JP2010054495A - 角度検出装置、及び角度検出方法 - Google Patents

角度検出装置、及び角度検出方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2010054495A
JP2010054495A JP2009030093A JP2009030093A JP2010054495A JP 2010054495 A JP2010054495 A JP 2010054495A JP 2009030093 A JP2009030093 A JP 2009030093A JP 2009030093 A JP2009030093 A JP 2009030093A JP 2010054495 A JP2010054495 A JP 2010054495A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotating body
angle
rotation
magnetic sensor
outer periphery
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2009030093A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5105201B2 (ja
Inventor
Yoshio Kaida
佳生 海田
Hirokazu Miyamoto
寛和 宮本
Toshinao Kido
利尚 木戸
Junya Fukuda
純也 福田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP2009030093A priority Critical patent/JP5105201B2/ja
Priority to US12/458,881 priority patent/US8258782B2/en
Priority to CN2009101655688A priority patent/CN101644561B/zh
Publication of JP2010054495A publication Critical patent/JP2010054495A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5105201B2 publication Critical patent/JP5105201B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/30Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

【課題】検出角度に制限がない角度検出装置及び角度検出方法を提案する。
【解決手段】角度検出装置10は、回転軸60に固定される回転体20と、回転体20の回転中心Pに対して(π/2)の角度差で回転体20の外周付近に配置される一対の磁気センサ30A,30Bと、磁気センサ30A,30Bから出力される検出信号を差動演算して差動信号を出力する差動演回路41と、差動信号に基づいて回転軸20の回転角度を算出する角度算出回路50とを備える。回転体20の平面形状は、回転中心Pで(π/2)の交差角度で交差する2直線が回転体20の外周と交差する二点(Q1,Q2)のそれぞれと回転中心Pとの間のそれぞれの距離(L1,L2)の和(L1+L2)が一定であり、且つ、回転中心Pを通る直線94に関して対称である。
【選択図】図2

Description

本発明は、回転軸の回転角度を算出するための角度検出装置、及び角度検出方法に関する。
特開2001−91208号公報には、スロットルバルブ等の被検出物の回転角を検出するための手段として、磁石とヨークとの間に磁界を発生させ、この磁界の中に配置する磁気検出素子の位置をロータの回転中心からずらした構成を有する回転角検出装置が提案されている。磁気検出素子の位置をロータの回転中心からずらすと、磁気検出素子に鎖交する磁束の角度とロータの回転角との関係が変化する。この変化を利用することで、回転角に対する磁気検出素子の出力特性を広い範囲で任意に設定することが可能となり、回転角の検出特性を向上できる。
特開2001−91208号公報
しかし、上述の回転角検出装置では、検出角度に一定の制限があるという難点を有する(同公報図8(b)参照)。
そこで、本発明は、検出角度に制限がない角度検出装置及び角度検出方法を提案することを課題とする。
上記の課題を解決するため、本発明に係わる角度検出装置は、回転軸に固定される回転体であって、回転体の回転中心を座標原点として回転体の回転平面にXY直交座標系を定義したとき、2以上の任意の整数nについて、回転中心で(π/n)の交差角度で交差する2直線が回転体の外周と交差する二点のそれぞれと回転中心との間のそれぞれの距離の和が一定であり、且つ、回転体を回転平面に投影した平面形状がY=tan((π/2n))Xに関して対称である回転体と、回転中心に対して(π/n)の角度差で回転体の外周付近に配置される第一及び第二の磁気センサであって、回転体の回転に伴い周期的に変化する回転体の外周と第一の磁気センサとの間の第一の距離の変化に対応する磁界変化を検出して第一の検出信号を出力する第一の磁気センサ、及び第一の距離の変化に追従して相補的に変化する回転体の外周と第二の磁気センサとの間の第二の距離の変化に対応する磁界変化を検出して第二の検出信号を出力する第二の磁気センサと、第一の検出信号と第二の検出信号とを差動演算して差動信号を出力する差動演算手段と、差動信号に基づいて回転軸の回転角度を算出する角度算出手段と、を備える。
本発明に係わる角度検出装置によれば、回転体の回転中心で(π/n)の交差角度で交差する2直線が回転体の外周と交差する二点のそれぞれと回転体の回転中心との間のそれぞれの距離の和が一定であり、且つ、回転体を回転平面に投影した平面形状がY=tan((π/2n))Xに関して対称である回転体を用いているので、回転体の回転中心に対して(π/n)の角度差で回転体の外周付近に配置される第一及び第二の磁気センサのそれぞれから出力される第一及び第二の検出信号を差動演算することにより得られる差動信号は、回転体の回転角度情報を含む略正弦波信号となり、全角度(0度〜360度)範囲にわたって検出誤差の小さい角度検出を行える。また、回転体は回転軸の端面に取り付けなくてもよいので、角度検出装置の取り付け容易性に優れている。
ここで、第一の磁気センサと回転体の回転中心との間の距離と、第二の磁気センサと回転体の回転中心との間の距離とは等しくなるように構成されているのが望ましい。斯かる構成によれば、第一及び第二の磁気センサから出力される第一及び第二の検出信号は、十分な対称性を有するので、差動信号を理想的な正弦波に近づけることができる。
また、回転体をその回転平面に投影した形状は、中心角(π/n)の2n個の部分楕円が結合した形状を有するものが望ましい。斯かる形状によれば、回転体の回転中心に対して(π/n)の角度差で回転体の外周付近に配置される第一及び第二の磁気センサのそれぞれから出力される第一及び第二の検出信号は、回転体が一回転したときに、n個の最大値及びn個の最小値をとるn周期分の略正弦波信号となるので、第一及び第二の検出信号を差動演算することにより得られる差動信号は、回転体の回転角度情報を含む理想的な正弦波形に酷似したn周期分の略正弦波信号となる。なお、回転体をその回転平面に投影した形状は、谷部を有しないものが更に望ましい。谷部では、磁場の乱れが生じる可能性が高いためである。
本発明の好適な実施態様において、回転体は、強磁性体材質から成る。第一の磁気センサは、回転体の外周と第一の磁気センサとの間に磁界を発生させる第一の磁石と、第一の距離の変化に応じて変化する磁界に応じて第一の検出信号を出力する第一の磁気抵抗効果素子とを備える。第二の磁気センサは、回転体の外周と第二の磁気センサとの間に磁界を発生させる第二の磁石と、第二の距離の変化に応じて変化する磁界に応じて第二の検出信号を出力する第二の磁気抵抗効果素子とを備える。斯かる構成によれば、回転体の回転に伴って、回転体と第一の磁気センサとの間の第一の距離、及び回転体と第二の磁気センサとの間の第二の距離が変化し、これらの変化は、第一及び第二の磁気センサの抵抗値の変化として現れるので、第一及び第二の検出信号には、回転体の回転角度に関する情報が含まれている。
本発明の好適な実施態様において、第一の磁気抵抗効果素子は、回転体の回転中心方向に長手方向が設定されている第一のフリー磁性層を備える。第二の磁気抵抗効果素子は、回転体の回転中心方向に長手方向が設定されている第二のフリー磁性層を備える。フリー磁性層の長手方向を回転中心方向に設定することで、角度検出精度を高めることができる。
本発明に係わる角度検出方法は、回転軸に固定される回転体の回転中心に対して、2以上の任意の整数nについて(π/n)の角度差で回転体の外周付近に配置される第一及び第二の磁気センサを用いて回転軸の回転角度を検出する方法であって、回転中心を座標原点として回転体の回転平面にXY直交座標系を定義したとき、回転中心で(π/n)の交差角度で交差する2直線が回転体の外周と交差する二点のそれぞれと回転中心との間のそれぞれの距離の和が一定であり、且つ、回転体を回転平面に投影した平面形状がY=tan((π/2n))Xに関して対称である回転体を回転させるステップと、回転体の回転に伴い周期的に変化する回転体の外周と第一の磁気センサとの間の第一の距離の変化に対応する磁界変化を検出する第一の磁気センサから第一の検出信号を出力するステップと、第一の距離の変化に追従して相補的に変化する回転体の外周と第二の磁気センサとの間の第二の距離の変化に対応する磁界変化を検出する第二の磁気センサから第二の検出信号を出力するステップと、第一の検出信号と第二の検出信号とを差動演算して差動信号を出力するステップと、差動信号に基づいて回転軸の回転角度を算出するステップと、を備える。
本発明に係わる角度検出方法によれば、回転体の回転中心で(π/n)の交差角度で交差する2直線が回転体の外周と交差する二点のそれぞれと回転体の回転中心との間のそれぞれの距離の和が一定であり、且つ、回転体を回転平面に投影した平面形状がY=tan((π/2n))Xに関して対称である回転体を用いているので、回転体の回転中心に対して(π/n)の角度差で回転体の外周付近に配置される第一及び第二の磁気センサのそれぞれから出力される第一及び第二の検出信号を差動演算することにより得られる差動信号は、回転体の回転角度情報を含む略正弦波信号となり、全角度(0度〜360度)範囲にわたって検出誤差の小さい角度検出を行える。
本発明の他の観点に基づく角度検出装置は、回転軸に固定される回転体であって、回転体の回転中心を座標原点として回転体の回転平面にXY直交座標系を定義したとき、2以上の任意の整数nについて、回転中心で(π/n)の交差角度で交差する2直線が回転体の外周と交差する二点のそれぞれと回転中心との間のそれぞれの距離の和が一定であり、且つ、回転体を回転平面に投影した平面形状がY=tan((π/2n))Xに関して対称である回転体と、回転中心に対して(π/2n)の角度差で回転体の外周付近に配置される第一及び第二の磁気センサであって、回転体の回転に伴い周期的に変化する回転体の外周と第一の磁気センサとの間の第一の距離の変化に対応する磁界変化を検出して第一の検出信号を出力する第一の磁気センサ、及び回転体の回転に伴い周期的に変化する回転体の外周と第二の磁気センサとの間の第二の距離の変化に対応する磁界変化を検出して第二の検出信号を出力する第二の磁気センサと、第一及び第二の検出信号に対応する回転軸の回転角度を格納する変換テーブルと、第一及び第二の磁気センサから出力される第一及び第二の検出信号と、変換テーブルとを比較して、回転体の回転角度を出力する角度算出手段とを備える。
本発明に係わる角度検出装置によれば、回転体の回転中心を座標原点として回転体の回転平面にXY直交座標系を定義したとき、2以上の任意の整数nについて、回転中心で(π/n)の交差角度で交差する2直線が回転体の外周と交差する二点のそれぞれと回転中心との間のそれぞれの距離の和が一定であり、且つ、回転体を回転平面に投影した平面形状がY=tan((π/2n))Xに関して対称である回転体を用いているので、回転体の回転中心に対して(π/2n)の位相差(機械角)で且つ回転中心から等距離に配置される第一及び第二の磁気センサと回転体の外周との距離は、周期的に変化する。第一及び第二の磁気センサから出力される第一及び第二の検出信号は、回転体の回転角度に関する情報を含み、且つ相互に90degの位相差(電気角)を有しているので、第一及び第二の検出信号を関数処理することで、回転体の回転角度を求めることができる。
本発明の好適な実施態様において、第一及び第二の検出信号は、略正弦波信号であり、角度算出手段は、第一及び第二の検出信号のうちその検出信号が中間値をとる角度に対して±22.5degの角度範囲にある検出信号と、変換テーブルとを比較して、回転体の回転角度を出力するのが好ましい。振幅変化量の小さい信号波形のピーク付近の値よりも、振幅変化量の大きい中間値付近の値を読み取ることで、ノイズに対する影響を抑えることができる。
本発明の他の観点に基づく角度検出方法は、回転軸に固定される回転体の回転中心に対して、2以上の任意の整数nについて(π/2n)の角度差で回転体の外周付近に配置される第一及び第二の磁気センサを用いて回転軸の回転角度を検出する方法であって、回転中心を座標原点として回転体の回転平面にXY直交座標系を定義したとき、回転中心で(π/n)の交差角度で交差する2直線が回転体の外周と交差する二点のそれぞれと回転中心との間のそれぞれの距離の和が一定であり、且つ、回転体を回転平面に投影した平面形状がY=tan((π/2n))Xに関して対称である回転体を回転させるステップと、回転体の回転に伴い周期的に変化する回転体の外周と第一の磁気センサとの間の第一の距離の変化に対応する磁界変化を検出する第一の磁気センサから第一の検出信号を出力するステップと、回転体の回転に伴い周期的に変化する前記回転体の外周と第二の磁気センサとの間の第二の距離の変化に対応する磁界変化を検出する前記第二の磁気センサから第二の検出信号を出力するステップと、第一及び第二の検出信号に対応する回転軸の回転角度を格納する変換テーブルと、第一及び第二の磁気センサから出力される第一及び第二の検出信号を比較して、回転体の回転角度を出力するステップとを備える。
本発明に係わる角度検出方法によれば、回転体の回転中心を座標原点として回転体の回転平面にXY直交座標系を定義したとき、2以上の任意の整数nについて、回転中心で(π/n)の交差角度で交差する2直線が回転体の外周と交差する二点のそれぞれと回転中心との間のそれぞれの距離の和が一定であり、且つ、回転体を回転平面に投影した平面形状がY=tan((π/2n))Xに関して対称である回転体を用いているので、回転体の回転中心に対して(π/2n)の位相差(機械角)で且つ回転中心から等距離に配置される第一及び第二の磁気センサと回転体の外周との距離は、周期的に変化する。第一及び第二の磁気センサから出力される第一及び第二の検出信号は、回転体の回転角度に関する情報を含み、且つ相互に90degの位相差(電気角)を有しているので、第一及び第二の検出信号を関数処理することで、回転体の回転角度を求めることができる。
本発明によれば、検出角度に制限がない角度検出装置及び角度検出方法を提供することができる。
本実施形態に係わる角度検出装置の概略構成を示す説明図である。 本実施形態に係わる角度検出装置のシステム構成を示す説明図である。 磁気抵抗効果素子の出力特性を示すグラフである。 回転体の回転角度に対する磁束密度の変化を示すグラフである。 一対の磁気センサから出力される二つの検出信号を示すグラフである。 一対の磁気センサから出力される二つの検出信号を差動演算して得られる差動信号を示すグラフである。 回転体の平面形状の算出方法を示す説明図である。 回転体の平面形状の算出方法を示す説明図である。 a=0.9のときの楕円関数H(X,Y)のグラフである。 a=1.5のときの楕円関数H(X,Y)のグラフである。 a=a=0.5のときの楕円関数H(X,Y)のグラフである。 実施例2に係わる角度検出装置の概略構成を示す説明図である。 キャリブレーション実施前のcos信号及びsin信号を示すグラフである。 cos信号の振幅補正及びオフセット補正を示す説明図である。 sin信号の振幅補正及びオフセット補正を示す説明図である。 cos信号のデジタルサンプリングを示す説明図である。 sin信号のデジタルサンプリングを示す説明図である。 変換テーブルの説明図である。 cos信号及びsin信号の読み込み範囲を示す説明図である。 リニア出力値のグラフである。
以下、各図を参照しながら本発明に係わる実施例について説明する。各実施例において同一符号は同一部材を示すものとし、重複する説明を省略する。
図1は本実施形態に係わる角度検出装置10の概略構成を示す説明図である。
角度検出装置10は、回転軸60に固定される回転体(ロータ)20と、回転体20の外周付近に配置される磁気センサ30とを主要構成として備える。回転体20は、強磁性体材質(例えば、鉄、コバルト、ニッケル等)から成るロータである。回転軸60は、動力発生源等から駆動力を受けて回転駆動する回転軸(例えば、車両のドライブシャフトやモータの駆動軸など)であり、その軸心方向はZ方向である。回転軸60が回転すると、回転体20は、XY平面内で回転する。
磁気センサ30は、外部磁界を発生させるための磁界発生手段として機能する磁石33と、その外部磁界の変化を電圧変化として検出する磁気抵抗効果素子31とを主要構成として備える。磁気抵抗効果素子31は、ハーフブリッジ構成でもよく、或いはフルブリッジ構成でもよい。磁気センサ30の実装形態として、磁石33の中心点を通るZ方向の直線上に磁気抵抗効果素子31が位置するようにプリント配線基板70の表面に磁気抵抗効果素子31を配置し、同基板70の裏面に磁石33を配置するのが好ましい。また、磁石33から発生する外部磁界を効率よく集磁するために、磁石33の両極にヨーク32を配置するのが好ましい。
磁気抵抗効果素子31は、磁化方向が特定の方向に設定されていて、外部磁界の変位に対して磁化状態(例えば、磁化方向や磁化の強さ)が影響を受けないように構成されたピン磁性層(図示せず)と、外部磁界の変化によって磁化状態が変位するフリー磁性層(図示せず)とを備えている。回転軸60の回転とともに回転体20が回転すると、回転体20の外周と磁気抵抗効果素子31との間のギャップGの間隔は、周期的に変化する。ギャップGの間隔が変化すると、磁気抵抗効果素子31の裏面に配置された磁石33から磁気抵抗効果素子31を通して回転体20に引かれる磁束密度が変化する。すると、磁気抵抗効果素子31内のフリー磁性層の磁化状態が変動するので、磁化状態が変動しないピン磁性層の磁化状態と、磁化状態が変動するフリー磁性層との間に磁化状態の変位差が発生する。この磁化状態の変位差は、回転体20の回転角度を反映する物理量であり、具体的には、磁気抵抗効果素子31の抵抗値の変化として現れる。磁気抵抗効果素子31には、プリント配線基板70からバイアス電流が供給されており、磁気抵抗効果素子31の抵抗値の変化は、出力電圧の変化として検出される。磁気抵抗効果素子31の出力電圧は、回転体20の回転角度を示す検出信号として信号処理される。
なお、磁気抵抗効果素子31は、図3に示すように、磁気抵抗効果素子31を通過する磁束密度と、磁気抵抗効果素子31の出力電圧との関係が線形になる領域A又は領域Bで動作するように、外部磁界の強さやギャップGの平均間隔等を設計するのが好ましい。この場合、ギャップGの距離に応じて磁気センサの出力は線形性を有することとなる。また、回転体20と磁気センサ30とのスラスト方向(軸心方向)の位置関係は、回転体20の回転による芯ぶれ等によるズレを含めて回転体20が磁気抵抗効果素子31から外れない位置関係とするのが望ましい。例えば、取り付け誤差±0.5mm、芯ぶれ±0.5mm、磁気抵抗効果素子31の厚みが0.5mmとすると、回転体20の厚みは、3.0mm以上が望ましい。
図2は角度検出装置10のシステム構成を示す説明図である。
回転体20の回転中心Pを座標原点として回転体20の回転平面にXY直交座標系を定義したとき、回転体20をその回転平面(XY平面)に投影した形状(以下、平面形状と称する)は、回転中心Pで交差角度φ=(π/2)で交差する2直線が回転体20の外周と交差する二点(Q1,Q2)のそれぞれと回転中心Pとの間のそれぞれの距離(L1,L2)の和(L1+L2)が一定であり、且つ回転体20の平面形状がY=Xに関して対称であるという条件を満たす形状を有している(但し、L1は線分PQ1の線分長であり、L2は線分PQ2の線分長である。)。このような条件を満たす回転体20の平面形状は、中心角(π/2)の4個の部分楕円が結合した形状を有しており、回転体20が一回転すると、2周期分の略正弦波の検出信号が得られる。回転体20の平面形状は、Y=Xに関して対称であるという条件、及び回転体20が一回転したときに2周期分の検出信号が得られるという条件を踏まえると、4個の部分楕円の楕円比率は全部で2種類存在するという点に留意されたい。
なお、回転体20の平面形状は、谷部を有しないことが望ましい。谷部では、磁場の乱れが生じる可能性が高く、高精度な角度検出には不向きであるためである。
回転体20の外周付近には、回転中心Pに対して(π/2)の角度差で一対の磁気センサ30A,30Bが配置されるとともに、回転中心Pに対して(π/2)の角度差で他の一対の磁気センサ30C,30Dが配置されている。磁気センサ30Aと回転中心Pとを結ぶ直線91は、磁気センサ30Bと回転中心Pとを結ぶ直線92に直交しており、磁気センサ30Cと回転中心Pとを結ぶ直線93は、磁気センサ30Dと回転中心Pとを結ぶ直線94に直交している。また、隣接する磁気センサ30A,30Cは、回転中心Pに対して(π/4)の角度差で配置されており、隣接する磁気センサ30B,30Dは、回転中心Pに対して(π/4)の角度差で配置されている。このように、それぞれの磁気センサ30A,30C,30B,30Dは、回転中心Pに対して、(π/4)の角度差で固定されており、回転体20が回転したとしても、回転中心Pとそれぞれの磁気センサ30A,30C,30B,30Dとの間の距離は常に一定に保持される。
なお、図2に示す磁気センサ30A,30B,30C,30Dには、互いに区別するため、便宜上異なる符号を付してあるが、実質的には、図1に示す磁気センサ30と同一の構成を有している。このため、これらの磁気センサ30A,30B,30C,30Dを区別する必要がない場合には、単に磁気センサ30と総称する。
さて、回転体20が半回転すると、図4に示すように、磁気センサ30を通過する外部磁界の磁束密度の変化を示す波形には、1周期分の変化が現れる。回転体20をその回転中心Pを通る線分で半分に分割すると、その半分の分割体は楕円比率の異なる中心角(π/2)の2個の部分楕円が結合した形状を有しているので、図4に示す磁束密度波形は厳密な意味での正弦波形ではないものの、正弦波形に類似した波形となる。上述の如く、磁気抵抗効果素子31を通過する磁束密度と、磁気抵抗効果素子31の出力電圧との関係は、線形であるので、磁気センサ30から出力される検出信号は、正弦波に類似した波形を有する。回転体20の平面形状は回転中心Pで交差角度φ=(π/2)で交差する2直線が回転体20の外周と交差する二点(Q1,Q2)のそれぞれと回転中心Pとの間のそれぞれの距離(L1,L2)の和(L1+L2)が一定となる形状であるので、回転中心Pに対して(π/2)の角度差で配置された一対の磁気センサ30A,30Bのうち一方の磁気センサ30Aと回転体20の外周との間の第一の距離が変化すると、他方の磁気センサ30Bと回転体20の外周との間の第二の距離は第一の距離の変化に追従するように相補的に変化する。つまり、第一の距離が短くなると、その短くなった距離の分だけ第二の距離が長くなる。このため、磁気センサ30A,30Bの検出信号は、図5に示すように、90度の位相差を有している。図5において、符号81は、磁気センサ30Aの検出信号を示し、符号82は、磁気センサ30Bの検出信号を示している。なお、回転中心Pに対して(π/2)の角度差で配置された他の一対の磁気センサ30C,30Dの検出信号も同様に90度の位相差を有している。符号83は、磁気センサ30Cの検出信号を示し、符号84は磁気センサ30Dの検出信号を示す。
角度検出装置10は、既述の回転体20、及び磁気センサ30の他に、差動演算回路41,42、及び角度算出回路50を備える。差動演算回路41,42、及び角度算出回路50の各機能は、プリント配線基板70上に実装されたICチップ(図示せず)によって実現される。差動演算回路41は、一対の磁気センサ30A,30Bから出力される二つの検出信号を差動演算することにより、sin信号(差動信号)を算出する。図6の符号85は、図5に示す二つの検出信号81,82を差動演算することにより得られるsin信号を示している。このsin信号は、理想的な正弦波形に酷似した波形形状を有する略正弦波信号である。差動演算回路42は、他の一対の磁気センサ30C,30Dから出力される二つの検出信号を差動演算することによりcos信号(差動信号)を算出する。このcos信号は、理想的な正弦波形に酷似した波形形状を有する略正弦波信号であり、sin信号に対して45度の位相差をしている。角度算出回路50は、差動演算回路41から出力されるsin信号、及び差動演算回路42から出力されるcos信号を基に回転体20の回転角度を算出する。
なお、一対の磁気センサ30C,30Dは、回転体20の角度検出を行う上で必須ではなく、一対の磁気センサ30A,30Bのみで角度検出を行うことが可能である点に留意されたい。また、磁気抵抗効果素子31のフリー磁性層の長手方向は、特に限定されるものではないが、本発明者の実験によると、回転中心Pに向かう方向(回転中心方向)に磁化されているときに、特に、高精度な角度検出が得られることが確認されている。これは、フリー磁性層の長手方向が、例えば、回転中心に直行する向きに設定されていると、フリー層の長手方向全体に渡った回転角に依存する平均的な磁界を磁気抵抗素子31が検出することになり、フリー層の長手方向が回転中心に向かう方向と比較して検出誤差が大きくなることが関係しているものと考えられる。尚、磁気抵抗効果素子31としては、GMR素子、MR素子、AMR素子、TMR素子などを適用することができる。
なお、回転体20の平面形状は、上述の実施形態に限られるものではなく、2以上の任意の整数nについて、回転中心で交差角度φ=(π/n)で交差する2直線が回転体20の外周と交差する二点(Q1,Q2)のそれぞれと回転中心との間のそれぞれの距離(L1,L2)の和(L1+L2)が一定であり、且つ、回転体20の平面形状がY=tan((π/2n))Xに関して対称であるという条件を満たせばよい。このような条件を満たす回転体20の平面形状は、中心角(π/n)の2n個の部分楕円が結合した形状を有しており、回転体20が一回転すると、n周期分の検出信号が得られる。ここで、回転体20の平面形状は、Y=tan((π/2n))Xに関して対称であるという条件、及び回転体20が一回転したときにn周期分の検出信号が得られるという条件を踏まえると、2n個の部分楕円の楕円比率は全部でn種類(同じ楕円比率を有する部分楕円の組み合わせがn組)存在する点に留意されたい。また、説明の便宜上、図2では、n=2の場合を図示していが、n≧3の場合についても、図2に示す構成に類似した構成を適用し得ることを理解されたい。
本実施形態によれば、回転体20の回転中心Pで(π/2)の交差角度で交差する2直線が回転体20の外周と交差する二点(Q1,Q2)のそれぞれと回転体20の回転中心Pとの間のそれぞれの距離(L1,L2)の和(L1+L2)が一定であり、且つ、回転体20の平面形状がY=Xに関して対称である回転体20を用いているので、回転体20の回転中心Pに対して(π/2)の角度差で回転体20の外周付近に配置される一対の磁気センサ30A,30B(又は一対の磁気センサ30C,30D)から出力される検出信号を差動演算することにより得られる差動信号は、回転体20の回転角度情報を含む略正弦波信号となり、全角度(0度〜360度)範囲にわたって検出誤差の小さい角度検出を行える。また、回転体20は、回転軸60の端面に取り付けなくてもよいので、角度検出装置10の取り付け容易性に優れている。
次に、図7及び図8を参照しながら、回転体20の平面形状の算出方法について説明する。
まず、図7に示すように、実線で図示されている半楕円fと、破線で図示されている半楕円gとを組み合わせて成る略楕円形状の閉曲線を考察する。原点Pを通る直線がこの閉曲線に交差する交差点をそれぞれR1,R2とし、線分PR1の線分長をL3、線分PR2の線分長をL4とし、半楕円f及び半楕円gの関数を下式のように定義すると、原点Pを通る如何なる直線に関しても、L3+L4=一定となる。
f=x2+y2/a2=r2 …(1)
g(X)=X=2r・cosθ−F(x) …(2)
g(Y)=Y=2r・sinθ−F(y) …(3)
但し、a、rは定数である(但し、0<a<2:座標原点が閉曲線面内に存在する条件、a≠1:円を除く)。ここで、(2)式、(3)式をXY座標上で表記すると、a=0.9の場合、図9のような波形となる(r=1)。但し、aの値によっては、例えば、a=1.5の場合は、図10のように、X=0で谷と有する波形となり、a=0.5の場合は、図11のように、Y>0でX=rをとることになり、局率の符号を変える変局点を有することになる。ここで、図10、図11のような場合は、該谷部、該変局点では磁界の乱れが生じると考えられ、検出出力が安定しない可能性がある。従って、図9のような谷部、局率の符号を変える変局点を有さない回転体であることが好ましい。よって、好ましい回転体は楕円(x2+y2/a2=r2)と0<a<2の範囲(但し、a=1は除く)で谷部、局率の符号を変える変局点を有さない楕円関数の結合体である。
ここで、回転体20の平面形状が図7に示す略楕円形状の閉曲線に一致するように回転体20の平面形状を加工し、回転体20の回転中心Pを通る直線上に一対の磁気センサを対角配置した上で回転体20を回転させ、対角配置された一対の磁気センサから出力される検出信号を差動演算すると、略正弦波状の差動信号が得られることが本発明者により確認されている(特願2008−182423参照)。本発明者の知見によれば、(1)式、(2)式、及び(3)式に記載のx,y,g(X),g(Y)を、x=r(θ)cosθ,y=r(θ)sinθ,g(X)=r(θ)cosθ,g(Y)=r(θ)sinθと表記し、線分の長さr(θ)を一定とした上で、cosθをcos(θ/2)に変換し、sinθをsin(θ/2)に変換して得られる楕円関数をそれぞれF,Gと定義すると、楕円関数Fによって表される二つの部分楕円と、楕円関数Gによって表される二つの部分楕円とを結合することにより回転体20の平面形状を定義する閉曲線の関数が得られる(図8参照)。
さて、回転体20が一回転したときに2周期分の略正弦波の検出信号を得るには、図8において、L1+L2=2r=一定、且つφ=π/2となることが必要であるから、求める関数は、θ=0,π/2,π,3π/2のときに、半径rの円と交わることになる。従って、求める関数は、θ=π/4を基準に対称になることが必要である。
楕円関数Fを上記のように定義すると、下式が成立する。
F(X)=X=r(θ)cos(θ/2) …(4)
F(Y)=Y=r(θ)sin(θ/2) …(5)
加法定理を使用して(4)式及び(5)式を整理すると、下式が成立する。
F(X)=X=r(θ)cos(θ/2)
=r(θ)cos(θ−θ/2)
=r(θ)(cosθcos(θ/2)+sinθsin(θ/2))
=Xcosθ+ Ysinθ …(6)
F(Y)=Y=r(θ)sin(θ/2)
=r(θ)sin(θ−θ/2)
=r(θ)(sinθcos(θ/2)−cosθsin(θ/2))
=Xsinθ−Ycosθ …(7)
ここで、cosθ=x/r(θ),sinθ=y/r(θ)であるから、(6)式及び(7)式を整理すると、下式が成立する。
X=(1/r(θ))・(x・X+y・Y) …(8)
Y=(1/r(θ))・(X・y−Y・x) …(9)
ここで、x,yをX,Yで記すと、下式が成立する。
x=(X2−Y2)・r(θ)/(X2+Y2) …(10)
y=2XY・r(θ)/(X2+Y2) …(11)
(1)式のx,yに(10)式及び(11)式を代入すると、楕円関数Fを求めることができる。同様に、(2)式、(3)式のx,yに(10)式及び(11)式を代入すると、楕円関数Gを求めることができる。また、r(θ)は(X2+Y21/2なので、消去できる。なお、求める関数Fは、0≦θ≦π/4の角度範囲(X軸とY=Xとの間の角度範囲)において、
(X2−Y22+4X22/a2=r2(X2+Y2) …(12)
である。
なお、上述の議論は、回転中心Pで交差角度φ=(π/n)で交差する2直線が回転体20の外周と交差する二点(Q1,Q2)のそれぞれと回転中心Pとの間のそれぞれの距離(L1,L2)の和(L1+L2)が一定であり、且つ、回転体20の平面形状がY=tan((π/2n))Xに関して対称であるという条件を満たす場合にも応用できる。
一般に、下式が成立する。
cos(θ/n)=cos(1−(n−1)/n)θ …(13)
sin(θ/n)=sin(1−(n−1)/n)θ …(14)
ここで、加法定理を使用して(13)式及び(14)式に記載の三角関数内部の((n−1)/n)θを展開し、X,Yを(15)式及び(16)式のように定義した上で、x=r(θ)cosθ,y=r(θ)sinθの関係式、及び(4)式、(5)式を用いると、cos(θ/n)及びsin(θ/n)をX,Y,x,yで表記することが可能になる。
F(X)=X=r(θ)cos(θ/n) …(15)
F(Y)=Y=r(θ)sin(θ/n) …(16)
ここで、(x2+y21/2又は(X2+Y21/2を用いることで、r(θ)を消去できるので、最終的に、x,yをX,Yのみで表記できる。X,Yで表記されたx,yを(1)式、(2)式、及び(3)式に代入すると、関数F,Gを求めることができる。そして関数F,GをY=tan((π/2n))Xに関して折り返した図形を重ね合わせ、全周囲にわたり関数F,Gで定義される部分楕円を(半径rの円と交差する箇所で)交互に連続的に配置することで、回転体20の平面形状を定義する閉曲線の関数が得られる。また、本実施形態では楕円関数について説明したが、楕円に限定されずn周期を実現できる回転体に適用できることは言うまでもない。この場合、1周期分の関数に対応するx、yをn周期分に対応する関数の座標であるX、Yで表記し、x、yを1周期分の関数に代入することで、n周期分に対応する関数を求めることが可能である。
図12は実施例2に係わる角度検出装置100の概略構成を示す説明図である。
角度検出装置100は、回転軸60に固定される回転体20と、回転体20の外周付近に配置される二つの磁気センサ30E,30Fと、二つの磁気センサ30E,30Fから出力されるそれぞれの検出信号に基づいて回転体20の回転角度を出力する角度算出回路130を主要構成として備える。磁気センサ30E,30Fには、互いを区別するため、便宜上異なる符号を付してあるが、実質的には図1に示す磁気センサ30と同一の構成を有している。磁気センサ30Eは、回転体20の回転中心P上を通る一点鎖線95上に位置し、磁気センサ30Fは、回転中心P上を通る一点鎖線96上に位置している。二つの一点鎖線95,96が交差する角度は、45degである。また、回転中心Pからそれぞれの磁気センサ30E,30Fへの距離は同一である。従って、二つの磁気センサ30E,30Fは、回転体20の回転中心Pに対して45degの位相差(機械角)で回転中心Pから等距離に配置されている。磁気センサ30Eは、回転体20の回転に伴い周期的に変化する回転体20の外周と磁気センサ30Eとの間の第一の距離の変化に対応する磁界変化を検出して、正弦波形に類似した波形形状を有する第一の略正弦波信号を出力する。磁気センサ30Fは、回転体20の回転に伴い周期的に変化する回転体20の外周と磁気センサ30Fとの間の第二の距離の変化に対応する磁界変化を検出して、正弦波形に類似した波形形状を有する第二の略正弦波信号を出力する。第一及び第二の略正弦波信号は、回転体20の半回転(回転角度180deg)につき相互に90degの位相差(電気角)を有する検出信号である。説明の便宜上、磁気センサ30Eから出力される検出信号をcos信号と称し、磁気センサ30Fから出力される検出信号をsin信号と称する。角度算出回路130は、変換テーブル131を保持しており、磁気センサ30E,30Fから出力されるcos信号及びsin信号に対応する回転体20の回転角度を変換テーブル131から読み取り、読み取った回転角度を出力する。この変換テーブル131は、例えば製品出荷時又は回転軸60取り付け時などに実施されるキャリブレーションによって作成される。
ここで、変換テーブル131の作成方法について説明する。図13は、キャリブレーション実施前のcos信号201及びsin信号202を示している。キャリブレーション実施前では、cos信号201及びsin信号202の振幅及び中間値は、相互に一致していないのが通常である。そこで、cos信号201及びsin信号202のそれぞれの一周期分の波形を取り込み、cos信号201及びsin信号202のそれぞれの振幅及び中間値を算出する(なお、回転体20が半回転すると、一周期分のcos信号201及びsin信号202が出力される点に留意されたい。)。そして、図14及び図15に示すように、キャリブレーション実施後のcos信号201及びsin信号202の上限値がVT、下限値がVB、中間値が(VT+VB)/2となるように、磁気センサ30Eから出力されるcos信号201を増幅するための増幅器111の利得及びオフセット値と、磁気センサ30Fから出力されるsin信号202を増幅するための増幅器112の利得及びオフセット値をそれぞれ調整し、検出信号の振幅調整及びオフセット補正を実施する。なお、図14及び図15において、破線はキャリブレーション実施前の信号波形を示し、実線はキャリブレーション実施後の信号波形を示し、一点鎖線はオフセット補正後の中間値を示し、二点鎖線はオフセット補正前の中間値を示す。
キャリブレーション実施後のcos信号201及びsin信号202は、それぞれA/D変換器121,122によってデジタルデータに変換され、角度算出回路130に供給される。角度算出回路130は、図16及び図17に示すように、デジタル化されたcos信号201及びsin信号202を一周期分にわたって一定角度間隔でサンプリングし、サンプリングした読み取りデータを、cos信号読み取り値152、及びsin信号読み取り値153として、変換テーブル131に格納する(図18参照)例えば0.2degの回転角度の分解能を有するためには、0.1deg以下の角度精度が必要であるので、cos信号201及びsin信号202を0.1deg以下の角度精度でサンプリングし、サンプリングした読み取りデータを変換テーブル131に格納することが好ましい。なお、デジタル化されたcos信号201、及びsin信号202の一周期の時間は、上限値の間隔(又は下限値の間隔)として算出することが可能である。また、cos信号201が上限値をとるとき、又はsin信号202が中間値をとるときを0degの判定基準とすればよい。
変換テーブル131は、図18に示すように、リニア出力値151、cos信号読み取り値152、及びsin信号読み取り値153を0deg〜360degの角度範囲で対応付けている。リニア出力値151は、図20に示すように、0deg〜360degの角度範囲で直線的に単調増加するマップデータとして予め作成されている。例えば、リニア出力値151を1.0V〜4.0Vの範囲で出力したい場合には、0degのときにリニア出力値151を1.0Vとし、180degのときにリニア出力値151を2.5Vとし、359degのときにリニア出力値151を4.0Vとし、回転体20の回転角度とリニア出力値151との関係が線形になるように作成すればよい。なお、リニア値151の出力範囲は任意に調整可能であり、上述の数値に限定されるものではない。また、リニア出力値151は、0deg〜360degの角度範囲で直線的に単調減少するマップデータとして作成してもよい。
次に、上述の手順を経て作成された変換テーブル131を用いて回転体20の回転角度を求める方法について説明する。磁気センサ30E,30Fから出力されるcos信号201、及びsin信号202は、増幅器111,112によって振幅調整及びオフセット補正が実施され、更に、A/D変換器121,122によって一定角度間隔でサンプリングされ、角度算出回路130に供給される。角度算出回路130は、読み取ったcos信号201のサンプリングデータに一致するcos信号読み取り値152を変換テーブル131から検索し、検索されたcos信号読み取り値152に対応するリニア出力値151を変換テーブル131から読み出す。また、角度算出回路130は、読み取ったsin信号202のサンプリングデータに一致するsin信号読み取り値153を変換テーブル131から検索し、検索されたsin信号読み取り値153に対応するリニア出力値151を変換テーブル131から読み出す。このようにして読み出されたリニア出力値151は、回転体20の回転角度を示す信号として、D/A変換器140によってアナログデータに変換される。
このとき、角度算出回路130は、図19に示すように、cos信号201、及びsin信号202のうちその信号波形が中間値をとるときの角度に対して±22.5degの角度範囲にあるサンプリングデータを読み取るのが好ましい。例えば、0deg〜22.5degの角度範囲では、cos信号201よりもsin信号202の方が検出信号の振幅変化量が大きいため、sin信号202のサンプリングデータを読み込む。22.5deg〜67.5degの角度範囲では、sin信号202よりもcos信号201の方が検出信号の振幅変化量が大きいため、cos信号201のサンプリングデータを読み込む。67.5deg〜112.5degの角度範囲では、cos信号201よりもsin信号202の方が検出信号の振幅変化量が大きいため、sin信号202のサンプリングデータを読み込む。このように、振幅変化量の小さい信号波形のピーク付近のサンプリングデータよりも、振幅変化量の大きい中間値付近のサンプリングデータを読み取ることで、検出誤差のバラツキを抑えることができるとともに、ノイズに対する耐性を高めることができる。
なお、回転体20として、回転中心Pで(π/n)の交差角度で交差する2直線が回転体20の外周と交差する二点のそれぞれと回転中心Pとの間のそれぞれの距離の和が一定であり、且つ、回転体20を回転平面に投影した平面形状がY=tan((π/2n))Xに関して対称であるものを用いた場合には、回転中心Pに対して(π/2n)の角度差で回転中心Pから等距離に回転体20の外周付近に磁気センサ30E,30Fを配置すればよい(但し、nは2以上の任意の整数とする。)。また、cos信号201、及びsin信号202のうちその信号波形が中間値をとるときの角度に対して±π/4nの角度範囲にあるサンプリングデータを読み取るのが好ましい。
尚、実施例2に係わる角度検出方法は、実施例1の角度検出装置10にも適用できるので、その原理を簡単に説明する。例えば、図1において、磁気センサ30A,30Bからの検出信号を差動演算回路41によって差動演算して得られるsin信号と、磁気センサ30C,30Dからの検出信号を差動演算回路42によって差動演算して得られるcos信号との位相差(電気角)は、回転体20の一回転につき90degである(これは、図6に示すように、回転体20が半回転すると、sin信号とcos信号との位相差が45degになることから導かれる。)。上述の変換テーブル131と同様の変換テーブルを予め角度算出回路50に実装しておけば、角度算出回路50は、差動演算回路41,42から出力されるsin信号及びcos信号をサンプリングした上で読み取り、読み取ったサンプリングデータに対応する回転体20の回転角度を変換テーブルから検索し、検索した回転角度を出力することができる。ここで、差動演算回路41,42から出力されるcos信号及びsin信号のうちその信号波形が中間値をとるときの角度に対して±22.5degの角度範囲にあるサンプリングデータを読み取るのが好ましい。
本発明は、様々な技術分野における駆動機構に用いられる回転軸の回転角度を算出するための装置及び方法に利用できる。
10…角度検出装置 20…回転体 30…磁気センサ 31…磁気抵抗効果素子 32…ヨーク 33…磁石 41,42…差動演算回路 50…角度算出回路 60…回転軸

Claims (14)

  1. 回転軸に固定される回転体であって、前記回転体の回転中心を座標原点として前記回転体の回転平面にXY直交座標系を定義したとき、2以上の任意の整数nについて、前記回転中心で(π/n)の交差角度で交差する2直線が前記回転体の外周と交差する二点のそれぞれと前記回転中心との間のそれぞれの距離の和が一定であり、且つ、前記回転体を前記回転平面に投影した平面形状がY=tan((π/2n))Xに関して対称である回転体と、
    前記回転中心に対して(π/n)の角度差で前記回転体の外周付近に配置される第一及び第二の磁気センサであって、前記回転体の回転に伴い周期的に変化する前記回転体の外周と前記第一の磁気センサとの間の第一の距離の変化に対応する磁界変化を検出して第一の検出信号を出力する第一の磁気センサ、及び前記第一の距離の変化に追従して相補的に変化する前記回転体の外周と前記第二の磁気センサとの間の第二の距離の変化に対応する磁界変化を検出して第二の検出信号を出力する第二の磁気センサと、
    前記第一の検出信号と前記第二の検出信号とを差動演算して差動信号を出力する差動演算手段と、
    前記差動信号に基づいて前記回転軸の回転角度を算出する角度算出手段と、
    を備える角度検出装置。
  2. 請求項1に記載の角度検出装置であって、
    前記回転体を前記回転平面に投影した形状は、中心角(π/n)の2n個の部分楕円が結合した形状を有する、角度検出装置。
  3. 請求項1又は請求項2に記載の角度検出装置であって、
    前記回転体を前記回転平面に投影した形状は、谷部を有しない形状である、角度検出装置。
  4. 請求項1乃至請求項3のうち何れか1項に記載の角度検出装置であって、
    前記回転体は、強磁性体材質から成り、
    前記第一の磁気センサは、前記回転体の外周と前記第一の磁気センサとの間に磁界を発生させる第一の磁石と、前記第一の距離の変化に応じて変化する磁界に応じて前記第一の検出信号を出力する第一の磁気抵抗効果素子とを備え、
    前記第二の磁気センサは、前記回転体の外周と前記第二の磁気センサとの間に磁界を発生させる第二の磁石と、前記第二の距離の変化に応じて変化する磁界に応じて前記第二の検出信号を出力する第二の磁気抵抗効果素子とを備える、角度検出装置。
  5. 請求項4に記載の角度検出装置であって、
    前記第一の磁気抵抗効果素子は、前記回転体の回転中心方向に長手方向が設定されている第一のフリー磁性層を備え、
    前記第二の磁気抵抗効果素子は、前記回転体の回転中心方向に長手方向が設定されている第二のフリー磁性層を備える、角度検出装置。
  6. 回転軸に固定される回転体の回転中心に対して、2以上の任意の整数nについて(π/n)の角度差で前記回転体の外周付近に配置される第一及び第二の磁気センサを用いて前記回転軸の回転角度を検出する方法であって、
    前記回転中心を座標原点として前記回転体の回転平面にXY直交座標系を定義したとき、前記回転中心で(π/n)の交差角度で交差する2直線が前記回転体の外周と交差する二点のそれぞれと前記回転中心との間のそれぞれの距離の和が一定であり、且つ、前記回転体を前記回転平面に投影した平面形状がY=tan((π/2n))Xに関して対称である回転体を回転させるステップと、
    前記回転体の回転に伴い周期的に変化する前記回転体の外周と前記第一の磁気センサとの間の第一の距離の変化に対応する磁界変化を検出する前記第一の磁気センサから第一の検出信号を出力するステップと、
    前記第一の距離の変化に追従して相補的に変化する前記回転体の外周と前記第二の磁気センサとの間の第二の距離の変化に対応する磁界変化を検出する前記第二の磁気センサから第二の検出信号を出力するステップと、
    前記第一の検出信号と前記第二の検出信号とを差動演算して差動信号を出力するステップと、
    前記差動信号に基づいて前記回転軸の回転角度を算出するステップと、
    を備える角度検出方法。
  7. 請求項6に記載の角度検出方法であって、
    前記回転体を前記回転平面に投影した形状は、中心角(π/n)の2n個の部分楕円が結合した形状を有する、角度検出方法。
  8. 請求項6又は請求項7に記載の角度検出方法であって、
    前記回転体を前記回転平面に投影した形状は、谷部を有しない形状である、角度検出方法。
  9. 請求項6乃至請求項8のうち何れか1項に記載の角度検出方法であって、
    前記回転体は、強磁性体材質から成り、
    前記第一の磁気センサは、前記回転体の外周と前記第一の磁気センサとの間に磁界を発生させる第一の磁石と、前記第一の距離の変化に応じて変化する磁界に応じて前記第一の検出信号を出力する第一の磁気抵抗効果素子とを備え、
    前記第二の磁気センサは、前記回転体の外周と前記第二の磁気センサとの間に磁界を発生させる第二の磁石と、前記第二の距離の変化に応じて変化する磁界に応じて前記第二の検出信号を出力する第二の磁気抵抗効果素子とを備える、角度検出方法。
  10. 請求項9に記載の角度検出方法であって、
    前記第一の磁気抵抗効果素子は、前記回転体の回転中心方向に長手方向が設定されている第一のフリー磁性層を備え、
    前記第二の磁気抵抗効果素子は、前記回転体の回転中心方向に長手方向が設定されている第二のフリー磁性層を備える、角度検出方法。
  11. 回転軸に固定される回転体であって、前記回転体の回転中心を座標原点として前記回転体の回転平面にXY直交座標系を定義したとき、2以上の任意の整数nについて、前記回転中心で(π/n)の交差角度で交差する2直線が前記回転体の外周と交差する二点のそれぞれと前記回転中心との間のそれぞれの距離の和が一定であり、且つ、前記回転体を前記回転平面に投影した平面形状がY=tan((π/2n))Xに関して対称である回転体と、
    前記回転中心に対して(π/2n)の角度差で前記回転体の外周付近に配置される第一及び第二の磁気センサであって、前記回転体の回転に伴い周期的に変化する前記回転体の外周と前記第一の磁気センサとの間の第一の距離の変化に対応する磁界変化を検出して第一の検出信号を出力する第一の磁気センサ、及び前記回転体の回転に伴い周期的に変化する前記回転体の外周と前記第二の磁気センサとの間の第二の距離の変化に対応する磁界変化を検出して第二の検出信号を出力する第二の磁気センサと、
    前記第一及び第二の検出信号に対応する前記回転軸の回転角度を格納する変換テーブルと、
    前記第一及び第二の磁気センサから出力される前記第一及び第二の検出信号と、前記変換テーブルとを比較して、前記回転体の回転角度を出力する角度算出手段と、
    を備える角度検出装置。
  12. 請求項11に記載の角度検出装置であって、
    前記第一及び第二の検出信号は、略正弦波信号であり、
    前記角度算出手段は、前記第一及び第二の検出信号のうちその検出信号が中間値をとる角度に対して±π/4nの角度範囲にある検出信号と、前記変換テーブルとを比較して、前記回転体の回転角度を出力する、角度検出装置。
  13. 回転軸に固定される回転体の回転中心に対して、2以上の任意の整数nについて(π/2n)の角度差で前記回転体の外周付近に配置される第一及び第二の磁気センサを用いて前記回転軸の回転角度を検出する方法であって、
    前記回転中心を座標原点として前記回転体の回転平面にXY直交座標系を定義したとき、前記回転中心で(π/n)の交差角度で交差する2直線が前記回転体の外周と交差する二点のそれぞれと前記回転中心との間のそれぞれの距離の和が一定であり、且つ、前記回転体を前記回転平面に投影した平面形状がY=tan((π/2n))Xに関して対称である回転体を回転させるステップと、
    前記回転体の回転に伴い周期的に変化する前記回転体の外周と前記第一の磁気センサとの間の第一の距離の変化に対応する磁界変化を検出する前記第一の磁気センサから第一の検出信号を出力するステップと、
    前記回転体の回転に伴い周期的に変化する前記回転体の外周と前記第二の磁気センサとの間の第二の距離の変化に対応する磁界変化を検出する前記第二の磁気センサから第二の検出信号を出力するステップと、
    前記第一及び第二の検出信号に対応する前記回転軸の回転角度を格納する変換テーブルと、前記第一及び第二の磁気センサから出力される前記第一及び第二の検出信号とを比較して、前記回転体の回転角度を出力するステップと、
    を備える角度検出方法。
  14. 請求項13に記載の角度検出方法であって、
    前記第一及び第二の検出信号は、略正弦波信号であり、
    前記回転角度を出力するステップは、前記第一及び第二の検出信号のうちその検出信号が中間値をとる角度に対して±π/4nの角度範囲にある検出信号と、前記変換テーブルとを比較して、前記回転体の回転角度を出力する、角度検出方法。
JP2009030093A 2008-07-30 2009-02-12 角度検出装置、及び角度検出方法 Active JP5105201B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009030093A JP5105201B2 (ja) 2008-07-30 2009-02-12 角度検出装置、及び角度検出方法
US12/458,881 US8258782B2 (en) 2008-07-30 2009-07-27 Angle detecting apparatus and angle detecting method
CN2009101655688A CN101644561B (zh) 2008-07-30 2009-07-30 角度检测装置和角度检测方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008196456 2008-07-30
JP2008196456 2008-07-30
JP2009030093A JP5105201B2 (ja) 2008-07-30 2009-02-12 角度検出装置、及び角度検出方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010054495A true JP2010054495A (ja) 2010-03-11
JP5105201B2 JP5105201B2 (ja) 2012-12-26

Family

ID=41607654

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009030093A Active JP5105201B2 (ja) 2008-07-30 2009-02-12 角度検出装置、及び角度検出方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8258782B2 (ja)
JP (1) JP5105201B2 (ja)
CN (1) CN101644561B (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2843372A1 (en) 2013-08-29 2015-03-04 Alps Electric Co., Ltd. Angle detection device
JP2016038228A (ja) * 2014-08-06 2016-03-22 太陽誘電株式会社 変位計測装置、信号処理装置および信号処理方法
JP2020030103A (ja) * 2018-08-22 2020-02-27 Tdk株式会社 回転検出システム

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BRPI0813185B1 (pt) 2007-07-09 2023-12-19 Clearwater Holdings, Ltd Máquina eletromagnética giratória
US10230292B2 (en) 2008-09-26 2019-03-12 Clearwater Holdings, Ltd Permanent magnet operating machine
US8450997B2 (en) * 2009-04-28 2013-05-28 Brown University Electromagnetic position and orientation sensing system
JP5096442B2 (ja) * 2009-11-17 2012-12-12 株式会社日立製作所 回転角計測装置,モータシステム及び電動パワーステアリング・システム
FR2964190B1 (fr) * 2010-08-24 2013-02-08 Moving Magnet Tech Dispositif de detection magnetique de position absolue multitour
JP5141780B2 (ja) * 2011-01-12 2013-02-13 Tdk株式会社 回転角度センサ
JP5801566B2 (ja) * 2011-02-15 2015-10-28 株式会社ミクニ 回転角度検出装置
US8786279B2 (en) 2011-02-25 2014-07-22 Allegro Microsystems, Llc Circuit and method for processing signals generated by a plurality of sensors
JP2012189377A (ja) * 2011-03-09 2012-10-04 Jtekt Corp 回転角検出装置
US8729892B2 (en) * 2011-04-01 2014-05-20 Allegro Microsystems, Llc Differential magnetic field sensor structure for orientation independent measurement
US8860410B2 (en) 2011-05-23 2014-10-14 Allegro Microsystems, Llc Circuits and methods for processing a signal generated by a plurality of measuring devices
US9285438B2 (en) * 2011-09-28 2016-03-15 Allegro Microsystems, Llc Circuits and methods for processing signals generated by a plurality of magnetic field sensing elements
US10505412B2 (en) 2013-01-24 2019-12-10 Clearwater Holdings, Ltd. Flux machine
JP6205774B2 (ja) * 2013-03-22 2017-10-04 セイコーエプソン株式会社 検出回路、半導体集積回路装置、磁界回転角検出装置、及び、電子機器
CN103545990A (zh) * 2013-10-05 2014-01-29 郭惠君 电机闭环反馈装置
JP6318538B2 (ja) * 2013-10-21 2018-05-09 株式会社リコー 角度検出装置、角度検出方法
US9547048B2 (en) 2014-01-14 2017-01-17 Allegro Micosystems, LLC Circuit and method for reducing an offset component of a plurality of vertical hall elements arranged in a circle
DE102014109693A1 (de) * 2014-07-10 2016-01-14 Micronas Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Messung eines Winkels
KR20230004879A (ko) 2014-07-23 2023-01-06 클리어워터 홀딩스, 엘티디. 플럭스 장치
BR112017013581B1 (pt) * 2014-12-22 2022-11-29 Nidec Corporation Método de estimação de posição, dispositivo de estimação de posição e dispositivo de controle de posição
CN104677266B (zh) 2015-01-20 2017-11-10 江苏多维科技有限公司 强磁场误差校准的磁电阻角度传感器及其校准方法
US10267870B2 (en) 2015-02-20 2019-04-23 Analog Devices Global Detecting sensor error
GB2538342B (en) 2015-02-20 2019-10-16 Sensitec Gmbh Detecting sensor error
US9605975B2 (en) 2015-06-05 2017-03-28 Allegro Micorsystems, Llc Magnetic field sensor for orientation independent speed and direction measurement
DE102015214596A1 (de) * 2015-07-31 2017-02-02 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Ermitteln einer Position eines Rotors einer elektrischen Maschine
DE102015218945A1 (de) * 2015-09-30 2017-03-30 Infineon Technologies Ag Signalgeber mit verbesserter Ermittlung des Winkelsignals
JP2017138143A (ja) * 2016-02-02 2017-08-10 Tdk株式会社 変位検出装置および角速度検出装置
WO2019050772A1 (en) 2017-09-08 2019-03-14 Clearwater Holdings, Ltd. SYSTEMS AND METHODS FOR ENHANCING ELECTRICITY STORAGE
JP6899297B2 (ja) * 2017-09-22 2021-07-07 東洋電装株式会社 スロットル装置
CN111133849B (zh) * 2017-09-25 2021-04-13 株式会社富士 带式供料器
US11322995B2 (en) 2017-10-29 2022-05-03 Clearwater Holdings, Ltd. Modular electromagnetic machines and methods of use and manufacture thereof
CN110316088B (zh) * 2018-03-30 2023-01-10 比亚迪股份有限公司 显示装置和车辆
CN110316090B (zh) * 2018-03-30 2022-12-09 比亚迪股份有限公司 驱动装置和具有驱动装置的车辆
DE102019122360B4 (de) 2018-08-22 2024-02-01 Tdk Corporation Positionserfassungssystem
RU188545U1 (ru) * 2018-08-27 2019-04-16 Акционерное общество "Научно-производственный центр "Полюс" Емкостный дифференциальный датчик угла поворота вала
JP6969581B2 (ja) 2019-03-20 2021-11-24 Tdk株式会社 回転角度検出装置
JP2020171162A (ja) * 2019-04-04 2020-10-15 日本電産株式会社 モータ
JP2020178453A (ja) * 2019-04-18 2020-10-29 日本電産株式会社 モータ
JP2020178448A (ja) * 2019-04-18 2020-10-29 日本電産株式会社 モータ
US20210372819A1 (en) * 2020-05-28 2021-12-02 Tdk Corporation Position detection unit, lens module, and imaging apparatus
US11802922B2 (en) 2021-01-13 2023-10-31 Allegro Microsystems, Llc Circuit for reducing an offset component of a plurality of vertical hall elements arranged in one or more circles
CN114413749B (zh) * 2022-03-31 2022-06-10 苏州纳芯微电子股份有限公司 磁场感测装置及磁场感测方法
CN116203480B (zh) * 2023-04-24 2023-08-18 麦格雷博电子(深圳)有限公司 一种转子表面磁场检测纠正补偿方法及系统
CN117664195B (zh) * 2024-02-01 2024-04-26 泉州昆泰芯微电子科技有限公司 光电检测单元、光电编码器系统及电机

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03144310A (ja) * 1989-10-31 1991-06-19 Okuma Mach Works Ltd 回転位置検出装置
JP2000298036A (ja) * 1999-04-15 2000-10-24 Asmo Co Ltd 回転センサ
JP2006125594A (ja) * 2004-11-01 2006-05-18 Nsk Ltd センサ付軸受装置
JP2007078534A (ja) * 2005-09-14 2007-03-29 Yaskawa Electric Corp 磁気式エンコーダ装置
JP2007114074A (ja) * 2005-10-21 2007-05-10 Japan Aviation Electronics Industry Ltd バリアブルリラクタンス型レゾルバ
JP2007333600A (ja) * 2006-06-15 2007-12-27 Olympus Corp 回転角度センサーとこれを適用する電動湾曲内視鏡

Family Cites Families (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2541422A (en) * 1948-10-07 1951-02-13 Glenn I Kirkland Telemetric tachometer
US3327541A (en) * 1964-10-02 1967-06-27 Gen Motors Corp Signal pickoff and torque generator
US3273001A (en) * 1965-06-01 1966-09-13 Baermann Max Permanent magnet device for generating electrical energy
US3501664A (en) * 1967-07-28 1970-03-17 Nasa Angular position and velocity sensing apparatus
US3551712A (en) * 1968-07-25 1970-12-29 Kelsey Hayes Co Sensor with flexible coupling
GB1313061A (en) * 1970-07-09 1973-04-11 Hattori Tokeiten Kk Rotational device for detecting a predetermined angular position of a rotary member
US3678386A (en) * 1970-11-04 1972-07-18 Vapor Corp Apparatus for detecting motion and indicating speed
JPS56107119A (en) * 1980-01-30 1981-08-25 Nippon Denso Co Ltd Detecting device for rotational angle
US4612503A (en) * 1980-10-21 1986-09-16 Kabushiki Kaisha S G Rotation speed detection device having a rotation angle detector of inductive type
FR2565045B1 (fr) * 1984-05-22 1988-02-26 Sfena Dispositif pour la detection de la position angulaire du rotor d'une machine electrique tournante a commutation electronique
CH656776GA3 (ja) * 1984-07-27 1986-07-31
JP4002308B2 (ja) * 1995-08-10 2007-10-31 株式会社アミテック 誘導型回転位置検出装置
JPH09287911A (ja) 1996-04-24 1997-11-04 Mitsubishi Electric Corp 回転変位検出装置
KR100525845B1 (ko) * 1997-09-08 2005-11-02 가부시키가이샤 야스카와덴키 자기식 엔코더장치
JP3200405B2 (ja) 1997-10-08 2001-08-20 多摩川精機株式会社 Vr形角度検出器
DE60007202T2 (de) * 1999-03-15 2004-11-04 Goto, Atsutoshi, Fuchu Induktiver Stellungsdetektor
JP4378814B2 (ja) 1999-07-16 2009-12-09 株式会社日本自動車部品総合研究所 回転角検出装置
US6552453B2 (en) * 2000-05-23 2003-04-22 Japan Servo Co., Ltd. Magnetic pole position detector for an electric motor
US6522038B2 (en) * 2000-12-15 2003-02-18 Delphi Technologies, Inc. Integrated air control valve using contactless technology
US7127369B2 (en) * 2001-10-09 2006-10-24 Siemens Vdo Automotive Corporation Sensor assembly
JP3938501B2 (ja) * 2001-10-16 2007-06-27 三菱電機株式会社 回転角度検出装置、それを用いた永久磁石型回転電機、及び、永久磁石型回転電機を用いた電動パワーステアリング装置
DE10204926A1 (de) * 2002-02-07 2003-08-21 Philips Intellectual Property Sequentielles Computertomographie-Verfahren
JP4118755B2 (ja) * 2003-01-14 2008-07-16 株式会社日本自動車部品総合研究所 回転角センサ及びこの回転角センサを具備した回転角検出装置
JP4219826B2 (ja) 2004-01-28 2009-02-04 株式会社日本自動車部品総合研究所 回転角検出装置
US7154262B2 (en) * 2004-01-28 2006-12-26 Denso Corporation Rotation angle detecting device
JP4518911B2 (ja) * 2004-11-01 2010-08-04 ナイルス株式会社 非接触式回転角度検出センサ
DE102004057909A1 (de) * 2004-11-30 2006-06-01 Bourns, Inc., Riverside Linearer Positionssensor
JP3840489B1 (ja) * 2005-04-28 2006-11-01 Tdk株式会社 移動物体検出装置
US7427859B2 (en) * 2005-08-10 2008-09-23 Tdk Corporation Moving body detecting apparatus
US7411388B2 (en) * 2005-08-30 2008-08-12 Baker Hughes Incorporated Rotary position sensor and method for determining a position of a rotating body
JP4597907B2 (ja) * 2006-05-16 2010-12-15 株式会社デンソー 回転角検出装置
US7714570B2 (en) * 2006-06-21 2010-05-11 Allegro Microsystems, Inc. Methods and apparatus for an analog rotational sensor having magnetic sensor elements
JP5105200B2 (ja) * 2008-07-14 2012-12-19 Tdk株式会社 角度検出装置、及び角度検出方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03144310A (ja) * 1989-10-31 1991-06-19 Okuma Mach Works Ltd 回転位置検出装置
JP2000298036A (ja) * 1999-04-15 2000-10-24 Asmo Co Ltd 回転センサ
JP2006125594A (ja) * 2004-11-01 2006-05-18 Nsk Ltd センサ付軸受装置
JP2007078534A (ja) * 2005-09-14 2007-03-29 Yaskawa Electric Corp 磁気式エンコーダ装置
JP2007114074A (ja) * 2005-10-21 2007-05-10 Japan Aviation Electronics Industry Ltd バリアブルリラクタンス型レゾルバ
JP2007333600A (ja) * 2006-06-15 2007-12-27 Olympus Corp 回転角度センサーとこれを適用する電動湾曲内視鏡

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2843372A1 (en) 2013-08-29 2015-03-04 Alps Electric Co., Ltd. Angle detection device
JP2016038228A (ja) * 2014-08-06 2016-03-22 太陽誘電株式会社 変位計測装置、信号処理装置および信号処理方法
JP2020030103A (ja) * 2018-08-22 2020-02-27 Tdk株式会社 回転検出システム

Also Published As

Publication number Publication date
CN101644561A (zh) 2010-02-10
US8258782B2 (en) 2012-09-04
US20100026282A1 (en) 2010-02-04
CN101644561B (zh) 2011-08-31
JP5105201B2 (ja) 2012-12-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5105201B2 (ja) 角度検出装置、及び角度検出方法
JP5105200B2 (ja) 角度検出装置、及び角度検出方法
CN101939623B (zh) 旋转角度检测装置、旋转机及旋转角度检测方法
JP6663421B2 (ja) デュアルz軸磁気抵抗角度センサ
JP4907770B2 (ja) フラックスゲート・センサを使用する位置エンコーダ
JP2011038855A (ja) 磁気センサ
CN101629802A (zh) 角度检测装置和角度检测方法
JP5062454B2 (ja) 磁気センサ
JP5434850B2 (ja) 回転角・トルクセンサ
JP5545121B2 (ja) 回転角・トルクセンサ
JP2006208252A (ja) 角度検出装置
JP5762567B2 (ja) 回転角度検出装置
JP6390608B2 (ja) 移動検出装置
JP5170457B2 (ja) 角度検出装置
CN114072636A (zh) 位置感测电路、位置感测系统、磁体构件、位置感测方法和程序
JP2012230021A (ja) 回転角度計測装置
JP2014081314A (ja) 回転角検出装置
JP5566871B2 (ja) 回転検出装置
JP2009192263A (ja) 回転検出装置
JP2015049046A (ja) 角度検出装置
JP5062453B2 (ja) 磁気センサ
JP5614046B2 (ja) ルックアップテーブル生成方法、角度センサ、及びスケール
JP5071742B2 (ja) トルク検出装置
JP5407077B2 (ja) トルクセンサ及びトルク検出方法
JP2020153981A (ja) 回転部材の少なくとも1つの回転パラメータを決定するシステム

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110917

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120810

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120906

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120919

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5105201

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151012

Year of fee payment: 3