JP4907770B2 - フラックスゲート・センサを使用する位置エンコーダ - Google Patents
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Description
(発明の分野)
本発明は、位置エンコーダに関し、より具体的には、フラックスゲート・センサを使用して、固定基準に関する可動物体の位置の一次関数である出力信号を生成する位置エンコーダに関する。
【0002】
(発明の背景)
一般に、位置エンコーダは、固定基準点に関する可動物体の瞬間的な物理的位置を求め、このような位置情報を処理ツールが使用できる形式に変換する装置である。通常、位置エンコーダは、位置情報を電気信号に変換し、その電気信号をアナログまたはディジタル信号プロセッサに供給する。位置エンコーダは、回転シャフトまたはトロイダル構造の場合のように角位置を求めるものもあれば、スライド式制御アクチュエータの場合のように線形位置を求めるものもある。理想的な位置エンコーダは、可動物体の位置の一次関数である出力信号を生成する。経時的にサンプリングした瞬間的な位置情報を使用すると、速度や加速度など、位置の高次導関数を求めることができる。
【0003】
典型的な位置エンコーダは、機械的、電気的(たとえば、容量センサ)、光学的、または磁気的に動作する。機械的エンコーダは可動物体との物理的な接触をあてにするものであり、可動物体上のアクチュエータが電気機械変換器と物理的に相互作用して電気信号を生成する。光学エンコーダは可動物体に関連する照射マーキングから反射した光を受け取り、受け取った光の変動を電気信号に変換する。磁気エンコーダは、通常、フラックスゲート・センサ、磁気抵抗センサ、巨大磁気抵抗センサ、またはホール効果センサのいずれかを使用する。フラックスゲート・センサ磁気エンコーダは、フラックスゲート・センサを使用して可動物体に取り付けられた磁気素子によって発生した磁界を検出し、大きさや極性など磁界の諸相を物体の位置および運動方向に対応する電気信号に変換する。ホール効果センサ磁気エンコーダは、導電導体上の磁界のホール効果を変換して、物体の位置に対応する信号を生成する。フラックスゲート位置エンコーダは、数桁分、ホール効果位置エンコーダより敏感であり、したがって、磁界を発生する磁気素子に極めて接近してセンサを設けることが困難と思われる応用例では好ましいものである。たとえば、磁気素子を取り入れて自動車のタイヤの角位置を求めるための応用例では、道路の泥、オイル、グリース、氷、雪によって発生した苛酷な環境のためにホール効果センサが必要とする近接性を維持することが困難であるが、フラックスゲート・センサは数インチの距離をおいて動作することができる。
【0004】
フラックスゲート・センサは、感知軸に沿って配置されたコアの周りに1回または数回巻き付けた電気導体を含む。このコアは、鉄とニッケルの合金などの透磁性の高い材料を含む、任意の磁気飽和材料にすることができる。高い透磁性と低い保磁力を示す可飽和合金が好ましい。外部駆動回路は、一方の極性と反対極性とで交互に飽和するようにセンサを駆動する。この外部駆動回路は、コアが飽和するまで一方向に巻線を通る電流を駆動する。コアが飽和すると、駆動回路は、コアが反対極性で飽和するまで巻線内の電流を逆転させる。外部磁界がない場合、駆動回路が各方向に電流を駆動する時間量は同じになり、すなわち、時間の関数としての巻線を通る電流の波形は左右対称になる。外部磁界の存在は一方の極性でのコアの飽和を「助ける」(すなわち、強化する)が、外部磁界は反対極性でのコアの飽和を妨げる。したがって、外部磁界がある場合、時間の関数としての巻線を通る電流の波形は非対称になる。というのは、外部磁界によって強化される飽和の極性の方がより迅速に飽和が発生するからである。この非対称の量は、大きさや方向など、外部磁界の特性を求めるために使用することができる。
【0005】
磁気素子の二極性により、回転磁気素子の外周部での位置および向きが固定されているフラックスゲート・センサは周期的なシヌソイド出力を発生する。同様に、その極軸に沿って移動可能な磁気素子に平行して位置および向きが固定されているフラックスゲート・センサは、磁気素子がフラックスゲート・センサを通り過ぎて極間を移動すると、ほぼ1サイクル分のシヌソイドを発生する。従来技術のフラックスゲート位置エンコーダは、磁気素子の位置の一次関数である出力信号に対して、フラックスゲート・センサから結果として得られるシヌソイドをマッピングする。このようなマッピングは、大量の処理資源を必要とし、エラーが発生しやすい。というのは、結果として得られるシヌソイドは真の閉形シヌソイドではなく、温度やシャフトの振れ(すなわち、回転軸の移動)などの様々な要因によって形状が変化する傾向があるからである。シヌソイドの形状が変化すると、マッピング機能の出力は線形ではなくなり、位置表現にエラーをもたらすことになる。このマッピング機能は、このような変動を補償するために適応型になるよう設計することができるが、適応マッピング機能はマッピングの複雑さをさらに増すことになる。
【0006】
シヌソイドはそのゼロ交差(すなわち、シヌソイドが正から負へまたはその逆に変化するところ)の領域内で実質的に線形であるので、従来技術のフラックスゲート位置エンコーダの中には、フラックスゲート・センサの出力を直接使用し、センサ出力が線形範囲に拘束されるように磁気素子の運動範囲を制限するものもある。この制限された運動範囲はこのタイプのエンコーダにとって重大な欠点である。さらに、制限された運動範囲内でも、磁気素子の運動によって出力がシヌソイドのゼロ交差から離れるにつれてエラー(真の線形伝達関数に関するもの)が増加する。
【0007】
従来技術の位置エンコーダにとってもう1つの欠点は振れに対する感度である。振れは、可動物体の所期の移動経路からの移動として定義されている。たとえば、回転位置エンコーダの可動物体は、通常、回転軸の周りを回転するシャフトであり、シャフトが回転するとシャフトの外周部が環状エンベロープを維持するようになっている。軸受けが経時的に摩滅するにつれて、理想的な回転軸の周りの回転は偏心的なものになる可能性があり、シャフトが回転するにつれてシャフトの外周部が変則エンベロープをたどるようになる。このような理想的な環状エンベロープからの逸脱は当技術分野では振れと呼ばれている。線形位置エンコーダの場合、可動物体は線形軸に沿って理想的に移動する。可動物体の運動がこの移動(たとえば、横方向の移動)の線形軸から逸脱すると振れが発生する。
【0008】
本発明の一目的は、以下に明らかになるその他の利点を提供しながら、前述の欠点を実質的に克服するかまたは低減する位置エンコーダを提供することにある。
【0009】
(発明の概要)
本発明は、基準位置に対する移動体の位置を表す出力を供給するための位置エンコーダである。このシステムは、移動体に固定して取り付けられ、極軸に沿って配置された対向磁極を有し、磁界を発生する少なくとも1つの磁気素子を含む。本発明のいくつかの形態では、磁気素子と移動体を単一の統合ユニットに結合することができる。このシステムは、磁界を検出するための第1の空間的に直交するフラックスゲート・センサ対と第2の空間的に直交するフラックスゲート・センサ対とをさらに含む。第1のセンサ対は第1の所定の距離をおいて極軸に隣接して配置され、第2の対は第2の所定の距離、たとえば、第1の所定の距離の2倍の距離をおいて極軸に隣接して配置される。このシステムは、第1のセンサ対からの信号と第2のセンサ対からの信号を受け取るための信号プロセッサをさらに含む。信号プロセッサは、移動体の相対位置と、第1のセンサ対からの信号と第2の対からの信号の関数とを表す出力信号を生成する。好ましい実施形態では、結果として得られる出力信号と移動体の位置との関係は実質的に線形になる。
【0010】
他の実施形態では、出力信号は移動体の相対角位置を表す情報を含み、移動体は回転軸を有する回転シャフトを含む。回転磁気素子は、回転軸に対して実質的に垂直な平均軸直角平面を定義する。
【0011】
他の実施形態では、第1のセンサ対と第2のセンサ対はそれぞれ、磁界の動径成分を感知するための動径センサと、磁界の接線成分を感知するための接線センサとを含む。好ましくは、第1のセンサ対の動径センサは動径成分信号を生成するために第2のセンサ対の動径センサに直列に対向して電気的に接続され、第1のセンサ対の接線センサは接線成分信号を生成するために第2のセンサ対の接線センサに直列に対向して電気的に接続される。
【0012】
他の直線実施形態では、すべてのセンサは回転軸に対して垂直で平均軸直角平面内のセンサ軸に沿って配置されている。第1のセンサ対の接線センサは距離R1をおいて配置され、第2のセンサ対の接線センサは距離R2をおいて配置され、第1のセンサ対の動径センサは距離R3をおいて配置され、第2のセンサ対の動径センサは距離R4をおいて配置される。好ましくは、距離R1、R2、R3、R4は、第1の比率R3/R1が実質的に21/3に等しくなり、第2の比率R4/R2が実質的に21/3に等しくなり、第3の比率R2/R1が実質的に2に等しくなり、第4の比率R4/R3が2に等しくなるように選択される。
【0013】
他の実施形態では、移動体の位置が直線位置を含み、移動体が極軸に対して平行な運動軸に沿って配置された細長い棒状要素を含む。第1および第2のフラックスゲート・センサ対は基準位置に対して固定されている。好ましくは、第1のセンサ対と第2のセンサ対はそれぞれ、磁界の動径成分を感知するための動径センサと、磁界の接線成分を感知するための接線センサとを含む。好ましくは、第1のセンサ対の動径センサは動径成分信号を生成するために第2のセンサ対の動径センサに直列に対向して電気的に接続され、第1のセンサ対の接線センサは接線成分信号を生成するために第2のセンサ対の接線センサに直列に対向して電気的に接続される。
【0014】
他の実施形態では、すべてのセンサは線形運動軸に対して実質的に垂直な軸に沿って配置され、第1のセンサ対の接線センサは距離R1をおいて配置され、第2のセンサ対の接線センサは距離R2をおいて配置され、第1のセンサ対の動径センサは距離R3をおいて配置され、第2のセンサ対の動径センサは距離R4をおいて配置される。好ましくは、距離R1、R2、R3、R4は、第1の比率R3/R1が実質的に21/3に等しくなり、第2の比率R4/R2が実質的に21/3に等しくなり、第3の比率R2/R1が実質的に2に等しくなり、第4の比率R4/R3が2に等しくなるように選択される。
【0015】
本発明の他の実施形態では、このシステムは複数の磁気素子を含み、それぞれが極性の向きを定義するために極軸に沿って配置された対向磁極を有する。それぞれの磁気素子は磁界を発生し、すべての磁気素子は移動体の周りに均一に分散され、移動体に固定して取り付けられ、隣接磁気素子の極性の向きが交番するようになっている。このシステムは、2つの隣接磁気素子の隣接極に実質的に整列し、基準位置に関して固定された1対のフラックスゲート・センサ対をさらに含む。また、このシステムは、1対のフラックスゲート・センサ対からの第1の信号と第2の信号を受け取るための信号プロセッサも含み、第1の信号は2つの隣接磁気素子のうちの第1の磁気素子からの磁界を表し、第2の信号は2つの隣接磁気素子のうちの第2の磁気素子からの磁界を表す。信号プロセッサは、移動体の位置と、第1の信号と第2の信号の関数とを表す出力信号を生成する。
【0016】
本発明の他の実施形態では、このシステムは、長さLを有し、極軸に沿って配置された対向磁極を有する細長い磁気素子を含む。このシステムは、極軸から延びて極軸に対して実質的に垂直な第1のセンサ軸に沿って配置された第1のフラックスゲート・センサと第2のフラックスゲート・センサとをさらに含む。第1のセンサは第1の所定の距離R1をおいて配置され、第2のセンサは第2の所定の距離R2をおいて配置される。このシステムは、極軸から延びて極軸に対して実質的に垂直な第2のセンサ軸に沿って実質的に磁石長Lの半分である前記第1のセンサ軸からの距離Dをおいて配置された第3のフラックスゲート・センサと第4のフラックスゲート・センサとをさらに含む。第3のセンサは前記第1の所定の距離R1をおいて配置され、第4のセンサは前記第2の所定の距離R2をおいて配置される。このシステムは、第1、第2、第3、第4のフラックスゲート・センサからの複数の信号を受け取り、複数の信号の関数として移動体の位置を表す出力信号を生成するための信号プロセッサをさらに含み、移動体の運動範囲は実質的に長さLより大きい。
【0017】
さらに、他の実施形態では、このシステムは、回転可能移動体に固定して取り付けられ、移動体の回転から片寄っている磁気素子を含み、磁気素子が移動体に関して偏心して回転するようになっている。このシステムは、磁界の動径成分を検出するための動径フラックスゲート・センサをさらに含む。動径センサは第1の所定の距離をおいて極軸に隣接して配置される。このシステムは、磁界の接線成分を検出するための接線フラックスゲート・センサを含む。接線センサは第2の所定の距離をおいて極軸に隣接して配置される。このシステムは、動径センサからの信号と接線センサからの信号を受け取るための信号プロセッサをさらに含む。信号プロセッサは、動径センサからの少なくとも1つの信号と接線センサからの少なくとも1つの信号の関数として移動体の相対位置を表す出力信号を生成する。好ましくは、結果として得られる出力信号と移動体の位置との関係は、ある範囲の角位置について実質的に線形になる。
【0018】
本発明の上記その他の目的、その様々な特徴、ならびに本発明そのものは、添付図面とともに読んだ場合に上記の説明から、より完全に理解されるだろう。
【0019】
(発明の詳細な説明)
本発明は、好ましくは固定基準に関する可動物体の位置の一次関数である電気出力信号を生成するための改良された位置エンコーダを対象とする。図1は、第1の空間的に直交するフラックスゲート・センサ対102と、第2の空間的に直交するフラックスゲート・センサ対104と、磁気素子106と、プロセッサ108とを含み、本発明による改良された位置エンコーダ100の好ましい一実施形態の概略図を示している。
【0020】
第1のセンサ対102は第1の接線センサ110と第1の動径センサ112とを含む。第2のセンサ対104は第2の接線センサ114と第2の動径センサ116とを含む。
【0021】
磁気素子106は、極軸PAに沿って配置されたN極118とS極120とを含む。磁気素子106は、平均軸直角平面を定義するように回転軸RAの周りを回転する。回転軸RAは、N極118とS極120のほぼ中間で極軸と交差し、極軸PAに対して実質的に垂直である。
【0022】
第1の接線センサ110と、第1の動径センサ112と、第2の接線センサ114と、第2の動径センサ116は、平均軸直角平面内に位置するセンサ軸SAに沿って配置されている。第1の接線センサ110の縦の中心線は、好ましくは、所定の距離R1をおいてセンサ軸SAに沿って配置されている。第1の動径センサ112の中心点は、好ましくは、所定の距離R3をおいてセンサ軸SAに沿って配置されている。第2の接線センサ114の中心点は、好ましくは、所定の距離R2をおいてセンサ軸SAに沿って配置されている。第2の動径センサ116は、所定の距離R4をおいてセンサ軸SAに沿って配置されている。第1の接線出力信号HT1を生成する第1の接線センサ110と、第2の接線出力信号HT2を生成する第2の接線センサ114は、複合接線センサ出力信号HT=HT1−HT2をプロセッサ108に供給するために、図1に示すように直列に対向して電気的に接続されている。第1の動径磁気出力信号HR1を生成する第1の動径センサ112と、第2の動径磁気出力信号HR2を生成する第2の動径センサ116は、複合動径センサ出力信号HR=HR1−HR2をプロセッサ108に供給するために、図1に示すように直列に対向して電気的に接続されている。本明細書では場合によっては信号を「磁気」信号と記載するが、このような信号は磁界の現象を表すものであり、信号自体は電気、磁気、あるいは当業者にとって既知のその他のタイプのものにできることに留意されたい。直列に対向して接続された複数のセンサに共通の均質磁界により、両極性を有するセンサ巻線で複数の電流成分が発生する。結果として得られるこのような電流成分は打ち消し合い、したがって、直列に対向して接続された複数のセンサ(たとえば、センサ110、114とセンサ112、116)は共通の均質磁界をはねつける傾向がある。
【0023】
回転軸RAの周りを磁気素子106が回転すると、図1に示すように、極軸PAからセンサ軸SAまでの回転角θが定義される。回転軸RAから所与の距離の場合、個々のセンサ出力信号HTnおよびHRn(nが1または2のいずれかである場合)は以下の2つの式で示すようにθの関数になる。
【式1】
【式2】
式中、kは比例定数である。一定の回転角θの場合、センサ出力信号HTnおよびHRnもR-3に比例して変動するが、この場合、Rは回転軸から個々のセンサまでの距離である。動径センサ出力信号の大きさは所与の距離Rのときに接線センサ出力信号の大きさの2倍になるので、所与の回転角θのときに動径信号振幅と接線信号振幅が等しくなるように、R-3変動を使用し、動径/接線センサ対のセンサをそれぞれ異なる距離に配置することが可能である。図1に示すように、第1の接線センサ110は回転軸RAから距離R1をおいてセンサ軸SAに沿って配置され、第1の動径センサ112は回転軸RAから距離R3をおいてセンサ軸SAに沿って配置されている。距離R1およびR3は、R3/R1という比率が実質的に21/3に等しくなるように選択される。同様に、距離R2およびR4は、R4/R2という比率が実質的に21/3に等しくなるように選択される。信号振幅がR-3変動するので、このような配置の結果、所与の回転角θの場合に動径信号振幅と接線信号振幅が等しくなる。
【0024】
接線センサ110および114は直列に対向して電気的に接続され、動径センサ112および116は直列に対向して電気的に接続されているので、これらの電気的に接続された対は両方のセンサに共通の均質外部磁界(たとえば、地球の磁界)をはねつける。その結果、電気的に接続されたセンサ(すなわち、110と114または112と116)が回転軸RAから同じ距離をおいてセンサ軸SAに沿って配置されている場合、これらのセンサは磁気素子106が発生した局所磁界もはねつけることになる。しかし、電気的に接続されたセンサが回転軸RAから等しくない距離をおいてセンサ軸SAに沿って配置されている場合、磁気素子106からの距離の関数として磁界強度がR-3変動するので、電気的に接続されたセンサは各センサが検出する磁界強度間の差に等しい正味出力を同時に生成することになる。たとえば、図1に示す本発明の図示の実施形態では、比率R2/R1=2である場合、磁界強度がR-3変動するので、第1の接線センサ出力信号HT1は第2の接線センサ出力信号HT2より8倍大きいものになる。したがって、複合接線センサ出力信号HTは、より近い個々のセンサ(すなわち、第1の接線センサ110)が発生した信号の7/8または87.5%になる。同様に、比率R4/R3=2である場合、第1の動径センサ出力信号HR1は第2の動径センサ出力信号HR2より8倍大きいものになり、複合動径センサ出力信号HRは、より近い個々のセンサ(第1の動径センサ112)が発生した信号の7/8または87.5%になる。
【0025】
プロセッサ108は、複合接線センサ出力信号HTと複合動径センサ出力信号HRを受け取り、以下のアルゴリズムにより、この2つの出力信号を合成して出力信号OUT1を生成する。
【式3】
磁気素子106の二極性により、センサ出力信号HTおよびHRは実質的に回転角θのシヌソイド関数になるが、式3によって定義されるプロセッサ108の出力信号OUT1は実質的に回転角θの一次関数になる。出力信号OUT1は比率計によるものであり(すなわち、この出力はそれぞれの実際値ではなく接線磁界の大きさと動径磁界の大きさの比率によって決まる)、この比率に入力を提供するセンサは平均軸直角平面内の同じ半径に沿って配置されているので、出力OUT1は実質的に振れによるエラーを免れる。振れは、パーセントベースで距離R1、R2、R3、R4に小さい変化を発生する傾向がある。接線/動径センサ対は比較的互いに接近して位置しているので、距離R1、R2、R3、R4のわずかな変化は式3のHT/HR比率にあまり影響しない。したがって、通常のシャフトの振れは本発明のこの実施形態の線形性または正確さにあまり影響しない。
【0026】
図2Aは、第1の空間的に直交するフラックスゲート・センサ対202と、第2の空間的に直交するフラックスゲート・センサ対204と、磁気素子206と、プロセッサ208とを含み、本発明による改良された位置エンコーダ200の他の実施形態の概略図を示している。
【0027】
第1のセンサ対202は第1の接線センサ210と第1の動径センサ212とを含む。第2のセンサ対204は第2の接線センサ214と第2の動径センサ216とを含む。
【0028】
磁気素子206は、極軸PAに沿って配置されたN極218とS極220とを含む。磁気素子206は、実質的に極軸PAと同一線上にある線形軸LAに沿って移動する。本発明の他の実施形態では、磁気素子206は可動物体(図示せず)に固定して取り付けることもできる。
【0029】
第1の接線センサ210と、第1の動径センサ212と、第2の接線センサ214と、第2の動径センサ216は、線形軸LAに対して実質的に垂直なセンサ軸SAに沿って配置されている。第1の接線センサ210の縦の中心線は、好ましくは、所定の距離R1をおいてセンサ軸SAに沿って配置されている。第1の動径センサ212のおおよその中心点は、好ましくは、所定の距離R3をおいてセンサ軸SAに沿って配置されている。第2の接線センサ214の縦の中心線は、好ましくは、所定の距離R2をおいてセンサ軸SAに沿って配置されている。第2の動径センサ216のおおよその中心点は、所定の距離R4をおいてセンサ軸SAに沿って配置されている。第1の接線出力磁気信号HT1を生成する第1の接線センサ210と、第2の接線出力磁気信号HT2を生成する第2の接線センサ214は、複合接線センサ出力磁気信号HT=HT1−HT2をプロセッサ208に供給するために、図2Aに示すように直列に対向して電気的に接続されている。第1の動径出力信号HR1を生成する第1の動径センサ212と、第2の動径出力信号HR2を生成する第2の動径センサ216は、複合動径センサ出力信号HR=HR1−HR2をプロセッサ208に供給するために、図2Aに示すように直列に対向して電気的に接続されている。直列に対向して接続された複数のセンサに共通の均質磁界により、両極性を有するセンサ巻線で複数の電流成分が発生する。結果として得られるこのような電流成分は打ち消し合い、したがって、直列に対向して接続された複数のセンサ(たとえば、センサ210、214とセンサ212、216)は共通の均質磁界をはねつける傾向がある。
【0030】
線形軸LAに沿って磁気素子206が移動すると、図2Aに示すように、磁気素子206の中心線222からセンサ軸SAまでのオフセット距離ODが定義される。図1に記載した実施形態と同様に、個々のセンサ出力信号HTnおよびHRn(nは1または2である)はオフセット距離ODの準シヌソイド関数になる。一定のオフセット距離ODの場合、センサ出力信号HTnおよびHRnもほぼR-3に比例して変動するが、この場合、Rは極軸PAから個々のセンサまでの距離である。センサから極軸までの距離が2L(Lが磁石206の極間長である場合)より小さい場合、その変動は、実際の距離に応じて、R-2またはR-1としてより正確に表すことができる。動径センサ出力信号の大きさは所与の距離Rのときに接線センサ出力信号の大きさの2倍になるので、所与のオフセット距離ODのときに両方の信号の大きさが等しくなるように、R-3変動を使用し、動径/接線センサ対のセンサをセンサ軸に沿ってそれぞれ異なる距離に配置することが可能である。図2Aに示すように、第1の接線センサ210は極軸PAから距離R1をおいてセンサ軸SAに沿って配置され、第1の動径センサ212は極軸PAから距離R3をおいてセンサ軸SAに沿って配置されている。距離R1およびR3は、R3/R1という比率が実質的に21/3に等しくなるように選択される。同様に、距離R2およびR4は、R4/R2という比率が実質的に21/3に等しくなるように選択される。信号の大きさがR-3変動するので、このような配置の結果、所与のオフセット距離ODの場合に動径信号の大きさと接線信号の大きさが等しくなる。
【0031】
接線センサ210および214は直列に対向して電気的に接続され、動径センサ212および216は直列に対向して電気的に接続されているので、これらの電気的に接続された対は両方のセンサに共通の均質外部磁界(たとえば、地球の磁界)をはねつける。その結果、電気的に接続されたセンサ(すなわち、210と214または212と216)が極軸PAから同じ距離をおいてセンサ軸SAに沿って配置されている場合、これらのセンサは磁気素子206が発生した局所磁界もはねつけることになる。しかし、電気的に接続されたセンサが極軸PAから等しくない距離をおいてセンサ軸SAに沿って(または動径成分センサの場合はPAから等しい距離をおいて極軸PAの両側に)配置されている場合、磁気素子206からの距離の関数として磁界強度がほぼR-3変動するので、電気的に接続されたセンサは各センサが検出する磁界強度間の差に等しい正味出力を同時に生成することになる。図2Aに示す本発明の実施形態では、比率R2/R1=2である場合、磁界強度がR-3変動するので、第1の接線センサ出力磁気信号HT1は第2の接線センサ出力磁気信号HT2より8倍大きいものになる。したがって、複合接線センサ出力信号HTは、より近い個々のセンサ(すなわち、第1の接線センサ210)が発生した信号の7/8または87.5%になる。同様に、比率R4/R3=2である場合、第1の動径センサ出力HR1は第2の動径センサ出力信号HR2より8倍大きいものになり、複合動径センサ出力HRは、より近い個々のセンサ(すなわち、第1の動径センサ212)が発生した信号の7/8または87.5%になる。R2/R1およびR4/R3というその他の比率を使用して、同様の結果を得ることもできる。
【0032】
プロセッサ208は、複合接線センサ出力信号HTと複合動径センサ出力信号HRを受け取り、以下のアルゴリズムにより、この2つの出力信号を合成してOUT2を生成する。
【式4】
磁気素子206の二極性により、センサ出力信号HTおよびHRはオフセット距離ODの準シヌソイド関数になるが、式4によって定義されるプロセッサ208の出力OUT2は実質的にオフセット距離ODの一次関数になる。この出力は比率計によるものであり、すなわち、この出力はそれぞれの実際値ではなく接線磁界の大きさと動径磁界の大きさの比率によって決まるので、出力OUT2は実質的に振れによるエラーを免れる。振れは、パーセントベースで距離R1、R2、R3、R4に小さい変化を発生する傾向がある。接線/動径センサ対は比較的互いに接近して位置しているので、距離R1、R2、R3、R4のわずかな変化は式4のHT/HR比率にあまり影響しない。したがって、磁気素子206が線形運動軸から離れる通常の振れは本発明のこの実施形態の線形性または正確さにあまり影響しない。
【0033】
図2Bは、図2Aに示す実施形態の変形形態を示している。図2Bの動径センサ212および216は、等しい距離R3をおいて磁気素子206の両側に位置している。磁気素子206の両側の磁界の動径成分は両方向に向いており、センサ212および216は、直列に対向して配置されると、両方のセンサに共通の磁界をはねつけながら、磁気素子206の動径成分を等しく合算することになる。
【0034】
図3は、磁気素子206の運動とセンサ出力との関係を式3のアルゴリズムが線形化する程度をグラフ形式で示している。図3の縦軸250は10倍したガウス単位でセンサの出力を表しており、横軸252はセンサ軸SAに対する磁気素子106の位置をミリ単位で表している。横軸上のゼロは、センサ軸SAがN極218とS極220の中間で極軸PAと交差する点を表している。第1の曲線254は複合接線センサ出力磁気信号HTを表し、第2の曲線256は複合動径センサ出力磁気信号HRを表し、第3の曲線258はプロセッサ208の出力OUT2を表している。いずれの複合センサ出力信号も重大なシヌソイド特性を備えていないが、出力OUT2は実質的に線形であり、オフセット距離ODが±20mm、±24mm、±28mmのときに線形性エラーがそれぞれ0.46%、1.08%、1.37%になる。R1(第1の接線センサ210から極軸PAまでの距離)が磁気素子206の極間の長さの約0.36%であるときに、このような結果になる。図3に示す曲線を発生する例示的な実施形態では、磁気素子206の極間の長さは50mmであり、距離R1は18mmである。
【0035】
図4は、第1のフラックスゲート・センサ302と、第2のフラックスゲート・センサ304と、磁気素子306と、円筒形のシャフトなどの回転可能可動物体308と、プロセッサ310とを含み、本発明による改良された位置エンコーダ300の他の実施形態の概略図を示している。磁気素子306は、極軸PAに沿って配置されたN極312とS極314とを含む。回転可能可動物体308は、平均軸直角平面を定義するように回転軸RAの周りを回転する。磁気素子306は、平均軸直角平面内の回転可能可動物体308に固定して取り付けられ、回転軸RAから片寄っており、極軸PAが回転可能可動物体308の放射軸(すなわち、回転軸RAを通過する軸)に対して平行になり、回転軸RAから極軸PAまでの距離が所定の距離R3になるようになっている。回転可能可動物体308の角位置は、第1のセンサ軸SA1などの固定基準と物体308の半径との角度であるθによって記述される。回転可能物体308と取り付けられた磁気素子306が図5に示す位置になると、角度θ=0になる。
【0036】
第1のセンサ302は、回転軸RAと交差する第1のセンサ軸SA1に沿って配置されている。第1のセンサ302から回転軸RAまでの距離は所定の距離R1である。第2のセンサ304は、回転軸RAと交差する第2のセンサ軸SA2に沿って配置され、第1のセンサ軸SA1に対して実質的に垂直になっている。第2のセンサ302から回転軸RAまでの距離は所定の距離R2である。接線出力信号HTを生成する第1のセンサ302と、動径出力信号HRを生成する第2の接線センサ304は、複合センサ出力信号HC=HT+HRをプロセッサ308に供給するために、図4に示すように直列に電気的に接続されている。
【0037】
図5は、複合信号HCおよび理想的なシヌソイド320とともにセンサ出力HTおよびHRをグラフで示している。理想的なシヌソイド320は符号移行領域内でいくらか線形になるが(θ=0)、このシヌソイドは角位置θが±90度に近づくにつれて著しく非線形になる。HTおよびHRに対応する曲線が示すように、磁気素子306を回転軸RAから偏心して片寄らせると、線形領域が大幅に延長される。曲線HCが示すように、この2つのセンサ出力を合計すると、線形領域がほぼ±90度までさらに延長される。真の線形性に関する曲線HCの標準偏差は約0.78%である。
【0038】
図4に示す配置の有用性の一態様は、角位置θの範囲が180度程度に制限されている限り、プロセッサ310が複雑なマッピング機能を実行する必要がないことである。このような応用例では、プロセッサ310は、出力OUT3を駆動し、出力OUT3を受け取る外部装置からセンサ302および304を分離するために、単純なバッファ回路だけを含んでいればよい。
【0039】
図6Aは、第1のフラックスゲート・センサ402と、第2のフラックスゲート・センサ404と、第3のフラックスゲート・センサ406と、第4のフラックスゲート・センサ408と、磁気素子410と、プロセッサ412とを含み、本発明による改良された位置エンコーダ400の他の実施形態の概略図を示している。図示の実施形態では、4つのセンサ402、404、406、408はいずれも、極軸PAに対して実質的に垂直な方向に磁界成分を検出するように向けられているが、当業者であれば、センサがその他の向きになっていても同様の結果が得られることが分かるだろう。磁気素子410は、極軸PAに沿って配置されたN極414とS極416とを含む。磁気素子410は、実質的に極軸PAと同一線上にある線形軸LAに沿って移動する。本発明の他の実施形態では、磁気素子は可動物体(図示せず)に固定して取り付けることもできる。第1のセンサ402と第2のセンサ404は第1のセンサ軸SA1に沿って配置され、第3のセンサ406と第4のセンサ408は第2のセンサ軸SA2に沿って配置されている。センサ軸SA1およびSA2は、線形軸LAに対して実質的に垂直であり、実質的に互いに平行であり、距離3だけ分離されているが、この場合、R3は実質的に磁気素子410の極間長の半分に等しい。第1のセンサ402と第3のセンサ406は所定の距離R1をおいて、それぞれ第1のセンサ軸SA1と第2のセンサ軸SA2に沿って配置されている。第2のセンサ404と第4のセンサ403は所定の距離R2をおいて、それぞれ第1のセンサ軸SA1と第2のセンサ軸SA2に沿って配置されている。第1の動径出力信号HR1を生成する第1のセンサ402と、第2の動径出力信号HR2を生成する第2のセンサ404は、第1の複合センサ出力信号HC1=HR1−HR2をプロセッサ412に供給するために、図6Aに示すように直列に対向して電気的に接続されている。第3の動径出力信号HR3を生成する第3のセンサ406と、第4の動径出力信号HR4を生成する第4のセンサ408は、第2の複合動径センサ出力信号HC2=HR3−HR4をプロセッサ412に供給するために、図6Aに示すように直列に対向して電気的に接続されている。直列に対向して接続された複数のセンサに共通の均質磁界により、両極性を有するセンサ巻線で複数の電流成分が発生する。結果として得られるこのような電流成分は打ち消し合い、したがって、直列に対向して接続された複数のセンサは共通の均質磁界をはねつける傾向がある。
【0040】
線形軸に沿って磁気素子410が移動すると、図6Aに示すように、磁気素子420の中心線からセンサ軸SAまでのオフセット距離ODが定義される。図2に記載した実施形態と同様に、個々のセンサ出力信号HRn(nは1、2、3、または4である)はオフセット距離ODの準シヌソイド関数になる。第1および第2のセンサ402および404は直列に対向して電気的に接続され、第3および第4のセンサ406および408は直列に対向して電気的に接続されているので、これらの電気的に接続された対は両方のセンサに共通の均質外部磁界(たとえば、地球の磁界)をはねつける。その結果、電気的に接続されたセンサ402と404または406と408が極軸PAから同じ距離をおいてそれぞれのセンサ軸SA1またはSA2に沿ってそれぞれ配置されている場合、これらのセンサは磁気素子410が発生した局所磁界もはねつけることになる。しかし、電気的に接続されたセンサが極軸PAから等しくない距離をおいてそれぞれのセンサ軸に沿って配置されている場合、磁気素子410からの距離の関数として磁界強度がR-3変動するので、電気的に接続されたセンサは各センサが検出する磁界強度間の差に等しい正味出力を同時に生成することになる。図6Aに示す本発明の実施形態では、比率R2/R1=2である場合、磁界強度がR-3変動するので、第1のセンサ出力信号HR1は第2のセンサ出力信号HR2より8倍大きいものになる。したがって、第1の複合センサ出力信号HC1は、より近い個々のセンサ(すなわち、第1のセンサ402)が発生した信号の7/8または87.5%になる。同様に、比率R4/R3=2である場合、第3のセンサ出力HR3は第4のセンサ出力信号HR4より8倍大きいものになり、第2の複合接線センサ出力HC2は、より近い個々のセンサ(第3のセンサ406)が発生した信号の7/8または87.5%になる。R2/R1およびR4/R3というその他の比率を使用して、同様の結果を得ることもできる。
【0041】
プロセッサ412は、第1の複合センサ出力信号HC1と第2の複合センサ出力信号HC2を受け取り、以下のアルゴリズムにより、この2つの出力信号を合成して出力信号OUT4を生成する。
【式5】
磁気素子410の二極性により、センサ出力信号HC1およびHC2はオフセット距離ODの準シヌソイド関数になるが、式5によって定義されるプロセッサ412の出力OUT4は実質的にオフセット距離ODの一次関数になる。磁気素子410のいずれかの端部がセンサ軸を通過するときに、限られた距離の間、センサ出力のシヌソイド性が保たれる。したがって、出力OUT4により、磁気素子410の全体的な極間長を超える磁気素子410の所定の運動範囲において実質的にオフセット距離ODの一次関数が得られる。
【0042】
図6Bは、図6Aに示す実施形態の変形形態を示している。図6Bの動径センサ対402および404は、等しい距離R1をおいて磁気素子410の両側に配置されている。動径センサ対406および408は、同様に磁気素子410の両側に配置されている。図2Bに示す実施形態に関して記載したように、磁気素子410の両側の磁界の動径成分は両方向に向いており、センサ402および404は(センサ406および408についても同様に)、直列に対向して配置されると、各センサ対に共通の磁界をはねつけながら、磁気素子410の動径成分を等しく合算することになる。
【0043】
図6Aおよび図6Bに示す実施形態では、2組のセンサ対(第1の対は402と404、第2の対は406と408)により、磁気素子410が発生した動径磁界の直交サンプリングが可能になる。代替実施形態では、図6Aおよび図6Bの2重センサ対構成に対して信号対雑音比が増加しても、単一対のセンサ(402と404または406と408のいずれか)を使用して位置情報を得ることができる。
【0044】
図7は、極間長が24mm、運動範囲が33mm、R3=12mm、R1=12.5mm、R2=25mmである磁気素子を有するこの実施形態の一例について、プロセッサ出力OUT4とともに複合センサ出力HC1およびHC2を示している。この例の場合、磁気素子410の33mmの運動範囲全体で真の線形性に関するOUT4のRMSエラーはフルスケールの約0.69%になる。
【0045】
図8は、第1のフラックスゲート・センサ502と、第2のフラックスゲート・センサ504と、複数の磁気素子506と、回転可能可動物体508と、プロセッサ510とを含み、本発明による改良された位置エンコーダ500の他の実施形態の概略図を示している。それぞれの磁気素子506は、極軸PA(図示せず)に沿って配置されたN極とS極とを含む。極軸PAに沿ったN極とS極の相対位置により、それぞれの磁気素子506の極性の向きが定義される。回転可能可動物体508は、平均軸直角平面を形成するように基準軸A1に対して垂直な回転軸RAの周りを回転する。基準軸A1は、回転軸RAと交差し、平均軸直角平面内に位置する。磁気素子506は、平均軸直角平面内の回転可能可動物体508の外周部の周りに分散し、その外周部に固定して取り付けられ、隣接磁気素子506の磁性の向きが交番するようになっている。図8には、それぞれの磁気素子506の1つの極だけが示されており、交番する極性の向きは交番するN−Sパターンによって示されている。
【0046】
第1のフラックスゲート・センサ502と第2のフラックスゲート・センサ504は、2つの隣接磁気素子に実質的に整列するように、基準軸A1の交互の側に可動物体に508に隣接してそれぞれ第1のセンサ軸SA1と第2のセンサ軸SA2に沿って配置されている。センサと磁気素子が整列しているときのセンサと対応する磁気素子との相対的な向きは、好ましくは、最大量の使用可能な磁界をセンサが検出するようなものになっている。たとえば、磁気素子506の極軸PAに沿って配置されたセンサは動径磁界センサとしての向きになっていなければならない。というのは、磁気素子の動径成分が磁界の他の成分より優勢になるからである。本発明の他の実施形態は、対応する磁気素子の磁界に関して本来は不完全な向きになるセンサを含むことができる。
【0047】
第1のセンサ信号S1を供給する第1のフレックスゲート・センサ502と、第2のセンサ信号S2を供給する第2のフラックスゲート・センサ504は、複合センサ出力信号HC=H1−H2をプロセッサ510に供給するために、図8に示すように直列に対向して互いに電気的に接続されている。回転可能可動物体508が回転するにつれて、個々の磁気素子506はセンサ502および504を通り過ぎる。図9A、図9B、図9Cは、出力信号H1、H2、HCをそれぞれ示している。図9A、図9B、図9Cに発現する同時発生ピークは、回転可能可動物体508の回転中に、特定のセンサ軸(すなわち、図9Aについてはセンサ軸SA1、図9Bについてはセンサ軸SA2)がそれと整列した磁気素子506の極軸PAと交差する点を表している。隣接磁気素子506の交番性により、そのピークの極性が交番する。ピークは同時発生のものであり、センサは直列に対向して電気的に接続されているので、個々のセンサ502および504からの信号は推定的に合算され、複合信号HTもH1と同じ極性を備えた同時発生ピークを含む。当業者にとって周知の技法を使用して、プロセッサ510は、磁気素子506の空間分布に関する情報とともに、HCピークおよびゼロ交差が発生する速度から物体508の動的回転パラメータを求める。図8に示す実施形態の応用例の一例では、自動車のタイヤの角速度と加速度を求めている。このような応用例では、交番パターンの磁極がタイヤのサイドウォールに沿って配置され、センサが自動車のフレームに取り付けられており、タイヤが回転するにつれてタイヤのサイドウォールが実質的にセンサに隣接して通過するようになっている。
【0048】
図8に記載した本発明の他の実施形態では、図10に示すように、第1のセンサ対520および522は第1の半径R1の位置にセンサ軸SA1およびSA2に沿って分散され、第2のセンサ対524および526は第2の半径R2の位置にセンサ軸SA1およびSA2に沿って分散されている。第1のセンサ対520および522は第1の複合信号HC1を生成するために直列に対向して互いに電気的に接続されており、第2のセンサ対524および526は第2の複合信号HC2を生成するために直列に対向して互いに電気的に接続されている。このような配置により、プロセッサ510は、図8の実施形態の場合のようにいずれか一方のセンサ対から角速度と加速度を計算することができるが、図10の実施形態ではさらに、移動体508における変形を測定することにより移動体508に対する特定の応力を計算することができる。たとえば、自動車のタイヤでは、加速度または減速度によってタイヤ内にねじれが発生し、その結果、図11に示すような変形が発生するが、そこでは、回転方向530とは反対方向の外力532によってタイヤのサイドウォールの外側部分がサイドウォールの内側部分に対してゆがんでいる。このゆがみの結果、図12に示すように、HC2パルスでHC1パルスに関する位相のずれが発生する。当業者にとって周知の技法を使用して、プロセッサ510は、HC2パルスとHC1パルスとの位相のずれを分析し、タイヤ本体に存在するねじれを求める。
【0049】
本明細書に記載した位置エンコーダの実施形態の一部または全部は、周囲温度の変動に対応するシステム・パラメータ変動を補償する温度補償構成要素をさらに含むことができる。このようなシステム・パラメータ変動としては、磁気素子の磁界変動またはシステム構成要素の寸法変動(すなわち、長さ、直径など)を含むことができる。フラックスゲート・センサがプロセッサおよびドライバ回路に関して遠隔に位置する場合、このような補償が特に必要になる。構成要素の温度が分かっている場合、当業者にとって既知のいくつかの温度補償技法のいずれか1つを使用することができる。構成要素の温度を求める方法の1つは、構成要素とともに温度感知装置(サーミスタ、熱電対、その他の温度感知装置など)を配置することである。構成要素の温度を求めるもう1つの方法は、フラックスゲート・センサを使用することである。電気導体の抵抗がその導体の温度に直接関係があることは、当業者にとって周知のことである。フラックスゲート・センサの一実施形態は、比較的細いワイヤを数百回巻いた巻線を含み、したがって、フラックスゲート・センサの温度変動は容易に測定可能な巻線の抵抗の変動に対応する。既知の技法を使用して巻線の抵抗を求めることにより、位置エンコーダは、フラックスゲート・センサの温度を求め、それに応じて感知信号を補償する(そして、それにより出力信号を補償する)ことができる。
【0050】
本発明は、その精神または本質的な特徴を逸脱せずに、その他の特定の形態で実施することができる。したがって、本実施形態は、細目において限定的ではなく例示的なものとして見なすべきであり、本発明の範囲は上記の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、したがって、特許請求の範囲と等価の意味および範囲に入るすべての変更はそこに包含されるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 改良された位置エンコーダの好ましい一実施形態の概略図である。
【図2A】 図1による位置エンコーダの他の実施形態の概略図である。
【図2B】 図2Aに示す実施形態の変形形態を示す図である。
【図3】 磁気素子の運動とセンサ出力との関係の線形化をグラフで示す図である。
【図4】 図1による位置エンコーダの他の実施形態の概略を示す図である。
【図5】 複合信号および理想的なシヌソイドとともに、図4の実施形態からのフラックスゲート・センサ出力をグラフで示す図である。
【図6A】 図1による位置エンコーダの他の実施形態の概略図である。
【図6B】 図6Aに示す実施形態の変形形態を示す図である。
【図7】 長距離直線運動位置エンコーダの場合のプロセッサ出力とともに複合センサ出力を示す図である。
【図8】 図1による位置エンコーダの他の実施形態の概略図である。
【図9A】 図8に示す実施形態からのセンサ出力をグラフで示す図である。
【図9B】 図8に示す実施形態からのセンサ出力をグラフで示す図である。
【図9C】 図8に示す実施形態からのセンサ出力をグラフで示す図である。
【図10】 図8に記載した実施形態の変形形態の概略図である。
【図11】 図8に記載した回転可能移動体の変形を示す図である。
【図12】 HC1パルスに関するHC2パルスの位相のずれをグラフで示す図である。
Claims (19)
- 基準位置に対する可動磁気素子の位置を表す実質的に線形の出力信号を供給するための位置エンコーダであって、
極軸に沿って配置された対向磁極を有し、磁界を発生する前記可動磁気素子であって、回転軸のまわりを回転する可動磁気素子と、
前記磁界を検出するための第1の空間的に直交するフラックスゲート・センサ対であって、前記回転軸から第1の所定の距離をおいて配置され、前記基準位置に関して固定された前記第1のセンサ対、及び前記磁界を検出するための第2の空間的に直交するフラックスゲート・センサ対であって、前記回転軸から第2の所定の距離をおいて配置され、前記基準位置に関して固定された前記第2のセンサ対と、
ここで、前記第1のセンサ対および前記第2のセンサ対がそれぞれ、前記磁界の動径成分を感知するための動径センサと、前記磁界の接線成分を感知するための接線センサとを含み、前記第1のセンサ対の前記動径センサが動径成分信号を生成するために前記第2のセンサ対の前記動径センサと直列逆相に電気的に接続され、前記第1のセンサ対の前記接線センサが接線成分信号を生成するために前記第2のセンサ対の前記接線センサと直列逆相に電気的に接続され、前記センサの全てが、前記回転軸に対して実質的に垂直であるセンサ軸に沿って配置されている、ことを特徴とし、
前記動径成分信号および接線成分信号を受け取り、前記動径成分信号および接線成分信号の関数として前記出力信号を生成するための信号プロセッサとを含むことを特徴とする、位置エンコーダ。 - 前記第1の所定の距離が前記第2の所定の距離より小さいことを特徴とする、請求項1に記載の位置エンコーダ。
- 前記第1の所定の距離が実質的に前記第2の所定の距離の半分に等しいことを特徴とする、請求項2に記載の位置エンコーダ。
- 前記可動磁気素子の前記位置が角位置を含み、前記可動磁気素子が回転軸を有する回転シャフトを含み、前記可動磁気素子が前記回転軸に対して実質的に垂直な平均軸直角平面を定義し、前記第1および第2のフラックスゲート・センサ対が前記基準位置に対して固定されていることを特徴とする、請求項1に記載の位置エンコーダ。
- 前記第1のセンサ対の前記接線センサが距離R1をおいて配置され、前記第2のセンサ対の前記接線センサが距離R2をおいて配置され、前記第1のセンサ対の前記動径センサが距離R3をおいて配置され、前記第2のセンサ対の前記動径センサが距離R4をおいて配置され、第1の比率R3/R1が実質的に第1の所定の値に等しくなり、第2の比率R4/R2が実質的に第2の所定の値に等しくなり、第3の比率R2/R1が実質的に第3の所定の値に等しくなり、第4の比率R4/R3が実質的に第4の所定の値に等しくなるように前記距離R1、R2、R3、R4が選択されることを特徴とする、請求項1に記載の位置エンコーダ。
- 前記第1の所定の値が21/3であり、前記第2の所定の値が21/3であり、前記第3の所定の値が2であり、前記第4の所定の値が2であることを特徴とする、請求項5に記載の位置エンコーダ。
- 前記第1および第2のフラックスゲート・センサ対の温度を求め、前記温度の所定の関数として前記出力信号を補償するための温度感知要素をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の位置エンコーダ。
- 前記可動磁気素子の温度を求め、前記温度の所定の関数として前記出力信号を補償するための温度感知要素をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の位置エンコーダ。
- 基準位置に対する移動体の位置を表す実質的に線形の出力信号を供給するための位置エンコーダであって、
それぞれが極性の向きを定義するために極軸に沿って配置された対向磁極を有する複数の磁気素子であって、前記磁気素子のそれぞれが磁界を発生し、前記磁気素子が前記移動体の周りに均一に分散され、前記移動体に固定して取り付けられ、隣接磁気素子の前記極性の向きが交番するようになっている複数の磁気素子と、
前記磁気素子のそれぞれ2つの隣接磁気素子の隣接極に実質的に整列し、前記基準位置に関して固定された1対のフラックスゲート・センサ対であって、前記フラックスゲート・センサ対は直列逆相に電気的に接続されている、フラックスゲート・センサ対と、
前記フラックスゲート・センサ対からの少なくとも第1の信号と第2の信号を受け取るための信号プロセッサであって、前記第1の信号が前記磁気素子の前記2つの隣接磁気素子のうちの第1の磁気素子からの前記磁界を表し、前記第2の信号が前記磁気素子の前記2つの隣接磁気素子のうちの第2の磁気素子からの前記磁界を表し、前記第1の信号と前記第2の信号の所定の組合せに対応する前記出力信号を生成するための信号プロセッサとを含むことを特徴とする、位置エンコーダ。 - 前記移動体の前記位置が角位置を含み、前記移動体が少なくとも1つの側壁を有するトロイドを含み、回転軸の周りを回転可能であり、前記複数の磁気素子が前記側壁上に分散されることを特徴とする、請求項9に記載の位置エンコーダ。
- 前記隣接極の対向磁極に実質的に整列した第2のフラックスゲート・センサ対をさらに含むことを特徴とする、請求項9に記載の位置エンコーダ。
- 前記信号プロセッサが前記第2のフラックスゲート・センサ対からの少なくとも第3の信号と第4の信号とを受け取り、前記信号プロセッサが前記少なくとも1つの側壁の変形に対応する第2の出力信号をさらに生成することを特徴とする、請求項11に記載の位置エンコーダ。
- 基準位置に対する、極軸に平行な運動軸に沿った移動体の位置を表す出力信号を供給するための位置エンコーダであって、
長さLを有し、極軸に沿って配置された対向磁極を有し、磁界を発生する細長い磁気素子であって、前記移動体に固定して取り付けられた磁気素子であって、前記極軸にそって移動する磁気素子と、
前記極軸から延びて前記極軸に対して実質的に垂直な第1のセンサ軸に沿って配置された第1のフラックスゲート・センサと第2のフラックスゲート・センサであって、前記第1のセンサが前記極軸から第1の所定の距離R1をおいて配置され、前記第2のセンサが前記極軸から第2の所定の距離R2をおいて配置される第1のフラックスゲート・センサと第2のフラックスゲート・センサであって、前記第1のフラックスゲート・センサと第2のフラックスゲート・センサは直列逆相に電気的に接続されている、第1のフラックスゲート・センサと第2のフラックスゲート・センサと、
前記第1および前記第2のフラックスゲート・センサから複数の信号を受け取り、前記複数の信号の所定の組合せに対応する前記出力信号を生成するための信号プロセッサであって、前記出力信号が前記移動体の前記位置を表し、前記移動体の前記運動範囲が実質的に前記長さLより大きくなるようになっている信号プロセッサとを含むことを特徴とする、位置エンコーダ。 - 前記第1および前記第2のフラックスゲート・センサが、前記磁界の動径成分を検出するように向けられていることを特徴とする、請求項13に記載の位置エンコーダ。
- 前記第1および前記第2のフラックスゲート・センサが、前記磁界の接線成分を検出するように向けられていることを特徴とする、請求項13に記載の位置エンコーダ。
- 前記極軸から延びて前記極軸に対して実質的に垂直な第2のセンサ軸に沿って前記第1のセンサ軸から距離Dをおいて配置された第3のフラックスゲート・センサと第4のフラックスゲート・センサとをさらに含み、前記距離Dが実質的に前記長さLの半分であり、前記第3のセンサが前記第1の所定の距離R1をおいて配置され、前記第4のセンサが前記第2の所定の距離R2をおいて配置され、前記第3のフラックスゲート・センサと前記第4のフラックスゲート・センサが第2の信号を生成するために直列逆相に電気的に接続されていることを特徴とする、請求項13に記載の位置エンコーダ。
- 前記所定の組合せが前記複数の信号を合計することを含むことを特徴とする、請求項16に記載の位置エンコーダ。
- 回転軸を有する回転可能移動体の基準位置に対する角位置を表す出力信号を供給するための位置エンコーダであって、
極軸に沿って配置された対向磁極を有し、磁界を発生する少なくとも1つの磁気素子であって、前記移動体に固定して取り付けられ、前記回転軸から片寄っており、前記磁気素子が前記移動体に関して偏心して回転するようになっている少なくとも1つの磁気素子と、
前記磁界の動径成分を検出するための動径フラックスゲート・センサであって、前記回転軸から第1の所定の距離をおいて前記極軸に隣接して配置される動径フラックスゲート・センサと、前記磁界の接線成分を検出するための接線フラックスゲート・センサであって、前記回転軸から第2の所定の距離をおいて前記極軸に隣接して配置される接線フラックスゲート・センサと、
前記動径センサからの少なくとも1つの信号と前記接線センサからの少なくとも1つの信号を受け取り、前記動径センサからの前記少なくとも1つの信号と前記接線センサからの前記少なくとも1つの信号の所定の組合せに対応する前記出力信号を生成するための信号プロセッサであって、結果として得られる前記出力信号と前記移動体の前記位置との関係がある範囲の前記角位置について実質的に線形になるようになっている信号プロセッサとを含むことを特徴とする、位置エンコーダ。 - 前記所定の組合せが前記動径成分を表す前記動径センサからの第1の信号と前記接線成分を表す前記接線センサからの第2の信号を合計することを含むことを特徴とする、請求項18に記載の位置エンコーダ。
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