JP2010014549A - 距離計及び距離測定方法並びに光学的三次元形状測定機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
第1の光源1から出射されて基準面4に照射される基準光S1と第2の光源2から出射されて測定面6に照射される測定光S2と干渉光S3を基準光検出器3により検出して得られる干渉信号と、上記基準面4により反射された基準光S1’と上記測定面5により反射された測定光S2’との干渉光S4を測定光検出器6により検出して得られる干渉信号を信号処理部7に供給して、上記信号処理部7により、上記干渉光S3を検出した干渉信号と上記干渉光S4を検出した干渉信号の時間差から、光速と測定波長における屈折率から上記基準面までの距離と上記測定面までの距離の差を求める。
【選択図】 図1
Description
Claims (9)
- それぞれ周期的に強度又は位相が変調され、互いに変調周期が異なる干渉性のある基準光と測定光を出射する第1及び第2の光源と、
上記第1の光源から出射された基準光と上記第2の光源からの出射された測定光との干渉光を検出する基準光検出器と、
上記第1の光源から出射された基準光が照射される基準面と、
上記第2の光源から出射された測定光が照射される測定面と、
上記基準面により反射された基準光と上記測定面により反射された測定光との干渉光を検出する測定光検出器と、
上記基準光検出器により検出された干渉信号と上記測定光検出器により検出された干渉信号の時間差から、光速と測定波長における屈折率から上記基準面までの距離と上記測定面までの距離の差を求める信号処理部と
を備える距離計。 - 上記第1及び第2の光源は、モード周波数間隔が異なる2台の光周波数コム発生器であることを特徴とする請求項1記載の距離計。
- 上記信号処理部は、上記基準光検出器により検出された干渉信号を周波数解析して多数の光周波数コムの位相情報を一括して取得するとともに、上記測定光検出器により検出された干渉信号を周波数解析して多数の光周波数コムの位相情報を一括して取得し、それぞれの位相特性の周波数に対する変化率を求め、その傾きの差から上記基準面までの距離と上記測定面までの距離の差を算出することを特徴とする請求項2記載の距離計。
- 上記第1及び第2の光源として、それぞれ周期的に強度又は位相が変調されかつキャリア周波数が安定化された2台の光源を使用し、
上記信号処理部は、上記基準光検出器と上記測定光検出器による干渉信号の時間差による絶対距離とキャリア周波数成分の位相による変位測定を行うことを特徴とする請求項1記載の距離計。 - 上記第1及び第2の光源は、相対位相の同期が高い周波数帯域まで行われ短期的な相対位相変動の少ない2台の対になった発振器により駆動されて、上記互いに変調周期が異なる干渉性のある基準光と測定光を出射することを特徴とする請求項1記載の距離計。
- 上記信号処理部は、モード周波数差が同じでない複数の値での距離計測結果に基づいて、測定距離の校正処理を行うことを特徴とする請求項1記載の距離計。
- 上記信号処理部は、変調周波数が同じでない複数の値での距離計測結果に基づいて、マイクロ波の波長以上の距離で絶対距離測定値を算出することを特徴とする請求項1記載の距離計。
- それぞれ周期的に強度又は位相が変調され、互いに変調周期が異なる干渉性のある基準光と測定光を基準面と測定面に照射し、
上記基準面と測定面に照射する基準光と測定光との第1の干渉光を検出するとともに、上記基準面により反射された基準光と上記測定面により反射された測定光との第2の干渉光を検出し、
上記第1の干渉光を検出した干渉信号と上記第2の干渉光を検出した干渉信号の時間差から、光速と測定波長における屈折率から上記基準面までの距離と上記測定面までの距離の差を求める
ことを特徴とする距離測定方法。 - それぞれ周期的に強度又は位相が変調され、互いに変調周期が異なる干渉性のある基準光と測定光を出射する第1及び第2の光源と、上記第1の光源から出射された基準光と上記第2の光源からの出射された測定光との干渉光を検出する基準光検出器と、上記第1の光源から出射された基準光が照射される基準面と、上記基準面により反射された基準光と上記対象物体により反射された測定光との干渉光を検出する測定光検出器と、上記基準光検出器により検出された干渉信号と上記測定光検出器により検出された干渉信号の時間差から、光速と測定波長における屈折率から上記基準面までの距離と上記対象物体までの距離の差を求める信号処理部とを備える距離計と、
上記距離計から出射される測定光で対象物体を走査し、上記対象物体により反射された上記測定光を上記距離計に戻す光学スキャン装置と、
上記光学スキャン装置を制御してレーザービームを走査すると同時に上記距離計が計測する絶対距離情報を取得して、ビーム照射位置とその場所まで絶対距離を複数の点について蓄積することにより非接触で物体の三次元形状を測定する信号処理装置と
を備えることを特徴とする光学的三次元形状測定機。
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Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012002619A (ja) * | 2010-06-16 | 2012-01-05 | Ito Co Ltd | レーザー干渉バンプ測定器 |
JP2012013574A (ja) * | 2010-07-01 | 2012-01-19 | Optical Comb Inc | 光学式計測装置及びその干渉計用プリズム。 |
CN102538687A (zh) * | 2010-12-30 | 2012-07-04 | 财团法人工业技术研究院 | 移动样品形貌的测量方法及其装置 |
WO2013084616A1 (ja) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | 株式会社日立製作所 | 距離計測方法および装置とそれを搭載した形状計測装置 |
JP2013178169A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Neoark Corp | 光ヘテロダイン距離計 |
JP2015528924A (ja) * | 2012-07-19 | 2015-10-01 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学距離測定システムを備えるマイクロリソグラフィー用の投影露光装置 |
JP2015178981A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | アイシン精機株式会社 | 距離測定装置及び距離測定方法 |
JP2015178982A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | アイシン精機株式会社 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
JP2018169265A (ja) * | 2017-03-29 | 2018-11-01 | 株式会社東京精密 | 距離測定装置及び距離測定方法 |
JP2020008357A (ja) * | 2018-07-04 | 2020-01-16 | 株式会社光コム | 距離計及び距離測定方法並びに光学的三次元形状測定機 |
JP2020512551A (ja) * | 2017-03-22 | 2020-04-23 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 位置測定システム、ゼロ調整方法、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
JP2020148632A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 株式会社Xtia | 内径測定装置 |
JP2021110698A (ja) * | 2020-01-15 | 2021-08-02 | 株式会社Xtia | 光学式三次元形状測定装置 |
JP2021140193A (ja) * | 2018-11-26 | 2021-09-16 | 株式会社Xtia | 光共振器の共振長の制御方法、光コム発生器及び光コム発生装置 |
JP7353644B2 (ja) | 2020-01-08 | 2023-10-02 | 株式会社Xtia | 光学スキャナ装置の校正方法、光学スキャナ装置及び光学式三次元形状測定装置 |
JP7385919B2 (ja) | 2020-01-30 | 2023-11-24 | 株式会社Xtia | 距離測定方法及び光コム距離計並びに光学的三次元形状測定装置 |
JP7435945B2 (ja) | 2020-07-03 | 2024-02-21 | 株式会社OptoComb | 光学式三次元形状測定装置の補正方法及び補正用基準器、並びに、光学式三次元形状測定装置 |
JP7448962B2 (ja) | 2021-06-17 | 2024-03-13 | 株式会社OptoComb | 光コム距離計測用の光コム発生装置 |
JP7448964B2 (ja) | 2021-07-28 | 2024-03-13 | 株式会社OptoComb | 光コム距離計測方法及び光コム距離計測装置 |
JP7498497B2 (ja) | 2021-12-02 | 2024-06-12 | 株式会社OptoComb | 光コム発生装置及び光コム距離計測装置 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017169788A1 (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | パルス光生成装置、光照射装置、光加工装置、光応答測定装置、顕微鏡装置、及びパルス光生成方法 |
JP7152748B2 (ja) | 2018-07-13 | 2022-10-13 | 株式会社Xtia | 距離計及び距離測定方法並びに光学的三次元形状測定機 |
WO2020257972A1 (zh) * | 2019-06-24 | 2020-12-30 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 | 测距装置、测距方法及电子设备 |
WO2021125007A1 (ja) | 2019-12-17 | 2021-06-24 | 株式会社Xtia | 光共振器及び光変調器の作製方法、並びに光共振器、光変調器、光周波数コム発生器、光発振器 |
EP4238685A1 (en) | 2020-10-28 | 2023-09-06 | Nikon Corporation | Optical processing device |
JP6925550B1 (ja) | 2021-01-26 | 2021-08-25 | 株式会社Xtia | 光コム発生装置 |
JP6972403B1 (ja) | 2021-02-22 | 2021-11-24 | 株式会社Xtia | 低相対位相雑音光コム発生装置 |
JPWO2022180808A1 (ja) | 2021-02-26 | 2022-09-01 | ||
JP6994128B1 (ja) | 2021-03-29 | 2022-02-03 | 株式会社Xtia | 光コム発生装置 |
JP6961185B1 (ja) | 2021-04-26 | 2021-11-05 | 株式会社Xtia | 光コム発生器制御装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01503172A (ja) * | 1987-04-28 | 1989-10-26 | ヴィルト・ライツ・アクチエンゲゼルシャフト | 光学的ヘテロダイン処理を有する2波長のインターフェロメトリーのための方法および装置と位置または距離測定のための使用 |
JPH06129812A (ja) * | 1992-10-15 | 1994-05-13 | Matsushita Electric Works Ltd | ヘテロダイン干渉測長器 |
JP2001343222A (ja) * | 2000-06-05 | 2001-12-14 | Canon Inc | 三次元形状計測方法及び装置 |
JP2002082045A (ja) * | 2000-09-08 | 2002-03-22 | Japan Science & Technology Corp | 光計測システム |
WO2006019181A1 (ja) * | 2004-08-18 | 2006-02-23 | National University Corporation Tokyo University Of Agriculture And Technology | 形状測定方法、形状測定装置および周波数コム光発生装置 |
-
2008
- 2008-07-03 JP JP2008174860A patent/JP5231883B2/ja active Active
-
2009
- 2009-06-25 WO PCT/JP2009/061634 patent/WO2010001809A1/ja active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01503172A (ja) * | 1987-04-28 | 1989-10-26 | ヴィルト・ライツ・アクチエンゲゼルシャフト | 光学的ヘテロダイン処理を有する2波長のインターフェロメトリーのための方法および装置と位置または距離測定のための使用 |
JPH06129812A (ja) * | 1992-10-15 | 1994-05-13 | Matsushita Electric Works Ltd | ヘテロダイン干渉測長器 |
JP2001343222A (ja) * | 2000-06-05 | 2001-12-14 | Canon Inc | 三次元形状計測方法及び装置 |
JP2002082045A (ja) * | 2000-09-08 | 2002-03-22 | Japan Science & Technology Corp | 光計測システム |
WO2006019181A1 (ja) * | 2004-08-18 | 2006-02-23 | National University Corporation Tokyo University Of Agriculture And Technology | 形状測定方法、形状測定装置および周波数コム光発生装置 |
Cited By (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012002619A (ja) * | 2010-06-16 | 2012-01-05 | Ito Co Ltd | レーザー干渉バンプ測定器 |
JP2012013574A (ja) * | 2010-07-01 | 2012-01-19 | Optical Comb Inc | 光学式計測装置及びその干渉計用プリズム。 |
CN102538687A (zh) * | 2010-12-30 | 2012-07-04 | 财团法人工业技术研究院 | 移动样品形貌的测量方法及其装置 |
US8654353B2 (en) | 2010-12-30 | 2014-02-18 | Industrial Technology Research Institute | Measuring method for topography of moving specimen and a measuring apparatus thereof |
WO2013084616A1 (ja) * | 2011-12-05 | 2013-06-13 | 株式会社日立製作所 | 距離計測方法および装置とそれを搭載した形状計測装置 |
JP2013178169A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Neoark Corp | 光ヘテロダイン距離計 |
JP2015528924A (ja) * | 2012-07-19 | 2015-10-01 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学距離測定システムを備えるマイクロリソグラフィー用の投影露光装置 |
US9759550B2 (en) | 2012-07-19 | 2017-09-12 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projection exposure apparatus for microlithography comprising an optical distance measurement system |
JP2015178981A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | アイシン精機株式会社 | 距離測定装置及び距離測定方法 |
JP2015178982A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | アイシン精機株式会社 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
JP2020512551A (ja) * | 2017-03-22 | 2020-04-23 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 位置測定システム、ゼロ調整方法、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
US10883816B2 (en) | 2017-03-22 | 2021-01-05 | Asml Netherlands B.V. | Position measurement system, zeroing method, lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP2018169265A (ja) * | 2017-03-29 | 2018-11-01 | 株式会社東京精密 | 距離測定装置及び距離測定方法 |
JP7115738B2 (ja) | 2018-07-04 | 2022-08-09 | 株式会社Xtia | 距離計及び距離測定方法並びに光学的三次元形状測定機 |
JP2020008357A (ja) * | 2018-07-04 | 2020-01-16 | 株式会社光コム | 距離計及び距離測定方法並びに光学的三次元形状測定機 |
JP2021140193A (ja) * | 2018-11-26 | 2021-09-16 | 株式会社Xtia | 光共振器の共振長の制御方法、光コム発生器及び光コム発生装置 |
JP7152802B2 (ja) | 2018-11-26 | 2022-10-13 | 株式会社Xtia | 光コム発生装置 |
JP2020148632A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 株式会社Xtia | 内径測定装置 |
JP7217009B2 (ja) | 2019-03-13 | 2023-02-02 | 株式会社Xtia | 内径測定装置 |
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