JP2007333600A - 回転角度センサーとこれを適用する電動湾曲内視鏡 - Google Patents

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Abstract

【課題】高精度の回転角度検出能力を維持し単純な構成で小型化及び低コスト化を実現し得る回転角度センサーを提供する。
【解決手段】回転中心に対して偏心した位置に配置される真円形状もしくは長円形状の板状の磁性材からなる回転体15と、回転体の外接円から法線方向に一定の空隙を有し回転体の外周縁部近傍に配置される第1の磁気センサ12と、第1の磁気センサと同様に回転体の外接円から法線方向に一定の空隙を有し回転体の外周縁部近傍であって第1の磁気センサとは電気的な位相が所定量だけ変位した位置に配置される第2の磁気センサ14と、第1の磁気センサ及び第2の磁気センサの外側縁部に配置され回転体及び二つの磁気センサとによって磁気回路を構成する磁性部材11,13とを具備し、回転体が回転させられると二つの磁気センサと回転体との空隙が変位することで所定量だけ位相のずれた出力信号が発生するように構成されている。
【選択図】図1

Description

この発明は、回転角度センサーとこれを適用する電動湾曲内視鏡、詳しくは電動湾曲内視鏡において湾曲部を駆動するための駆動モータの回転角度を検出する回転角度センサーとこれを適用する電動湾曲内視鏡に関するものである。
従来より、体腔内に細長の挿入部を挿入して体腔内の臓器を観察したり、必要に応じて処置具チャンネルから挿入した処置具を用いて各種治療処置をおこなうことのできる内視鏡が一般に実用化されている。
このような内視鏡においては、例えば挿入部の先端側に上下及び左右に湾曲し得るように構成される湾曲部が設けられている。この湾曲部を湾曲させるための構造としては、例えば挿入部内部に湾曲ワイヤーを挿通させ、この湾曲ワイヤーを介して湾曲部と操作部に設けられる操作部材とを接続するようにしている。そして、操作部の所定の操作部材を操作することによって湾曲ワイヤーの牽引操作または弛緩操作をおこない、これにより湾曲部を所望の方向に湾曲させることができるようにしている。
従来の内視鏡においては、上述の湾曲ワイヤーの操作は、手動による操作がなされるのが一般である。その一方で、近年においては、例えば電動モータ等の電気的な駆動手段を用いて牽引操作をおこなうように構成される電動湾曲内視鏡装置についての提案が種々なされている。
このような電動湾曲内視鏡装置においては、湾曲部の湾曲状態を確実に把握するために、湾曲角度の絶対位置を検出する必要がある。そこで、従来の電動湾曲内視鏡装置においては、湾曲位置の検出のために、例えばポテンショメータやレゾルバなどの回転角度センサー等が用いられている。
ポテンショメータは、抵抗を介して出力電圧を変化させるものである。その構造は、中心軸を回すことで抵抗値が変化し出力される電圧が変化するようになっており、このときの電圧変位を検出することによって回転角度を測定する。
しかし、ポテンショメータでは、検出角度に制限があったり、接触方式による構造のために接点の摺動部材には寿命がある。
また、従来型のレゾルバは、磁性材とコイルによって構成される簡単な構造であるが、高価なものであり、また交流(AC)電圧が必要であるために電源回路が複雑なものである。
例えば、特開2003−149000号公報によって開示されている回転角度センサーは、永久磁石とホール素子を用いて構成されており、二極以上の永久磁石によりN極及びS極の両磁極を用いて信号検出するようになっている。
特開2003−149000号公報
ところが、上記特開2003−149000号公報によって開示されている回転角度センサーにおいては、磁極の切り換わり付近で磁束の変化が不安定となる傾向がある。したがって、常に安定した信号を得ることが困難であるという問題点がある。また、両磁極を使って信号を検出する場合にはは、正弦波着磁など、着磁工程の工夫が必要となるために、常に安定した性能を得ることが困難であるという問題点もある。
さらに、上記公報による回転角度センサーでは、磁極の切り換わりが生じる構成となっていることから、回転方向によってはヒステリシスが発生してしまう。したがって、これにより高精度の角度検出が困難であるという問題点もある。また、ホール素子には不平衡電圧が存在することから、出力ゼロボルト(0V)付近では、ばらつきが発生しやすいという問題点もある。
本発明は、上述した点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、非接触方式の回転角度センサーであって、高精度の回転角度検出能力を維持しつつ、構成を単純化しかつ小型化及び低コスト化を実現することのできる回転角度センサーとこれを適用する電動湾曲内視鏡を提供することである。
上記目的を達成するために、本発明による回転角度センサーは、回転中心に対して偏心した位置に配置される真円形状もしくは長円形状の板状の磁性材からなる回転体と、前記回転体の外接円から法線方向に一定の空隙を有し前記回転体の外周縁部近傍に配置される第1の磁気センサーと、前記第1の磁気センサーと同様に前記回転体の外接円から法線方向に一定の空隙を有し前記回転体の外周縁部近傍であって、前記第1の磁気センサーとは電気的な位相が所定量だけ変位した位置に配置される第2の磁気センサーと、前記第1の磁気センサー及び前記第2の磁気センサーの外側縁部に配置され、前記回転体及び前記二つの磁気センサーとによって磁気回路を構成する磁性部材とを具備し、前記回転体が回転させられると、前記二つの磁気センサーと前記回転体との空隙が変位することによって、所定量だけ位相のずれた出力信号が発生するように構成されていることを特徴とする。
本発明によれば、非接触方式の回転角度センサーであって、高精度の回転角度検出能力を維持しつつ、構成を単純化しかつ小型化及び低コスト化を実現することのできる回転角度センサーとこれを適用する電動湾曲内視鏡を提供することができる。
以下、図示の実施の形態によって本発明を説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態の回転角度センサーの概略構成を示す平面図である。図2は、図1の回転角度センサーの側面図である。図3は、図1の回転角度センサーを電動湾曲内視鏡に適用した場合の概略構成図である。図4は、図1の回転角度センサーにおいて、ホール素子の出力信号を回転角度に換算する場合の変換テーブルの具体例を示す図表である。図5は、図1の回転角度センサーにおけるホール素子の出力信号を示す線図である。
本実施形態の回転角度センサー1は、駆動モータ21(図3参照)の出力駆動軸16に嵌合することで固設される真円形状で板状の磁性材(例えば電磁軟鉄材等)からなる回転体15と、この回転体15の外周縁部近傍に設けられる第1の磁気センサーである第1のホール素子12及び第2の磁気センサーである第2のホール素子14と、第1のホール素子12及び第2のホール素子14のそれぞれのさらに外側に設けられる磁性部材である永久磁石としての第1のマグネット11及び第2のマグネット13とによって主に構成されている。
回転体15の中心位置は、図1に示すように当該回転角度センサー1の回転中心Aに沿う方向に配設される出力駆動軸16に対して所定量Dだけ偏心した位置Bに配置されている。そして、回転体15の中程の部位には、回転方向の重量バランスの均衡を保持するための孔15bが穿設されている。これによって、回転体15は、その円滑な回転動作を確保することができるようになっている。
回転体15の外周縁部近傍には、固定基板30a(図1及び図2では図示を省略。図3参照)が配設されている。この固定基板30aは、例えば当該回転角度センサー1及び駆動モータ21等を内部に具備する機器(図3ではモーターユニット20に相当する)のケース壁面や内部構成部材に固設される電気回路基板であり、両ホール素子12,14及び二つのマグネット11,13の支持部材となっている。
つまり、第1のホール素子12及び第2のホール素子14は、固定基板30aの回転体15に対向する側の実装面に実装されることで固設されている。
また、第1のマグネット11及び第2のマグネット13は、第1のホール素子12及び第2のホール素子14の配設される固定基板30aの実装面とは反対側の面に、固定基板30aを挟むようにして配置されている。
これにより、両ホール素子12,14に対する電力供給や、同ホール素子12,14からの信号出力は基板上の信号線等(図示せず)を介しておこなわれるようになっている。
また、第1のマグネット11及び第2のマグネット13は、回転体15と第1のホール素子12及び第2のホール素子14とによって磁気回路を構成する磁性部材であって、永久磁石で形成されている。
そして、第1のホール素子12及び第2のホール素子14と回転体15の外周面との間には、当該回転体15の外接円Pから法線方向に一定の空隙が形成されている。
この場合において、第2のホール素子14は、第1のホール素子12とは電気的な位相が所定量だけ変位する位置に配置されている。つまり、回転体15が偏心した位置に配置されていることから、図1に示すように回転体15の外周面上の点p1と第1のホール素子12との間の空隙G1が最も狭くなる状態にあるとき、回転体15の外周面上の点p2と第2のホール素子14との間の空隙G2とは、G1<G2の関係が維持されるようになっている。
そして、回転体15が例えば図1の矢印Rに沿う方向へと回転すると、回転体15の外周面上の点p1と第1のホール素子12との空隙G1は徐々に拡がることになる。その一方で、回転体15の外周面上の点p2と第2のホール素子14との空隙G2が徐々に狭くなる。そして最終的には、空隙G2が最も狭くなる状態になったとき、空隙G1に等しい値となる。
なお、第1のホール素子12に対する第2のホール素子14の位置関係は、例えば電気的に90度(°)の位相差の信号が生じるように設定される。
また、回転体15の着磁方向は、図1の矢印X1,X2に示す方向とし、この着磁方向(X1,X2)と、第1のマグネット11及び第2のマグネット13の磁極方向とは、同一となるように設定されている。
このように構成される本実施形態の回転角度センサー1を電動湾曲内視鏡に適用した場合の構成について、以下に説明する。
図3は、本実施形態の回転角度センサー1を電動湾曲内視鏡30におけるモーターユニット20のギアーヘッド22の出力駆動軸16に取り付けた状態を示している。
この電動湾曲内視鏡30の概略構成は、細長形状からなり先端に湾曲部を備えた挿入部(特に図示せず)と、この挿入部の基端側に連設されるモーターユニット20と、当該電動湾曲内視鏡30の総括的な制御をおこなうコントロールユニット31と、このコントロールユニット31とモーターユニット20との間を接続するユニバーサルケーブル33と、コントロールユニット31に対して接続される操作部32等によって主に構成される。
モーターユニット20の内部には、駆動モータ21と、この駆動モータ21の出力駆動軸16を介して出力される回転駆動力の伝達及び方向変換等をおこなうための複数のギアー列等を内部に備えたギアーヘッド22と、出力駆動軸16の回転駆動力の挿入部側への伝達及びその切り離しをおこなうクラッチ機構やギアー列等を内部に具備する動力伝達機構等によって主に構成されている。
このように構成される上記第1の実施形態における作用について、以下に説明する。
図1に示す状態にあるとき、駆動モータ21を駆動させることで出力駆動軸16を矢印R方向に回転させる。これにより、軸16に一体に嵌合している回転体15も同矢印R方向に回転する。
すると、上述したように回転体15の外周面上の点p1と第1のホール素子12との空隙G1は徐々に拡がり、回転体15の外周面上の点p2と第2のホール素子14との空隙G2は徐々に狭くなる。
一般に、磁気回路における磁束密度は、回転体15とマグネット11,13との空隙に比例して変化する。このことから、ホール素子を通過する磁束も比例して変化することになる。また、ホール素子は磁束密度に応じて内部抵抗値が変化する特性を有することが知られている。
そこで、入力電圧を一定としておけば、空隙(G1,G2)の変化は、磁束密度の変化に応じた出力電圧が得られることになる。このとき、ホール素子を通る磁極は、常にN極あるいはS極のいずれか一方であるので、バイアスが加わった(一定電圧の)出力信号が得られることになる。
したがって、図1の状態から回転体15が回転し続けた場合、第1のホール素子12からは余弦波が得られるのと同時に、第2のホール素子14からは正弦波が得られることになる。
こうして得られる2つの出力信号と、回転角度をビット分割したデータとを対比することで絶対位置に変換することができる。このホール素子の出力信号を回転角度に換算する場合の変換テープルの具体例を図4に示す。
本実施形態の構成においては、回転体15が一回転するのに際して一周期の出力信号が得られるような構成としている。つまり、第1のホール素子12及び第2のホール素子14の位相は、機械的に回転角度90度(°)となるように配置することで、電気的に90度(°)の位相差の信号が発生するようになっている。
本実施形態のように、回転体15が一回転するのに際して一周期の出力信号が得られる構成とした場合には、図5に示すように、正弦波と余弦波とが同時に得られることになる。なお、図5においては、第2のホール素子14から得られる正弦波を点線で、第1のホール素子12からは得られる余弦波を実線で示している。
例えば、図4に示すように、回転体15の一回転を4bit(16)分割した場合には、デジタルバイナリの組み合わせと、2つのホール素子(12,14)の出力電圧の組み合わせが重複することはない。したがって、回転角度を電気信号として絶対位置の検出をすることが可能となる。なお、この場合において、分割数を増加すれば、より精度の高い回転角度検出を可能とすることができる。
以上説明したように上記第1の実施形態によれば、信号検出をおこなうための磁極をN極またはS極いずれか一方の単極で構成することで、磁極の切り換わり動作を排除したことから、ヒステリシスのない安定した出力信号を常に得ることができる。
また、出力信号にはバイアス電圧が加わるために、不平衡電圧がキャンセルされるので、出力信号はより一層安定することになる。そして、着磁工程については、特別な工夫をおこなうことなく一定の出力を得ることができる。
さらに、少ない部品点数によって単純化した構成とし、かつ小型化及び低コスト化を実現した回転角度センサーとすることができる。
また、不思議遊星ギアーに内蔵することによってアクチュエータ駆動装置及び駆動機構の小型化にも寄与することができる。
なお、この回転角度センサー1は、上述したように電動湾曲内視鏡の駆動装置に対しても容易に適用することができる。この場合においては、内視鏡挿入部の湾曲部を湾曲させるための駆動モーターに当該回転角度センサー1を適用する。これにより、湾曲部の回転角度を検出し、湾曲角度の絶対位置を正確に検出することができる。したがって、これにより、湾曲部の湾曲状態を確実に把握することができるようになる。
ところで、上述の第1の実施形態においては、磁気回路構成要素として、回転体15を例えば電磁軟鉄材等の磁性材で形成し、この回転体15の外周側の所定位置に磁性部材である永久磁石としての第1のマグネット11及び第2のマグネット13を配置して構成している。しかし、本発明の回転角度センサーにおける磁気回路構成要素としては、この構成に限ることはなく、例えば回転体15を磁性部材である永久磁石で形成し、この回転体15の外周側の所定位置に電磁軟鉄材等の磁性材を配置して構成してもよい。この場合には、例えば上述の第1の実施形態における第1のマグネット11及び第2のマグネット13に代えて同位置に、第1の磁性材及び第2の磁性材を配置して構成する。このような構成としても、上述の第1の実施形態と全く同様の効果を得ることができる。
また、上述の第1の実施形態においては、回転体15の形状を真円形状とし、これを板状の磁性材によって形成し、この回転体15は出力駆動軸16に対して所定量(D;図1)だけ偏心した位置(B;図1)に配置して構成ている。しかし、このような形態に限ることはなく、例えば図6に示すような形態とすることもできる。
図6は、本発明の第2の実施形態の回転角度センサーの概略構成を示す平面図である。
本実施形態の基本的な構成は、上述の第1の実施形態と略同様の構成であって、回転体の形状が異なり、これに伴って第2のマグネット13及び第2のホール素子14の配置が若干異なる。
即ち、本実施形態の回転角度センサー1Aにおける回転体15Aは、図6に示すように長円形状の板状の磁性部材によって形成されている。この回転体15Aの回転中心Aは、出力駆動軸16の中心位置Aと一致するように配置されている。
また、本実施形態においては、第2のマグネット13及び第2のホール素子14の配置は、第2のマグネット13及び第2のホール素子14の配置されている位置より、符号R方向に角度45度(°)だけズレた位置となるように設定されている。したがって、第1のホール素子12に対する第2のホール素子14の位置関係は、機械的に45度(°)となるように設定されている。つまり、二つのホール素子12,14からの出力信号が電気的に90度(°)位相となるように調整されている。これにより、回転体15Aが一回転するのに際して二周期の出力信号が得られるようになっている。その他の構成は上述の第1の実施形態と全く同様である。
以上のように構成された上記第2の実施形態の回転角度センサー1Aにおいては、上述の第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
上述の各実施形態においては、第1の磁気センサー及び第2の磁気センサーとして、ホール素子を用いた例を示しているが、これに限ることはなく、第1の磁気センサー及び第2の磁気センサーとしては、例えばホールICや磁気抵抗素子等を適用することも可能である。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲内において種々の変形や応用が可能であることは勿論である。
本発明の第1の実施形態の回転角度センサーの概略構成を示す平面図。 図1の回転角度センサーの側面図。 図1の回転角度センサーを電動湾曲内視鏡に適用した場合の概略構成図。 図1の回転角度センサーにおいて、ホール素子の出力信号を回転角度に換算する場合の変換テーブルの具体例を示す図表。 図1の回転角度センサーにおけるホール素子の出力信号を示す線図。 本発明の第2の実施形態の回転角度センサーの概略構成を示す平面図。
符号の説明
1,1A……回転角度センサー
11……第1のマグネット
13……第2のマグネット
12……第1のホール素子
14……第2のホール素子
15,15A……回転体
16……出力駆動軸
20……モーターユニット
21……駆動モータ
22……ギアーヘッド
30……電動湾曲内視鏡
30a……固定基板
31……コントロールユニット
32……操作部
33……ユニバーサルケーブル

Claims (8)

  1. 回転中心に対して偏心した位置に配置される真円形状もしくは長円形状の板状の磁性材からなる回転体と、
    前記回転体の外接円から法線方向に一定の空隙を有し前記回転体の外周縁部近傍に配置される第1の磁気センサーと、
    前記第1の磁気センサーと同様に前記回転体の外接円から法線方向に一定の空隙を有し前記回転体の外周縁部近傍であって、前記第1の磁気センサーとは電気的な位相が所定量だけ変位した位置に配置される第2の磁気センサーと、
    前記第1の磁気センサー及び前記第2の磁気センサーの外側縁部に配置され、前記回転体及び前記二つの磁気センサーとによって磁気回路を構成する磁性部材と、
    を具備し、
    前記回転体が回転させられると、前記二つの磁気センサーと前記回転体との空隙が変位することによって、所定量だけ位相のずれた出力信号が発生するように構成されていることを特徴とする回転角度センサー。
  2. 前記第1の磁気センサーと前記第2の磁気センサーとは、互いに電気的に角度90度位相が変位した位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の回転角度センサー。
  3. 前記第1の磁気センサーと前記第2の磁気センサーとは、いずれもホール素子であることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の回転角度センサー。
  4. 前記回転体は電磁軟鉄からなり、前記磁気回路を構成する前記磁性部材は永久磁石であることを特徴とする請求項1に記載の回転角度センサー。
  5. 前記回転体は永久磁石からなり、前記磁気回路を構成する前記磁性材は電磁軟鉄からなることを特徴とする請求項1に記載の回転角度センサー。
  6. 前記永久磁石の磁極はN極またはS極のいずれか一方のみが使われることを特徴とする請求項4または請求項5のいずれかに記載の回転角度センサー。
  7. 前記回転角度センサーは、モーターあるいはギアーヘッドに一体に内蔵される形態で取り付けられることを特徴とする請求項1に記載の回転角度センサー。
  8. 請求項1〜請求項7のいずれか一つに記載の回転角度センサーを具備する電動湾曲内視鏡。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010044046A (ja) * 2008-07-14 2010-02-25 Tdk Corp 角度検出装置、及び角度検出方法
JP2010054495A (ja) * 2008-07-30 2010-03-11 Tdk Corp 角度検出装置、及び角度検出方法
JP2015165217A (ja) * 2014-03-03 2015-09-17 株式会社デンソー 回転検出装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006125594A (ja) * 2004-11-01 2006-05-18 Nsk Ltd センサ付軸受装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006125594A (ja) * 2004-11-01 2006-05-18 Nsk Ltd センサ付軸受装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010044046A (ja) * 2008-07-14 2010-02-25 Tdk Corp 角度検出装置、及び角度検出方法
JP2010054495A (ja) * 2008-07-30 2010-03-11 Tdk Corp 角度検出装置、及び角度検出方法
JP2015165217A (ja) * 2014-03-03 2015-09-17 株式会社デンソー 回転検出装置

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