JP5403972B2 - 寸法測定装置 - Google Patents
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Description
また本発明に係る寸法測定装置において、焦点可変レンズは液体レンズであることが好ましい。
本発明を適用した寸法測定装置は、白色光源から放射された光を、光カプラによって被測定物に向かう測定光束と参照光束とに分割する。測定光束は、被測定物の表面で反射または散乱された後、再度光カプラで参照光束と一つに合わさって、検出器で検出される。そして寸法測定装置は、それら二つの光束間で生じた白色干渉縞の振幅が最大となるときの参照光束の光路長を測定して、被測定物の表面高さを測定する。この測定装置は、測定光束の光路内に配置された、焦点距離可変なレンズの焦点距離を、参照光束の光路長に応じて変化させることにより、白色干渉縞が観測されるときに測定光束の焦点を被測定物の表面上に結ばせるものである。
そして、寸法測定装置1では、白色光源2から放射された白色光は、光ファイバ8を通って光カプラ3に伝送される。そしてその白色光は、光カプラ3により、被測定物12へ向かう測定光束と、参照光走査光学系5へ向かう参照光束に分割される。測定光束は、光ファイバ9を通った後、測定物走査光学系4により、被測定物12の表面の測定点へ結像される。そして、被測定物12の表面の測定点で反射または散乱された測定光束は、再度測定物走査光学系4及び光ファイバ9を通って光カプラ3に入射する。一方、参照光束は、光ファイバ10を通った後、所定の範囲で調整可能な光路長を有する参照光走査光学系5に入射する。そして参照光束は、参照光走査光学系5を経由した後、再度光ファイバ10を通って光カプラ3に入射する。そして、測定光束と参照光束は、光カプラ3で一つに合わさった後、光ファイバ11を通って検出器6へ入射する。検出器6は、測定光束の光路長と参照光束の光路長がほぼ等しい時に生じる白色干渉縞を検出し、白色干渉縞を電気信号に変換してコントローラ7へ送る。コントローラ7は、白色干渉縞の振幅が最大となるときの参照光束の光路長を求める。そしてコントローラ7は、その光路長と予め高さの分かっている基準品の基準面に対する参照光束の光路長との差を計算して、被測定物12の表面の測定点の高さを求める。
以下、寸法測定装置1の各部について、詳細に説明する。
以下、測定物走査光学系4の各部について説明する。
焦点可変レンズ41として、例えば、屈折率が異なり、互いに混じり合うことのない2種類の液体(例えばオイルと水溶液)を封入した液体レンズを用いることができる。このような液体レンズは、その光軸に直交する方向に各液体の層が形成されており、液体層間の界面が屈折面として機能する。したがって、このような液体レンズでは、各液体の屈折率及びその界面の曲率半径に応じた屈折力が得られる。そして、この液体レンズでは、液体レンズの外周から電圧を印加することにより、印加電圧に応じて界面の曲率半径が変化し、その界面における屈折力が変化する。そこで、印加電圧を調整することによって、液体レンズの焦点距離を調整することができる。
このような液体レンズは、測定光束の光軸に沿ってレンズ全体またはその一部を移動させることなく、焦点距離を調整することができる。そのため、液体レンズの焦点距離を、高速に所望の値に調整することができる。なお、焦点可変レンズ41として、液晶を媒体として用いたレンズのように、レンズ全体またはレンズの一部の構成部品を機械的に移動させることなく、焦点距離を変更可能なレンズを用いてもよい。
走査鏡44は、集光レンズ43を透過した測定光束を被測定物の表面の任意の測定点へ向けて反射するように配置される。また、走査鏡44は、被測定物12の表面と略平行な面、及びその面に略直交し、集光レンズ43から出射される測定光束の光軸に平行な面のそれぞれに沿って回転可能に保持され、走査鏡44の反射面の向きが調節可能となっている。そして走査鏡44の反射面の向きを調節することにより、測定光束は被測定物12の表面を2次元的に走査することができる。
アクチュエータ45は、コントローラ7から受信した制御信号に応じて走査鏡44の反射面の向きを調節する。
4個のコーナーキューブプリズム53〜56は、それぞれ、回転軸52から等距離かつ互いに等間隔になるように、回転テーブル51の上に配置される。具体的には、コーナーキューブプリズム53と55は、回転軸52を中心として、中心点対称となるように配置される。同様に、コーナーキューブプリズム54と56も、回転軸52を中心として、中心点対称となるように配置される。そして、互いに隣接するコーナーキューブプリズムの入射面に平行な面同士がなす角は直角となっている。さらに、各コーナーキューブプリズムの入射面は、回転テーブル51の右側に位置する場合に、光ファイバ10の端面と対向し、その端面から出射した参照光束がコーナーキューブプリズムに入射するように配置される。
参照光束は、光ファイバ10から出射された後、コーナーキューブプリズム53に入射する。そして参照光束は、コーナーキューブプリズム53で、入射方向と平行かつ反対方向へ向けて反射される。その後、参照光束は、固定鏡57で、入射方向に対して直角となるように反射され、固定鏡58へ向かう。その後、固定鏡58及び59において、参照光束は、入射方向に対して直角となるように順次反射され、進行方向が180度回転してコーナーキューブプリズム54へ向かう。参照光束は、コーナーキューブプリズム54に入射すると、その入射方向と平行かつ反対方向へ向けて反射され、固定鏡60へ向かう。そして参照光束は、固定鏡60〜62でそれぞれ直角に反射され、進行方向が反時計回りに270度回転する。その後、参照光束はコーナーキューブプリズム55へ向かう。参照光束は、コーナーキューブプリズム55で入射方向と逆向きに反射され、固定鏡63へ向かう。そして参照光束は、固定鏡63〜65でそれぞれ直角に反射され、進行方向が反時計回りに270度回転する。その後、参照光束はコーナーキューブプリズム56へ向かう。参照光束は、コーナーキューブプリズム56で入射方向と逆向きに反射され、固定鏡66へ向かう。参照光束は固定鏡66に対して垂直に入射するので、固定鏡66で反射された後、それまで通ってきた経路を逆向きに進行する。そして参照光束は、再度コーナーキューブプリズム53〜56及び固定鏡57〜65を経由した後、参照光走査光学系5から出射され、光ファイバ10へ入射する。
上記のように、光ファイバ10から出射される参照光束の進行方向に対して平行な方向または垂直な方向の何れに沿って回転軸52の位置がずれても、回転軸52に対して中心点対称に配置された二つのコーナーキューブプリズムとそれらに対向して配置された固定鏡との間で光路長のずれが互いに相殺されるので、参照光束の光路の全体の長さは変化しないことが分かる。
ここで、参照光束と測定光束との間で白色干渉が生じる場合、コーナーキューブプリズムの移動に応じてそれらの光束の光路差が変化するので、その光路差による光量の変化にしたがって対応する電気信号も変動する。また、コーナーキューブプリズムの位置は、回転テーブルの回転に伴って変化するので、その位置は時間的に変化する。したがって、その白色干渉縞は、検出器6から出力される電気信号の時間的な変化において観測される。
そしてコントローラ7は、検出器6により検出された光量から参照光束の光路長を測定することにより、被測定物12の表面上の測定点の高さを求める。またコントローラ7は、寸法測定装置1の各部と電気的に接続されており、それらを制御する。特にコントローラ7は、参照光束の光路長を測定し、参照光束の光路長と測定光束の光路長が等しいときに、測定光束が反射される位置において測定光束が焦点を結ぶように、焦点可変レンズ41の焦点距離を調節する。
一方、測定動作中、例えば、図3において回転テーブル51が時計回りに一定速度で回転しているとする。この場合において、コントローラ7は、例えば、時間当たりの電気信号の変化量が所定の閾値を超えて大きくなった時刻t1を検出する。なお、白色干渉による信号変化を検出しないように、時刻t1以前の一定期間における電気信号の平均値が所定値よりも低いことを、時刻t1の検出条件に加えてもよい。
コントローラ7は、時刻t1のとき、何れかのコーナーキューブプリズムが位置p1にあると推定する。時刻t1以後の任意の時刻tにおけるコーナーキューブプリズムの位置は、以下のように求められる。時刻tと時刻t1の時間差に、回転テーブル51の回転速度を乗じて、時刻t1から時刻tまでにコーナーキューブプリズムが回転した角度βを求める。そしてコントローラ7は、位置p1から時計回りに角βだけ回転した位置を、時刻tにおけるコーナーキューブプリズムの位置とする。そしてコーナーキューブプリズムの位置が求められると、参照光走査光学系の各固定鏡と各コーナーキューブプリズム間の距離が求まるので、コントローラ7はコーナーキューブプリズムの位置に基づいて参照光束の光路長を求めることができる。また、回転位置検出器により回転テーブル51の回転位置を検出できる場合、コントローラ7は、その回転位置と回転テーブル上の各コーナーキューブプリズムの位置関係から各コーナーキューブプリズムの位置を特定することにより、参照光束の光路長を求めてもよい。
ここで、参照光束の光路長に対応する焦点可変レンズ41の焦点距離は、以下のように決定される。まず、焦点可変レンズ41の焦点距離を様々に変化させ、各焦点距離に対応する測定光束の焦点位置、及び測定光束がその焦点位置で反射されたときの測定光束の光路長を予め測定する。またこのときの測定光束の光路長と参照光束の光路長が等しいものとして、その測定結果に基づいて、焦点可変レンズ41の焦点距離と対応する参照光束の光路長の関係を表した焦点距離−参照光路長対応テーブルを作成する。そして焦点距離−参照光路長対応テーブルを、コントローラ7の記憶装置に予め記憶しておく。コントローラ7は、求めた参照光束の光路長と焦点距離−参照光路長対応テーブルを参照することにより、焦点可変レンズ41の焦点距離を決定することができる。
なお、コントローラ7は、焦点可変レンズ41の焦点距離を、寸法測定装置1の光学系に対する近軸光学的な計算またはシミュレーション結果にしたがって決定してもよい。
白色光源2から放射される光は、コヒーレンス長が短いため、測定光束と参照光束の光路差がほぼ等しい場合にのみ、検出器6で白色干渉縞を観測することができる。そして、両光束の光路長が一致するとき、その白色干渉縞の振幅が最大となる。そこでコントローラ7は、予め表面高さの分かっている基準品の基準面と、被測定物12の測定点について、それぞれ白色干渉縞の振幅が最大となるときのコーナーキューブプリズムの位置を求める。コントローラ7は、その位置の差に相当する光路差を求め、その光路差を基準面の表面高さに加えることにより、被測定物の測定点の表面高さを決定する。
なお、白色干渉縞の振幅が最大となる時刻を正確に求めるために、コントローラ7は、例えば、検出器6から受信した電気信号に対し、白色干渉縞の周期に相当する高周波成分を除去するようなローパスフィルタリング処理を行って、その電気信号の包絡線を求める。そしてコントローラ7は、その包絡線の振幅が最大となるときの時刻を、白色干渉縞の振幅が最大となる時刻とする。
事前準備として、上記の基準品を寸法測定装置1に設置し、その基準面に測定光束を照射したときの白色干渉縞の振幅の最大値に対応するコーナーキューブプリズムの位置Prを求め、コントローラ7の記憶装置に記憶しておく。
測定動作を開始すると、コントローラ7は、参照光走査光学系5のアクチュエータ67を制御して、回転テーブル51を所定の速度で回転させる(ステップS101)。次に、測定物走査光学系4のアクチュエータ43を制御して、測定光束を被測定物12の任意の測定点にスポットを結ぶように走査鏡44の向きを調節する(ステップS102)。
コントローラ7は上記のステップS101〜S109の処理を繰り返して、被測定物12の表面の各点における表面高さを測定することができる。
図5に、焦点可変レンズの焦点距離をフィードバック制御することが可能な測定物走査光学系の他の実施形態の概略構成図を示す。図5に示す測定物走査光学系40は、図2に示す測定物走査光学系4と比較して、焦点可変レンズ41を挟んで対向して配置される焦点距離確認用光源46及び位置検出器47を有する点で相違する。なお、図5において、測定物走査光学系40に含まれる構成要素のうち、図2に示す測定物走査光学系4と同一の機能及び構成を有するものには、測定物走査光学系4の対応する構成要素と同一の参照番号を付した。
以下、測定物走査光学系40のうち、測定物走査光学系4と相違する点について説明する。
位置検出器47は、受光した光線の位置を検出可能な検出器であり、例えば、位置検出素子(PSD)、あるいは、複数個の受光素子が1次元または2次元状に配列された受光素子アレイとすることができる。また位置検出器47は焦点可変レンズ41を透過した基準光線を受光するように、焦点可変レンズ41を挟んで焦点距離確認用光源46の反対側に配置される。位置検出器47もまた、測定光束の外に配置される。
また、固定鏡57〜66の代わりに、導波路を光線方向変更部材として使用してもよい。そして導波路は、各コーナーキューブプリズムから出射された参照光束が隣接するコーナーキューブプリズムに対して入射するように、参照光束の向きを変更する。ただしこの場合も、導波路を、回転テーブルの回転軸について中心点対称に配置された二つのコーナーキューブプリズムへの参照光束の入射方向が、互いに平行であり、かつ逆向きになるように構成する。
また、回転テーブル51の回転位置を検出するために、ロータリーエンコーダなどの回転位置検出器を回転テーブル51の回転軸52に取り付けた場合、コントローラ7は、その回転検出器により得られた回転テーブルの回転位置から求められたコーナーキューブプリズムの位置を、検出器で検出した光量に対応する電気信号と対応付けてもよい。
図6に、このような構成を有する参照光走査光学系の他の実施形態の概略構成図を示す。図6に示す参照光走査光学系50では、光ファイバ10から出射された参照光束は、移動鏡71によって垂直反射され、再度光ファイバ10へ入射するように構成される。
コントローラ7は、位置計測用干渉計74により計測された移動鏡71の基準位置からの移動量に基づいて、参照光束の光路長を決定できる。
なお、参照光走査光学系50においても、コーナーキューブプリズム73の代わりに、コーナーキューブミラー、直角プリズムあるいは直角ミラーなどを使用してもよい。
以上のように、本発明の範囲内で、実施される形態に合わせて様々な変更を行うことができる。
2 白色光源
3 光カプラ(光線分割素子)
4 測定物走査光学系
5 参照光走査光学系
6 検出器
7 コントローラ
8〜11 光ファイバ
12 被測定物
41 焦点可変レンズ
42 レンズドライバ
43 集光レンズ
44 走査鏡
45 アクチュエータ
46 焦点距離確認用光源
47 位置検出器
51 回転テーブル(回転部材)
52 回転軸
53〜56 コーナーキューブプリズム
57〜66 固定鏡(光線方向変更部材)
67 アクチュエータ
Claims (5)
- 被測定物の表面高さを測定する寸法測定装置であって、
白色光源と、
前記白色光源から放射された光を、前記被測定物の表面高さに応じた光路長を有する測定光束と参照光束とに分割する光線分割素子と、
前記光線分割素子から出射された前記参照光束の光路長を変化させる参照光走査光学系と、
前記測定光束内に配置され、前記測定光束の光軸方向の機械的な移動を伴わずに焦点距離を変更可能な焦点可変レンズと、
前記測定光束の光路長と前記参照光束の光路長が略等しい場合に生じる干渉信号を検出し、該干渉信号に対応する信号を出力する検出器と、
前記参照光束の光路長の変化に追従して、前記参照光束の光路長と前記測定光束の光路長が等しいときに前記測定光束が反射される位置において前記測定光束が焦点を結ぶように、前記焦点可変レンズの焦点距離を調節し、かつ前記干渉信号の最大値に対応する前記参照光束の光路長を求めることにより、前記被測定物の表面高さを求めるコントローラと、
を有することを特徴とする寸法測定装置。 - 前記焦点可変レンズは液体レンズである、請求項1に記載の寸法測定装置。
- 前記参照光走査光学系は、
回転部材と、
前記回転部材を所定の回転速度で回転させる駆動部と、
前記回転部材の回転軸に対して互いに中心点対称になるように前記回転部材に配置された第1の反射素子及び第2の反射素子と、
前記第1及び第2の反射素子の何れか一方の反射素子に、前記参照光束が入射した場合に、該一方の反射素子で反射された参照光束が、前記第1及び第2の反射素子の他方の反射素子に対して、前記一方の反射素子に対する前記参照光束の入射方向と平行かつ逆向きに入射するように、前記参照光束を導く光線方向変更部材とを有し、前記回転部材を回転させることにより、前記参照光束の光路長を変化させ、
前記コントローラは、前記第1または前記第2の反射素子の何れかが所定の位置に達したことを検知し、前記第1または前記第2の反射素子の何れかが所定の位置に達したことが検知されてからの経過時間に前記回転部材の回転速度を乗じて前記検知された反射素子の位置を特定することにより、あるいは前記コントローラは、回転位置検出器により前記第1または前記第2の反射素子の位置を特定することにより、前記参照光束の光路長を測定し、当該測定された参照光束の光路長に応じて前記焦点可変レンズの焦点距離を調節する、
請求項1または2に記載の寸法測定装置。 - 前記測定光束外に配置され、前記焦点可変レンズへ斜入射するように基準光を照射する第2の光源と、
前記測定光束外に配置され、前記焦点可変レンズを透過した前記基準光を受光し、該基準光の受光位置に応じた信号を出力する第2の検出器とをさらに有し、
前記コントローラは、前記受光位置と前記焦点可変レンズの焦点距離の関係を示す参照テーブルを参照することにより、前記焦点可変レンズの焦点距離を測定し、当該測定された焦点距離と、設定しようとする前記焦点可変レンズの焦点距離のずれ量が小さくなるように、前記焦点可変レンズの焦点距離を調節する、請求項1〜3の何れか一項に記載の寸法測定装置。 - 被測定物の表面高さを測定する寸法測定方法であって、
白色光源から放射された光を、光線分割素子により被測定物の表面高さに応じた光路長を有する測定光束と参照光束とに分割するステップと、
前記光線分割素子から出射された前記参照光束の光路長を変化させるステップと、
前記参照光束の光路長を測定するステップと、
前記参照光束の光路長の変化に追従して、前記測定された参照光束の光路長と前記測定光束の光路長が等しいときに前記測定光束が反射される位置において前記測定光束が焦点を結ぶように、測定光束内に配置され、前記測定光束の光軸方向の機械的な移動を伴わずに焦点距離を変更可能な焦点可変レンズの焦点距離を調節するステップと、
前記測定光束の光路長と前記参照光束の光路長が略等しい場合に生じる干渉信号を検出し、該干渉信号に対応する信号を出力するステップと、
前記干渉信号の最大値に対応する前記参照光束の光路長を求めることにより、前記被測定物の表面高さを求めるステップと、
を有することを特徴とする寸法測定方法。
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