JP6925550B1 - 光コム発生装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 駆動周波数の切り替えに伴う不安定動作状態を回避して瞬時に駆動周波数を切り替えることができる光コム発生装置を提供する。【解決手段】 シンセサイザ回路11とスイッチ回路13の間にアイソレータ素子12A,12Bを挿入して、シンセサイザ回路11からアイソレータ素子12A,12Bを介してスイッチ回路13に変調信号を入力することにより、スイッチ回路13以降の回路の遮断や解放などによる負荷変動でシンセサイザ回路11の動作が不安定になるのを防止して、スイッチ回路13により光コム発生器14A,14Bに供給する駆動信号を切り替えた瞬間における負荷変動によりシンセサイザ回路11の動作が不安定になることがなく、光コム発生器14A,14Bの駆動信号を迅速に切り替えて駆動状態を遷移させる。【選択図】 図1

Description

本発明は、測定光の干渉信号と基準光の干渉信号の時間差から距離を測定する光コム距離計などに用いられる光コム発生装置に関する。
従来より、精密なポイントの距離計測が可能なアクティブ式距離計測方法として、レーザ光を利用する光学原理による距離計測が知られている。レーザ光を用いて対象物体までの距離を測定するレーザ距離計ではレーザ光の発射時刻と、測定対象に当たり反射してきたレーザ光を受光素子にて検出した時刻との差に基づいて、測定対象物までの距離が算出される(たとえば特許文献1参照)。また、例えば、半導体レーザの駆動電流に三角波等の変調をかけ、対象物での反射光を半導体レーザ素子の中に埋め込まれたフォトダイオードを使用して受光し、フォトダイオード出力電流に現れた鋸歯状波の主波数から距離情報を得ている。
ある点から測定点までの絶対距離を高精度で測定する装置としてレーザ距離計が知られている。たとえば、特許文献1には、測定光の干渉信号と基準光の干渉信号の時間差から距離を測定する距離計が記載されている。
従来の絶対距離計では、長い距離を高精度で測れる実用的な絶対距離計を実現することが難しく、高い分解能を得るためにはレーザ変位計のように原点復帰が必要なため絶対距離測定に適さない方法しか手段がなかった。
本件発明者等は、それぞれ周期的に強度又は位相が変調され、互いに変調周期が異なる干渉性のある基準光と測定光をパルス出射する2つの光コム発生器を備え、基準面に照射される基準光パルスと測定面に照射される測定光パルスとの干渉光を基準光検出器により検出するとともに、上記基準面により反射された基準光パルスと上記測定面により反射された測定光パルスとの干渉光を測定光検出器により検出して、上記基準光検出器と測定光検出器により得られる2つ干渉信号の時間差から、上記基準面までの距離と上記測定面までの距離の差を求めることにより、高精度で、しかも短時間に行うことの可能な光コム距離計を先に提案している(例えば、特許文献2参照。)。
また、測定面までの距離の基準点位置を基準光路により規定して、長距離測定を高精度で、しかも短時間に行うことができるようにした光コム距離計を先に提案している(例えば、特許文献3参照)。
光コム距離計では、原理的に周波数が異なる2種類の変調信号により駆動される2つの光コム発生器からパルス出射される干渉性のある基準光パルスと測定光パルスを用いることにより、信号処理部において、基準光検出器により得られる干渉信号(以下、参照信号と言う。)と、測定光検出器により得られる干渉信号(以下、測定信号と言う。)について周波数解析を行い、光コムの中心周波数から数えたモード番号をNとして、参照信号と測定信号のN次モード同士の位相差を計算して光コム発生器から基準点までの光コム生成、伝送過程の光位相差を相殺した後、周波数軸で次数1あたりの位相差の増分を計算して測定信号パルスと参照信号パルスの位相差を求めることにより、基準点から測定面までの距離を算出する。
ここで、マイクロ波帯域の変調周波数fm(例えば25GHz)、周波数差Δf(例えば、500kHz)である1対の変調信号により駆動される2つの光コム発生器から出力される基準光パルスと測定光パルスを用いて測定される距離は、基準点から測定面までの全体の距離(絶対距離という)から変調周波数fmの半波長の整数倍の距離を差し引いた剰余の部分である。干渉信号にはΔfの周期性があり、最も近い参照信号と測定信号の位相差が求められる。半波長を超える距離を測定する場合、2πに整数をかけた位相が基準時刻から比較している参照信号までの時間差に相当する位相として内在する。1組の周波数設定ではその整数値を判別することができない。fmをわずかに変えて複数回距離測定鵜を実行することにより、複数の測定条件に合致する値としてその整数が逆算できる。
すなわち、周波数の切り替えを要する絶対距離測定では、計測に要する時間は周波数の切り替え時間と計測時間、絶対距離計算時間を含めたものとなる。
2つの光コム発生器を駆動する変調信号は、例えばPLL(Phase−Locked Loop)により周波数を設定できるようにした変調信号発生器を用いることにより、周波数を切り替えることができる。
光コム発生器を駆動する信号はできる限り位相雑音の少ないものが望ましい。位相雑音の少ないVCOを外部参照信号に同期する際に制御の周波数帯域をむやみに広げず、駆動信号のクリーンアップを狙って参照信号の位相雑音のよりもVCOの位相雑音のほうが低くなるような周波数帯域についてはVCOの特性がそのまま出るように制御帯域を制限することが行われる。
PLLの周波数が落ち着くまでの時間(セトリング時間)は概ね制御帯域の逆数に比例すると考えれば良く、クリーンアップを狙って制御帯域を狭めるとセトリング時間が長くなり、セトリング時間を短くするため制御帯域を広げると高周波数域の位相雑音の増加や比較周波数に関連するスプリアス信号の混入レベルの増加が発生する。
PLLに関する参考文献(非特許文献1)には、設計例として、ローパス・フィルタの帯域幅を約207kHzとした場合、約51マイクロ秒で1kHzの誤差範囲内に周波数をロックすることが紹介されている。500kHzを周波数設定の単位とするように分周回路を設定する場合にはスプリアスの混入を避けるためにはローパス・フィルタの帯域幅をもっと下げなければならず、セトリング時間は51マイクロ秒の何倍もの時間がかかることが予想される。
そこで、光コム距離計における2つの光コム発生器には、PLL回路により基準の周波数信号に位相同期された周波数が固定された状態の複数の変調信号をスイッチ回路で切り替えて駆動信号として供給するようにしていた。
特開2001−343234号公報 特許第5231883号公報 特開2020−12641号公報
Analog Dialogue、AD33−03 フェーズ・ロック・ループ(PLL)の基礎 著者Ian Collins
上述の如く、従来の光コム距離計における2つの光コム発生器では、PLL回路により基準の周波数信号に位相同期された周波数が固定された状態の複数の変調信号をスイッチ回路で切り替えて駆動信号として供給するようにしていたが、スイッチ回路で駆動信号を切り替えた瞬間における変調信号発生器の負荷変動により、動作が不安定になるという問題点があった。
そこで、図7に示すような構成の第1の実験回路100にて過渡応答を解析する実験を行ったところ、図8に示すような解析結果が得られた。
図7に示す第1の実験回路100は、差周波数が500kHzの独立した2つの周波数信号(FM1:1000MHz、FM2:1000.5MHz)を出力するシンセサイザ回路101と、4入力2出力のスイッチ回路102と、2重平衡変調器(DBM:Double Balanced Mixer)103を備え、上記DBM103のRF入力端子には上記シンセサイザ回路101のFM2端子から1000.5MHzの周波数信号が入力されており、上記4入力2出力のスイッチ回路102のスイッチ設定がされた瞬間に、上記4入力2出力のスイッチ回路102を介してナノ秒程度の遅れ時間で上記シンセサイザ回路101のFM1端子から1000MHzの周波数信号が上記DBM103のLO入力端子に入力されるようになっている。
この第1の実験回路100において、上記DBM103のIF出力端子には、上記4入力2出力のスイッチ回路102が導通している間だけ、LO入力端子に入力される1000MHzの周波数信号とRF入力端子に入力されている1000.5MHzの周波数信号との差周波数である500kHzの波形信号が出力される。
図8の(A)は、上記DBM103のIF出力端子に得られた500kHzの波形信号の時間波形について200Mサンプル/s(5ns周期)で電圧値を取得してプロットした波形図であり、5000ポイント付近でスイッチ回路101がONになり、IF出力端子から500kHzの波形信号が出力された様子を示している。
図8の(B)は、上記DBM103のIF出力端子に得られた500kHz成分の位相を示す特性図であり280μs当たり30radの位相変動、すなわち、約17kHzの周波数ずれを生じた様子を示している。
図8の(C)は、FFT解析により求めた上記DBM103のIF出力端子に得られた500kHzの波形信号のパワー比率を示す特性図であり、図8の(D)は、その縦軸の拡大図である。
パワー比率は、一見切り替え直後に安定しているように見えるが、図8の(D)に示すように、250区間でも振動が残っており、500kHz周波数が安定していないことを示している。
また、図9に示すような構成の第2の実験回路110にて過渡応答を解析する実験を行ったところ、図10に示すような解析結果が得られた。
図9に示す第2の実験回路110では、上記第1の実験回路100におけるシンセサイザ回路101と4入力2出力のスイッチ回路102の間にアイソレーション回路105を挿入して、アイソレーションをするように構成したもので、他の構成は上記第1の実験回路100と同様である。アイソレーション回路105は、リバースアイソレーション30dB以上のRF増幅器と15dBの減衰器にて構成した。
この第2の実験回路110では、上記4入力2出力のスイッチ回路102のスイッチ設定がされた瞬間に、上記4入力2出力のスイッチ回路102を介してナノ秒程度の遅れ時間で上記シンセサイザ回路101のFM1端子から上記アイソレーション回路105を介して1000MHzの周波数信号が上記DBM103のLO入力端子に入力される。
上記DBM103のIF出力端子には、上記4入力2出力のスイッチ回路102が導通している間だけ、アイソレーション回路105を介してLO入力端子に入力される1000MHzの周波数信号とRF入力端子に入力されている1000.5MHzの周波数信号との差周波数である500kHzの波形信号が出力される。
図10の(A)は、上記DBM103のIF出力端子に得られた500kHzの波形信号の時間波形について200Mサンプル/s(5ns周期)で電圧値を取得してプロットした示す波形図であり、5000ポイント付近でスイッチ回路102がONになり、IF出力端子から500kHzの波形信号が出力された様子を示している。
図10の(B)は、上記DBM103のIF出力端子に得られた500kHz成分の位相を示す特性図であり200μs当たり0.1radの位相変動、すなわち約80Hzの周波数ずれを生じた様子を示している。
図10の(C)は、FFT解析により求めた上記DBM103のIF出力端子に得られた500kHzの波形信号のパワー比率を示す特性図であり、図10の(D)は、その拡大図である。パワー比率は、切り替え直後に安定しており、図10の(D)に示すように、振動はなく、周波数が安定している。
本発明の目的は、上述のごとき実情に鑑み、駆動周波数の切り替えに伴う不安定動作状態を回避して瞬時に駆動周波数を切り替えることができる光コム発生装置を提供することにある。
また、本発明の目的は、測定光の干渉信号と基準光の干渉信号の時間差から距離を測定する光コム距離計などに用いて最適な光コム発生装置を提供することにある。
本発明の他の目的、本発明によって得られる具体的な利点は、以下に説明される実施の形態の説明から一層明らかにされる。
本発明では、信号源とスイッチ回路の間にアイソレータを挿入して、信号源からアイソレータを介してスイッチ回路に変調信号を入力することにより、スイッチ回路以降の回路の遮断や解放などによる負荷変動で信号源の動作が不安定になるのを防止して、スイッチ回路により光コム発生器に供給する駆動信号を切り替えた瞬間における負荷変動により動作が不安定になることがなく、光コム発生器の駆動信号を迅速に切り替えて駆動状態を遷移させる。
すなわち、本発明は、光コム発生装置であって、互いに周波数の異なる2以上の整数N種類の変調信号を出力するN個の信号源と、上記N個の信号源に接続された少なくとも2個のアイソレータと、上記N種類の変調信号が上記少なくとも2個のアイソレータを介して入力されるN入力M(Mは正の整数)出力のスイッチ回路と、上記N種類の変調信号が上記N個のアイソレータと上記スイッチ回路を介して選択的に入力されるM個の光コム発生器とを備え、上記M個の光コム発生器は、上記N種類の変調信号の内の少なくとも2種の変調信号により、それぞれ周期的に強度又は位相が変調され、互いに変調周期が異なるM種類の光コムを出力することを特徴とする。
本発明に係る光コム発生装置は、上記光コム発生器を2以上のM個備え、上記N個の信号源に接続されたN個の上記アイソレータを介して上記スイッチ回路に入力される上記N種類の変調信号を上記スイッチ回路により循回的に切り替えて上記M個の光コム発生器に入力し、上記M個の光コム発生器から、上記循回的に切り替えられたN種類の変調周期が互いに異なるM種類の光コムを出力するものとすることができる。
また、本発明に係る光コム発生装置は、N=4、M=2であり、4種類の変調信号を上記スイッチ回路を介して循回的に切り替えて2個の光コム発生器に入力することにより、変調周期が循回的に切り替えられた互いに変調周期が異なる2種類の光コムを出力するものとすることができる。
また、本発明に係る光コム発生装置は、N=M=2であり、2個の光コム発生器から、互いに変調周期が異なる2種類の光コムを交互に出力するものとすることができる。
また、本発明に係る光コム発生装置は、M=1であり、上記N種類の変調信号を上記スイッチ回路を介して循回的に切り替えて入力することにより、1個の光コム発生器から、変調周期が循回的に切り替えられた光コムを出力するものとすることができる。
さらに、本発明に係る光コム発生装置において、上記N個の信号源は、それぞれPLL回路により基準の周波数信号に位相同期された周波数が固定された状態のN種類の変調信号を発生するものとすることができる。
本発明では、信号源とスイッチ回路の間にアイソレータを挿入して、信号源からアイソレータを介してスイッチ回路に変調信号を入力することにより、スイッチ回路以降の回路の遮断や解放などによる負荷変動で信号源の動作が不安定になるのを防止して、スイッチ回路により光コム発生器に供給する駆動信号を切り替えた瞬間における負荷変動により動作が不安定になることがなく、光コム発生器の駆動信号を迅速に切り替えて駆動状態を遷移させる。
すなわち、本発明では、駆動周波数の切り替えに伴う不安定動作状態を回避して瞬時に駆動周波数を切り替えることができる光コム発生装置を提供することができる。
また、本発明では、測定光の干渉信号と基準光の干渉信号の時間差から距離を測定する光コム距離計などに用いて最適な光コム発生装置を提供することができる。
本発明を適用した光コム発生装置の構成例を示すブロック図である。 本発明を適用した光コム発生装置の他の構成例を示すブロック図である。 上記他の構成例の光コム発生装置において、2つ光コム発生器に供給される駆動信号の状態遷移を示す状態遷移図である。 上記他の構成例の光コム発生装置におけるスイッチ回路の具体的な構成例を示すブロック図である。 本発明を適用した光コム発生装置の他の構成例を示すブロック図である。 本発明を適用した光コム発生装置の更に他の構成例を示すブロック図である。 PLL回路により位相同期された駆動信号をスイッチ回路で切り替える場合の過渡応答を解析するための実験に用いた第1の実験回路の構成を示すブロック図である。 上記第1の実験回路による実験結果を示す図であり、(A)は、DBMのIF出力端子に得られた500kHzの波形信号を示す波形図であり、(B)は、上記500kHz成分の位相を示す特性図であり、(C)はFFT解析により求めた上記500kHzの波形信号のパワー比率を示す特性図であり(D)はその拡大図である。 PLL回路により位相同期された駆動信号をスイッチ回路で切り替える場合の過渡応答を解析する実験に用いた第2の実験回路の構成を示すブロック図である。 上記第2の実験回路による実験結果を示す図であり、(A)は、DBMのIF出力端子に得られた500kHzの波形信号を示す波形図であり、(B)は、上記500kHz成分の位相を示す特性図であり、(C)はFFT解析により求めた上記500kHzの波形信号のパワー比率を示す特性図であり(D)はその拡大図である。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、共通の構成要素については、共通の指示符号を図中に付して説明する。また、本発明は以下の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、任意に変更可能であることは言うまでもない。
本発明は、例えば図1のブロック図に示すにように、それぞれ周期的に強度又は位相が変調され、互いに変調周期が異なる干渉性のある測定光と基準光を出射する2つの光コム発生器14A,14Bを備える光コム発生装置10に適用される。
この光コム発生装置10は、例えば特許文献2,3等に記載されている測定光の干渉信号と基準光の干渉信号の時間差から距離を測定する光コム距離計や三次元形状測定機において、それぞれ周期的に強度又は位相が変調され、互いに変調周期が異なる干渉性のある測定光と基準光と出射する光源として用いられる。
この光コム発生装置10は、差周波数が500kHzの独立した2つの周波数信号(Fm1:1000MHz、Fm2:1000.5MHz)を出力するシンセサイザ回路11と、上記シンセサイザ回路11のFm1端子に接続された第1のアイソレータ12Aと、上記シンセサイザ回路11のFm2端子に接続された第2のアイソレータ12Bと、2入力2出力のスイッチ回路13と、第1の光コム発生器14Aと、第2の光コム発生器14Bを備え、上記シンセサイザ回路11のFm1端子、Fm2端子が上記第1,第2のアイソレータ12A,12Bを介して上記スイッチ回路13の2つの入力端子に接続され、該スイッチ回路13の2つの出力端子に上記第1,第2の光コム発生器14A,14Bが接続されている。
上記シンセサイザ回路11は、10MHzの基準周波数信号FREFを発生する基準周波数信号発生器11Rと、この基準周波数信号発生器11Rにより発生される基準周波数信号FREFにそれぞれ位相同期されて周波数が固定された互いに異なる周波数の第1,第2の変調信号Fm1,Fm2を発生する第1,第2の変調信号発生器11A,11Bを備える。
上記第1の変調信号発生器11Aは、上記基準周波数信号発生器11Rにより発生される基準周波数信号FREFにPLL回路により位相同期されて周波数が第1の周波数1000MHzに固定された第1の変調信号Fm1を発生する。
また、上記第2の変調信号発生器11Bは、上記基準周波数信号発生器11Rにより発生される基準周波数信号FREFにPLL回路により位相同期されて周波数が第2の周波数1000.5MHzに固定された第2の変調信号Fm2を発生する。
上記第1の変調信号発生器11Aにより得られる第1の変調信号Fm1は、上記シンセサイザ回路11のFm1端子に接続された第1のアイソレータ12Aを介して、上記スイッチ回路13の一方の入力端子に入力され、該スイッチ回路13の2つの出力端子に接続されている上記第1、第2の光コム発生器14A、14Bに選択的に供給されるようになっている。
また、上記第2の変調信号発生器11Bにより得られる第2の変調信号Fm2は、上記シンセサイザ回路11のFm2端子に接続された第2のアイソレータ12Bを介して、上記スイッチ回路13の他方の入力端子に入力され、該スイッチ回路13の2つの出力端子に接続されている上記第1、第2の光コム発生器14A,14Bに選択的に供給されるようになっている。
上記スイッチ回路13は、2つの入力端子に入力される第1,第2の変調信号Fm1,Fm2を切り替えて2つの出力端子から交互に出力し、上記2つの出力端子に接続されている上記第1,第2の光コム発生器14A,14Bに駆動信号として供給する第1,第2の変調信号Fm1,Fm2を切り替える2入力2出力のセレクタスイッチとして機能する。
この光コム発生装置10では、上記第1,第2の変調信号Fm1,Fm2を上記スイッチ回路13により切り替えて上記第1,第2の光コム発生器14A,14Bに駆動信号として供給することにより、上記第1、第2の光コム発生器14A,14Bから、互いに変調周期が異なる2種類の光コムを交互に出力することができる。
そして、この光コム発生装置10では、上記シンセサイザ回路11と上記スイッチ回路13の間に挿入された第1,第2のアイソレータ12A,12Bを介して第1、第2の変調信号Fm1,Fm2が上記スイッチ回路13に入力されているので、上述の第2の実験回路110による実験結果と同様に、上記スイッチ回路13により上記第1、第2の光コム発生器14A,14Bを駆動信号を切り替えた瞬間における負荷変動により上記第1,第2の変調信号発生器11A,11Bの動作が不安定になることがなく、上記第1、第2の光コム発生器14A,14Bの駆動信号を迅速に切り替えて駆動状態を遷移させることができる。
なお、特許文献2,3等に記載されている光コム距離計や三次元形状測定機において周波数の切り替えを要する絶対距離測定を行う場合、周波数の切り替え時間と絶対距離計算時間を含めたものが測定時間となるが、この光コム発生装置10は、上述の如く上記シンセサイザ回路11と上記スイッチ回路13の間に第1,第2のアイソレータ12A,12Bを挿入したことにより、第1、第2の光コム発生器14A、14Bの駆動信号を迅速に切り替えて駆動状態を遷移させることができるので、参照信号と測定信号の変調周波数を切り替えて絶対距離計測を行う2つの光コム光源として用いることにより、絶対距離の測定時間を短縮することができる。
ここで、上記光コム発生装置10は、2個の光コム発生器14A,14Bから、互いに変調周期が異なる2種類の光コムを交互に出力するものであるが、本発明は、上記2種類の光コムを交互に出力する光コム発生装置10のみに限定されるものでなく、互いに周波数の異なる2以上の整数N種類の変調信号を出力するN個の信号源と、上記N個の信号源に接続された少なくとも2個のアイソレータと、上記N種類の変調信号が上記少なくとも2個のアイソレータを介して入力されるX(2以上の整数)入力Y(正の整数)出力のスイッチ回路と、上記N種類の変調信号が上記N個のアイソレータと上記スイッチ回路を介して選択的に入力される正の整数M個の光コム発生器とを備え、上記M個の光コム発生器は、上記N種類の変調信号の内の少なくとも2種の変調信号により、それぞれ周期的に強度又は位相が変調され、互いに変調周期が異なるM種類の光コムを出力するものであればよく、N≠X≠Y≠Mであってもよい。スイッチ回路の使用しない出力端子は終端抵抗を接続しておく。
本発明は、図2に示す光コム発生装置20のようにN=4,X=4,Y=2,M=2として互いに変調周期が異なる4種類の光コムを2つの光コム発生器24A、24Bに巡回的に出力する構成、図5に示す光コム発生装置30のようにM個の光コム発生器34A,34B,・・・,34Mから循回的に切り替えられたN種類の変調周期が互いに異なるM種類の光コムを出力する構成、図6に示す光コム発生装置40のようにN=X=Y、M=1として、1個の光コム発生器44から循回的に切り替えられたN種類の変調周期が互いに異なる光コムを出力する構成など、各種構成の光コム発生装置に適用することができる。
図2に示す光コム発生装置20は、N=4,M=2として、シンセサイザ回路21から出力される4種類の変調信号をスイッチ回路23を介して循回的に切り替えて2個の光コム発生器24A,24Bに入力することにより、変調周期が循回的に切り替えられた互いに変調周期が異なる2種類の光コムを出力する光コム発生装置に本発明を適用したもので、差周波数が500kHzの独立した4つ周波数信号(Fm1:1000MHz、Fm2:1010MHz、Fm3:1000.5MHz、Fm4:1010.5MHz)を出力するシンセサイザ回路21と、上記シンセサイザ回路21のFm1端子に接続された第1のアイソレータ22Aと、上記シンセサイザ回路21のFm2端子に接続された第2のアイソレータ22Bと、上記シンセサイザ回路21のFm3端子に接続された第3のアイソレータ22Cと、上記シンセサイザ回路21のFm4端子に接続された第4のアイソレータ22Dと、4入力2出力のスイッチ回路23と、第1の光コム発生器24Aと、第2の光コム発生器24Bを備え、上記シンセサイザ回路21のFm1端子,Fm2端子,Fm3端子,Fm4端子が上記第1のアイソレータ22A,第2のアイソレータ22B,第3のアイソレータ22C,第4のアイソレータ22Dを介して上記スイッチ回路23の4つの入力端子に接続され、該スイッチ回路23の2つの出力端子に上記第1,第2の光コム発生器24A,24Bが接続されている。
上記シンセサイザ回路21は、10MHzの基準周波数信号FREFを発生する基準周波数信号発生器21Rと、この基準周波数信号発生器21Rにより発生される基準周波数信号FREFにそれぞれ位相同期されて周波数が固定された互いに周波数の異なる4種類の変調信号Fm1,Fm2,Fm3,Fm4を発生する4つの変調信号発生器21A,21B,21C,21Dを備える。
第1の変調信号発生器21Aは、上記基準周波数信号発生器21Rにより発生される基準周波数信号FREFにPLL回路により位相同期されて周波数が第1の周波数1000MHzに固定された第1の変調信号Fm1を発生する。
また、第2の変調信号発生器21Bは、上記基準周波数信号発生器21Rにより発生される基準周波数信号FREFにPLL回路により位相同期されて周波数が第2の周波数1010MHzに固定された第2の変調信号Fm2を発生する。
また、第3の変調信号発生器21Cは、上記基準周波数信号発生器21Rにより発生される基準周波数信号FREFにPLL回路により位相同期されて周波数が第3の周波数1000.5MHzに固定された第3の変調信号Fm3を発生する。
さらに、第4の変調信号発生器21Dは、上記基準周波数信号発生器21Rにより発生される基準周波数信号FREFにPLL回路により位相同期されて周波数が第4の周波数1010.5MHzに固定された第4の変調信号Fm4を発生する。
そして、上記スイッチ回路23は、上記シンセサイザ回路21から上記第1のアイソレータ22A、第2のアイソレータ12B、第3のアイソレータ22C、第4のアイソレータ22Dを介して4つのアイソレータ入力端子に入力される4種類の変調信号Fm1,Fm2,Fm3,Fm4を巡回的に切り替えて2つの出力端子から交互に出力し、上記2つの出力端子に接続されている上記第1、第2の光コム発生器24A,24Bに駆動信号として供給する4種類の変調信号Fm1,Fm2,Fm3,Fm4を巡回的に切り替える4入力2出力のセレクタスイッチとして機能する。
この光コム発生装置20における上記第1、第2の光コム発生器24A,24Bに駆動信号の遷移状態を図3に示すように、上記スイッチ回路23は、上記第1,第2の光コム発生器24A,24Bに駆動信号として供給する4種類の変調信号Fm1,Fm2,Fm3,Fm4を巡回的に切り替える。
ここで、この光コム発生装置20は、特許文献2,3等に記載されている光コム距離計や三次元形状測定機において周波数の切り替えを要する絶対距離測定を行うための基準光パルスと測定光パルスとして2種類の光コムを発生するものであって、表1に示すように、上記4種類の変調信号Fm1,Fm2,Fm3,Fm4を上記スイッチ回路23により巡回的に切り替えて上記第1、第2の光コム発生器24A,24Bに駆動信号として供給することにより、上記第1、第2の光コム発生器24A,24Bから、変調周期が循回的に切り替えられた互いに変調周期が異なる2種類の光コムが出力される。
Figure 0006925550
表1は、#1〜4の設定における第1,第2の光コム発生器24A,24Bの駆動信号の遷移状態OFCG1/OFCG2とその位相差すなわち OFCG1側とOFCG2側の駆動周波数の大小関係に依存して反転する符号を補正した位相を示しており、駆動信号の周波数は、例えば、Δf=500kHz、Δfm=10MHz、fm=Fm1(1000MHz)、fm+Δfm=Fm2(1010MHz)、fm+Δf=Fm3(1000.5MHz、fm+Δfm+Δf=Fm4(1010.5MHz)である。なお、光コム距離計に実装される第1、第2の光コム発生器24A,24Bにおける駆動信号の周波数設定#1〜4では、1GHz帯のシンセサイザ回路21をアップコンバータと組み合わせて使用することにより、Δf=500kHz、Δfm=10MHz、fm=Fm1(25000MHz)、fm+Δfm=Fm2(25010MHz)、fm+Δf=Fm3(25000.5MHzMHz)、fm+Δfm+Δf=Fm4(25010.5MHz)とされる。
ここで、光コム距離計では、原理的に周波数が異なる2種類の変調信号により駆動される2つの光コム発生器からパルス出射される干渉性のある基準光パルスと測定光パルスを用いることにより、信号処理部において、基準光検出器により得られる干渉信号(以下、参照信号と言う。)測定光検出器により得られる干渉信号(以下、測定信号と言う。)について周波数解析を行い、光コムの中心周波数から数えたモード番号をNとして、参照信号と測定信号のN次モード同士の位相差を計算して光コム発生器から基準点までの光コム生成、伝送過程の光位相差を相殺した後、周波数軸で次数1あたりの位相差の増分を計算して信号パルスの位相差を求めることにより、基準点から測定面までの距離を算出する。
なお、測定距離が変調周波数fmの半波長を超えると物体光の周期性によりその半波長の整数倍の距離が不明となって一義的に距離を求められないので、表1に示す4通りの変調周波数に設定した基準光パルスと測定光パルスを用いて4回測定して、信号処理部において、同じ処理を行うことにより得られる各位相差を用いて、半波長相当の多義性距離(L=c/2fm c:光速)を超える距離を算出する。
すなわち、表1に示す4通りの変調周波数に設定して測定して得られる参照信号と測定信号の位相差は、2つの光コム発生器(OFCG1,OFCG2)を駆動する変調信号の変調周波数がfmとfm+Δfである#1の設定では−2πfmTとなり、変調信号の変調周波数がfm+Δfmとfm+Δfm+Δfである#2の設定では−2π(fm+Δfm)Tとなり、変調信号の変調周波数がfm+fmとfmである#3の設定では−2π(fm+Δf)Tとなり、変調信号の変調周波数がfm+Δfm+Δfとfm+Δfmである#4の設定では−2π(fm+Δfm+Δf)Tとなる。
#1の設定で計測する距離が変調周波数fmの半波長相当の距離(L=c/2fm c:光速)も長い場合、参照信号と測定信号の位相差(−2πfmT)は、mを整数としてφ+2mπの形であり、計算によりφの部分だけが求められるが、整数値mは不明である。
一方、#1の設定での参照信号と測定信号の位相差−2πfmTと#2の設定での参照信号と測定信号の位相差−2π(fm+Δfm)Tの差は2πΔfmTであり、また、#3の設定での参照信号と測定信号の位相差−2π(fm+Δf)Tと#4の設定での参照信号と測定信号の位相差−2π(fm+Δfm+Δf)Tの差は2πΔfmTであり、1/Δfmの波長に相当する距離(Δfm=10MHzであればLaは15m)までならば、一義的に位相が決まる。
そして、この位相をfm/Δfm倍して#1の位相差との比較により整数mを判定することができる。
さらに、表1の#1の設定での位相差−2πfmTと#3の設定での位相差−2π(fm+Δf)Tの差から2πΔfが得られる。
ここで、fm=25GHz、Δf=500kHz、Δfm=10MHzとした場合、Δf=500kHzであるからLa=300mまでの距離計測を行うことができる。
この光コム発生装置20を搭載した光コム距離計では、表1に示す4通りの変調周波数に設定して測定して得られる参照信号と測定信号を用いて絶対距離計測が行われる。すなわち、1つの状態を一定時間保持した後に他の状態に移り、一定の区間でその状態の信号位相計測を行い、#1、#2、#3、#4の設定状態の位相を使って絶対距離の計算処理を実行する。
光コム距離計における計測速度は、6mm以内の相対距離測定ではΔfに等しく500kHzであるのに対し、周波数の切り替えを要する絶対距離測定では、周波数の切り替え時間と絶対距離計算時間を含めたものとなる。
上記光コム発生装置20では、上記シンセサイザ回路21と上記スイッチ回路23の間に第1,第2のアイソレータ22A,22B,22C,22Dを挿入したことにより、上記4種類の変調信号Fm1,Fm2,Fm3,Fm4を上記スイッチ回路23により巡回的に切り替えて、第1,第2の光コム発生器24A,24Bの駆動状態を迅速に遷移させることができ、参照信号と測定信号の変調周波数を切り替えて絶対距離計測を行う2つの光コム光源として用いることにより、絶対距離の測定時間を短縮することができる。
なお、距離計測だけであれば、#1と#2の設定のみ、あるいは、#3と#4の設定のみでも可能であるが、上述のごとく#1,#2,#3,#4の設定、すなわち、上記4種類の変調信号Fm1,Fm2,Fm3,Fm4を上記スイッチ回路23により巡回的に切り替えることにより、測定対象以外の信号返送経路による位相オフセットを補正して高精度に絶対距離結果を得ることができる。すなわち、2つの光コム発生器(OFCG1,OFCG2)の変調周波数を入れ替えたときに測定対象距離に由来の位相は絶対値が変わらず符号が反転する。一方、干渉信号伝送路のケーブル長さに由来するオフセットは符号が変わらず一定値になる。したがって、2回の位相測定の結果を差し引いて2で割るとオフセットを除外した位相値を求めることができる。
ここで、図4は、上記光コム発生装置20に備えられる4入力2出力のスイッチ回路23の具体的な構成例を示すブロック図である。
すなわち、スイッチ回路23は、図4のブロック図に示すように、上記シンセサイザ回路21の変調信号発生器21A,21B,21C,21Dにより発生される4種類の変調信号Fm1,Fm2,Fm3,Fm4が、上記シンセサイザ回路21のFm1端子,Fm2端子,Fm3端子,Fm4端子に接続されたアイソレータ22A,22B,22C,22Dを介して入力される初段のそれぞれ1入力2出力の4つのスイッチ回路231A,231B,231C,231D、上記初段のスイッチ回路231A,231B,231C,231Dを介して上記4種類の変調信号Fm1,Fm2,Fm3,Fm4が入力される次の段に設けられたそれぞれ2入力1出力の2つのスイッチ回路232A,232B、上記2つのスイッチ回路232A,232Bの各出力端子に接続されたさらに次の段の1入力2出力の2つのスイッチ回路233A,233B、上記2つのスイッチ回路233A,233Bに接続された最終段のそれぞれ2入力1出力の2つのスイッチ回路234A,234Bが制御ロジック23Cにより10MHzの基準信号FREFに同期して切り替え制御されることにより、上記第1,第2の光コム発生器14A、14Bに駆動信号の遷移状態を図3に示すように、上記第1,第2の光コム発生器14A,14Bに駆動信号として供給する上記4種類の変調信号Fm1,Fm2,Fm3,Fm4を巡回的に切り替えるようになっている。
このスイッチ回路23において、初段の4つのスイッチ回路231A,231B,231C,231Dは、それぞれ2つの出力端子のうちの一方が次段の2つのスイッチ回路232A,232Bの入力端子に接続され、他方の出力端子が終端抵抗により終端されている。
なお、図4のブロック図に示すスイッチ回路23の具体例では、それぞれ可変減衰器と帯域通過フィルタを組み合わせたアイソレータ回路からなるから第1乃至第4のアイソレータ22A,22B,22C,22Dを介して上記4種類の変調信号Fm1,Fm2,Fm3,Fm4が初段の4つのスイッチ回路231A,231B,231C,231Dに入力され、終段の2つのスイッチ回路234A,234Bの出力端子から、上記巡回的に切り替える4種類の変調信号Fm1,Fm2,Fm3,Fm4がそれぞれアイソレーション増幅器と帯域通過フィルタを組み合わせたアイソレータ回路からなる第1、第2のアイソレータ23A,23Bを介して出力されるようになっている。
また、図5に示す光コム発生装置30は、M個の光コム発生器34A,34B,・・・,34Mから循回的に切り替えられたN種類の変調周期が互いに異なるM種類の光コムを出力するようにしたもので、差周波数がΔfの独立したN種類の周波数信号Fm1,Fm2,・・・,FmNを出力するシンセサイザ回路31と、上記シンセサイザ回路31のN個の出力端子に接続されたN個のアイソレータ32A,32B,・・・,32Nと、N入力M出力のスイッチ回路33と、M個の光コム発生器34A,34B,・・・,34Mを備え、上記シンセサイザ回路31のN個の出力端子が上記N個のアイソレータ32A,32B,・・・,32Nを介して上記スイッチ回路33のN個の入力端子に接続され、該スイッチ回路33のM個の出力端子に上記M個の光コム発生器34A,34B,・・・,34Mが接続されている。
上記シンセサイザ回路31は、10MHzの基準周波数信号FREFを発生する基準周波数信号発生器31Rと、この基準周波数信号発生器31Rにより発生される基準周波数信号FREFにそれぞれ位相同期されて周波数が固定された互いに周波数の異なるN種類の変調信号Fm1,Fm2,・・・,FmNを発生するN個の変調信号発生器31A,31B,・・・,31Nを備える。
そして、上記スイッチ回路33は、上記シンセサイザ回路31から上記N個のアイソレータ32A,32B,・・・,32Nを介してN個の入力端子に入力されるN種類の変調信号Fm1,Fm2,・・・,FmNを巡回的に切り替えて、M個の出力端子から循回的に出力し、上記M個の出力端子に接続されている上記M個の光コム発生器34A,34B,・・・、34Mに駆動信号として供給するN種類の変調信号Fm1,Fm2,・・・,FmNを巡回的に切り替えるN入力M出力のセレクタスイッチとして機能する。
この光コム発生装置30では、光コム距離計における光コム干渉系に供給する一対以上の光コムの組み合わせを提供することができ、上記シンセサイザ回路31とスイッチ回路33の間にN個のアイソレータ32A,32B,・・・,32Nが挿入されているので、上記シンセサイザ回路31を構成しているN個の変調信号発生器31A,31B,・・・,31Nの周波数が、スイッチ回路33以降の回路の開放や短絡による負荷変動に影響されず安定した状態を維持することができ、上記スイッチ回路33により上記M個の光コム発生器34A,34B,・・・,34Mに供給する駆動信号を巡回的に切り替えて、切り替え後直ちに位相計測を行うことができる。
なお、この光コム発生装置30において、N、Mは2以上であるが、N=Mに限定されない。一般的にはN≧Mあり、N<Mの場合には、パワーデバイダーを併用して信号供給を行うか、信号供給されない光コム発生器が存在することになる。
さらに、図6に示す光コム発生装置40は、M=1として、1個の光コム発生器44からN種類の変調周期が循回的に切り替えられた光コムを出力するようにしたもので、独立したN種類の周波数信号Fm1,Fm2,・・・,FmNを出力するシンセサイザ回路41と、上記シンセサイザ回路41のN個の出力端子に接続されたN個のアイソレータ42A,42B,・・・,42Nと、N入力1出力のスイッチ回路43と、1個の光コム発生器44を備え、上記シンセサイザ回路41のN個の出力端子が上記N個のアイソレータ42A,42B,・・・,42Nを介して上記スイッチ回路43のN個の入力端子に接続され、該スイッチ回路43の出力端子に上記光コム発生器44が接続されている。
上記シンセサイザ回路41は、基準周波数信号FREFを発生する基準周波数信号発生器41Rと、この基準周波数信号発生器41Rにより発生される基準周波数信号FREFにそれぞれ位相同期されて周波数が固定された互いに周波数の異なるN種類の変調信号Fm1,Fm2,・・・,FmNを発生するN個の変調信号発生器41A,41B,・・・,41Nを備える。
そして、上記スイッチ回路43は、上記シンセサイザ回路41から上記N個のアイソレータ42A,42B,・・・,42Nを介してN個の入力端子に入力されるN種類の変調信号Fm1,Fm2,・・・,FmNを巡回的に切り替えて出力端子から循回的に出力し、上記出力端子に接続されている光コム発生器44に駆動信号として供給するN種類の変調信号Fm1,Fm2,・・・,FmNを巡回的に切り替えるN入力1出力のセレクタスイッチとして機能する。
この光コム発生装置40では、上記シンセサイザ回路41とスイッチ回路43の間にN個のアイソレータ42A,42B,・・・,42Nが挿入されているので、上記シンセサイザ回路41を構成しているN個の変調信号発生器41A,41B,・・・,41Nの周波数が、スイッチ回路43以降の回路の開放や短絡による負荷変動に影響されず、安定した状態を維持することができ、上記スイッチ回路43により迅速にN種類の変調信号Fm1,Fm2,・・・,FmNを巡回的に切り替えて駆動信号として光コム発生器44供給することができる。
この光コム発生装置40は、上記スイッチ回路43により巡回的に切り替えられるN種類の変調信号Fm1,Fm2,・・・,FmNを駆動信号として動作する光コム発生器44から光コムを出射する単独の光コム光源として使用される。
なお、上記光コム発生装置10,20,30,40において、シンセサイザ回路11,21,31,41とスイッチ回路13,23,33,43の間に挿入したアイソレータ12A,12B,22A〜22D,32A〜32N,42A〜42Nには、リバースアイソレーションが大きいマイクロ波増幅器、パイ型抵抗減衰器やT型抵抗減衰器、フェライトを用いたマイクロ波アイソレータなどのアイソレーション素子や、可変減衰器と帯域通過フィルタとを組み合わせたアイソレーション回路やアイソレーション増幅器と抵抗減衰器や帯域通過フィルタとを組み合わせたアイソレーション回路など用いることができる。また、アイソレータは別筐体としてシンセサイザ回路やスイッチ回路から独立して存在しても良いし、シンセサイザ回路の出力部やスイッチ回路の入力部にそれぞれの回路の一部として設置されているものでも良い。
10,20,30,40 光コム発生装置、11,21,31,41 シンセサイザ回路、13,23,231A,231B,231C,231D,232A,232B,233A,233B,234A,234B,33,43 スイッチ回路、12A、12B、22A〜22D,32A〜32N、42A〜42N アイソレータ、14A,14B、24A,24B、34A〜34M、44 光コム発生器、23C 制御ロジック

Claims (6)

  1. 互いに周波数の異なる2以上の整数N種類の変調信号を出力するN個の信号源と、
    上記N個の信号源に接続された少なくとも2個のアイソレータと、
    上記N種類の変調信号が上記少なくとも2個のアイソレータを介して入力されるX(2以上の整数)入力Y(Yは正の整数)出力のスイッチ回路と、
    上記N種類の変調信号が上記少なくとも2個のアイソレータと上記スイッチ回路を介して選択的に入力される正の整数M個の光コム発生器と
    を備え、
    上記M個の光コム発生器は、上記N種類の変調信号の内の少なくとも2種の変調信号により、それぞれ周期的に強度又は位相が変調され、互いに変調周期が異なるM種類の光コムを出力することを特徴とする光コム発生装置。
  2. 上記光コム発生器を2以上のM個備え、上記N個の信号源に接続されたN個の上記アイソレータを介して上記スイッチ回路に入力される上記N種類の変調信号を上記スイッチ回路により循回的に切り替えて上記M個の光コム発生器に入力し、
    上記M個の光コム発生器から、上記循回的に切り替えられたN種類の変調周期が互いに異なるM種類の光コムを出力することを特徴とする請求項1記載の光コム発生装置。
  3. N=4、M=2であり、
    4種類の変調信号を上記スイッチ回路を介して循回的に切り替えて2個の光コム発生器に入力することにより、変調周期が循回的に切り替えられた互いに変調周期が異なる2種類の光コムを出力することを特徴とする請求項2記載の光コム発生装置。
  4. N=M=2であり、
    2個の光コム発生器から、互いに変調周期が異なる2種類の光コムを交互に出力することを特徴とする請求項1記載の光コム発生装置。
  5. M=1であり、
    上記N個の信号源に接続されたN個の上記アイソレータを介して上記スイッチ回路に入力される上記N種類の変調信号を上記スイッチ回路を介して循回的に切り替えて入力することにより、1個の光コム発生器から、変調周期が循回的に切り替えられた光コムを出力することを特徴とする請求項1記載の光コム発生装置。
  6. 上記N個の信号源は、それぞれPLL回路により基準の周波数信号に位相同期された周波数が固定された状態のN種類の変調信号を発生することを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載の光コム発生装置。
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