構成および半導体ウェハーWの処理手順は第1実施形態と同様である。また、第2実施形態におけるダミーウェハーの管理内容(図11)も第1実施形態と概ね同様である。第2実施形態が第1実施形態と相違するのは、ダミーウェハーの劣化の程度を示す損耗値の内容である。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。第3実施形態の熱処理装置100の構成および半導体ウェハーWの処理手順は第1実施形態と同様である。また、第3実施形態におけるダミーウェハーの管理内容(図11)も第1実施形態と概ね同様である。第3実施形態が第1実施形態と相違するのは、ダミーウェハーの劣化の程度を示す損耗値の内容である。
次に、本発明の第4実施形態について説明する。第4実施形態の熱処理装置100の構成および半導体ウェハーWの処理手順は第1実施形態と同様である。また、第4実施形態におけるダミーウェハーの管理内容(図11)も第1実施形態と概ね同様である。第4実施形態が第1実施形態と相違するのは、ダミーウェハーの劣化の程度を示す損耗値の内容である。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、第1実施形態から第4実施形態にて説明した損耗値をOR判定することによってアラームを発報するようにしても良い。すなわち、ハロゲンランプHLからの光照射によってダミーウェハーを予備加熱したときのダミーウェハーの温度に加熱時間を乗じた値を積算して得られる予備加熱カウンターを第1損耗値とする。ハロゲンランプHLからの光照射によってダミーウェハーを予備加熱したときのハロゲンランプHLへの投入電力量を積算して得られる投入電力カウンターを第2損耗値とする。フラッシュランプFLからのフラッシュ光照射によってダミーウェハーをフラッシュ加熱したときのフラッシュランプFLの放電電圧を積算して得られる放電電圧カウンターを第3損耗値とする。さらに、フラッシュランプFLからのフラッシュ光照射によってダミーウェハーをフラッシュ加熱したときのダミーウェハーの表面温度にフラッシュ光の照射時間を乗じた値を積算して得られるフラッシュ加熱カウンターを第4損耗値とする。そして、第1損耗値、第2損耗値、第3損耗値、および、第4損耗値のうちの少なくとも1つが閾値以上であったときに発報部32がアラームを発報するようにしても良い。このように損耗値の項目を増やすことによって、より高い精度にて劣化が進行したダミーウェハーを確実に把握することができる。
4 ハロゲンランプハウス
5 フラッシュランプハウス
6 処理チャンバー
7 保持部
10 移載機構
31 算出部
32 発報部
33 入力部
34 表示部
35 磁気ディスク
38 搬送機構
39 ダミーデータベース
65 熱処理空間
74 サセプタ
100 熱処理装置
101 インデクサ部
120 受渡ロボット
130,140 冷却部
150 搬送ロボット
151a,151b 搬送ハンド
160 熱処理部
FL フラッシュランプ
HL ハロゲンランプ
W 半導体ウェハー
Claims (10)
- ダミーウェハーを管理する熱処理方法であって、
連続点灯ランプからの光照射によってダミーウェハーを加熱したときの前記ダミーウェハーの温度に加熱時間を乗じた値を積算して得られる損耗値を算出する算出工程と、
前記損耗値が所定の閾値以上であったときに警告を発報する発報工程と、
を備えることを特徴とする熱処理方法。 - ダミーウェハーを管理する熱処理方法であって、
連続点灯ランプからの光照射によってダミーウェハーを加熱したときの前記連続点灯ランプへの投入電力量を積算して得られる損耗値を算出する算出工程と、
前記損耗値が所定の閾値以上であったときに警告を発報する発報工程と、
を備えることを特徴とする熱処理方法。 - ダミーウェハーを管理する熱処理方法であって、
フラッシュランプからのフラッシュ光照射によってダミーウェハーを加熱したときの前記フラッシュランプの放電電圧を積算して得られる損耗値を算出する算出工程と、
前記損耗値が所定の閾値以上であったときに警告を発報する発報工程と、
を備えることを特徴とする熱処理方法。 - ダミーウェハーを管理する熱処理方法であって、
フラッシュランプからのフラッシュ光照射によってダミーウェハーを加熱したときの前記ダミーウェハーの表面温度に照射時間を乗じた値を積算して得られる損耗値を算出する算出工程と、
前記損耗値が所定の閾値以上であったときに警告を発報する発報工程と、
を備えることを特徴とする熱処理方法。 - ダミーウェハーを管理する熱処理方法であって、
連続点灯ランプからの光照射によってダミーウェハーを加熱したときの前記ダミーウェハーの温度に加熱時間を乗じた値を積算して得られる第1損耗値、
連続点灯ランプからの光照射によってダミーウェハーを加熱したときの前記連続点灯ランプへの投入電力量を積算して得られる第2損耗値、
フラッシュランプからのフラッシュ光照射によってダミーウェハーを加熱したときの前記フラッシュランプの放電電圧を積算して得られる第3損耗値、および、
フラッシュランプからのフラッシュ光照射によってダミーウェハーを加熱したときの前記ダミーウェハーの表面温度に照射時間を乗じた値を積算して得られる第4損耗値、を算出する算出工程と、
前記第1損耗値、前記第2損耗値、前記第3損耗値、および、前記第4損耗値のうちの少なくとも1つが所定の閾値以上であったときに警告を発報する発報工程と、
を備えることを特徴とする熱処理方法。 - ダミーウェハーを管理する熱処理装置であって、
ダミーウェハーを収容するチャンバーと、
前記チャンバー内の前記ダミーウェハーに光を照射する連続点灯ランプと、
前記連続点灯ランプからの光照射によって前記ダミーウェハーを加熱したときの前記ダミーウェハーの温度に加熱時間を乗じた値を積算して得られる損耗値を算出する算出部と、
前記損耗値が所定の閾値以上であったときに警告を発報する発報部と、
を備えることを特徴とする熱処理装置。 - ダミーウェハーを管理する熱処理装置であって、
ダミーウェハーを収容するチャンバーと、
前記チャンバー内の前記ダミーウェハーに光を照射する連続点灯ランプと、
前記連続点灯ランプからの光照射によってダミーウェハーを加熱したときの前記連続点灯ランプへの投入電力量を積算して得られる損耗値を算出する算出部と、
前記損耗値が所定の閾値以上であったときに警告を発報する発報部と、
を備えることを特徴とする熱処理装置。 - ダミーウェハーを管理する熱処理装置であって、
ダミーウェハーを収容するチャンバーと、
前記チャンバー内の前記ダミーウェハーにフラッシュ光を照射するフラッシュランプと、
前記フラッシュランプからのフラッシュ光照射によってダミーウェハーを加熱したときの前記フラッシュランプの放電電圧を積算して得られる損耗値を算出する算出部と、
前記損耗値が所定の閾値以上であったときに警告を発報する発報部と、
を備えることを特徴とする熱処理装置。 - ダミーウェハーを管理する熱処理装置であって、
ダミーウェハーを収容するチャンバーと、
前記チャンバー内の前記ダミーウェハーにフラッシュ光を照射するフラッシュランプと、
前記フラッシュランプからのフラッシュ光照射によってダミーウェハーを加熱したときの前記ダミーウェハーの表面温度に照射時間を乗じた値を積算して得られる損耗値を算出する算出部と、
前記損耗値が所定の閾値以上であったときに警告を発報する発報部と、
を備えることを特徴とする熱処理装置。 - ダミーウェハーを管理する熱処理装置であって、
ダミーウェハーを収容するチャンバーと、
前記チャンバー内の前記ダミーウェハーに光を照射する連続点灯ランプと、
前記チャンバー内の前記ダミーウェハーにフラッシュ光を照射するフラッシュランプと、
前記連続点灯ランプからの光照射によってダミーウェハーを加熱したときの前記ダミーウェハーの温度に加熱時間を乗じた値を積算して得られる第1損耗値、
前記連続点灯ランプからの光照射によってダミーウェハーを加熱したときの前記連続点灯ランプへの投入電力量を積算して得られる第2損耗値、
前記フラッシュランプからのフラッシュ光照射によってダミーウェハーを加熱したときの前記フラッシュランプの放電電圧を積算して得られる第3損耗値、および、
前記フラッシュランプからのフラッシュ光照射によってダミーウェハーを加熱したときの前記ダミーウェハーの表面温度に照射時間を乗じた値を積算して得られる第4損耗値、を算出する算出部と、
前記第1損耗値、前記第2損耗値、前記第3損耗値、および、前記第4損耗値のうちの少なくとも1つが所定の閾値以上であったときに警告を発報する発報部と、
を備えることを特徴とする熱処理装置。
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