JP7152748B2 - 距離計及び距離測定方法並びに光学的三次元形状測定機 - Google Patents
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Description
ΔA=a11-a21
と、上記測定面による反射光として上記第4の光カプラに入射される上記第2の測定光が通過する光路長(b1+b12’)と上記第4の光カプラに入射される上記第2の基準光の光路長c22との光路長差ΔB
ΔB=b1+b12’-c22
との差分の光路長ΔA-ΔB
ΔA-ΔB=(a11-a21)-(b1+b12’-c22)
に基づき、基準点位置からの距離L1を、
L1=-b1+(ΔA-ΔB)
とすることにより、上記第1の光カプラの位置に上記基準点位置を規定するものとすることができる。
ΔA=a11-a21
と、上記測定面による反射光として上記第2の干渉光学系に入射される上記第2の測定光が通過する光路長(b1+b12’)と上記第2の干渉光学系第4の光カプラに入射される上記第2の基準光の光路長c22との光路長差ΔB
ΔB=b1+b12’-c22
との差分の光路長ΔA-ΔB
ΔA-ΔB=(a11-a21)-(b1+b12’-c22)
に基づき、基準点位置からの距離L1を、
L1=ΔA-ΔB
とすることにより、上記第5の光カプラの位置に上記基準点位置を規定するものとすることができる。
ΔA=a11-a21
=a11a+a11b-a21
となっている。
ΔT1=ΔA/c
をもって干渉光学系43に入力される第1の測定光S11と第1の基準光S21との干渉光S3を検出している。
ΔT2=ΔC/c
をもって第2の干渉光学系44に入射される。
b12=b1+b12a’+b12b’
であり、また、第2の干渉光学系44に入射される第2の基準光S22が通過する基準光路4A内の光路の光路長c22は、第2の分離光学系42から第2の全反射光学系42Aまでの光路長c22aと第2の全反射光学系42Aから第2の干渉光学系44までの光路長c22bの和、すなわち、
c22=c22a+c22b
にて示される。
b12=b1+b12a’+b12b’
との和と、第2の基準光S22が通過する基準光路4A内の光路の光路長c22との光路長差ΔC、すなわち、
ΔC=b12+2L-c22
=2L+b1+b12a’+b12b’-c22a-c22b
に対応する時間差ΔT2
ΔT2=(2L+b1+b12a’+b12b’-c22a-c22b)/c
をもって第2の干渉光学系44に入射される第2の基準光S22と第2の測定光S12の反射光S12’の干渉光S4を検出する。
ΔA=a11-a21
に相当する時間差ΔT1が付与された第1の測定光S11と第1の基準光S21の干渉光であるのに対し、測定光検出器6により検出される第2の干渉光S4は、基準光路4Aにおける第1、第2、第3の分離光学系41、42、45と第2の干渉光学系44との間の光路長差ΔB
ΔB=b12-c22
に第3の分離光学系45と測定面5と間を第2の測定光S12が往復する距離2Lを加えた光路長差ΔC
ΔC=b12+2L-c22
に相当する時間差ΔT2が付与された第2の測定光S12と第1の基準光S22の干渉光である。
ΔT1=ΔA/c
と、上記測定光検出器6により干渉光S4を検出して得られる干渉信号fb2に含まれる第2の測定光S12と第2の基準光S22との時間差ΔT2
ΔT2=ΔC/c
から、基準光路4における光路長差ΔAと光路長差ΔBの差分に相当する距離ΔA-ΔB、すなわち、
ΔA-ΔB=(a11-a21)-(b12-c22)
=(a11+c22)-(a21+b12)
に基づき、上記第2の測定光S12が通過する光路上の任意の基準点位置P(例えばP1,P2)からの距離L1
L1=ΔA-ΔB
を規定して、基地点位置Pからの距離L1と基地点位置Pから測定面5による第2の測定光S12の反射光S12’が第2の干渉光学系44に入射されるまでの距離L2の距離差(L2-L1)の絶対値を測定面5までの測定距離Dとして求める処理を行う。
ΔT1=ΔA/c
ΔT2=ΔC/c
ΔT2-ΔT1=ΔC/c-ΔA/c
=(ΔC-ΔA)/c
=(2L+ΔB-ΔA)/c
であるから、測定距離Dは、
=2L-(ΔA-ΔB)
にて求めることができる。
ΔA=a11-a21
に相当する時間差ΔT1が付与された第1の測定光S11と第1の基準光S21の干渉光S3を基準光検出器3により検出し、基準光路4Aにおける第1、第2、第3の分離光学系41、42、45と第2の干渉光学系44との間の光路長差ΔB
ΔB=b12-c22
に第2の干渉光学系44と測定面5の間を第2の測定光S12が往復する距離2Lを加えた光路長差ΔC
ΔC=ΔB+2L
に相当する時間差ΔT2が付与された第2の測定光S12の反射光S12’と第2の基準光S22の干渉光S4を測定光検出器6により検出するので、信号処理部7おいて、基準光検出器3による干渉光S3の検出出力として得られる干渉信号fb1に含まれる第1の測定光S11と第1の基準光S21との時間差ΔT1
ΔT1=ΔA/c
と、測定光検出器6による干渉光S4の検出出力として得られるにより検出された干渉信号fb2の時間差に含まれる第2の測定光S12と第2の基準光S22との時間差ΔT2
ΔT2=ΔC/c
から求められる計測距離Dは、
D=(ΔT2-ΔT1)・c
=2L-(ΔA-ΔB)
であるから、例えば、第1の分離光学系41の位置を基準点位置P1に規定する場合、
D=2L+b1―b1―(ΔA-ΔB)
=2L+b1―(2b1+ΔA-ΔB)
=2L+b1―(2b1+ΔA-ΔB)
=L2―L1
となり、基準点位置P1からの距離L1を
L1=2b1+ΔA-ΔB
=2b1+(a11-a21)-(b12-c22)
=2b1+(a11-a21)-(b1+b12’-c22)
=a11-a21+b1-b12’+c22
にすることによって、基準点位置P1からの測定面5までの距離L2は
L2=2L+b1
になる。そして、基準光路4Aにおける光路長差が、
であれば、信号処理部7により得られる計測距離Dは、
D=L2―L1
=2L
となる。
測定面5までの測定距離Dは、
D=2L-(ΔA-ΔB)
であるから、例えば
基準点位置P2からの距離L1を
L1=ΔA-ΔB
とすることにより、基準点位置P2から測定面5までの距離L2
と基準点位置P1からの距離L1との差分(L2-L1)が測定面5までの測定距離Dとなる。
ΔA=ΔB
であれば、信号処理部7により算出される測定面5までの測定距離Dは、
D=L2-L1
=2L
となる。
ΔA=a11-a21
と、測定面5による反射光S12’として第2の干渉光学系44に入射される第2の測定光S12が通過する光路の光路長b12=b1+b12’と第2の干渉光学系44に入射される第2の基準光S22が通過する光路の光路長c22の光路長差ΔB
ΔB=b12-c22
により基準点位置Pからの距離L1を規定する。
ΔA=a11-a21
と光路長差ΔB
ΔB=b12-c22
により任意に規定することができる。
ΔC=b12+2L-c22
であり、第2の測定光S12と第2の基準光S22の基準光路4Bにおける光路長差ΔBは、
ΔB=b12-c22
c22=c22a+c22b
である。
ΔA=-a21
とし、第2の光分離・合波素子44Aに入射される第2の測定光S12の反射光S12’と第2の基準光S22との光路長差ΔBをΔB=b12-c22とする基準光路4Bにより、例えば、第1の光分離・合波素子43Aの位置を基準点位置P1として規定する場合、信号処理部7により算出される測定面5までの測定距離Dは、
=2L+(a21+b12-c22)
=2L+b12+(a21+b12-c22)-b12
=2L+b12-(-a21-b12+c22)-b12
=2L+b12-((ΔA-ΔB)+b12)
=L2-L1
すなわち、基準点位置P1からの距離L1と基準点位置P1から測定面5まで距離L2は、
L1=(ΔA-ΔB)+b12
=(-a21-b12+c22)+b12
=c22-a21-b12+2b12
=c22-a21+b122
L2=2L+b12
となり、
c22=a21-b12
であれば、
L1=0
であるから、信号処理部7により算出される測定面5までの測定距離Dは、
D=L2-L1
=2L+b12
となる。
c22-a21=b12
であれば、信号処理部7により算出される測定面5までの測定距離Dは、
D=L2-L1
となる。
測定面5までの測定距離Dは、
D=2L-(ΔA-ΔB)
であるから、例えば
基準点位置P2からの距離L1を
L1=ΔA-ΔB
とすることにより、基準点位置P2から測定面5までの距離L2
L2=2L
と基準点位置P1からの距離L1との差分(L2-L1)が測定面5までの測定距離Dとなる。
ΔA=ΔB
であれば、信号処理部7により算出される測定面5までの測定距離Dは、
D=L2-L1
となる。
c22=c22a+c22b
が、例えば、c22-a21-b12=2Lとなるように、基準光路4Cの光路長c22aを調整することにより、基準点位置Pを測定対象上に持ってくることができる。
ΔC=b1+2L+b12’-c22
となる。
ΔA=-a21
であり、また、第2の測定光S12と第2の基準光S22の基準光路4内での光路長差ΔBは、
ΔB=b12-c22
b12=b1+b12’
となっている。
D=ΔC-ΔA
=(b1+2L+b12’-c22)-(-a21)
=L+b1+(b1+b12’-c22+a21)-b1
=L+b1-(-b1-b12’+c22-a21)-b1
=L+b1-((ΔA-ΔB)+b12)
=L2-L1
すなわち、基準点位置P1からの距離L1と基準点位置P1から測定面5まで距離L2は、
=(-a21-b12+c22+b12
=c22-a21-b12+2b12
=c22-a21+b12
L2=2L+b12
となり、
c22=a21-b12
であれば、
L1=0
であるから、信号処理部7により算出される測定面5までの測定距離Dは、
D=L2-L1
=2L+b12
となる。
c22-a21=b12
=b1+b12’
であれば、信号処理部7により算出される測定面5までの測定距離Dは、
=2L
となる。
D=ΔC-ΔA
=(b1+2L+b12’-c22)-(-a21)
=2L+(b1+b12’-c22+a21)
=2L-(-b1-b12’+c22-a21)
=2L-(ΔA-ΔB)
=L2-L1
すなわち、基準点位置P1からの距離L1と基準点位置P1から測定面5まで距離L2は、
L1=(ΔA-ΔB)
=-a21-b12+c22
L2=L2
となり、
ΔA=ΔB
であれば、
L1=0
であるから、信号処理部7により算出される測定面5までの測定距離Dは、
D=L2-L1
=2L
となる。
第2の測定光S12の反射光S12’と第2の基準光S22と合波することにより得られる第2の干渉光S4を測定光検出器6に入射させる第2の干渉光学系として機能する。
ΔA=a21-a11
に対応する時間差ΔT1
ΔT1=ΔA/c
が与えられた第1の測定光S11と第1の基準光S21の干渉光S3を検出している。
Ls=b1+2L+b12’
にて示される。すなわち、第2の測定光S12と反射光S12’が基準光路4E内を通過する光路長b12は、
b12=b1+b12’
であり、第2の基準光S22が基準光路4E内を通過する光路長c22との光路長差ΔBは、
ΔB=b12-c22
である。
ΔC=Ls-c22
=b1+2L+b12’-c22
=b12+2L-c22
となる。
ΔT2=ΔC/c
が与えられた第2の測定光S12’と第2の基準光S22の干渉光S4を検出している。
ΔT1=ΔA/c
と、測定光検出器6による干渉光S4の検出出力として得られるにより検出された干渉信号fb2の時間差に含まれる第2の測定光S12と第2の基準光S22との時間差ΔT2
ΔT2=ΔC/c
から信号処理部7により求められる計測距離Dは、
D=(ΔT2-ΔT1)・c
=2L-(ΔA-ΔB)
であり、基準光路4Eは、第1の2分岐光ファイバケーブルカプラFC1により分離された第2の測定光S12が通過する光路上の任意の基準点位置P(例えばP1,P2)からの光路長L1
L1=ΔA-ΔB
を規定することにより、計測距離Dとして、基準点位置Pから測定面5までの距離L2と基準点位置Pからの距離L1との差分の距離(L2-L1)を得ることができるようにしている。
ΔA=a11-a21
と、測定面5による反射光S12’として第4の光カプラFC4に入射される上記第2の測定光S12が通過する光路長(b1+b12’)と上記第4の光カプラFC4に入射される第2の基準光S22が通過する光路長c22との光路長差ΔB
ΔB=b1+b12’-c22
との差分の光路長ΔA-ΔB
ΔA-ΔB=(a11-a21)-(b1+b12’-c22)
に基づき、基準点位置P1からの距離L1を、
L1=-b1+(ΔA-ΔB)
とすることにより、第1の光カプラFC1の位置に上記基準点位置P1を規定することができる。
D=(ΔC-ΔA)
=(b1+2L+b12’-c22)-(-a21))
=2L+b1+(b1+b12’-c22+a21)-b1
=2L+b1-(-b1-b12’+c22-a21)-b1
=2L+b1-((ΔA-ΔB)+b1)
=L2-L1
であるから、基準点位置P1からの距離L1と基準点位置P1から測定面5まで距離L2は、
L1=(ΔA-ΔB)+b1
=(-b1-b12’+c22-a21)+b1
=-b1-b12’+c22-a21+2b1
=c22+b1-b12’-a21
L2=2L+b1
となる。
D=(ΔC-ΔA)
=(b1+2L+b12’-c22)-(-a21)
=2L+(b1+b12’-c22+a21)
=2L-(ΔA-ΔB)
=L2-L1
であるから、基準光路4Eは、
ΔA=ΔB
として、第5の2分岐光ファイバケーブルカプラFC5の位置を基準点位置P2に規定することにより、
L1=ΔA-ΔB
=0
L2=2L
となる。
c22-(a21-a11)>b12
とすることにより、基準点位置Pを第5の2分岐光ファイバケーブルカプラFC5よりも測定面5側に位置させることができる。
c22-(a21-a11)-b12=2L
とすることにより、基準点位置Pを測定対象上に持ってくることができる。
L1=(ΔA-ΔB)
=(a11-a21)-(b12-c22)
が、第5の2分岐光ファイバケーブルカプラFC5の位置を基準点位置P2として基準点位置P2からコリメータ8の位置までの光学距離Lcの2倍の光路長2Lcに等しいものとした基準光路4Fを有するものとすることにより、
演算処理部7により求める測定距離D=L2-L1は、
L1=2Lc
L2=2L
であるから、
D=2L-2Lc
となる。
D=L2-L1
=2L-2Lc
を演算処理部7により求めることができる。
Claims (13)
- それぞれ周期的に強度又は位相が変調され、互いに変調周期が異なる干渉性のある測定光と基準光と出射する第1及び第2の光源と、
上記第1の光源から出射された測定光を第1の測定光と第2の測定光に分離する第1の分離光学系と、
上記第2の光源から出射された基準光を第1の基準光と第2の基準光に分離する第2の分離光学系と、
上記第1の測定光と上記第1の基準光との干渉光を生成する第1の干渉光学系と、
上記第1の干渉光学系を介して得られる上記第1の基準光と上記第1の測定光との干渉光を検出する基準光検出器と、
上記第2の測定光を測定面に照射して、該測定面により反射された上記第2の測定光の反射光と、上記第2の基準光との干渉光を生成する第2の干渉光学系と、
上記第2の干渉光学系を介して得られる上記測定面により反射された上記第2の測定光の反射光と上記第2の基準光との干渉光を検出する測定光検出器と、
上記第1の干渉光学系に入射される上記第1の測定光が通過する光路長と上記第1の基準光が通過する光路長との光路長差ΔAと、上記測定面による反射光として上記第2の干渉光学系に入射される上記第2の測定光が通過する光路長と、上記第2の干渉光学系に入射される上記第2の基準光の光路長との光路長差ΔBとにより、上記第2の測定光が通過する光路上の任意の基準点位置からの距離L1を規定する基準光路と、
上記基準光検出器により検出された干渉信号と上記測定光検出器により検出された干渉信号の時間差から、上記基準点位置からの距離L1と該基準点位置から上記測定面による上記第2の測定光の反射光が上記第2の干渉光学系に入射されるまでの距離L2との距離差(L2-L1)を上記測定面までの測定距離Dとして求める信号処理部と
を備える距離計。 - 上記第1の分離光学系及び第1の干渉光学系として機能する第1の光分離・合波素子を備え、
上記基準光路は、上記光路長差ΔAに等しい光路長a21を有する第1の基準光路と、上記第1の分離光学系と上記第2の干渉光学系との間の光路長b12を有する第2の基準光路と、上記第2の分離光学系と上記第2の干渉光学系との間の光路長c22を有する第3の基準光路とからなることを特徴とする請求項1記載の距離計。 - 上記基準光路は、光路長差(c22-a21+b12)を上記距離L1とすることにより、上記第1の光分離・合波素子の位置に上記基準点位置を規定することを特徴とする請求項2記載の距離計。
- 上記基準光路は、光路長差(c22-a21-b12)を上記距離L1とすることにより、上記第2の干渉光学系の位置に上記基準点位置を規定することを特徴とする請求項2記載の距離計。
- 上記基準光路は、上記基準点位置からの距離L1と該基準点位置から上記測定面による上記第2の測定光の反射光が上記第2の干渉光学系に入射されるまでの距離L2と略等しいことを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の距離計。
- 上記基準光路は、上記第3の基準光路の光路長c22を可変する光路長可変手段を備え、規定する基準点位置を可変自在としたことを特徴とする請求項2乃至4の何れか1項に記載の距離計。
- 上記第1の光源から出射された測定光が入射される上記第1の分離光学系として機能する第1の光カプラと、
上記第2の光源から出射された基準光が入射される上記第2の分離光学系として機能する第2の光カプラと、
上記第1の光カプラにより分離された第1の測定光と上記第2の光カプラにより分離された第1の基準光が入射される上記第1の干渉光学系として機能する第3の光カプラと、
上記第2の基準光と上記測定面により反射された上記第2の測定光とが入射される上記第2の干渉光学系として機能する第4の光カプラと、
上記第1の光カプラにより分離された第2の測定光が入射され、該第2の測定光を透過してコリメータを介して上記測定面に照射し、該測定面により反射された第2の測定光の反射光が上記コリメータを介して入射され、該第2の測定光の反射光を透過して出射する第5の光カプラ又は光サーキュレータとを備え、
上記基準光路は、
上記第1の光カプラにより分離された第1の測定光を上記第3の光カプラに伝搬する光路長a11の第1の光ファイバケーブルと、
上記第2の光カプラにより分離された第1の基準光を上記第3の光カプラに伝搬する光路長a21の第2の光ファイバケーブルと、
上記第1の光カプラにより分離された第2の測定光を上記第5の光カプラに伝搬する光路長b1の第3の光ファイバケーブルと、
上記第2の光カプラにより分離された第2の基準光を上記第4の光カプラに伝搬する光路長c22の第4の光ファイバケーブルと、
上記第5の光カプラを透過した上記測定面により反射された第2の測定光の反射光を上記第4の光カプラに伝搬する光路長b12’の第5の光ファイバケーブルとからなり、
上記第5の光カプラを透過した上記測定面により反射された第2の測定光の反射光を上記第4の光カプラに入射させる光路長b12’の第5の光ファイバケーブルとからなることを特徴とする請求項1記載の距離計。 - 上記コリメータと上記測定面の間に1/4波長板又はファラデーローテータを備えることを特徴とする請求項7記載の距離計。
- 上記基準光路は、
上記第3の光カプラに入射される上記第1の測定光が通過する光路長a11と上記第1の基準光が通過する光路長a21との光路長差ΔA
ΔA=a11-a21
と、
上記測定面による反射光として上記第4の光カプラに入射される上記第2の測定光が通過する光路長(b1+b12’)と上記第4の光カプラに入射される上記第2の基準光の光路長c22との光路長差ΔB
ΔB=b1+b12’-c22
との差分の光路長ΔA-ΔB
ΔA-ΔB=(a11-a21)-(b1+b12’-c22)
に基づき、基準点位置からの距離L1を、
L1=-b1+(ΔA-ΔB)
とすることにより、上記第1の光カプラの位置に上記基準点位置を規定することを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の距離計。 - 上記基準光路は、
上記第3の光カプラに入射される上記第1の測定光が通過する光路長a11と上記第1の基準光が通過する光路長a21との光路長差ΔA
ΔA=a11-a21
と、
上記測定面による反射光として上記第2の干渉光学系に入射される上記第2の測定光が通過する光路長(b1+b12’)と上記第2の干渉光学系第4の光カプラに入射される上記第2の基準光の光路長c22との光路長差ΔB
ΔB=b1+b12’-c22
との差分の光路長ΔA-ΔB
ΔA-ΔB=(a11-a21)-(b1+b12’-c22)
に基づき、基準点位置からの距離L1を、
L1=ΔA-ΔB
とすることにより、上記第5の光カプラの位置に上記基準点位置を規定することを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の距離計。 - 上記基準光路は、上記第2の干渉光学系の位置から測定面までの距離Lの2倍の距離2Lに略等しい上記光路長差(ΔA-ΔB)を有することにより、上記測定面の近傍位置に基準点位置を規定することを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の距離計。
- それぞれ周期的に強度又は位相が変調され、互いに変調周期が異なる干渉性のある測定光と基準光とを発生し、
上記測定光を第1の測定光と第2の測定光に分離するとともに、上記基準光を第1の基準光と第2の基準光に分離し、
第1の干渉光学系により上記第1の測定光と上記第1の基準光との干渉光を生成するとともに、上記第2の測定光を測定面に照射して、該測定面により反射された上記第2の測定光の反射光と上記第2の基準光との干渉光を第2の干渉光学系により生成し、
上記第1の干渉光学系を介して得られる干渉光を基準光検出器により検出するとともに、上記第2の干渉光学系を介して得られる干渉光を測定光検出器により検出し、
基準光路における上記第1の干渉光学系に入射される上記第1の測定光が通過する光路長と上記第1の基準光が通過する光路長との光路長差ΔAと、上記測定面による反射光として上記第2の干渉光学系に入射される上記第2の測定光通過する光路長と上記第2の干渉光学系に入射される上記第2の基準光の光路長との光路長差ΔBとにより上記第2の測定光が通過する光路上の任意の基準点位置からの距離L1を規定し、
上記基準光検出器により検出された干渉信号と上記測定光検出器により検出された干渉信号の時間差から、上記測定面までの測定距離Dとして、上記基準点位置からの距離L1と該基準点位置から上記測定面により反射された第2の測定光の反射光が上記第2の干渉光学系に入射されるまでの距離L2との距離差(L2-L1)を求める
ことを特徴とする距離測定方法。 - それぞれ周期的に強度又は位相が変調され、互いに変調周期が異なる干渉性のある測定光と基準光と出射する第1及び第2の光源と、上記第1の光源から出射された測定光を第1の測定光と第2の測定光に分離する第1の分離光学系と、上記第2の光源から出射された基準光を第1の基準光と第2の基準光に分離する第2の分離光学系と、上記第1の測定光と上記第1の基準光との干渉光を生成する第1の干渉光学系と、上記第1の干渉光学系を介して得られる上記第1の基準光と上記第1の測定光との干渉光を検出する基準光検出器と、上記第2の測定光を測定面に照射して、該測定面により反射された上記第2の測定光の反射光と、上記第2の基準光との干渉光を生成する第2の干渉光学系と、上記第2の干渉光学系を介して得られる上記測定面により反射された上記第2の測定光の反射光と上記第2の基準光との干渉光を検出する測定光検出器と、上記第1の干渉光学系に入射される上記第1の測定光が通過する光路長と上記第1の基準光が通過する光路長との光路長差ΔAと、上記測定面による反射光として上記第2の干渉光学系に入射される上記第2の測定光が通過する光路長と、上記第2の干渉光学系に入射される上記第2の基準光の光路長との光路長差ΔBとにより上記第2の測定光が通過する光路上の任意の基準点位置からの距離L1を規定する基準光路と、上記基準光検出器により検出された干渉信号と上記測定光検出器により検出された干渉信号の時間差から、上記測定面までの測定距離Dとして、上記基準点位置からの距離L1と該基準点位置から上記測定面による上記第2の測定光の反射光が第2の干渉光学系に入射されるまでの距離L2との距離差(L2-L1)を求める信号処理部とを備える距離計と、
上記距離計から出射される測定光で対象物体を走査し、上記対象物体により反射された上記測定光を上記距離計に戻す光学スキャン装置と、
上記光学スキャン装置を制御してレーザービームを走査すると同時に上記距離計が計測する絶対距離情報を取得して、ビーム照射位置とその場所まで絶対距離を複数の点について蓄積することにより非接触で物体の三次元形状を測定する信号処理装置と
を備えることを特徴とする光学的三次元形状測定機。
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