JP2010032531A - 高性能テスターインタフェースモジュール - Google Patents
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 45
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 14
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 21
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000006735 deficit Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 1
Images
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
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- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07364—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch
- G01R1/07378—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch using an intermediate adapter, e.g. space transformers
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
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Abstract
【解決手段】複数のテスター電子機器チャネルをデバイスインタフェースボードに取外し可能に連結するためのモジュラーテスターインタフェースにおいて、少なくとも1つのハーネスアッセンブリは、複数の同軸ケーブル52とコネクタハウジングを備えており、同軸ケーブルは、それぞれ、中心導体と、中心導体の周りに同軸で形成され誘電体の層58によって形成され、コネクタハウジングには、先端がインタフェース係合面を形成するように、ケーブルの遠位端を収容して互いに近接した関係で固定するための内側空洞が設けられており、相互接続部は、ハーネスアッセンブリとデバイスインタフェースボードの間に配置されており、複数の導体を含んでおり、ケーブルの遠位端を圧縮係合させるように形成されている。
【選択図】図4
Description
図2に本発明のテスターインタフェースモジュールを、全体として番号50で示すが、このテスターインタフェースモジュール50は、半導体テスターテストヘッド内のチャネルカードからの複数のチャネルを、(プロバー又はハンドラのような)ハンドリング装置の一部として含まれているデバイスインタフェースボード(DIB)へ電気的に連結する。以下に更に詳細に説明するように、本モジュールは独特な構造を有しているため、従来のポゴピンを使用することなく、優れた精度、チャネル密度、及びテスター信号に関する信号帯域幅が達成される。
Claims (8)
- 複数のテスター電子機器チャネルをデバイスインタフェースボードに取外し可能に連結するための、少なくとも1つのハーネスアッセンブリと、コンプライアンスのある相互接続部とを備えているモジュラーテスターインタフェースアッセンブリにおいて、
前記少なくとも1つのハーネスアッセンブリは、複数の同軸ケーブルとコネクタハウジングを備えており、
前記複数の同軸ケーブルは、それぞれ、
中心導体と、前記中心導体の周りに同軸で形成され誘電体の層によって前記中心導体から分離されているシールドとを有しているボデーと、
前記ボデーと実質的に同様に形成され、前記中心導体と前記シールドの遠位先端に配置されているそれぞれの成形導体パッドを含んでいる遠位先端と、を備えており、
前記コネクタハウジングには、前記遠位先端がインタフェース係合面を形成するように、前記ケーブルの遠位端を収容して互いに近接した関係で固定するための内側空洞が設けられており、
前記コンプライアンスのある相互接続部は、前記ハーネスアッセンブリと前記デバイスインタフェースボードの間に配置されており、前記コンプライアンスのある相互接続部は、複数の導体を含んでおり、前記ケーブルの遠位端を圧縮係合で係合させるように形成されている、テスターインタフェースアッセンブリ。 - 前記デバイスインタフェースボードは、ロードボードを含んでいる、請求項1に記載のテスターインタフェースアッセンブリ。
- 前記デバイスインタフェースボードは、プローブカードを含んでいる、請求項1に記載のテスターインタフェースアッセンブリ。
- 前記少なくとも1つのハーネスアッセンブリは、複数のハーネスアッセンブリを含んでいる、請求項1に記載のテスターインタフェースアッセンブリ。
- 複数の半導体テスターピン電子機器回路を、デバイスインタフェースボード上に配置されているコンプライアンスのある相互接続部の列にインタフェースするためのハーネスアッセンブリにおいて、
複数の同軸ケーブルであって、前記同軸ケーブルは、それぞれ、
中心導体と、前記中心導体の周りに同軸に形成され誘電体の層によって前記中心導体から分離されているシールドとを有しているボデーと、
前記ボデーと実質的に同様に形成され、前記中心導体と前記シールドの遠位先端に配置されているそれぞれの成形導体パッドを含んでいる遠位先端と、を備えている、複数の同軸ケーブルと、
前記各遠位先端がインタフェース係合面を形成するように、前記各ケーブルの遠位端を収容して互いに近接した関係で固定するための内側空洞が設けられているハウジングと、を備えているハーネスアッセンブリ。 - 前記複数の同軸ケーブルの先端部分は、それぞれ、薄い環状の静電放電ポリマーの層で形成されており、前記中心導体と前記シールドとの間に填り込んでいる、請求項5に記載のハーネス。
- 複数のテスターチャネルをデバイスインタフェースボードにインタフェースする方法において、
テスターピン電子機器からの複数の同軸ケーブルをDIBへ経路指定する段階と、
コンプライアンスのある相互接続部を前記同軸ケーブルと前記DIBとの間に介在させる段階と、から成る方法。 - ESD抵抗同軸ケーブルを製作する方法において、
シールド内に同軸に配置されている中心導体を備えて形成され、前記中心導体と前記シールドの間に同軸に挿入された誘電体を含んでいるケーブルボデーを有する型式の同軸ケーブルの長さを選択する段階であって、前記ケーブルはそれぞれの近位端と遠位端を含んでいる、同軸ケーブルの長さを選択する段階と、
前記誘電体の一部を前記遠位端で溶解して、前記中心導体と前記シールドとの間に環状の空洞を形成する段階と、
静電放電ポリマーの層を前記空洞内に堆積する段階と、
前記中心導体及び前記シールドと共に接点を形成する段階と、から成る方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/676,041 | 2000-09-28 | ||
US09/676,041 US6515499B1 (en) | 2000-09-28 | 2000-09-28 | Modular semiconductor tester interface assembly for high performance coaxial connections |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002530865A Division JP2004510164A (ja) | 2000-09-28 | 2001-09-27 | 高性能テスターインタフェースモジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010032531A true JP2010032531A (ja) | 2010-02-12 |
JP5254919B2 JP5254919B2 (ja) | 2013-08-07 |
Family
ID=24712981
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002530865A Pending JP2004510164A (ja) | 2000-09-28 | 2001-09-27 | 高性能テスターインタフェースモジュール |
JP2009222000A Expired - Lifetime JP5254919B2 (ja) | 2000-09-28 | 2009-09-28 | 高性能テスターインタフェースモジュール |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002530865A Pending JP2004510164A (ja) | 2000-09-28 | 2001-09-27 | 高性能テスターインタフェースモジュール |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6515499B1 (ja) |
EP (1) | EP1322963A2 (ja) |
JP (2) | JP2004510164A (ja) |
KR (1) | KR100855208B1 (ja) |
CN (1) | CN1466687A (ja) |
AU (1) | AU2001296339A1 (ja) |
TW (1) | TW561268B (ja) |
WO (1) | WO2002027337A2 (ja) |
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KR20040005828A (ko) | 2004-01-16 |
CN1466687A (zh) | 2004-01-07 |
KR100855208B1 (ko) | 2008-09-01 |
US6939175B2 (en) | 2005-09-06 |
WO2002027337A3 (en) | 2002-08-29 |
US20030122538A1 (en) | 2003-07-03 |
JP2004510164A (ja) | 2004-04-02 |
WO2002027337A2 (en) | 2002-04-04 |
JP5254919B2 (ja) | 2013-08-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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