JP2015178982A - 形状測定装置及び形状測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
<形状測定装置の構成>
図1は、本発明の第1実施形態に係る形状測定装置100のブロック図である。
測定光Ps(位相φs)と参照光Pr(位相φr)との間の位相差(θ=φs−φr)と、基準点RPからワーク150までの距離との関係について説明する。
ωr=ωs+ωα+kΔω
で表される。ここで、ωs=2πfm1、ωr=2πfm2、ωα=2πfα、Δω=2πΔfである。
φs a=ωst
φr a=ωrt
である。
φs b=ωs{t−2(L0+Ls)/Vc}
φr b=ωr{t−2(L0+Lr)/Vc}
である。ここで、Vcは光速、L0は基準点RPから偏光ビームスプリッタ112dまでの距離(光路長)、そして、Ls及びLrはそれぞれ基準点RPからワーク150及び参照面116までの距離(光路長)である。
本実施形態に係る形状測定装置100は、ワーク150の表面150sに測定光Psを照射し、その反射光の位相を基にワーク150の表面150sまでの距離を測定する。そして、形状測定装置100は、位置調整器140によりワーク150の位置を適宜調整しつつワーク150の表面を走査しながら該距離測定を行うことにより、ワーク150の表面の3次元形状を測定することができる。そこで、まず、ワーク150からの反射光について説明する。
まず、図4に示すように、第1の層150aとしての塗装膜が塗布されたワーク150の傾斜面150cに対して測定光Psを照射し、光周波数コムレーザ装置110で複数回検出された波形402〜407を重ね合わせた波形408を観察した。そうすると、測定によらず位相がそろう部分409と、測定ごとに波形が異なり位相がずれる部分410とがあることがわかった。
本発明の一実施例として、第1実施形態に係る形状測定装置100を用いて、ワーク150としての車両用部品701までの距離を求め、車両用部品701の3次元形状画像703を生成した。図7は車両用部品701の実際の写真であり、図8は、車両用部品701の測定すべき範囲702の3次元距離画像703を示す。
図10(a)は、本発明の第2実施形態に係る形状測定装置1000のブロック図であり、図10(b)は、光周波数コムレーザ110側からレンズ120及びワーク150を見た図である。光周波数コムレーザ装置110、レンズ120、演算処理装置130、及び位置調整器140の構成は前述と同様であり、説明を省略する。
113a:第1の光周波数コム発生器(OFCG)(第1の光発生器)
113b:第2の光周波数コム発生器(OFCG)(第2の光発生器)
116:参照面
118a:第1の検出器
118b:第2の検出器
120:レンズ
130:演算処理装置
132:位置制御部
133:位相決定部
134:距離算出部
135:画像生成部
150:ワーク(測定対象物)
Claims (4)
- 第1の繰り返し周波数のモードを有する第1の光を発生する第1の光発生器と、
前記第1の繰り返し周波数と異なる第2の繰り返し周波数のモードを有する第2の光を発生する第2の光発生器と、
前記第1及び第2の光発生器から基準点を介して照射されてきた前記第1の光と前記第2の光との第1の干渉光を検出する第1の検出器と、
前記基準点を介して、測定対象物から反射されてきた前記第1の光と参照面から反射されてきた前記第2の光との第2の干渉光を検出する第2の検出器と、
前記第2の干渉光の位相(θk b)と前記第1の干渉光の位相(θk a)との間の位相差(Δθk b-a)を算出し、前記位相差(Δθk b-a)の隣接するモード間のモード間位相差(ΔΦ)を複数個算出し、そして前記複数個のモード間位相差の存在確率分布(N(ΔΦ))を作成することを所定の回数繰り返し、前記所定の数の前記存在確率分布を互いに掛けあわせることにより得られる関数又は互いに加えることにより得られる関数を最大にするモード間位相差(ΔΦD)を決定する位相決定部と、
前記決定されたモード間位相差を基に、前記基準点から前記測定対象物までの距離を算出する距離算出部とを具備する、形状測定装置。 - 前記測定対象物の位置を制御する位置制御部と、
前記測定対象物の位置の情報に関連付けられた前記距離の情報を基に、前記測定対象物の3次元距離画像を生成する画像生成部とをさらに具備する請求項1に記載の形状測定装置。 - レンズと、
前記基準点を介して前記第1の光を入射し、前記第1の光を前記レンズに所定の照射角で照射する照射角変更器とをさらに具備し、
前記位相決定部は、前記決定されたモード間位相差(ΔΦD)及び前記照射角を基に、前記基準点から前記測定対象物までの距離を算出する、請求項1又は2に記載の形状測定装置。 - 所定の繰り返し周波数のモードを有する干渉光を検出する第1ステップと、
前記干渉光の隣接するモード間のモード間位相差(ΔΦ)を複数個算出する第2ステップと、
前記複数個のモード間位相差の存在確率分布(N(ΔΦ))を作成する第3ステップと、
前記第1ステップから第3ステップまでを所定の回数繰り返し、前記所定の数の前記存在確率分布を互いに掛けあわせることにより得られる関数又は互いに加えることにより得られる関数を最大にするモード間位相差(ΔΦD)を決定するステップと、
前記決定したモード間位相差(ΔΦD)を基に、基準点から測定対象物までの距離を算出するステップとを具備する、形状測定方法。
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