JP7217009B2 - 内径測定装置 - Google Patents
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Description
そして、この内径測定装置100における内径測定処理の手順を図6のフローチャートに示すように、内径測定を開始すると、先ず、最初の処理ステップST1では、走査手段20による測定光Lsの走査を開始して、測定光LsをX軸方向に走査する毎にY軸方向に1ライン分ずらしながら繰り返し走査することにより、二次元(XY)平面上の走査範囲AX×AYで該二次元(XY)平面と垂直なZ軸方向から反射光学系30に測定光Lsを入射させる。
RM=DM(MAX)-D0+h
にてX軸方向での半径RMを算出することができ、また、上記内径面1Bの測定範囲AYP×AZPで得られる最大値DP(MAX)から上記基準反射面31までの距離D0を引いて上記高さhを加えることにより、
RP=DP(MAX)-D0+h
X軸方向での半径RPを算出することができる。
DM(MAX)=DP(MAX)
となるが、測定対象物1の内径面1Bが真の円筒面の中心軸から台形プリズム30Aの回転対称軸がY軸方向へずれている場合には、X軸方向の走査により得られる距離が最大値DP(MAX)となるX軸方向の走査位置を上記処理ステップST4において探索することで、X軸方向に一致した半径上で最大値DP(MAX)を検出することができ、また、測定対象物1の内径面1Bが真の円筒面の中心軸から台形プリズム30Aの2回転対称軸がX軸方向へずれている場合には、そのずれ量Δd分だけ二つの半径DM、DPは相補的に変化するので、測定対象物1の内径面1Bが真の円筒面の中心軸から台形プリズム30Aの回転対称軸がずれていても、台形プリズム30Aの2回転対称軸と測定対象物1の内径面1Bが真の円筒面の中心軸とが平行になっていれば、上記処理ステップST5において算出される測定対象物1の内径面1BのX軸方向の直径DX、
DX=RM +RP
=(DM(MAX)-D0+h)+(DP(MAX)-D0+h)
=DM(MAX)+DP(MAX)-2D0+2h
に影響を及ぼすことはない。
ΔTM1=T1+TR+T4-T2
ΔTM2=T1+T3+TT+T7-T8
=T1+T3+TT+(T4+T5)-(T2+T3+T5)
=T1+TT+T4-T2
T7=T4+T5
である。
T8=T2+T3+T5
である。
ΔTM2=T1+T3+TT+T7-T8
=T1+T3+TT+(T4+T5)-(T2+T3+T5)
=T1+TT+T4-T2
である。
ΔTM2-ΔTM1=TT-TR
であるから、上記基準光検出器13と測定光検出器に14より得られる2つの干渉信号の時間差から、上記測定対象物1の内径面1Bまでの距離を計算することができる。
DX=RM +RP
=(DM(MAX)-D0+h)+(DP(MAX)-D0+h)
=DM(MAX)+DP(MAX)-2D0+2h
を高い精度でしかも短い測定時間で得ることができる。
Claims (16)
- 筒状の測定対象物の内径寸法を測定する内径測定装置であって、
レーザ距離計と、
上記レーザ距離計から出射される測定光を該測定光の光軸の方向に反射する状態に設けられる基準反射面と、上記基準反射面を挟んで2n(nは1以上の正の整数)回転対称位置に対称に設けられ、該基準反射面が配置される二次元平面に対して互いに45度逆方向に傾斜したn対の傾斜反射面とを有し、測定対象物の測定空間内に配置される反射光学系と 、
上記レーザ距離計から出射される測定光で上記二次元平面を走査する走査手段とを備え、
上記レーザ距離計により上記反射光学系を介して測定対象物の内径面を走査して内径測定を行う内径測定装置。 - 上記反射光学系は、台形プリズムに上記基準反射面と1対の傾斜反射面を設けてなることを特徴とする請求項1記載の内径測定装置。
- 上記反射光学系は、正4角錐台形プリズムに上記基準反射面と2対の傾斜反射面を設けてなることを特徴とする請求項1記載の内径測定装置。
- 上記走査手段は、上記レーザ距離計から出射される測定光の光軸を二次元方向に移動させることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項記載の内径測定装置。
- 上記走査手段は、可動ミラーにより上記レーザ距離計から出射される測定光の光軸を移動させて、上記反射光学系を介して測定対象物の内径面を走査することを特徴とする請求項4記載の内径測定装置。
- 上記走査手段は、上記レーザ距離計から出射された測定光をテレセントリック光学系を介して上記反射光学系に入射させることを特徴とする請求項5記載の内径測定装置。
- 上記レーザ距離計は、出射する測定光を二次元方向に移動させる上記走査手段を内蔵していることを特徴とする請求項4乃至請求項6の何れか1項記載の内径測定装置。
- 上記走査手段は、上記レーザ距離計から出射される測定光の光軸に対して、測定対象物とともに該測定対象物の測定空間内に配置された上記反射光学系を二次元方向に移動させることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項記載の内径測定装置。
- 上記走査手段は、上記レーザ距離計から測定光を出射するヘッド部に対して、測定対象物の測定空間内に配置された上記反射光学系を測定対象物とともに二次元方向に相対移動させることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項記載の内径測定装置 。
- 上記レーザ距離計は、測定光を出射する第1のレーザ光源と、この第1のレーザ光源から出射された測定光を基準光として検出する基準光検出器と、上記第1のレーザ光源から出射されて測定対象物の内径面により反射された測定光を検出する測定光検出器とを備え、上記基準光検出器と測定光検出器により得られる2つの信号の時間差から、上記内径面までの距離を計算することを特徴とする請求項1乃至請求項9の何れか1項記載の内径測定装置。
- 上記基準光検出器は、所定光路長の基準光路を通過させた測定光を上記基準光として検出することを特徴とする請求項10記載の内径測定装置。
- 上記レーザ距離計は、上記第1のレーザ光源として光コム発生器を備える光コム距離計であることを特徴とする請求項10又は請求項11の何れか1項記載の内径測定装置。
- 上記レーザ距離計は、参照光を出射する第2のレーザ光源を備え、
この第2のレーザ光源から出射された参照光と上記測定光との干渉光を上記基準光として上記基準光検出器により検出し、
上記第2のレーザ光源から出射された参照光と上記測定対象物の内径面により反射された測定光との干渉光を上記測定光検出器により検出し、
上記基準光検出器と測定光検出器により得られる2つの干渉信号の時間差から、上記内径面までの距離を計算することを特徴とする請求項10又は請求項11の何れか1項記載の内径測定装置。 - 上記レーザ距離計は、上記測定光を出射する第1の光コム発生器と、上記参照光を出射する第2の光コム発生器を備える光コム距離計であることを特徴とする請求項13記載の内径測定装置。
- 上記レーザ距離計は、所定光路長の基準光路を通過させる基準光と上記測定対象物の内径面に照射される測定光との干渉光を基準光検出器により検出するとともに、上記基準光路を通過させた基準光と上記測定対象物の内径面により反射された測定光との干渉光を測定光検出器により検出して、上記基準光検出器と測定光検出器により得られる2つの干渉信号の時間差から、上記基準光路の所定光路長と上記測定対象物の内径面までの距離の差を求めることを特徴とする請求項1乃至請求項9の何れか1項記載の内径測定装置。
- 上記レーザ距離計は、上記基準光を出射する第1の光コム発生器と、上記測定光を出射する第2の光コム発生器を備える光コム距離計であることを特徴とする請求項15項記載の内径測定装置。
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