JP3962490B2 - 現像処理装置及び現像処理方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は,例えばLCD基板や半導体ウェハのような基板に現像液を供給し現像処理を行う装置及び現像処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造におけるフォトレジスト処理工程においては,例えば半導体ウェハ(以下,「ウェハ」という。)等の基板に対してレジスト液を塗布してレジスト膜を形成し,所定のパターンを露光する。その後,このウェハに対して現像液を供給して現像処理を行うことができる。
【0003】
従来の現像処理では,現像処理装置に備えられたスピンチャックにウェハが保持され,この保持されたウェハの表面全体にわたって現像液を供給する。ウェハの表面には現像液の液膜が均一に形成され,所定の時間,ウェハを静止状態に保ち現像を実施する。その後,スピンチャックによってウェハを回転させながら純水により現像液を洗い流し,現像液のミストが装置の内壁を汚染しないように装置内の内部雰囲気を排気しつつ,ウェハの表面から現像液の液膜を除去して現像が終了する。ここで,ウェハの表面に現像液を供給する際には,現像液供給ノズルが使用され,ウェハの表面から現像液を洗い流す際には,純水供給ノズルが使用される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら,従来の現像処理装置では,一つの空間内に現像液供給ノズル,純水供給ノズル等の各構成機器が備えられており,現像液の供給から現像液の液膜の除去までを連続して行っている。従って,例えば現像液供給ノズルがウェハに現像液を供給している間は,純水供給ノズルは待機し,逆に純水供給ノズルがウェハに純水を供給している間は,現像液供給ノズルは待機した状態となっている。そして,ウェハを静止状態に保ち現像を実施している間は,二つのノズルは,いずれも待機状態となっている。また,現像を実施している間は,スピンチャックは停止した状態となっている。そのため,装置全体としてみれば,現像処理装置の各構成機器の稼働効率は低い。さらに,前記したように一つの空間内に全ての構成機器が備えられていることから装置としては大型になり,そのため,現像液の液膜を除去する際に行われる排気もそれに応じて大きい排気量が必要となっていた。
【0005】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり,装置に設けられた各構成機器の稼働効率を高めることができる現像処理装置及び現像処理方法を提供して上記問題の解決を図ることを目的としている。さらに,本発明は,現像液の液膜を除去する際には,排気量が少なくて済む現像処理装置及び現像処理方法を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために,本発明は,基板に対して現像処理を行う現像処理装置であって,前記基板に現像液を供給して現像液の液膜を基板に形成する現像液供給室と,前記現像液の液膜が形成された基板を静止状態に保つ現像液静止室と,前記基板から現像液の液膜を除去する現像液除去室とが個別に備え, 前記現像液静止室には,前記現像液供給室と前記現像液静止室との間で基板を搬送する第1の搬送手段と,前記現像液静止室と前記現像液除去室との間で基板を搬送する第2の搬送手段とが設けられていることを特徴とする,現像処理装置を提供する。
【0007】
本発明の現像処理装置にあっては,現像液供給室,現像液静止室,現像液除去室を個別に設けているので,現像液の供給,静止,現像液の除去を同時並行的に行うことができる。そして,現像処理装置内では,現像液供給室,現像液静止室,現像液除去室の順番で次々と基板を処理し,各室内では同じ作業が絶えず行われる。各室内には各室内の処理に必要な構成機器が設けられることになるが,前記したように各室での同時並行処理が可能であるから各室内の各構成機器が殆ど待機状態にならず,各構成機器の稼働効率を高めることができる。従って,各構成機器の有効活用を図ることができる。なお,ここでいう構成機器には,現像液を供給する手段,基板を水平姿勢で保持する手段,除去液として純水を供給する手段等が含まれている。
【0008】
また,第1の搬送手段によって,現像液供給室と前記現像液静止室との間で基板を搬送し,第2の搬送手段によって,現像液静止室と前記現像液除去室との間で基板を搬送するので,いわゆる流れ作業方式で基板を現像処理することが容易となる。
【0009】
前記現像液静止室には,基板を支持する支持ピンと,基板から落下した現像液を受け止める受皿が設けられていてもよい。
【0012】
以上のような現像処理装置に備えられる構成機器の一つとして,前記現像液除去室に,基板を回転自在に保持する回転保持手段が設けられていてもよい。
かかる構成によれば,現像液の液膜を除去する際には,回転保持手段によって基板が高速回転するので基板から現像液が振り切られる。従って,基板から現像液を好適に除去することができる。
【0013】
また,開閉自在なシャッタと,内部雰囲気を排気する排気手段が前記現像液除去室に設けられていてもよく,この場合,シャッタを閉めて現像除去室を密閉状態にし,排気手段を通じて現像液除去室から現像液のミストを排気する。ここで,現像液除去室には,現像液を除去するのに必要な構成機器だけが設けられていればよいので,室内空間が従来よりもコンパクトになっている。従って,このような現像液除去室のみを排気すれば足りるので,従来よりも排気量を少なくすることができる。
別の観点による本発明は,基板に対して現像処理を行う現像処理装置であって,基板を水平に保持する載置台と,前記載置台に載置された基板に現像液を供給する現像液供給ノズルとを有する現像液供給部と,前記現像液供給部において現像液が供給された基板を載置し静止状態に保つ載置部を有する現像液静止部と,前記現像静止部から搬送された基板を回転自在に保持するスピンチャックと,前記スピンチャックに保持された基板に現像液の除去液を供給する除去液供給ノズルと,前記スピンチャックを囲むカップと,前記カップ内の液体を排液するための排液管と,前記カップ内の雰囲気を排気するための排気管とを有する現像液除去部と,を備え,前記現像液供給部,前記現像液静止部及び現像液除去部は,ケーシングで囲まれており,前記現像液静止部と前記現像液除去部との間には,前記現像液静止部と前記現像液除去部を仕切る壁部と,当該壁部を開閉自在なシャッタが設けられ,前記現像液供給部と前記現像液静止部との間には,前記現像液供給部と前記現像液静止部を仕切る壁部が設けられ,前記現像液静止部には,前記現像液供給部と前記現像液静止部との間で基板を搬送する第1の搬送手段と,前記現像液静止部と前記現像液除去部との間で基板を搬送する第2の搬送手段とが設けられていることを特徴とする。
また,前記現像液静止部には,基板を支持する支持ピンと,基板から落下した現像液を受け止める受皿が設けられていてもよい。
別の観点による本発明は,基板に対して現像処理を行う現像処理方法であって,現像液供給室の載置台に基板を保持し前記基板に現像液を供給する工程と,前記載置台上で現像液が供給された基板を現像液静止室の第1の搬送手段によって現像液静止室の載置部に搬送し,当該載置部で基板を所定の時間載置し静止現像させる工程と,前記静止現像された基板を現像液静止室の第2の搬送手段によって現像液除去室のスピンチャックに搬送し,当該スピンチャックにより基板を回転させつつ当該基板に除去液を供給して基板上の現像液を除去する工程と,を有し,前記現像液を除去する工程では,前記現像液除去室を密閉状態にし,前記現像液除去室から排気を行うことを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下,添付図面に基づき,本発明の好適な実施の形態について説明する。図1は本実施の形態にかかる現像処理装置90を備えた塗布現像処理装置1を平面から見た様子を示している。
【0015】
塗布現像処理装置1は,例えば25枚のウェハWをカセットC単位で外部から塗布現像処理装置1内に搬入出したり,カセットCにウェハWを搬入出するカセットステーション2と,ウェハWに対して枚葉式に所定の処理を施す各種処理装置群を多数配置してなる処理ステーション3と,この処理ステーション3と露光装置4との間でウェハWの受け渡しを行うためのインターフェイス部5とを一体に接続した構成を有している。
【0016】
カセットステーション2では図1に示すように,カセット載置台10上の位置決め突起10aの位置に複数のカセットCが,ウェハWの出入口を処理ステーション3側に向けてX方向(図1中の上下方向)に沿って一列に載置自在である。そして,このカセットCの配列方向(X方向)およびカセットC内に収納されたウェハWの配列方向(Z方向;垂直方向)に移動可能なウェハ搬送体11が搬送路12に沿って移動可能であり,各カセットCに対して選択的にアクセスできるようになっている。このウェハ搬送体11はθ方向にも回転自在に構成されており,後述する第1の加熱処理装置群20に属するエクステンション装置24等に対してアクセスできるように構成されている。
【0017】
処理ステーション3の背面側(図1中の上側)に,各種の加熱処理装置が多段に集積配置された第1の加熱処理装置群20,第2の加熱処理装置群30,第3の加熱処理装置群40が配置されている。背面側から処理ステーション3をみた図2に基づいて,これら加熱処理装置群を説明する。
【0018】
第1の加熱処理装置群20には,ウェハWを待機させると共に,待機中のウェハWを所定温度に冷却可能なエクステンションクーリング装置21,21と,レジストとウェハWとの密着性を向上させるアドヒージョン装置22と,ウェハWに位置合わせを施すアライメント装置23と,ウェハWを待機させるエクステンション装置24と,レジスト塗布後のウェハWを所定温度で加熱処理するプリベーキング装置25,25と,現像処理後のウェハWを加熱処理するポストベーキング装置26,26が,下から順に例えば8段に積み重ねられている。
第2の加熱処理装置群30には,エクステンションクーリング装置31,31と,プリベーキング装置32,32,32と,ポストベーキング装置33,33,33が,下から順に例えば8段に積み重ねられている。
第3の加熱処理装置群40には,エクステンションクーリング装置41,41と,アライメント装置42と,エクステンション装置43と,露光処理後のウェハWを加熱処理するポストエクスポージャベーキング装置44,44,44,44が,下から順に例えば8段に積み重ねられている。
【0019】
処理ステーション3の中心部には主搬送装置50が配置されており,主搬送装置50にはウェハWを保持する同一構成のピンセット51が例えば3本上下に備えられている。主搬送装置20の両側には,第1の冷却処理装置群60,第2の冷却処理装置群70がそれぞれ配置されている。中央から正面側に向かって処理ステーション3の内部をみた図3に基づいて,これら冷却処理装置群を説明する。
【0020】
図3に示したように,第1の冷却処理装置群60には,ウェハWを所定温度で冷却処理する冷却処理装置61,61,61,61が,下から順に例えば4段に積み重ねられている。第2の冷却処理装置群70には,冷却処理装置群60と同様に冷却処理装置71,71,71,71が,下から順に例えば4段に積み重ねられている。
【0021】
図4は,正面側からみた処理ステーション3の様子を示しており,図4に示すように,処理ステーション3の正面側には,カップCP内のウェハWに対してレジスト液を塗布するレジスト塗布装置80,81が並列配置されている。これらレジスト塗布装置80,81の上方には,ウェハWに対して現像処理する現像処理装置90が配置されている。
【0022】
図5に示すように,現像処理装置90には,ウェハWに現像液を供給して現像液の液膜をウェハWの表面に形成する現像液供給室91と,現像液の液膜が表面に形成されたウェハWを静止状態に保つ現像液静止室92と,ウェハWから現像液の液膜を除去する現像液除去室93とが個別に備えられている。さらに,現像液供給室91と現像液静止室92との間でウェハWを搬送する第1の搬送アーム94と,現像液静止室92と現像液除去室93との間でウェハWを搬送する第2の搬送アーム95とが現像液静止室92内に設けられている。
【0023】
図6は現像液供給室91の内部の様子を示し,図7は現像液静止室92の内部の様子を示し,図8は現像液除去室93の内部の様子を示すものである。図6〜図8に基づいてこれら室内の構成について説明する。図6に示すように,現像処理装置90のケーシング90aによって囲まれた現像液供給室91内には,上面が開口した環状のカップ96と,カップ96内でウェハWを水平に載置し,かつ載置したウェハWを回転させる回転載置台97と,ウェハWの表面に現像液を供給する現像液供給ノズル98とが備えられている。
【0024】
カップ96において,底面100にカップ96内の現像液を排液するための排液管101が接続されている。回転載置台97は,カップ96の下方に設けられた昇降回転機構105の支柱106に接続され,昇降,回転動作が可能となっている。現像液供給ノズル98は,図5に示す搬送レール108上を移動自在な把持アーム109により把持され,図5,6のX方向(図5中では現像処理装置90の長辺方向と平行な方向)に往復移動が可能となっている。また,現像液供給室91と現像液静止室92との間のウェハWの移動が円滑に行われるように,現像液供給室91と現像液静止室92とを仕切る壁部110は,上半分が空いている。
【0025】
第1の搬送アーム94と,第2の搬送アーム95はいずれも同様の構成を有してるので,第1のアーム94を例にとって説明すると,図9に示すように,第1の搬送アーム94は,水平方向に伸縮自在な水平多関節型ロボットとして構成されているアーム本体120と,アーム本体120を上面に設置する円板121と,この円板121を水平面内において図9中のθ方向に回転させる回転機構122と,回転機構122を支持する支柱123とを備えている。従って,第1の搬送アーム94は,回転機構122の稼働によってアーム本体120を現像液供給室91の方向に向かせてアーム本体120を伸縮させることにより,回転載置台97からウェハWを受け取ることができ,その後にアーム本体120を現像液静止室92の方向に向かせてアーム本体120を伸縮することにより,後述する現像液静止室92の載置部130にウェハWを受け渡すことができるようになっている。また,第2の搬送アーム95は,載置部130からウェハWを受け取り,後述する現像液除去室93のスピンチャック141にウェハWを受け渡すことができるようになっている。
【0026】
図7に示すように,現像液静止室92の中央には,前述した円柱状の載置部130が設けられている。この載置部130の上面には,例えば4本の支持ピン131が固定されており,この支持ピン131によってウェハWの裏面を支持させることにより,現像液の液膜が形成されたウェハWを水平状態で載置できるようになっている。さらに,載置部130の上面周縁に沿って受皿132が設けられており,ウェハWからこぼれ落ちた現像液を受け止めるようになっている。
【0027】
図8に示すように,現像液除去室93には,現像液静止室92と現像液除去室93とを仕切る壁部135に開閉自在なシャッタ136が設けられている。そして,このシャッタ136が閉じた状態で現像液除去室93内の内部雰囲気を排気する排気管137,138が底面に設けられている。
【0028】
現像液除去室93内には,カップ140と,カップ140内でウェハWを回転自在に保持するスピンチャック141と,ウェハWの表面に除去液として純水を供給する純水供給ノズル142とが備えられている。カップ140において,底面145は傾斜しており,この底面145の最下位部にはカップ140内の現像液を排液するための排液管146が接続されている。この排液管146の反対側には,カップ140の内部の雰囲気を排気するための排気管147が接続されている。また,カップ140の底面145には,環状壁148が立設されており,この環状壁148の上端には,スピンチャック141に吸着保持されたウェハWの裏面に近接する整流板149が配設されている。この整流板149の周辺部は,外側に向かって下方に傾斜するように構成されている。さらに,ウェハWの裏面を洗浄するために純水を供給する裏面洗浄ノズル150が配置されている。
【0029】
スピンチャック141は,カップ140の下方に設けられた昇降回転機構155の支柱156に接続されている。ここで,スピンチャック141はウェハWを水平状態で吸着保持するように構成されているので,昇降回転機構155の稼働によって,ウェハWを高速回転させることができるようになっている。図5に示すように,純水供給ノズル142は,回転軸160の上部に支持部材161を介して水平姿勢で支持されており,この回転軸160を中心としてカップ140の上方を図5のθ方向に回動移動するように構成されている。
【0030】
先に図1に示したように,インタフェイス部5には,第3の加熱処理装置群40に属するエクステンション装置43,ポストエクスポージャベーキング装置44等にアクセス可能なウェハ搬送体170が装備されている。ウェハ搬送体170はレール171に沿ったX方向への移動と,Z方向(垂直方向)への昇降とが自在であり,θ方向にも回転自在となっている。そして,露光装置4や周辺露光装置172に対してウェハWを搬送することができるように構成されている。
【0031】
次に,以上のように構成された本実施の形態にかかる現像処理装置90を備えた塗布現像処理装置1における処理工程について説明する。
【0032】
まずカセットステーション2においてウェハ搬送体11がカセットCにアクセスして未処理のウェハWを1枚取り出す。次いで,このウェハWはウェハ搬送体11により第1の加熱処理装置群20のアライメント装置23に搬送される。アライメント装置23で位置合わせを終了したウェハWは,主搬送装置50によってアライメント装置23から取り出されて,第1の加熱処理装置群20に属するアドヒージョン装置22に搬入される。疎水化処理終了後,ウェハWは,第1の冷却処理装置群60に属する冷却処理装置61に搬送されて,所定の冷却処理が施される。所定の冷却処理が終了したウェハWは,例えばレジスト塗布装置80に搬入されて所定のレジスト塗布処理が施される。
【0033】
その後,ウェハWは,第2の加熱処理装置群30に属するプリベーキング装置32に搬送され,所定の加熱処理が施される。かかる加熱処理終了後のウェハWは,第2の冷却処理装置群70に属する冷却処理装置71に搬送されて,所定の冷却処理が施される。所定の冷却処理が終了したウェハWは,第3の加熱処理装置群40に属するエクステンション装置43に搬入されて,その場で待機する。
【0034】
次いで,ウェハWはウェハ搬送体170によってエクステンション装置43から搬出され,周辺露光装置172に搬送される。そして,周辺露光装置172で周辺部の不要なレジスト膜が除去されたウェハWは露光装置4に搬送されて,所定の露光処理が施される。
【0035】
露光装置4でパターンが露光されたウェハWは,ウェハ搬送体170で第3の加熱処理装置群40に搬送され,ポストエクスポージャベーキング装置44に搬入されて所定の加熱処理が施される。かかる露光処理後の加熱処理が終了したウェハWは,第3の加熱処理装置群40に属するエクステンション装置43に搬入されて待機した後に,主搬送装置50によってエクステンション装置43から搬出される。そして,第2の冷却処理装置群70に属する冷却処理装置71に搬送されて,所定の冷却処理が施される。その後,ウェハWは,現像処理装置90に搬送され現像液供給室91に搬入される。
【0036】
現像液供給室91では,ウェハWが回転載置台97上に保持されると,現像液供給ノズル98がウェハWの上方の所定の位置まで移動する。そして,図10に示すように,ウェハWを少なくとも半回転させてウェハWの表面に均一を現像液を供給し,現像液の液膜を形成する。かかる現像液の液膜が表面に形成されたウェハWは,第1の搬送アーム94によって,現像液供給室91から現像液静止室92へ搬送され,図7に示したように,載置部130に載置されて,所定の時間,静止状態に保たれる。この間,一方で現像液供給室91に主搬送装置50によって次のウェハWが搬入されることになり,このウェハWに対して現像液の供給が行われる。
【0037】
所定の時間の静止状態の経過後,ウェハWは,第2の搬送アーム95によって,現像液静止室92から現像液除去室93へ搬送されてスピンチャック141上に保持され,スピンチャック141が回転し始める。純水供給ノズル142がウェハWの上方の所定の位置まで移動し,純水供給ノズル142からウェハWの表面に純水が供給されると共に,裏面洗浄ノズル150からウェハWの裏面に純水が供給されて,ウェハWから現像液が洗い流される。この場合,スピンチャック141によってウェハWを高速回転させるので,ウェハWから現像液が振り切られ,ウェハWから現像液を好適に除去することができる。
【0038】
一方,シャッタ136を閉めて現像除去室93を密閉状態にし,排気管137,138を通じて現像液除去室93から現像液のミストを排気する。従って,現像液のミストが室内の内壁を汚染することや他の室内へ拡散することが防止される。ここで,現像液除去室93には,現像液を除去するのに必要な構成機器だけが設けられているので,室内空間がコンパクトになっている。従って,このような現像液除去室93のみを排気すれば足りるので,従来よりも排気量を少なくすることができる。
【0039】
一方,この間,現像液静止室92には次のウェハWが搬入されて,所定の時間,静止状態に保たれる。さらに,現像液供給室91には,三番目のウェハWが搬入されて現像液の供給が行われる。そして,現像処理が終了したウェハWは,現像液除去室93を介して現像処理装置90から搬出され,次のウェハW,三番目のウェハWはそれぞれ次の処理へと移行し,現像液供給室91には,四番目のウェハWが搬入され,以後,同様の現像処理が続く。
【0040】
このように,本実施の形態にかかる現像処理装置90にあっては,現像液供給室91,現像液静止室92,現像液除去室93を個別に設けているので,現像液の供給,静止,現像液の除去を同時並行的に行うことができる。そして,現像処理装置90内では,第1の搬送アーム94,第2の搬送アーム95を用いて,現像液供給室91,現像液静止室92,現像液除去室93の順番でウェハWを流し,いわゆる流れ作業方式で現像処理を行うことができる。
【0041】
そして,複数枚のウェハWを次々と現像処理装置90に搬入すれば,現像液供給室91,現像液静止室92,現像液除去室93では,それぞれ絶えず現像液の供給,現像の実施,現像液の除去が行われることになる。各室内の作業に必要な構成機器として,現像液供給室91には回転載置台97,現像液供給ノズル98が,現像液静止室92には載置部130が,現像液除去室93にはスピンチャック141,純水供給ノズル142がそれぞれ設けられることになるが,前記したように各室での同時並行処理が可能であるから各室内の各構成機器が殆ど待機状態にならず,各構成機器の稼働効率を高めることができる。従って,各構成機器の有効活用を図ることができる。
【0042】
なお,現像処理装置90から搬出されたウェハWは,第2の加熱処理装置群30に属するポストベーキング装置33に搬入されて,現像処理後の加熱処理が施される。その後,ウェハWは,第1の冷却処理装置群60に属する冷却処理装置61に搬入されて,所定の冷却処理が施される。そして,ウェハWは第1の加熱処理装置群20に属するエクステンション装置24からウェハ搬送体11によって搬出され,カセットCに収納される。こうして,一連の塗布現像処理工程を終了する。
【0043】
上記実施の形態の現像処理装置90に代えて,次に説明する第2の実施の形態にかかる現像処理装置180を提案できる。
【0044】
この現像処理装置180は,図11に示すように,ウェハWに現像液を供給して現像液の液膜をウェハWの表面に形成し,現像液の液膜が表面に形成されたウェハWを静止状態に保つ現像液供給室181と,ウェハWから現像液の液膜を除去する現像液除去室93とが個別に備えられている。さらに,現像液供給室181と現像液除去室93との間でウェハWを搬送する,先に説明した第1の搬送アーム94と同様の構成を有した搬送アーム182が現像液供給室181内に設けられている。なお,現像液の供給と現像の実施を共に行う現像液供給室181以外は,先に説明した現像処理装置90と同一の構成であるので,同一の機能及び構成を有する構成要素については,同一符号を付することにより,重複説明を省略する。
【0045】
かかる構成によれば,現像液供給室181においては,回転載置台97に載置されたウェハWに対して,現像液が供給された後に回転載置台97が静止状態となって,現像が実施される。現像液除去室93では,先に説明したのと同様に現像液の除去が行われる。こうして,現像液の供給から現像の実施までと,現像液の除去とを同時並行的に行うことができ,現像液供給室181,現像液除去室93の二つの室のみでウェハWを流れ作業方式で現像処理することができる。従って,装置の小型化を実現することができる。もちろん,現像処理装置90と同様に,現像液供給室181では現像液供給ノズル98,回転載置台97が,現像液除去室93では純水供給ノズル142,スピンチャック141がそれぞれ停止している時間が短くなり,有効活用されている。
【0046】
なお,本発明は,これらの実施の形態に限定されるものではなく,例えば,基板は上記ウェハWに限るものではなく,LCD基板,ガラス基板,CD基板,フォトマスク,プリント基板,セラミック基板等でも可能である。
【0047】
【発明の効果】
本発明によれば,現像液の供給,静止,現像液の除去といった現像処理における一連の現像工程を流れ作業方式で行える構成なので,装置に備えられた各構成機器の待機状態を減らし,各構成機器の稼働効率を高めることができる。従って,各構成機器の有効活用を図ることができる。
【0048】
請求項3,4に記載の現像処理装置によれば,請求項1よりも装置の小型化を実現することができる。もちろん,請求項1と同様に各構成機器の稼働効率は従来よりも優れている。
【0049】
請求項5の記載の発明では,現像液除去室で現像液を好適に除去することができる。また,請求項6の記載の発明では,現像液を除去する際に必要な排気量を,従来よりも少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態にかかる現像処理装置を備えた塗布現像処理装置の平面図である。
【図2】図1の塗布現像処理装置に備えられた処理ステーションを背面側からみた説明図である。
【図3】処理ステーションの内部を中央から正面側に向かってみた説明図である。
【図4】図1の塗布現像処理装置に備えられた処理ステーションを正面側からみた説明図である。
【図5】本実施の形態にかかる現像処理装置の平面図である。
【図6】図5の現像処理装置に備えられた現像液供給室の縦断面説明図である。
【図7】図5の現像処理装置に備えられた現像液静止室の縦断面説明図である。
【図8】図5の現像処理装置に備えられた現像液除去室の縦断面説明図である。
【図9】第1の搬送アームの斜視図である。
【図10】現像液供給ノズルより,ウェハに現像液を供給し現像液の液膜を形成する様子を示す説明図である。
【図11】第2の実施の形態にかかる現像処理装置の平面図である。
【符号の説明】
1 塗布現像処理装置
90 現像処理装置
91 現像液供給室
92 現像液静止室
93 現像液除去室
94 第1の搬送アーム
95 第2の搬送アーム
136 シャッタ
137,138 排気管
141 スピンチャック
C カセット
W ウェハ
Claims (7)
- 基板に対して現像処理を行う現像処理装置であって,
前記基板に現像液を供給して現像液の液膜を基板に形成する現像液供給室と,
前記現像液の液膜が形成された基板を静止状態に保つ現像液静止室と,
前記基板から現像液の液膜を除去する現像液除去室とが個別に備えられ,
前記現像液静止室には,前記現像液供給室と前記現像液静止室との間で基板を搬送する第1の搬送手段と,前記現像液静止室と前記現像液除去室との間で基板を搬送する第2の搬送手段とが設けられていることを特徴とする,現像処理装置。 - 前記現像液静止室には,基板を支持する支持ピンと,基板から落下した現像液を受け止める受皿が設けられていることを特徴とする,請求項1に記載の現像処理装置。
- 前記現像液除去室に,基板を回転自在に保持する回転保持手段が設けられていることを特徴とする,請求項1又は2に記載の現像処理装置。
- 開閉自在なシャッタと,内部雰囲気を排気する排気手段が前記現像液除去室に設けられていることを特徴とする,請求項1〜3のいずれかに記載の現像処理装置。
- 基板に対して現像処理を行う現像処理装置であって,
基板を水平に保持する載置台と,前記載置台に載置された基板に現像液を供給する現像液供給ノズルとを有する現像液供給部と,
前記現像液供給部において現像液が供給された基板を載置し静止状態に保つ載置部を有する現像液静止部と,
前記現像静止部から搬送された基板を回転自在に保持するスピンチャックと,前記スピンチャックに保持された基板に現像液の除去液を供給する除去液供給ノズルと,前記スピンチャックを囲むカップと,前記カップ内の液体を排液するための排液管と,前記カップ内の雰囲気を排気するための排気管とを有する現像液除去部と,を備え,
前記現像液供給部,前記現像液静止部及び現像液除去部は,ケーシングで囲まれており,
前記現像液静止部と前記現像液除去部との間には,前記現像液静止部と前記現像液除去部を仕切る壁部と,当該壁部を開閉自在なシャッタが設けられ,
前記現像液供給部と前記現像液静止部との間には,前記現像液供給部と前記現像液静止部を仕切る壁部が設けられ,
前記現像液静止部には,前記現像液供給部と前記現像液静止部との間で基板を搬送する第1の搬送手段と,前記現像液静止部と前記現像液除去部との間で基板を搬送する第2の搬送手段とが設けられていることを特徴とする,現像処理装置。 - 前記現像液静止部には,基板を支持する支持ピンと,基板から落下した現像液を受け止める受皿が設けられていることを特徴とする,請求項5に記載の現像処理装置。
- 基板に対して現像処理を行う現像処理方法であって,
現像液供給室の載置台に基板を保持し前記基板に現像液を供給する工程と,
前記載置台上で現像液が供給された基板を現像液静止室の第1の搬送手段によって現像液静止室の載置部に搬送し,当該載置部で基板を所定の時間載置し静止現像させる工程と,
前記静止現像された基板を現像液静止室の第2の搬送手段によって現像液除去室のスピンチャックに搬送し,当該スピンチャックにより基板を回転させつつ当該基板に除去液を供給して基板上の現像液を除去する工程と,を有し,
前記現像液を除去する工程では,前記現像液除去室を密閉状態にし,前記現像液除去室から排気を行うことを特徴とする,現像処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30337898A JP3962490B2 (ja) | 1998-10-09 | 1998-10-09 | 現像処理装置及び現像処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30337898A JP3962490B2 (ja) | 1998-10-09 | 1998-10-09 | 現像処理装置及び現像処理方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000114165A JP2000114165A (ja) | 2000-04-21 |
JP2000114165A5 JP2000114165A5 (ja) | 2005-08-11 |
JP3962490B2 true JP3962490B2 (ja) | 2007-08-22 |
Family
ID=17920296
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30337898A Expired - Lifetime JP3962490B2 (ja) | 1998-10-09 | 1998-10-09 | 現像処理装置及び現像処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3962490B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101582569B1 (ko) * | 2013-09-30 | 2016-01-07 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 설비, 그리고 이를 이용하는 기판 처리 방법 |
-
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000114165A (ja) | 2000-04-21 |
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