JP2010045185A - 液処理装置及び液処理方法並びに記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【課題】液処理装置の総排気量の増大を抑えながら、基板保持部の配列数を増加すること。
【解決手段】n個(nは3以上の整数)のカップ体4を、夫々第1のダンパ72が設けられた複数の個別排気路7と、これら複数の個別排気路7の下流側に共通に接続される共通排気路73を介して排気量Eで吸引排気するにあたり、薬液ノズル5がウエハWと対向する設定位置にある一のカップ体においては、当該カップ体側から外気を第1の取り込み量E1で取り込み、他の残りのカップ体においては、当該カップ体側から第1の取り込み量E1よりも小さい第2の取り込み量E2で取り込み、かつカップ体4側及び分岐路76側の両方の外気の取り込み量が(E−E1)/(n−1)となるように第1のダンパ72を構成する。
【選択図】図2
Description
各液処理ユニット1A〜1Cでは、各排気路14におけるダンパ13の下流側は高排気量Ehで排気されている。そして液処理ユニット1Aではダンパ13を閉じて、ダンパ13の上流側つまりカップ体12内もそのままの排気量Ehで排気し、液処理ユニット1B、1Cではダンパ13を開いて外気を取り込み、こうして結果としてダンパ13の上流側であるカップ体12内は低排気量Elで排気されるようになっている。このとき液処理ユニット1B、1Cにおいて取り込まれる外気量は((高排気量Eh)−(低排気量El))に相当する量である。このように液処理ユニット1台の排気量は高排気量Ehに相当する排気量であり、3台の液処理ユニットが組み込まれる場合には、これら液処理ユニットにおける総排気量Eは、液処理ユニット3台分の排気量(E=3×Eh)に相当する量となる。
前記カップ体12の底部には夫々排気路14が接続され、カップ体12の並びに沿って配管した共通の排気路16を介して各カップ体12が吸引排気されるようになっている。この構成においても図11に示す例と同様にカップ体12内の排気が行われており、各排気路14におけるダンパ13の下流側では、常に前記高排気量Ehに合わせて排気が行われ、カップ体12内を低排気量Elにて排気するときには、前記ダンパ13の開度を調整することによって、(Eh−El)に相当する量の外気を取り入れ、当該ダンパ13の上流側にて低排気状態を形成するように構成されている。このため液処理ユニットの総排気量Eは、(1台のカップ体12の排気量Eh)×(カップ体の数)にて求められる量となる。
前記複数のカップ体に夫々接続されると共に、前記筐体内に開口する分岐路を備えた複数の個別排気路と、
前記複数の個別排気路の下流側に共通に接続されると共に、その内部雰囲気が排気量Eで吸引排気される共通排気路と、
前記複数の個別排気路に夫々接続され、前記カップ体側からの外気の取り込み量と、前記分岐路側からの外気の取り込み量とを調整するための第1の外気取り込み量調整部と、
前記薬液ノズルが前記基板保持部上の基板と対向する設定位置にある一のカップ体に対応する前記第1の外気取り込み量調整部を第1の状態に、また他の残りのカップ体に対応する前記第1の外気取り込み量調整部を第2の状態に夫々設定するための制御信号を出力する制御部と、を備え、
前記第1の外気取り込み量調整部は、前記第1の状態にあるときには、前記分岐路側から外気を取り込まずに、当該カップ体側から外気を第1の取り込み量E1で取り込み、
前記第2の状態にあるときには、当該カップ体側から外気を前記第1の取り込み量E1よりも小さい第2の取り込み量E2で取り込み、かつカップ体側及び分岐路側の両方の外気の取り込み量が(E−E1)/(n−1)となるように構成されていることを特徴とする。
前記複数のカップ体を、第1の外気取り込み量調整部が設けられた複数の個別排気路と、これら複数の個別排気路の下流側に共通に接続される共通排気路を介して排気量Eで吸引排気するにあたり、
前記薬液ノズルが前記基板保持部上の基板と対向する設定位置にある一のカップ体においては、前記分岐路から外気を取り込まずに、当該カップ体側から外気を第1の取り込み量E1で取り込むように前記第1の外気取り込み量調整部を調整し、
他の残りのカップ体においては、当該カップ体側から外気を前記第1の取り込み量E1よりも小さい第2の取り込み量E2で取り込み、かつカップ体側及び分岐路側の両方の外気の取り込み量が(E−E1)/(n−1)となるように前記第1の外気取り込み量調整部を調整することを特徴とする。
ここで前記共通排気路における一端側を前記筐体内に開口するように設け、
前記薬液ノズルが一のカップ体に対して前記設定位置にあるときと、いずれのカップ体に対しても前記設定位置にないときとの間で、前記共通排気路に設けられた第2の外気取り込み量調整部により、前記共通排気路内に取り込まれる外気量を調整するようにしてもよいし、さらに前記薬液ノズルが一のカップ体に対して前記設定位置にあるときには前記共通排気路に外気を取り込まず、前記薬液ノズルがいずれのカップ体に対しても前記設定位置にないときには前記共通排気路に外気を取り込むように、前記第2の外気取り込み量調整部を調整するようにしてもよい。
また本発明の記憶媒体は、基板に対して薬液を塗布する液処理装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、前記プログラムは、前記液処理方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする。
具体的に説明すると、上述した液処理装置2の各液処理部21〜24では、既述のようにウエハWの処理目的に応じて、カップ体4内に「第1の取り込み量E1」、「第2の取り込み量E2」と2つの外気取り込み状態を形成するように排気が行われている。この第1の取り込み量E1は第2の取り込み量E2よりも大きい量に設定されており、取り込み量が多いとは排気量が大きいことを意味している。
ここで第1の取り込み量E1とは、既述のレジスト塗布工程時において、カップ体4内に取り込まれる外気量のことである。この工程では、ウエハWの中心部に供給された薬液を回転の遠心力によりウエハWの外方に広げ、さらに不要な薬液を振り切って飛散させるため、発生するミスト量が多く、このミストを排気するために、大きな外気取り込み量(排気量)が要求される。
2 液処理装置
21〜24 液処理部
3 スピンチャック
4 カップ体
5 薬液ノズル
61〜64 エッジカット機構
7A,7B,7 排気路
71 排気量調整機構
72 第1のダンパ
73 共通排気路
74 排気手段
75 第2のダンパ
76 分岐路
77,78 駆動部
8 制御部
Claims (11)
- 共通の筐体内に互いに並んで配列されると共に、その周囲をカップ体にて取り囲むように設けられたn個(nは3以上の整数)の基板保持部を備え、この基板保持部に保持された基板に対して、前記基板保持部の配列方向に移動可能に設けられた共通の薬液ノズルから薬液を供給しながら当該基板保持部を回転させることにより、当該基板に対して薬液の塗布を行なう液処理装置において、
前記複数のカップ体に夫々接続されると共に、前記筐体内に開口する分岐路を備えた複数の個別排気路と、
前記複数の個別排気路の下流側に共通に接続されると共に、その内部雰囲気が排気量Eで吸引排気される共通排気路と、
前記複数の個別排気路に夫々接続され、前記カップ体側からの外気の取り込み量と、前記分岐路側からの外気の取り込み量とを調整するための第1の外気取り込み量調整部と、
前記薬液ノズルが前記基板保持部上の基板と対向する設定位置にある一のカップ体に対応する前記第1の外気取り込み量調整部を第1の状態に、また他の残りのカップ体に対応する前記第1の外気取り込み量調整部を第2の状態に夫々設定するための制御信号を出力する制御部と、を備え、
前記第1の外気取り込み量調整部は、前記第1の状態にあるときには、前記分岐路側から外気を取り込まずに、当該カップ体側から外気を第1の取り込み量E1で取り込み、
前記第2の状態にあるときには、当該カップ体側から外気を前記第1の取り込み量E1よりも小さい第2の取り込み量E2で取り込み、かつカップ体側及び分岐路側の両方の外気の取り込み量が(E−E1)/(n−1)となるように構成されていることを特徴とする液処理装置。 - 前記制御部は、前記薬液ノズルの位置に基づいて、前記第1の外気取り込み量調整部を前記第1の状態または第2の状態に設定することを特徴とする請求項1記載の液処理装置。
- 前記共通排気路における一端側は前記筐体内に開口しており、
前記共通排気路に取り込まれる外気量を調整するために、当該共通排気路に設けられる第2の外気取り込み量調整部を備え、
前記制御部は、前記薬液ノズルが一のカップ体に対して前記設定位置にあるときと、いずれのカップ体に対しても前記設定位置にないときとの間で、前記第2の外気取り込み量調整部による外気の取り込み量を調整することを特徴とする請求項1又2記載の液処理装置。 - 前記制御部は、前記薬液ノズルが一のカップ体に対して前記設定位置にあるときには前記共通排気路内に外気を取り込まず、前記薬液ノズルがいずれのカップ体に対しても前記設定位置にないときには前記共通排気路に外気を取り込むように、前記第2の外気取り込み量調整部を制御することを特徴とする請求項4記載の液処理装置。
- 前記第1の外気取り入れ量調整部はダンパであることを特徴とする請求項1又は2記載の液処理装置。
- 前記第2の外気取り入れ量調整部はダンパであることを特徴とする請求項3又は4記載の液処理装置。
- 前記n個の基板保持部が配列される数は、3≦n≦6であることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一つに記載の液処理装置。
- 共通の筐体内に互いに並んで配列されると共に、その周囲をカップ体にて取り囲むように設けられたn個(nは3以上の整数)の基板保持部を備え、この基板保持部に保持された基板に対して、前記基板保持部の配列方向に移動可能に設けられた共通の薬液ノズルから薬液を供給しながら当該基板保持部を回転させることにより、当該基板に対して薬液の塗布を行なう液処理方法において、
前記複数のカップ体を、第1の外気取り込み量調整部が設けられた複数の個別排気路と、これら複数の個別排気路の下流側に共通に接続される共通排気路を介して排気量Eで吸引排気するにあたり、
前記薬液ノズルが前記基板保持部上の基板と対向する設定位置にある一のカップ体においては、前記分岐路から外気を取り込まずに、当該カップ体側から外気を第1の取り込み量E1で取り込むように前記第1の外気取り込み量調整部を調整し、
他の残りのカップ体においては、当該カップ体側から外気を前記第1の取り込み量E1よりも小さい第2の取り込み量E2で取り込み、かつカップ体側及び分岐路側の両方の外気の取り込み量が(E−E1)/(n−1)となるように前記第1の外気取り込み量調整部を調整することを特徴とする液処理方法。 - 前記共通排気路における一端側は前記筐体内に開口しており、
前記薬液ノズルが一のカップ体に対して前記設定位置にあるときと、いずれのカップ体に対しても前記設定位置にないときとの間で、前記共通排気路に設けられた第2の外気取り込み量調整部により、前記共通排気路内に取り込まれる外気量を調整することを特徴とする請求項7記載の液処理方法。 - 前記薬液ノズルが一のカップ体に対して前記設定位置にあるときには前記共通排気路に外気を取り込まず、前記薬液ノズルがいずれのカップ体に対しても前記設定位置にないときには前記共通排気路に外気を取り込むように、前記第2の外気取り込み量調整部を調整することを特徴とする請求項8記載の液処理方法。
- 基板に対して薬液を塗布する液処理装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記プログラムは、請求項8ないし10のいずれか一つに記載された液処理方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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