JP2011027649A - 位置決め装置及び位置決め方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】位置決め装置1は、参照光としての光周波数コムと測定光としての光周波数コムとを出射する光源10と、光源10から出射された測定光を測定対象40に取り付けられた反射体42に照射するヘッド部30と、光源10から出射された参照光が入射される参照面31と、反射体42で反射されヘッド部30を介して戻された測定光と、参照面31から戻された参照光との干渉光に基づく干渉信号を検出する検出部20と、検出部20により検出した干渉信号に基づいて参照面31までの距離を基準にした反射体42までの距離を求める信号処理部60と、測定対象40の位置を変化させるアクチュエータ50と、信号処理部60で求めた距離に応じてアクチュエータ50を制御する制御部70とを備える。
【選択図】図1
Description
<第1の実施の形態>
本実施の形態に係る位置決め装置1は、図1に示すように、互いに位相同期され干渉性のある参照光としての光周波数コムと、測定光としての光周波数コムとを出射する光源10と、測定光を反射する反射体42で反射された測定光と後に詳述する参照面31から戻された参照光との干渉光に基づく干渉信号を検出する検出部20と、光源10から出射された測定光を反射体42に照射するヘッド部30と、測定対象40の位置を変化させるアクチュエータ50と、検出部20で検出した干渉信号に基づいて参照面31までの距離を基準にした反射体42までの距離を求める信号処理部60と、信号処理部60で求めた距離に応じてアクチュエータ50を制御する制御部70とを備える。
<検出部20で得られる位相情報について>
図2に示すように、周波数fmで変調した測定光側の光周波数コム、すなわち、光周波数コム発生器12から出射された光周波数コムのk次のサイドバンドの電場強度Etkとする。また、周波数シフタ17で周波数シフトされた周波数ν+faomのレーザ光を周波数fm’(fm’=fm+δf)で変調して発生した参照側の光周波数コム、すなわち、光周波数コム発生器13からの光周波数コムのk次のサイドバンドの電場強度をErkとする。これらの電場強度Etk及び電場強度Erkは、(1)式及び(2)式のように表現される。
次に、参照側の光周波数コムの変調周波数を変えて測定することによる往復遅延時間τrのキャリブレーションについて説明する。上記(6)式における往復遅延時間τrは、距離測定の誤差を与えることになる。そこで、信号処理部60は、キャリブレーションにより往復遅延時間τrに依存しない位相の式を導出する。信号処理部60は、上記(6)式における往復遅延時間τrの項をキャリブレーションするために、参照側の光周波数コムの変調周波数を(fm+δf)から(fm−δf)に変更した状態で再度位相を測定する。これにより、信号処理部60は、−k次のサイドバンドのビート信号が(faom+kδf)の周波数の信号として得ることができる。この−k次のサイドバンドのビート信号に基づく位相φ’−kは、(7)式のように表わされる。
キャリアの位相φ0は、(9)式においてk=0の場合に得られ、(10)式のように表わされる。
<群屈折率ngの考慮について>
次に、群屈折率ngを考慮に入れた場合の往復遅延時間τの計算方法について説明する。大気の屈折率には、波長依存性がある。信号処理部60は、屈折率が波長に対して一定ではなく往復遅延時間τが光の波長の関数になることから、上述した(11)式を群遅延時間τg(τg=τng/n)を用いて(14)式のように補正する。
次に、モード間の相対位相を用いた距離の計算について説明する。具体的に、信号処理部60は、上記(14)式を用いて絶対距離を計算する場合、整数値Nを求めなければならないため、変調周波数fmを変えて測定を行う。なお、以下の説明では、遅延時間τrのキャリブレーションが既に行われているものとする。
ケース1:fm=fm1 (例)25.0035GHz fm’=fm+/−δf(δf=500kHz)
ケース2:fm=fm2 (例)24.9965GHz fm’=fm+/−δf(δf=500kHz)
ここで、ケース1で測定されたデータから計算された光周波数コムのモード間の相対位相をψ1、ケース2で測定されたデータから計算された光周波数コムのモード間の相対位相をψ2とする。この場合、群遅延時間τgは、(15)式又は(16)式のように表わされる。
次に、光周波数コムのキャリアの波長が安定化された場合の光のキャリアの位相を利用した、高精度測定における計算方法について説明する。信号処理部60は、測定された干渉信号からキャリアの位相を読むことにより、キャリアの光の位相を連続的に測定する。位置決め装置1は、干渉信号を処理してキャリア位相を得たものとする。なお、位置決め装置1は、変位計と同様に、ハードウェア的にキャリアの周波数成分だけ分離させた光の位相測定器を用いるようにしてもよい。
次に、迷光のキャリブレーションについて説明する。ヘッド部30の内部には偏光素子が存在し、偏光素子の消光比の影響で反射が微量に存在する。そのため、位置決め装置1においては、反射体42からの反射光量が少ない場合に、上述した(3)式で表わされるk次のサイドバンドのビート信号の成分Sk(ターゲット)の測定誤差が大きくなる問題が発生する。そこで、信号処理部60は、以下に説明する方法によりSk(ターゲット)の測定誤差を低減する。
ケース1:fm=fm1 fm’=fm+δf
ケース2:fm=fm2 fm’=fm+δf
ケース3:fm=fm2 fm’=fm−δf
ケース4:fm=fm1 fm’=fm−δf
具体的に、信号処理部60は、ステップS6において、図9のフローチャートに示すステップS30〜ステップS42の処理を実行する。
ケース1’:fm=fm1 fm’=fm+δf
ケース2’:fm=fm1 fm’=fm−δf
ケース3’:fm=fm2 fm’=fm+δf
ケース4’:fm=fm2 fm’=fm−δf
ケース1”:fm=fm1 fm’=fm+δf
ケース2”:fm=fm2 fm’=fm+δf
ステップS7において、信号処理部60は、高速測定を行うかどうかを判断し、高速測定を行う場合にはステップS8の処理に進み、高速測定を行わない場合にはステップS9の処理に進む。
図11に示す第2の実施の形態に係る位置決め装置1’は、第1の実施の形態に係る位置決め装置1の構成と比較して次の3点が異なる。すなわち、1点目として、位置決め装置1’は、光源10から出射される参照光及び測定光としての光周波数コムの全波長を各出力チャネルに分配する分波器90を備える。分波器90は、光周波数コムの各チャネルが、コム状スペクトルのままとなるように、光源10から出射された光周波数コムのパワーを分配する。2点目として、位置決め装置1’は、出力チャネルの数に対応した数の検出部20及びヘッド部30を備える。3点目として、位置決め装置1’は、検出部20が、光周波数コム干渉計27と、信号処理部28とを有する。
なお、本実施形態に係る位置決め装置1は、上述した例に限定されるものではなく例えば、図15に示す位置決め装置1”のように、ヘッド部30と検出部20とを一体化してもよい。また、位置決め装置1は、図16及び図17に示す位置決め装置1”’のように、光源10として1台の光周波数コム発生器を用いるようにしてもよい。
Claims (8)
- 互いに位相同期され干渉性のある参照光としての光周波数コムと、測定光としての光周波数コムとを出射する光源と、
上記光源から出射された測定光を、測定対象に取り付けられ該測定光を反射する反射体に照射するヘッド部と、
上記光源から出射された参照光が入射される参照面と、
上記反射体で反射され上記ヘッド部を介して戻された測定光と、上記参照面から戻された参照光との干渉光に基づく干渉信号を検出する検出部と、
上記検出部により検出した干渉信号に基づいて、上記参照面までの距離を基準にした上記反射体までの距離を求める信号処理部と、
上記測定対象の位置を変化させるアクチュエータと、
上記信号処理部で求めた距離に応じて上記アクチュエータを制御する制御部と
を備える位置決め装置。 - 上記光源は、
第1の発振器により、第1の変調周波数の変調信号でレーザ光を変調して上記測定光としての光周波数コムを生成する第1の光周波数コム発生器と、
周波数をシフトする周波数シフタと、
第2の発振器により、上記周波数シフタで周波数シフトしたレーザ光を上記第1の変調周波数とは異なる第2の変調周波数の変調信号で変調することにより、上記第1の光周波数コムとはモード周波数間隔が異なる上記参照光としての光周波数コムを生成する第2の光周波数コム発生器とを有し、
上記検出部は、
上記参照面から戻された参照光と上記測定対象から戻された測定光との第1の干渉光に基づく第1の干渉信号を検出する測定光検出器と、
上記光源から出射された参照光と上記光源から出射された測定光との第2の干渉光に基づく第2の干渉信号を検出する基準光検出器とを有し、
上記信号処理部は、上記測定光検出器で検出した第1の干渉信号と上記基準光検出器で検出した第2の干渉信号とに基づく時間差を検出し、該時間差と光速と測定波長における屈折率とに基づいて上記参照面までの距離と上記反射体までの距離との差を求めることで、該反射体までの距離を求める請求項1記載の位置決め装置。 - 上記第1の発振器及び上記第2の発振器は、複数の変調周波数に切り替えられ、
上記信号処理部は、複数の変調周波数で上記測定光検出器により検出した上記第1の干渉信号と上記基準光検出器により検出した第2の干渉信号とに基づいて、上記反射体までの距離を求める請求項2記載の位置決め装置。 - 上記信号処理部は、上記基準光検出器で検出した第1の干渉信号と上記基準光検出器で検出した第2の干渉信号との時間差による上記反射体までの距離を求めるとともに、キャリア周波数成分の位相による変位測定を行う請求項3記載の位置決め装置。
- 上記測定光検出器は、上記反射体へ入射される測定光が遮光した状態で、遮光時の上記第1の干渉信号を検出し、
上記信号処理部は、上記測定光検出器により検出した上記遮光時の第1の干渉信号と、上記基準光検出器により検出した第2の干渉信号とに基づいて、上記反射体までの距離を求める請求項2乃至4のうちいずれか1項に記載の位置決め装置。 - 互いに位相同期され干渉性のある参照光としての光周波数コムと、測定光としての光周波数コムとを出射する光源と、
上記光源から出射された上記参照光及び上記測定光を複数の出力チャネルに分波する分波器と、
上記分波器で分波された測定光を、測定対象に取り付けられ該測定光を反射する複数の反射体に対して上記出力チャネルごとに照射する複数のヘッド部と、
上記分波器で分波された参照光が出力チャネルごとに入射される複数の参照面と、
上記反射体で反射され上記ヘッド部を介して戻された各測定光と該測定光に対応する上記参照面で反射された各参照光との各干渉光に基づく干渉信号を検出する複数の検出部と、
上記複数の検出部で検出した各干渉信号に基づいて、上記参照面までの距離を基準にした上記反射体までの距離を検出し、該距離と上記反射体間の距離とから測定対象の傾斜又は回転角を検出する信号処理部と、
上記測定対象の位置を変化させるアクチュエータと、
上記信号処理部で検出した距離、傾斜角及び回転角のうちいずれか1つに応じて上記アクチュエータを制御する制御部と
を備える位置決め装置。 - 光源が、互いに位相同期され干渉性のある参照光としての光周波数コムと、測定光としての光周波数コムとを出射する出射ステップと、
ヘッド部が、上記光源から出射された測定光を、測定対象に取り付けられ該測定光を反射する反射体に照射する照射ステップと、
検出部が、上記反射体で反射され上記ヘッド部を介して戻された測定光と、上記光源から出射された参照光が入射される参照面から戻された参照光との干渉光に基づく干渉信号を検出する干渉信号検出ステップと、
信号処理部が、上記検出部により検出した干渉信号に基づいて、上記参照面までの距離を基準にした上記反射体までの距離を求める距離算出ステップと、
制御部が、上記信号処理部で求めた距離に応じて、上記測定対象の位置を変化させるアクチュエータを制御する制御ステップと
を有する位置決め方法。 - 光源が、互いに位相同期され干渉性のある参照光としての光周波数コムと、測定光としての光周波数コムとを出射する出射ステップと、
分波器が、上記光源から出射された上記参照光及び上記測定光を複数の出力チャネルに分波する分波ステップと、
複数のヘッド部が、上記分波器で分波された測定光を、測定対象に取り付けられ該測定光を反射する複数の反射体に対して上記出力チャネルごとに照射する照射ステップと、
複数の検出部が、上記反射体で反射され上記ヘッド部を介して戻された各測定光と、上記分波器で分波された参照光が出力チャネルごとに入射される複数の参照面で反射された該測定光に対応する参照光との各干渉光に基づく干渉信号を検出する干渉信号検出ステップと、
信号処理部が、上記複数の検出部で検出した各干渉信号に基づいて、上記参照面までの距離を基準にした上記反射体までの距離を求め、該距離と上記反射体間の距離とから測定対象の傾斜又は回転角を求める傾斜・回転角検出ステップと、
制御部が、上記信号処理部で求めた距離、傾斜角及び回転角のうち少なくともいずれか1つに応じて上記測定対象の位置を変化させるアクチュエータを制御する制御ステップと
を有する位置決め方法。
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